JPH0229528U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0229528U JPH0229528U JP10852088U JP10852088U JPH0229528U JP H0229528 U JPH0229528 U JP H0229528U JP 10852088 U JP10852088 U JP 10852088U JP 10852088 U JP10852088 U JP 10852088U JP H0229528 U JPH0229528 U JP H0229528U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- guide pin
- orientation flat
- semiconductor wafer
- rotating
- conveyor belt
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 claims description 4
Description
第１図ａ〜ｃは本考案の一実施例を説明するた
めのオリエンテーシヨンフラツト整合機の模式的
平面図と側面図及びＸ―Ｘ線断面図、第２図ａ〜
ｃは従来のオリエンテーシヨンフラツト整合機の
一例を説明するための模式的平面図と側面図及び
Ｙ―Ｙ′線断面図である。 １…搬送ベルト、２…回転ガイドピン、３…固
定ガイドピン、４…半導体ウエーハ、５…オリエ
ンテーシヨンフラツト。
めのオリエンテーシヨンフラツト整合機の模式的
平面図と側面図及びＸ―Ｘ線断面図、第２図ａ〜
ｃは従来のオリエンテーシヨンフラツト整合機の
一例を説明するための模式的平面図と側面図及び
Ｙ―Ｙ′線断面図である。 １…搬送ベルト、２…回転ガイドピン、３…固
定ガイドピン、４…半導体ウエーハ、５…オリエ
ンテーシヨンフラツト。
Claims (1)
- 搬送ベルトと、前記搬送ベルト上を搬送された
半導体ウエーハを回転させ前記半導体ウエーハの
オリエンテーシヨンフラツトを所定の方位に合わ
せる回転ガイドピンと、前記オリエンテーシヨン
フラツトを所定の方位に静止させるように前記半
導体ウエーハ回転を停止させる固定ガイドピンと
を有するオリエンテーシヨンフラツト整合機にお
いて、前記回転及び固定ガイドピンの前記オリエ
ンテーシヨンフラツトとの接触面が上方に傾斜す
る面を有することを特徴とするオリエンテーシヨ
ンフラツト整合機。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10852088U JPH0229528U (ja) | 1988-08-17 | 1988-08-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10852088U JPH0229528U (ja) | 1988-08-17 | 1988-08-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0229528U true JPH0229528U (ja) | 1990-02-26 |
Family
ID=31343933
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10852088U Pending JPH0229528U (ja) | 1988-08-17 | 1988-08-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0229528U (ja) |
-
1988
- 1988-08-17 JP JP10852088U patent/JPH0229528U/ja active Pending