JPH02298677A - クライオポンプのリリーフ弁排気構造 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ［産業上の利用分野］ この発明はクライオポンプのリリーフ弁排気構造に関す
るものである。

〔従来の技術］ 第２図は従来のクライオポンプのリリーフ弁排気構造を
示す縦断側面図である。図において、（１）はリリーフ
弁ポート、　（２）はダクトコネクター、（３）はリリ
ーフ弁ポート（１）とダクトコネクター（２）とを接続
するネジ、（４）は排気用ダクト、（５）はリリーフ弁
で、内筒（５ａ）、０リング（５ｂ）、周囲に孔（５ｇ
）をもっ外筒（５ｃ）　、Ｏリング（５ｄ）　、中子（
５ｅ）、バネ（５ｆ）により構成されている。

次に動作を説明する。

クライオポンプは気体分子を極低温面（２０゜Ｋ以下）
に凝縮又は吸着させて補足する通常の排気をもたないた
め込式真空ポンプである（図示せず）。したがって能力
以上に気体分子をため込んだときは温度上昇をさせガス
の放出をさせる（これをクライオ再生と呼ぶ）。このと
きポンプ内圧が上昇するので、リリーフ弁（５）で排気
ガスとして逃がしてやる必要が°ある。第２図において
通常はクライオ本体側の（Ｘ）点では真空状態で、（Ｙ
）点では大気の状態である。そしてバネ（５ｆ）により
与圧として中子（５ｅ）を押し、内筒（５ａ）とＯリン
グ（５ｄ）および０リング（５ｂ）とでシールしている
。

今、上記クライオ再生時又は異常時に補足したガスが放
出される時、クライオポンプ本体の内圧が上昇し、大気
圧プラスバネ（５ｆ）の与圧により大きい値となったと
き、リリーフ弁（５）は中子（５ｅ）がバネ（５ｆ）に
抗して移動して開き、矢印にそってガスが流れ、外筒（
５Ｃ）の孔（５ｇ）を通って排出される。

このとき異物が０リング（５ｄ）にかみ込み、クライオ
ポンプを再び動作させるときリークを起こす場合が多々
発生する。このときは通常４コついているネジ（３）を
緩め、リリーフ弁（５）内を掃除する。そしてネジ（３
）で再び組み上げるまた、約１００００８ｒ毎に定期オ
ーバーホールを実施するときも、ネジ（３）を外して予
備のクライオポンプと入れ替えて組み上げる。

［発明が解決しようとする課題］ 上記のような従来のクライオポンプのリリーフ弁排気構
造では、ダクトコネクター（２）の取付けがネジ（３）
で行われているので、ダクトコネクター（２）の取付作
業が少し困難であるし、またネジ（３）の紛失やクライ
オポンプが国産品輸入品と混入していて取付ピッチが同
じでネジサイズがメートルネジとインチネジと異なる為
にネジの管理が困難でメネジのネジ山をつぶして締付不
良を発生させ、ダクトコネクター（２）を完全にリリー
フ弁ポート（１）に固定しなかったり、最悪締付作業が
面倒と外した状態で使用している場合が発生するが、こ
のようなときリリーフ弁（５）が正常に動作している限
り装置としての異常とはならないためにネジ（３）の締
付作業の異常の発見は定期オーバーホール間隔が長いた
め困難であり、もし排気ガスが有害なガスの場合排気さ
れるタライオボンブ周辺に充満し人災の恐れがあるなど
の問題点があった。

この発明は上記のような従来の問題点を解消するために
なされたもので、リリーフ弁ポートにダクトコネクター
をネジ締付でない方式で簡単確実に着脱できかつ安全性
が向上するクライオポンプのリリーフ弁排気構造を得る
ことを目的とする。

［課題を解決するための手段］ 上記目的を達成するために、この発明に係るクライオポ
ンプのリリーフ弁排気構造は、タライオボンブ再生用の
リリーフ弁と、このリリーフ弁とクライオポンプの排気
側とをつなぐリリーフ弁ポートと、このリリーフ弁ポー
トに一体的に形成されるかまたはネジで固定される取付
座と、この取付座の合せ面に突設した位置決めピンと、
前記リリーフ弁からの排気ガスを排出するダクトと、こ
のダクトに接続されかつ前記位置決めピンが嵌合される
ピン穴を合せ面に有するダクトコネクターと、前記両合
せ面間に介在したシール材と、前記リリーフ弁ポートに
前記ダクトコネクターをワンタッチで着脱できる胸式固
定具とを備えたものである。

［作用］ この発明においては、胸式固定具を備えているのでダク
トコネクターをリリーフ弁ポートにワンタッチで着脱で
きるし、両者の固定も確実に行われる。

［実施例１ この発明の一実施例を第１図について説明する。第１図
は縦断側面図であり、前記従来のものと同一または相当
部分には同一符号を付して説明を省略する。図において
、（６）はリリーフ弁ポート（１）のフランジ部（１ａ
）にネジ（３）により固定される取付座、（７）は取付
座（６）の合せ面（６ａ）に植設された位置決めピン、
（８）はダクトコネクター（２）の合せ面（２ａ）に穿
設されたピン穴で、位置決めピン（７）に対応するよう
に配設されている。（９）は両合せ面（２ａ）、（６ａ
）間に介在させたシール材、（１０）は胸式固定具で、
一方の鈎状部材（１０ａ）が取付座（６）の外周面に取
付けられかつ他方の環状部材（１０ｂ）がレバー（１０
ｃ）によりダクトコネクター（２）の外周面に取付けら
れているこのように胸式固定具（ｌＯ）を備えると、レ
バー（１０ｃ）によるワンタッチ操作によりダクトコネ
クター（２）をリリーフ弁ポート（１）に着脱できるし
、両者の固定も強固確実に行われる。ダクトコネクター
（２）をリリーフ弁ポート（１）に取付けるとき、位置
決めピン（７）がダクトコネクター（２）の位置決めを
するので、鈎状部材（１０ａ）に対して環状部材（１０
ｂ）の位置が自動的に決まり、胸式固定具（１０）の操
作に支障をきたすことがない。

上記実施例では取付座（６）を別体としてネジ（３）に
よりリリーフ弁ポート（１）のフランジ部（１ａ）に一
体内に固定するものを示したが、取付座（６）をリリー
フ弁ポート（１）に一体内に形成する、すなわちフラン
ジ部（１ａ）を取付座（６）とするようにしてもよい、
この場合、構造が簡略になって小形になり、狭い場所で
も確実な作業ができる。

［発明の効果］ 以上のように、この発明によればリリーフ弁ポートは従
来品を使い、かつダクトコネクターとの接続にはトラブ
ルの原因となるネジを使用しないため、ダクトコネクタ
ーのリリーフ弁ポートへの着脱作業が簡単にできると共
にダクトコネクターの取付は不具合いをも一掃でき、安
全性が確保できるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例を示す縦断側面図、第２図
は従来のリリーフ弁排気構造を示す縦断側面図である。 図において、（１）はリリーフ弁ポート、（２）はダク
トコネクター、（２ａ）は合せ面、（３）はネジ、（４
）はダクト、（５）はリリーフ弁、（６）は取付座、（
６ａ）は合せ面、（７）は位置決めピン、（８）はピン
穴、（９）はシール材、（ｌＯ）は胸式固定具を示す。 なお、図中同一符号は同一または相当部分を示す。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）クライオポンプ再生用のリリーフ弁、このリリー
   フ弁とクライオポンプの排気側とをつなぐリリーフ弁ポ
   ート、このリリーフ弁ポートに一体的に形成されるかま
   たはネジで固定される取付座、この取付座の合せ面に突
   設した位置決めピン、前記リリーフ弁からの排気ガスを
   排出するダクト、このダクトに接続されかつ前記位置決
   めピンが嵌合されるピン穴を合せ面に有するダクトコネ
   クター、前記両合せ面間に介在したシール材、および前
   記リリーフ弁ポートに前記ダクトコネクターをワンタッ
   チで着脱できる鈎式固定具を備えたことを特徴とするク
   ライオポンプのリリーフ弁排気構造。