JPH0229566U - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0229566U JPH0229566U JP10791188U JP10791188U JPH0229566U JP H0229566 U JPH0229566 U JP H0229566U JP 10791188 U JP10791188 U JP 10791188U JP 10791188 U JP10791188 U JP 10791188U JP H0229566 U JPH0229566 U JP H0229566U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- printed
- misalignment
- detection
- pattern
- alignment mark
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 7
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
Description
第１図は本考案に係る印刷位置合せマークが印
刷された基板を示す平面図、第２図は要部を拡大
して示す平面図、第３図は他の実施例を示す平面
図、第４図は同じく他の実施例を示す平面図、第
５図は混成集積回路の製造プロセスを示す工程図
、第６図は従来の混成集積回路用基板の印刷位置
合せマークを示す平面図、第７図は同じく従来の
印刷位置合せマークの他の例を示す平面図である
。 １２…基板本体、１７…印刷位置合せマーク、
１７ａ…コ字状位置決め辺、１７ｂ…ずれ検出部
、１８ａ〜１８ｆ…ずれ検出用マーキング。
刷された基板を示す平面図、第２図は要部を拡大
して示す平面図、第３図は他の実施例を示す平面
図、第４図は同じく他の実施例を示す平面図、第
５図は混成集積回路の製造プロセスを示す工程図
、第６図は従来の混成集積回路用基板の印刷位置
合せマークを示す平面図、第７図は同じく従来の
印刷位置合せマークの他の例を示す平面図である
。 １２…基板本体、１７…印刷位置合せマーク、
１７ａ…コ字状位置決め辺、１７ｂ…ずれ検出部
、１８ａ〜１８ｆ…ずれ検出用マーキング。
Claims (1)
- 基板上に形成された印刷位置合せマークのずれ
検出部にずれ検出用マーキングが各パターン印刷
時に同時に印刷され、両者のずれにより各印刷パ
ターンのずれを検出する混成集積回路用基板の印
刷位置合せマークにおいて、前記ずれ検出部を前
記ずれ検出用マーキングの三辺と対向するコ字状
に形成し、このコ字状検出部を複数形成し全体を
略櫛状に形成したことを特徴とする混成集積回路
用基板の印刷位置合せマーク。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10791188U JPH0229566U (ja) | 1988-08-18 | 1988-08-18 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10791188U JPH0229566U (ja) | 1988-08-18 | 1988-08-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0229566U true JPH0229566U (ja) | 1990-02-26 |
Family
ID=31342755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10791188U Pending JPH0229566U (ja) | 1988-08-18 | 1988-08-18 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0229566U (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013504194A (ja) * | 2009-09-03 | 2013-02-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 印刷トラックをセンタリングするための方法 |
| JP2023120928A (ja) * | 2022-02-18 | 2023-08-30 | 三菱電機株式会社 | はんだ印刷位置測定方法、はんだ印刷位置測定装置およびプリント基板製品 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5083759A (ja) * | 1973-11-28 | 1975-07-07 | ||
| JPS6367147A (ja) * | 1986-09-10 | 1988-03-25 | Oki Electric Ind Co Ltd | スクリ−ン印刷位置合わせ方法 |
-
1988
- 1988-08-18 JP JP10791188U patent/JPH0229566U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5083759A (ja) * | 1973-11-28 | 1975-07-07 | ||
| JPS6367147A (ja) * | 1986-09-10 | 1988-03-25 | Oki Electric Ind Co Ltd | スクリ−ン印刷位置合わせ方法 |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013504194A (ja) * | 2009-09-03 | 2013-02-04 | アプライド マテリアルズ インコーポレイテッド | 印刷トラックをセンタリングするための方法 |
| JP2023120928A (ja) * | 2022-02-18 | 2023-08-30 | 三菱電機株式会社 | はんだ印刷位置測定方法、はんだ印刷位置測定装置およびプリント基板製品 |