JPH02298908A

JPH02298908A - ミラーのアライメント及びダンピング装置

Info

Publication number: JPH02298908A
Application number: JP2075380A
Authority: JP
Inventors: Michael Daun; マイケル　ドーン; Robert R Badeau; ロバート　アール　バドー; Jack G Kisslinger; ジャック　ジー　キッスリンガー
Original assignee: Nicolet Instrument Corp
Current assignee: Thermo Electron Scientific Instruments LLC
Priority date: 1989-03-24
Filing date: 1990-03-23
Publication date: 1990-12-11
Also published as: EP0389115A1; US5276545A

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、広くは、フーリエ変換干渉分光計（Ｆｏｕｒ
ｉｅｒ　ｔｒａｎｓｆｏｒｎ＋　ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｍ
ｅｔｒｉｃ　ｓｐｅｃｔｒｏ−ｍｅ　ｔｅｒ）に使用さ
れるミラーアライメントの分野に関し、より詳しくは、
フーリエ変換干渉分光計の固定ミラーと移動ミラーとの
間の直交性を維持するためのミラーアライメント装置に
関する。

化合物の分析を行うのに、フーリエ変換赤外干渉分光計
（ＦＴＩＲ）が広く使用されている。これらの機器は、
赤外線スペクトルの種々の波長における未知サンプルに
よる赤外線の吸収を測定して、その結果を既知の基準と
比較することにより、未知のサンプルの化学的組成に関
する有効な情報を発生する。典型的なＦＴＩＲ分光計に
おいては、赤外線発射源からの赤外線が集められ、干渉
計及び分析すべきサンプルに通され、赤外線検出器上に
焦点合わせされるようになっている。干渉計は、サンプ
ルと協働して、検出器に衝突する赤外線の強さを変調し
て、時変強度信号を形成する。検出器の機能は、この時
変強度信号を対応する時変電流に変換することである。

次に、この時変電流は時変電圧に変換される。また、こ
の時変電圧はＡＤ変換器に印加されて、分光計に接続さ
れたプロセッサにより処理すべき一連のデジタル数とし
て記憶される。

ＦＴＩＲ分光計の１つの重要な特徴は、サンプルの研究
用機器により使用される分析放射線（ａｎａｌｙ−ｔｉ
ｃａｌ　ｒａｄｉａｔｉｏｎ）を変調する移動ミラーエ
レメントにある。移動ミラーは時間領域干渉写真（ｔｉ
ｍｅ−ｄｏｍａｉｎ　ｉｎｔｅｒｆｅｒｏｇｒａｍ）を
形成することができ、この時間領域干渉写真を分析すれ
ば、高分解能周波数領域スペクトル（ｈｉｇｈ　ｒｅｓ
ｏｌｕｔｉｏｎ　ｆｒｅｑｕｅｎ−ｃｙ−ｄｏｍａｉｎ
　５ｐｅｃｔｒａ）を形成することができる。また、コ
ンピュータがデータのフーリエ変換を行い、スペクトル
エネルギ対周波数を示すスペクトルを形成するようにな
っている。

これらの機器の設計において重要なことは、移動ミラー
の表面が、固定ミラーと、移動ミラーの移動方向との双
方に対して直交位置（すなわち、直角）を占めるように
、非常に正確に保持しなければならないことである。ミ
ラーの位置精度は非常に重要である。なぜならば、ミラ
ーのアライメントに偏差（ｄｅｖｉａｔｉｏｎｓ）があ
ると、時間領域干渉写真に僅かな誤差を生じさせ、これ
が、周波数領域スペクトルにおいて大きな誤差に変換さ
れるからである。一般的な干渉計においては、ミラーの
アライメント偏差が、使用される分析放射線の１波長よ
り大きいことは重大な意味をもち、機器全体の性能を大
きく低下させてしまうことになる。

通常、ミラーのアライメント（整合性）は、エアヘアリ
ングのような高精度ベアリングでミラーを支持し、ベア
リングを所望の精度に整合させることにより行われてお
り、一般にこの整合作業は、手動調節される種々のねじ
を用いて移動ミラーをできる限り正確に整合させること
により行われる。

この作業には、高度の熟練を要する時間のかかる手順が
必要になる。また、製造コストが高いことに加え、頻繁
な再整合（リアライメント）が必要であるため、現場サ
ービスコストも高くなる。更に、極めて精度の高いベア
リングを使用しなければならないが、このベアリングは
非常に高価なものである。

これまでに、高精度ベアリングを手動で整合させる必要
性を無くす努力がなされている。これにより、依然とし
て高精度ベアリングの使用が必要であるけれども、静的
アライメント（ｓｔａｔｉｃ　ａｌ−ｉｇｎｍｅｎｔ）
の自動化により、時間のかかる再整合作業からユーザの
煩わしさが少しは緩和されるようになっている。例えば
、移動ミラーを自動整合させる成る装置では、ステッパ
モータを用いて、手動整合手順の自動化シミュレーショ
ンをほぼ達成している。一般にこれらの装置は、コンピ
ュータを使用して、周期的なサービス間隔で静止ミラー
のアライメントをとるように構成されている。これらの
装置の欠点は、低速で、大型で、高コストであることに
加え、依然として高精度ベアリングに依存していること
である。

高精度ベアリングの使用を無くす試みは、これまでのと
ころ殆ど成功していない。移動ミラーがそのエアベアリ
ング上で移動するときの移動ミラ−の傾動を補償するの
に、移動ミラー又は固定ミラーのいずれかを動的に傾斜
させる試みは、親ねし及びステンパモータに基づく機構
で容易に得られる速度以上の速度を必要とする。

ミラーの傾斜を動的に調節することにより、不正確な支
持を矯正し、所望のアライメントを得ることを正確に行
うのは困難である。従来技術によるこのような調節装置
は、非常に高価で、低速で、高張ると共に、性能が劣る
ものである。例えば、成る装置は圧電ポジショナを用い
てミラーの傾斜を動的に調節するように構成されている
。しかしながら、圧電ポジショナは、大きく、高価であ
ると共に、１，０００　Ｖの駆動電圧を必要とする。大
きくて高価であることに加え、このような高電圧を発生
させる電源は、作動上の好ましからざる障害をもたらす
ことになる。

従って本発明の目的は、正確で、高速で、低コストでコ
ンパクトなミラー傾動機構であって、既存の干渉計の設
計に容易に組み込むことができ、かつ静的又は動的条件
下でのミラーアライメントの自動制御に使用でき、従っ
て、高精度ベアリングへの依存性及び周期的な現場での
再整合の必要性の両方を無（すことができるミラー傾動
機構を提供することにある。また、本発明によれば、コ
ンピュータ制御下で干渉分光計を静的に整合させること
にも使用できるミラー傾動機構が提供される。

本発明の磁力傾動装置は、干渉計のミラーを動的に整合
させて所望の直交性を得るように構成されている。本発
明のミラーアライメント装置は、剛性のある中央の支持
ユニットと、可撓性のあるゴム状ダンパ一部材と、複数
の電磁力発生ユニットとを有している。これらの電磁力
発生ユニットはオーディオ用のボイスコイルで構成する
ことができ、ミラーの独立的な直交傾動（ｏｒ　ｔｈｏ
ｇｏｎａ　１ｔｉｌｔｉｎｇ）が行えるように垂直軸線
に沿って配置するのが好ましい。各ボイスコイルは、環
状の磁界内に置かれる巻回されたワイヤコイルを備えて
いる。環状の磁界は、永久磁石を、軟鉄製の磁極片（ｐ
ｏｌｅ　ｐｉｅｃｅ）及び軟鉄製のハウジングと組み合
わせることにより形成される。中央の支持体は、その一
端がミラー支持体（該ミラー支持体上にミラーが取り付
けられる）に剛接されており、その他端が、全組立体を
支持するハウジングユニットに剛接されている。この中
央の支持体は、ミラー支持体とハウジングとを固定連結
する機能を有している。

本発明はコースチルト調節（ｃｏｕｒｓｅ　ｔｕｔ　ａ
ｄｊ−ｕｓｔ）の特徴を利用しており、静的調節をする
間のミラーの粗いアライメント調節（すなわち、磁気ト
ラベル（ｍａｇｎｅｔｉｃ　ｔｒａｖｅｌ）の範囲内で
ミラーの中心合わせを行うこと）に、このコースチルト
調節を使用している。軟鉄製の各磁極片は、それぞれの
コイルを通るように螺合していて、コイルから突出する
度合又はコイル内に引っ込められる度合を変化させて調
節できるようになっている。磁極片と永久磁石との間の
電磁的吸引力又は反発力を調節することにより、コース
チルト調節を行うことができる。

本発明の他の目的、特徴及び利点は、添付図面に関連し
て述べる以下の詳細により明らかになるであろう。

第１図及び第２図には、干渉計のミラーアライメントを
静的及び動的に矯正して所望の直交性を得るのに好まし
く使用できる、本発明によるミラーの傾動及びダンピン
グ（Ｎ衰）装置が示されている。ミラー傾動装置（その
全体を番号１０で示す）はベース１２を有しており、該
ベース１２は、スタンドオフ（離隔部材）１６を介して
ミラー組立体１４に連結されている。

ベース１２は、全体として矩形をなしている剛性のある
板状構造体であり、ミラー組立体１４を支持するのに使
用される。ベース１２は、鋼又は軟鉄のような任意の磁
性材料で形成されている。

このベース１２は、ミラー組立体１４を干渉計に取り付
けることができるように設計されているため、ベース１
２にも、ミラー組立体１４をベース１２に取り付ける手
段、例えば取付は孔１８を設けておき、この取付は孔１
８にねし又はボルトのような取付は装置（図示せず）を
通すことができるように構成するのが好ましい。

スタンドオフ１６は、弾性のある可撓性支柱２０により
分離された上ディスク１７及び下ディスク１９で構成さ
れており、これらのエレメント１７．１９．２０は一体
に形成するのが好ましい。

例えば、このスタンドオフ１６はステンレス鋼で形成す
ることができ、支柱２０は充分に細くて（例えば直径０
．１２５　Ｓン（約３．１ｂｎ＋）　）　、僅かに撓む
（すなわち曲がる）ことができ、かつ初期位置に弾性的
に戻ることができるようになっている。

下ディスク１９は、ベース１２の中心に配置されていて
、ねじ等の緊締手段（図示せず）によりベース１２に取
り付けられている。好ましくは粘弾性材料で構成された
カラー２２がスタンドオフ１６の周囲に嵌着されており
、該カラー２２は、後述するようにミラー傾動装置１０
のダンピング手段として機能する。

スタンドオフ１６の最上部すなわち上ディスク１７は、
ねじ等の緊締手段（図示せず）によりミラー組立体１４
に固定されている。ミラー組立体１４は、ミラー支持体
２４と、ミラー２６とを備えており、ミラー支持体２４
は軟鋼で形成するのが好ましい。ミラー２６は、従来知
られている方法により、輝きのある鏡面仕上げが施され
ている。

ミラー支持体２４とミラー２６との間にはスペーサ２８
が介在されている。このスペーサ２８は、ミラー２６及
びミラー支持プレート（ミラー支持体）２４に接着する
ことができる。また、このスペーサ２８は、プレート２
４を貫通してミラー２６の背面に蝶着されるねじで構成
することもできる。ミラー２６とプレート２４との間の
空間には、接着剤又は注封材料（第２図には図示せず）
を充填してお（ことができる。

第２図に示すように、ミラー組立体１４からベース１２
を分離することにより、キャビティ３０が形成されてい
る。ベース１２とミラー組立体１４との間において、キ
ャビティ３０内には４つの電磁石ユニット３２．３４．
３６．３８が取り付けられており、これらの電磁石ユニ
ットは、スタンドオフ１６を中心とする正方形の４つの
コーナに配置するのが好ましい。電磁石ユニット３２．
３４．３６．３８は、これらの電磁石ユニットが取り付
けられた位置において、ミラー支持プレート２４とベー
ス１２との間に所望レベルの吸引力又は反発力が発生す
るように制御することができる。図示の実施例は４つの
電磁石ユニットを使用しているが、４つより多い（又は
少ない）任意の数の電磁石ユニットを設けることは本発
明の範囲内のことである。電磁石ユニット３２．３４．
３６．３８には、ラウドスピーカに使用されているボイ
スコイルと同様なボイスコイル４ｏを設けるのが好まし
い。各ボイスコイル４ｏは銅線の巻回コイルで構成し、
該巻回コイルは、ベース１２の上面に取り付けて、周囲
の磁界内に置かれるようにするのが好ましい。各電磁石
ユニットに対しては、ミラー支持体２４の下面に取り付
けられた永久磁石４２からの周囲の磁界が作用すると同
時に、軟鉄型の磁極片４４からの周囲の磁界も作用する
ようになっている。磁極片４４は、ベース１２に形成さ
れたボア４６に螺合していて、コイル４ｏの中央に配置
されたコア４８を通って延在している。

永久磁石４２はネオジムで作るのが好ましい。ネオジム
は優れた磁気特性をもつ希土類金属であり、鉄で作られ
た他の多くの一般的な永久磁石よりも軽量な永久磁石を
作ることができる。

コイル４０の巻線に電流を流すと、永久磁石４２と電磁
石との磁界により、コイル４０と永久磁石４２との間に
はリニアな吸引力又は反発力が生じる。この力は、スタ
ンドオフ１６及びダンピングカラー２２により及ぼされ
る拘束力を受けるミラー支持体２４の、ベース１２に対
する傾斜を調節するのに使用される。

スタンドオフ１６は、ミラー支持体２４とベース１２と
の間の確実な連結部を構成している。スタンドオフ１６
の剛性は、次の点で本発明の重要なポイントとなるもの
である。すなわち、スタンドオフ１６は、コイル４０に
信号が伝達されるとき、スタンドオフ１６の中央の支柱
２０の増分曲げ（ｉｎｃｒｅｍｅｎｔａｌ　ｂｅｎｄｉ
ｎｇ）の大きさがほんの数波長のミラー移動に等しくな
るように、スタンドオフ１６がミラー支持体２４の運動
を拘束できる剛性をもつように構成する。これにより、
正確でない支持を矯正するのに、より大きな潜在的傾動
能力が必要とされる。

各磁極片４４にはポア４６のねじと螺合するねじが形成
されていて、磁極片４４が永久磁石４２に近づく方向又
は離れる方向に調節できるようになっている。特定の磁
極片４４とこの磁極片に対応する永久磁石４２との間に
作用する磁力（吸引力又は反発力）により磁極片４４が
調節されるとき、ミラー支持体２４が移動する。例えば
、特定の磁極片４４とこれに対応する永久磁石４２との
間の磁力が吸引力であるとき、この吸引力は、特定の磁
極片４４とこれに対応する永久磁石４２との間のギャッ
プが小さくなるにつれて増大する。

従って、この調節自在な磁極片４４は、ミラーの傾斜を
機械的に変化させる手段を構成する。磁極片４４により
行われる調節は、ミラー２６の粗いアライメント調節（
すなわち、磁気トラベルの範囲内でのミラー２６の中心
合わせ）を行う°ための初期静的調節（ｉｎｉｔｉａｌ
　５ｔａｔｉｃ　ａｄｊｕｓｔｍｅｎｔ）としての役割
を有している。次に、前述のようにしてコイル４０に適
当な電流を流すことにより、アライメントの「微調節」
を行うことができる。磁極片４４の端部と永久磁石４２
との間のギャップサイズは厳格でないため、組み立て公
差及び機械加工公差は緩やかでよい。

第３図は、スタンドオフ１６に関連して使用されるダン
ピングカラー２２の分解斜視図である。

カラー２２は中空のコア５０を備えており、該コア５０
がスタンドオフ１６上に嵌合されるようになっている。

また、カラー２２は、ベース１２とミラー支持体２４と
の間でサンドインチされ、圧縮された状態で所定位置に
保持される。カラー２２は中実片で作ることができるし
、複数のワッシャで構成してもよいが、粘弾性の衝撃吸
収材料すなわち振動吸収材料で形成するのが好ましい。

カラー２２の好ましい組成は、例えば、Ｃａｂｏｔ　Ｃ
−ｏｒｐｏｒａｔｉｏｎ社（インジアナ州、インジアナ
ポリス）のＥ−Ａ−Ｒディビジョンから市販されている
Ｅ−Ａ−ＲＣ−１００２熱可塑性プラスチツクのような
エネルギ吸収熱可塑性複合材料である。

かくして本発明によれば、従来のミラー傾動装置よりも
製造が容易で、サイズが小さく、信顛性が大きく、応答
速度が速いミラー傾動及びダンピング装置が提供される
。本発明は、静的及び動的の両ミラーアライメントを容
易に行うことができ、移動ミラーのガイドに高精度ベア
リングを使用しているか否かとは無関係に、はぼあらゆ
る設計の干渉計の性能を向上させるのに使用することが
できる。本発明によるミラー傾動装置は、移動ミラーの
動的矯正を行うのに充分な数百ヘルツの応答速度を容易
に得ることができる。従来の装置では、その大きなマス
のため非常に大きな慣性力が加わることを理由に、干渉
計の移動ミラーには連結されていないけれども、そのよ
うな従来の装置とは異なり、本発明は、移動ミラー又は
固定ミラーのいずれにも容易に使用することができる。

また、本発明の原理は、上記形式のＦＴＩＲ干渉計以外
の種々の干渉計に４適用できるし、ミラーアライメント
及びミラーダンピングを採用する他の種々の例にも適用
することができることが理解されよう。

従って、本発明は、以上図示しかつ説明した特定の構造
及び配置に限定されるものではなく、本発明のそのよう
な変更形態は本願の特許請求の範囲に含まれるものと理
解すべきである。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本発明によるミラー傾動装置の平面図である
。第２図は、第１図の２−２線に沿う断面図である。第３図は、スタンドオフ及び粘弾性ダンパーの分解斜視
図であり、ダンパーにスタンドオフを挿入する状態を示
すものである。１０・・・ミラー傾動装置、１２・・・ベース、１４・・・ミラー組立体、１６・・・スタンドオフ、１７・・・スタンドオフの上ディスク、ｌ８・・・取付
は孔、１９・・・スタンドオフの下ディスク、２０・・・スタ
ンドオフの支柱、２２・・・カラー、２４・・・ミラー支持体（ミラー支持プレート）、２６
・・・ミラー、２８・・・スペーサ、３０・・・キャビティ、３２．３４．３６．３８・・・電磁石ユニット、４０・
・・ボイスコイル、４２・・・永久磁石、４４・・・磁極片、４６・・・ボア、４８・・・コア。

Claims

【特許請求の範囲】

（１）干渉計のミラーを整合させるミラー傾動装置にお
いて、（ａ）ベースユニットと、（ｂ）ミラー支持体と、（ｃ）該ミラー支持体に力が加えられたときに、初期位
置の回りでミラー支持体を弾性的に枢動できるように、
前記ベースユニットにミラー支持体を取り付ける手段と
、（ｄ）前記ベースユニットと前記ミラー支持体との間に
配置された複数の電磁力発生ユニットとを有しており、
各電磁力発生ユニットが、永久磁石と、前記ミラー支持
体の傾斜を調節すべく電流により付勢されるコイルと、
前記永久磁石に向かって前進する方向又は遠ざかる方向
に調節できるように取り付けられた磁極片とを備えてお
り、該磁極片と前記永久磁石との間で作用しかつ磁極片
の調節により変化される磁力により、前記ミラー支持体
の初期方向を調節できるように構成したことを特徴とす
る干渉計のミラーを整合させるミラー傾動装置。
（２）前記磁極片が前記ベースユニットに設けられたボ
アに螺合していて、磁極片のそれぞれのボア内で磁極片
を回転することにより磁極片の調節を行うことができる
ように構成したことを特徴とする請求項１に記載の装置
。
（３）前記ベースユニットに前記ミラー支持体を取り付
ける前記手段が、前記ベースユニットと前記ミラー支持
体との間で中央に配置された弾性的な可撓性をもつ中央
支柱を備えたスタンドオフであり、前記ベースユニット
と前記ミラー支持体との間の分離により、前記電磁力発
生ユニットを受け入れるキャビティが形成されているこ
とを特徴とする請求項１に記載の装置。
（４）前記ミラー支持体と前記ベースユニットとの間に
配置されたダンピング手段を更に有していることを特徴
とする請求項３に記載の装置。
（５）前記ダンピング手段が、前記スタンドオフを包囲
しかつ前記ベースユニットから前記ミラー支持体を分離
するカラーを備えており、該カラーが粘弾性をもつ衝撃
吸収材料で作られていることを特徴とする請求項４に記
載の装置。
（６）前記カラーがエネルギ吸収熱可塑性プラスチック
で作られていることを特徴とする請求項５に記載の装置
。
（７）前記カラーが、圧縮力により、前記ミラー支持体
と前記ベースユニットとの間の所定位置に保持されてい
ることを特徴とする請求項５に記載の装置。
（８）前記複数の電磁力発生ユニットが、前記スタンド
オフからの垂直軸線に沿って配置されていることを特徴
とする請求項３に記載の装置。
（９）前記スタンドオフからの垂直軸線に沿って４つの
電磁力発生ユニットが配置されていることを特徴とする
請求項３に記載の装置。
（１０）前記永久磁石がネオジムからなる永久磁石であ
ることを特徴とする請求項１に記載の装置。
（１１）前記複数の電磁力発生ユニットが、前記スタン
ドオフからの垂直軸線に沿って配置された４つのコイル
構造体を備えており、これらのコイル構造体のうちの互
いに対向する対をなすコイル構造体の巻線は、１対のコ
イル構造体を通って流れる電流により前記ミラー支持体
を１つの軸線内で傾動させ、同時に、他の対のコイル構
造体を通って流れる電流により前記ミラー支持体を１つ
の直交軸線内で傾動させることができるように、互いに
接続されていることを特徴とする請求項３に記載の装置
。
（１２）干渉計のミラーを整合させるミラー傾動装置に
おいて、（ａ）ベースユニットと、（ｂ）ミラー支持体と、（ｃ）該ミラー支持体に力が加えられたときに、初期位
置の回りでミラー支持体を弾性的に枢動できるように、
前記ベースユニットにミラー支持体を取り付ける手段と
、（ｄ）前記ベースユニットと前記ミラー支持体との間に
配置された複数の電磁力発生ユニットとを有しており、
各電磁力発生ユニットが、永久磁石と、前記ベースユニ
ットに対する前記ミラー支持体の傾斜を調節すべく電流
により付勢されるコイルとを備えており、（ｅ）前記ミラー支持体と前記ベースユニットとの間に
配置されたダンピング手段を更に有していることを特徴
とする干渉計のミラーを整合させるミラー傾動装置。
（１３）前記ベースユニットに前記ミラー支持体を取り
付ける前記手段が、前記ベースユニットと前記ミラー支
持体との間で中央に配置された弾性的な可撓性をもつ中
央支柱を備えたスタンドオフであり、前記ベースユニッ
トと前記ミラー支持体との間の分離により、前記電磁力
発生ユニットを受け入れるキャビティが形成されている
ことを特徴とする請求項１２に記載の装置。
（１４）前記ダンピング手段が、前記スタンドオフを包
囲しかつ前記ベースユニットから前記ミラー支持体を分
離するカラーを備えており、該カラーが粘弾性をもつ衝
撃吸収材料で作られていることを特徴とする請求項１２
に記載の装置。
（１５）前記カラーがエネルギ吸収熱可塑性プラスチッ
クで作られていることを特徴とする請求項１４に記載の
装置。
（１６）前記カラーが、圧縮力により、前記ミラー支持
体と前記ベースユニットとの間の所定位置に保持されて
いることを特徴とする請求項１４に記載の装置。
（１７）前記複数の電磁力発生ユニットが、前記スタン
ドオフからの垂直軸線に沿って配置されていることを特
徴とする請求項１２に記載の装置。
（１８）前記スタンドオフからの垂直軸線に沿って４つ
の電磁力発生ユニットが配置されていることを特徴とす
る請求項１３に記載の装置。
（１９）前記複数の電磁力発生手段が、環状の磁界内に
置かれたワイヤコイルの巻線からなるコイルであること
を特徴とする請求項１２に記載の装置。
（２０）前記永久磁石がネオジムからなる永久磁石であ
ることを特徴とする請求項１２に記載の装置。
（２１）前記電流が、前記複数の電磁力発生ユニットの
巻線に流され、これらの複数の電磁力発生ユニットと前
記環状の磁界との間にリニアな吸引力又は反発力を生じ
させるように構成したことを特徴とする請求項１２に記
載の装置。
（２２）前記複数の電磁力発生ユニットが、前記スタン
ドオフからの垂直軸線に沿って配置された４つのコイル
構造体を備えており、これらのコイル構造体のうちの互
いに対向する対をなすコイル構造体の巻線は、１対のコ
イル構造体を通って流れる電流により前記ミラー支持体
を１つの軸線内で傾動させ、同時に、他の対のコイル構
造体を通って流れる電流により前記ミラー支持体を１つ
の直交軸線内で傾動させることができるように、互いに
接続されていることを特徴とする請求項１３に記載の装
置。
（２３）干渉計のミラーを整合させるミラー傾動装置に
おいて、（ａ）ベースユニットと、（ｂ）ミラー支持体と、（ｃ）該ミラー支持体に力が加えられたときに、初期位
置の回りでミラー支持体を弾性的に枢動できるように、
前記ベースユニットにミラー支持体を取り付ける手段と
、（ｄ）前記ベースユニットと前記ミラー支持体との間に
配置された複数の電磁力発生ユニットとを有しており、
各電磁力発生ユニットが、永久磁石と、前記ミラー支持
体の傾斜を調節すべく電流により付勢されるコイルと、
前記永久磁石に向かって前進する方向又は遠ざかる方向
に調節できるように取り付けられた磁極片とを備えてお
り、該磁極片と前記永久磁石との間で作用しかつ磁極片
の調節により変化される磁力により、前記ミラー支持体
の初期方向を調節することができ、（ｅ）前記ミラー支持体と前記ベースユニットとの間に
配置されたダンピング手段を更に有していることを特徴
とする干渉計のミラーを整合させるミラー傾動装置。
（２４）前記磁極片が前記ベースユニットに設けられた
ボアに螺合していて、磁極片のそれぞれのボア内で磁極
片を回転することにより磁極片の調節を行うことができ
ることを特徴とする請求項２３に記載の装置。
（２５）前記ベースユニットに前記ミラー支持体を取り
付ける前記手段が、前記ベースユニットと前記ミラー支
持体との間で中央に配置された弾性的な可撓性をもつ中
央支柱を備えたスタンドオフであり、前記ベースユニッ
トと前記ミラー支持体との間の分離により、前記電磁力
発生ユニットを受け入れるキャビティが形成されている
ことを特徴とする請求項２３に記載の装置。
（２６）前記ダンピング手段が、前記スタンドオフを包
囲しかつ前記ベースユニットから前記ミラー支持体を分
離するカラーを備えており、該カラーが粘弾性をもつ衝
撃吸収材料で作られていることを特徴とする請求項２５
に記載の装置。
（２７）前記カラーがエネルギ吸収熱可塑性プラスチッ
クで作られていることを特徴とする請求項２６に記載の
装置。
（２８）前記カラーが、圧縮力により、前記ミラー支持
体と前記ベースユニットとの間の所定位置に保持されて
いることを特徴とする請求項２６に記載の装置。