JPH02295305A - 弾性表面波装置 - Google Patents
弾性表面波装置Info
- Publication number
- JPH02295305A JPH02295305A JP11771489A JP11771489A JPH02295305A JP H02295305 A JPH02295305 A JP H02295305A JP 11771489 A JP11771489 A JP 11771489A JP 11771489 A JP11771489 A JP 11771489A JP H02295305 A JPH02295305 A JP H02295305A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- line
- acoustic wave
- surface acoustic
- space ratio
- wave device
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000010897 surface acoustic wave method Methods 0.000 title claims abstract description 12
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 7
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000006185 dispersion Substances 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は弾性表面波装置に関する。
従来の弾性表面波装置は、第２図に示すように、交叉指
状電極１とグレーティング反射器２および３とのパター
ンを、おのおのライン幅Ｉ１とスペース幅Ｇとが同一に
なるように形成してある。
状電極１とグレーティング反射器２および３とのパター
ンを、おのおのライン幅Ｉ１とスペース幅Ｇとが同一に
なるように形成してある。
上述した従来の弾性表面波装置は、ライン幅Ｈとスペー
ス幅Ｇとが同一であるか、第２図に示すように、実際の
ライン・スペース比｝｛／（Ｈ十Ｇ）が製造バラツキな
どの原因により０． ５よりも小さい方に変化した場合
、損失が急激に増大すると共にそのばらつきも広がると
いう欠点をもつ。すなわち、実際のラインスペース比が
小さくなると損失の製造歩り留りか劣化して、品質低下
の大きな原因となる。
ス幅Ｇとが同一であるか、第２図に示すように、実際の
ライン・スペース比｝｛／（Ｈ十Ｇ）が製造バラツキな
どの原因により０． ５よりも小さい方に変化した場合
、損失が急激に増大すると共にそのばらつきも広がると
いう欠点をもつ。すなわち、実際のラインスペース比が
小さくなると損失の製造歩り留りか劣化して、品質低下
の大きな原因となる。
本発明の弾性表面波装置は、交叉指状電極とその両端外
方に配設したグレーティング反射器とを有する弾性表面
波装置において、前記交叉指状電極および前記グレーテ
ィング反射器のライン幅Ｆ｛およびスペース幅Ｇで定ま
るライン・スペース比｝１／（Ｈ十Ｇ）を０．５＜Ｈ／
（Ｈ十Ｇ）＜０．６の範囲内に設定してある。
方に配設したグレーティング反射器とを有する弾性表面
波装置において、前記交叉指状電極および前記グレーテ
ィング反射器のライン幅Ｆ｛およびスペース幅Ｇで定ま
るライン・スペース比｝１／（Ｈ十Ｇ）を０．５＜Ｈ／
（Ｈ十Ｇ）＜０．６の範囲内に設定してある。
第３図は本発明の一実施例の部分拡大図を含む上面図で
ある。弾性表面波共振器の交叉指状電極５、グレーティ
ング反射器５および６のライン・スペース比Ｈ／（Ｈ十
Ｇ）は、０．５＜Ｈ／（Ｈ＋Ｇ）＜０．６の範囲内に設
定されている。
ある。弾性表面波共振器の交叉指状電極５、グレーティ
ング反射器５および６のライン・スペース比Ｈ／（Ｈ十
Ｇ）は、０．５＜Ｈ／（Ｈ＋Ｇ）＜０．６の範囲内に設
定されている。
以上説明したように本発明は、弾性表面波共振器の交叉
指状電極およびグレーティング反射器のライン・スペー
ス比Ｈ／（Ｈ＋Ｇ）を０． ５ ＜ Ｈ ／（Ｈ＋Ｇ）
＜０．６の範囲内に設定することにより、第２図で明ら
かなように、ライン・スペース比の製造バラツキを生じ
ても損失劣化および損失ばらつきを従来装置よりも大幅
に改善できる効果をもつ。
指状電極およびグレーティング反射器のライン・スペー
ス比Ｈ／（Ｈ＋Ｇ）を０． ５ ＜ Ｈ ／（Ｈ＋Ｇ）
＜０．６の範囲内に設定することにより、第２図で明ら
かなように、ライン・スペース比の製造バラツキを生じ
ても損失劣化および損失ばらつきを従来装置よりも大幅
に改善できる効果をもつ。
これにより、製造条件が緩和されるばかりなく、製造り
歩留りの改善・品質の向上を図ることができる。
歩留りの改善・品質の向上を図ることができる。
第１図は本発明の実施例の上面図、第２図は従来の弾性
表面波装置の上面図、第３図はラインスペース比による
損失変化を示す特性図である。
表面波装置の上面図、第３図はラインスペース比による
損失変化を示す特性図である。
１，５・・・交叉指状電極、２，３，６．７・・・グレ
ーティング反射器。
ーティング反射器。
Claims (1)
- 交叉指状電極とその両端外方に配設したグレーティング
反射器とを有する弾性表面波装置において、前記交叉指
状電極および前記グレーティング反射器のライン幅Ｈお
よびスペース幅Ｇで定まるライン・スペース比Ｈ／（Ｈ
＋Ｇ）を０．５＜Ｈ／（Ｈ＋Ｇ）＜０．６の範囲内に設
定してあることを特徴とする弾性表面波装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11771489A JPH02295305A (ja) | 1989-05-10 | 1989-05-10 | 弾性表面波装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11771489A JPH02295305A (ja) | 1989-05-10 | 1989-05-10 | 弾性表面波装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02295305A true JPH02295305A (ja) | 1990-12-06 |
Family
ID=14718484
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11771489A Pending JPH02295305A (ja) | 1989-05-10 | 1989-05-10 | 弾性表面波装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02295305A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0993072A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-04-04 | Fujitsu Ltd | 表面弾性波フィルタ |
-
1989
- 1989-05-10 JP JP11771489A patent/JPH02295305A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0993072A (ja) * | 1995-09-26 | 1997-04-04 | Fujitsu Ltd | 表面弾性波フィルタ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP3001350B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH07283682A (ja) | 弾性表面波共振子フィルタ | |
| US4641055A (en) | Piezoelectric resonator with notched sides | |
| JPH02295305A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPS616917A (ja) | 電極幅の変化を用いた内部反射型一方向性弾性表面波変換器 | |
| JPS61192112A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPS5847090B2 (ja) | 弾性表面波フイルタ | |
| JPH0270114A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPS60140918A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPH01226207A (ja) | 弾性表面波素子 | |
| JPS62200814A (ja) | 弾性表面波共振子 | |
| JPH11205071A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH0818391A (ja) | 弾性表面波装置 | |
| JPH0215390Y2 (ja) | ||
| JP2539549B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPH033514A (ja) | ＬｉＴａＯ↓３圧電共振子 | |
| JP3340613B2 (ja) | 弾性表面波フイルタ | |
| JPH09294046A (ja) | トランスバーサル形弾性表面波バンドパスフィルタ | |
| JP2561454B2 (ja) | 弾性表面波フィルタ | |
| JPS57157614A (en) | Piezoelectric resonator using width and length vibration and filter | |
| JPH03261210A (ja) | Ｓａｗ共振子 | |
| JPH0548373A (ja) | 弾性表面波回路 | |
| JPS6224983Y2 (ja) | ||
| JPH01252015A (ja) | 弾性表面波トランスデューサ | |
| JPS6039909A (ja) | 表面弾性波装置電極形成方法 |