JPH02296387A - アレイレーザ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明はアレイレーザに関するものである。

〔従来の技術〕

第２図は従来のアレイレーザチップの斜視図で、２つの
発光部を持つ場合の例である。図において、ｐ−〇ａＡ
ｓ基板（１）上にｎ　−ＧａＡｓ　ＩＪｉ流ブｏ７り層
（２）を例えば液相成長法で成長し、ストライプ状にブ
ロック層（２）の一部を２ケ所除去した後、　ｐ　−Ａ
ｎＧａＡｓ下クラッド層（３）、Ａ−ｇＧａＡ　Ｓ活性
７＃（４）、ｒｌ−ＡｆｆｌＧａＡｓ上クラッド層（５
り、ｎ−ＧａＡｓコンタクト層（６）を順をこ結晶成長
させたものである。ストライプ状（こ除去した部分の間
隔は、例えば１．００μｍ８度にする。コンタクト層（
６）上（こ電極（７）、基板側に電極（８）を形成し、
２つの発光部間を基板に達する分離溝（９）で分離して
いる。以上の様にしてできたウェハ結晶を、ストライプ
に直交する方向にへき開し、共振器端面ｕ０を形成する
。電極（８）Ｏこツーラス、電極（７）にマイナスの電
圧を印加すると、電流はブロック層（２）でストライプ
状（こ絞り込まれて、溝の上の活性層（４）は効率よく
注入される。活性層（４）で発光した光は共振器端面間
を往復する間（こ増幅され、共振器端面からチップ外（
こ出射する。ンーザチノプのｎ側は分離溝（９）で電気
的に分離されており、しかも、２つの発光部間隔は１０
０μｍ８度離れてい６ので、２つのエレメントが干渉す
ることなく、独立に発光させることができる。２つのビ
ームの出射位置は同一へき開平面内（こある。

第３図は上記アレイレーザを用いた従来の２ビーム追記
形光デイスク装置の要部構成を示す説明図で、アレイレ
ーザａυから出たレーザ光はコリメクレンズｑ諺を通過
して平行光になり、プリズム０３．ビームスプリンタα
夷、１／４波長板α・を通過後、対物ンンズａ力で集光
されて、直径１μｍ程度のスポツｍｌこなって光デイス
ク北上に照射される。

記録は記録すべき信号に応じて第２図に示すアレイレー
ザ０υのエンメント（ｌｌａ）をパルス駆動する。

アレイレーザエレメント（ｎａ）から例えは、ピーク光
出力３１３ｍＷの光パルスを出す。光学系（コリメータ
レンズ０２から対物レンズ（１７１まで）の透過率が例
えば３０憾であれは、ディスクＱ８１上には直径１μｍ
程度の範囲に９ｒｎＷの光が照射される。元ディスク囮
の記録面（こは、例えばＴｅ系の合金薄膜が塗布しであ
る。この合金薄膜θ）ブロスボットの出つ／こ所は光を
吸収し、急激Ｇこ発熱して合金薄膜が蒸発する。

光パルス（こ対応して記＠膜（こピント（穴）があき、
信号を記録することができる。

記録した情報の読み出しはアレイレーザエレメント（ｎ
ｂ）の出射光を用いて行う。アレイレーザエレメント（
Ｉｌｂ）をＤＣ駆動させ、例えば３ｍＷの光出力を出す
。光Ｃは記録時と同じ光学系を透過し、ディスク肋上（
こはｆｌ　、９　ｍｗの光が照射される。光はディスク
の記録面で反射され、反射光が対物レンズ（１？）、１
／４波長板α・、ビームスプリンタ０弔、レンズα０を
介して受光素子ＱｌｊＦこ入射する。光ディスク０８）
のビットのある部分とない部分とでは光の反射率が異な
る。このため、受光素子に入射する反射光量はビットの
有無（こ応じて変化する。この光ｔｉ化からヒントの有
無を検出することで、情報の読み出しをすることができ
る。

この従来の実施例では記録用レーザエンメント（ｌｌａ
）と再生用レーザエレメント（ｔｌｂ）を別々（こ設け
ているので一信号を記録しながら、連続して再生するこ
とができる。即ち、記録が正確Ｅこごきたかどうか、デ
ィスクの回転待ちなしくこ確認すること（実時間記＠誤
り検出）を実現できる。

第４図はこのアレイレーザの波長対光出力特性曲線図を
示す。記録ビームは上記のように例えば３０ｍＷで動作
させる。確認再生ビームは例えば３ｍＷで動作させる。

その時２つのビームの波長は、例えば５ｎｍ程度確認再
生ビームの方が長くなる。

通常、光学系は色収差を持っており、この色収差によっ
て記録用光スポットと確認再生用光スボントの焦点位置
がずれる。対物レンズによる像点のずれは、例えば５ｎ
ｍの波長変動で０．７５μｍ程度をこなる。この焦点ず
れ（こよって、いずれか−万のビームしか焦点が合わず
、記録あるいは再生特性が低下する。

〔発明が解決しようとする課題〕

従来のアレイレーザは以上のように構成されていたので
、記録用ビームと確認再生ビームとが。

出射方向に対し同一平面内にあるように構成されている
ため、２つのビームの波長差が光学系の色収差をこまっ
て焦点すれを引き起こすという問題点があった。

この発明は上記のような問題点を解消するため（こなさ
れたもので、記録時と確認再生時とで波長差による焦点
ずれの発生しない光デイスク用アレイレーザを得ること
を目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

この発明昏こ係るアノイＶ−ザは記録用レーザエレメン
トの光出射位置（共振器端面）と確認再生用Ｖ−ザエレ
メントの光出射位置とを出射方向にずらせるよう（こし
たものである。

〔作用］ この発明（こおける記録用Ｖ−ザエンメントの光出射位
置と確認再生用レーザエンメントの光出射位置との出射
方向のずれは、光学系（こよって生じる記録用ビームと
確認再生用ビームとの焦点位置差を打ち消す。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図（こついて説明する。第
１図に２いて、図中符号（１）〜Ｕ、Ｉは前記従来のも
のと同一である。即ち、図に示すように従来のものと異
なる点は確認再生用レーザビームの出射位置（共振器端
面）を、記録用レーザビームの出射位置より出射方向曇
こ対し、下げた点にある。

これを実現するには、確認再生用の共振器端面を例えば
、ＦＩＢ（集束イオノビーム）でエツチングしてやれば
よい。エンチング面はへき開面と同様に共握ミラーとし
て作用する。端面からエソチンダする深さは、２つのビ
ームの波長差によって生じるディスク面上での焦点ずれ
と、２つのビムの発光位置のずれによる焦点ずれとが互
い（こ打消し合う長さにすればよい。

この実施例で記録しながら確認再生を行うには、従来の
ものと同様、記録用ンーザエレメント（２０ａ）を記録
すべき信号に応じてパルス駆動（例えば光出力３１１ｍ
Ｗ）　Ｌ／、確認再生用ンーザエレメント（２０ｂ）を
ＤＣ駆動（例えば光出力３ｒｎＷ）する。記録用エレメ
ント（２０ａ）と確認再生用工Ｖメント（２０ｂ）から
出射される光ζこは、従来のものと同様、例えば５ｎｍ
の波長差がある。しかし、波長の長い確認再生用ビーム
の光出射位置が光学系に対し、記録用ビームよりも光学
系Ｑこ対して離れた位置にあるので、光学系が色収差を
もっていても、光学系を通過した後の焦点位置は揃うこ
とになる。

なお、上記実施例では追記形光ディスクの場合を例にと
って説明したが、書換形光ディスクの場合も上記と同様
の効果がある。

また、上記実施例では確認再生用ビームの発振波長の方
が長い場合について説明したが、記録用ビームの発振波
長が長い場合（こは、逆に、記録用エレメントの万をエ
ツチングして出射位置を下げればよい。

また、上記実施例ではＡ／？Ｇａ　Ａｓ系材料の７−ザ
の場合（こついて説明したか、ＡＩＫ；ａＡｓ系以外の
材料、例えばＩｎＧａＡｓ　Ｐ系、ＡｌｇａＩ　ｎ　Ｐ
系でも上記と同様の効果がある。

さらに、上記実施例ではＶ−ザ構造としてｐ基板を用い
た内部ストライブ形を例にあげｆこが、ｎ基板であって
も、他の７−ザ構造であっても上記と同様の効果がある
。

マタ、上記実施例ではエツチング方法としてＦＩＢを例
にあげたが、エンチング面がミラー面となるものであれ
ば、化学エンチング等地の方法でも上記と同様の効果が
ある。

さらｔこ、上記実施例では７−ザエＶメントの発光部付
近のみをエツチングした場合を示したが、基板も含めて
工Ｖメントの一部をそっくりエツチングしても、上記と
同様の効果がある。

〔発明の効果〕

以上のようにこの発明によれば、モノリンツクアフイレ
ーザの記録用ビームの出射位置と確認再生用ビームの出
射位置とを出射方向（こすらすように構成したので光学
系を何ら変更することなく、焦点位置ずれのないアノイ
レーザを安価に、Ｍ度良く得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例によるアンイレザチソプの
構造を示す斜視図、第２図は従来アレイレーザチンプの
構造を示す斜視図、第３図は従来の２ビーム追記形光デ
イスク装置の要部構成説明図、第４図は従来のアＶイン
ーザの波長−光出力の特性曲線図を示す。 図に８いて、（１）は基板、（２）は電流ブロフク層。 （３）は下クランド層、（４）は活性層、（５）は上ク
ラッド層、（６）はコンタクト層、（７）１８）は電極
、（９）ｃま分離溝、けＱは共振器端面、（２１１ａ）
は記録用レーザエレメント、（Δｌｂ）は確認再生用Ｖ
−ザエンメントを示す。 なお、図中、同一符号は同一、又Ｏ′ｉ相当部分を示す
０

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 同一チップ内に２つ以上の発光部を有し、２つ以上のレ
   ーザビームを出射するモノリシックアレイレーザにおい
   て、少なくとも１つ以上のレーザビームの出射位置をビ
   ームの出射方向に対してずらせたことを特徴とするアレ
   イレーザ。