JPS6351445U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPS6351445U JPS6351445U JP14560486U JP14560486U JPS6351445U JP S6351445 U JPS6351445 U JP S6351445U JP 14560486 U JP14560486 U JP 14560486U JP 14560486 U JP14560486 U JP 14560486U JP S6351445 U JPS6351445 U JP S6351445U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- transport belt
- semiconductor wafer
- transport
- transports
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Structure Of Belt Conveyors (AREA)
- Delivering By Means Of Belts And Rollers (AREA)
Description
第１図は本考案に係る第１の実施例の側面断面
図、第２図は本考案の第２の実施例の側面断面図
、第３図は第１及び第２の実施例における一使用
態様の平面図、第４図は本考案の第３の実施例の
側面断面図、第５図は本考案の第３の実施例の平
面図、第６図は本考案の第４の実施例の平面図、
第７図は本考案の第５の実施例の側面断面図、第
８図は本考案の第５の実施例の平面図、第９図は
ウエーハの搬送状態を表す概略図、第１０図は従
来の技術の側面断面図、第１１図は従来の技術の
平面図である。 １……ウエーハ、２……搬送ベルト、２ａ……
支持部。
図、第２図は本考案の第２の実施例の側面断面図
、第３図は第１及び第２の実施例における一使用
態様の平面図、第４図は本考案の第３の実施例の
側面断面図、第５図は本考案の第３の実施例の平
面図、第６図は本考案の第４の実施例の平面図、
第７図は本考案の第５の実施例の側面断面図、第
８図は本考案の第５の実施例の平面図、第９図は
ウエーハの搬送状態を表す概略図、第１０図は従
来の技術の側面断面図、第１１図は従来の技術の
平面図である。 １……ウエーハ、２……搬送ベルト、２ａ……
支持部。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 搬送ベルトで半導体ウエーハの周辺部を支持し
て搬送するウエーハ搬送装置であつて、 上記搬送ベルトのウエーハ支持部の断面形状を
内方へ凹入するよう傾斜させたことを特徴とする
半導体ウエーハ搬送装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14560486U JPS6351445U (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP14560486U JPS6351445U (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6351445U true JPS6351445U (ja) | 1988-04-07 |
Family
ID=31057298
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP14560486U Pending JPS6351445U (ja) | 1986-09-22 | 1986-09-22 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6351445U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014155006A1 (fr) * | 2013-03-28 | 2014-10-02 | Vit | Courroie pour installation de convoyage |
-
1986
- 1986-09-22 JP JP14560486U patent/JPS6351445U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2014155006A1 (fr) * | 2013-03-28 | 2014-10-02 | Vit | Courroie pour installation de convoyage |