JPH023010A - 光波長選択フィルタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 この発明は、半導体装置の製造過程において使用される
光の波長を選択するための光波長選択フィルタに関する
ものである。

（従来の技術） 従来、この種のフィルタを使用する場合は、第６図（ａ
）に示すように、着脱式のフィルタ板１３を手動で出し
入れするものであり、また、第６図（ｂ）に示すように
、１種類のフィルタ板１４が１枚の板状となったものを
フィルタごとに数種類用意し、これを種類ごとに手動ま
たは電動にて装置１５に出し入れするものであった。

〔発明が解決しようとする課題〕

上記のように構成された従来の光波長選択フィルタは、
フィルタ板１３．１４自身を穆勤しなければならず、そ
のため発塵の可能性もあり、また、装置１５内部の場合
は手動で行う際に、その着脱に手間がかかるなどの問題
点があった。

この発明は、上記のような問題点を解消するためになさ
れたもので、スイッチの切り換えにより、フィルタ板自
身を動かすことなく、光の波長を選択することができる
光波長選択フィルタを得ることを目的とする。

（課題を解決するための手段〕 この発明に係る光波長選択フィルタは、所定の波長の光
を通す透過部と、一定の波長をカットするフィルタ部と
を備えたフィルタ板と、このフィルタ板の透過部とフィ
ルタ部にそれぞれ対応した透明電極と共通透明電極との
間に液晶を保持する液晶セルとを偏光膜間に配置し、さ
らに共通透明電極と各透明電極間に選択的に電圧を印加
するスイッチを設けた液晶ものである。

〔作用〕

この発明においては、電気的に必要な部分のみ光を透過
することにより、１枚のフィルタで、フィルタの有、無
の状態が得られる。

〔実施例〕

以下、この発明の一実施例を図面について説明する。

第１図（ａ）はこの発明の一実施例の光波長選択フィル
タの構成を示す斜視図であり、１は光波長選択フィルタ
で、偏光膜２．液晶セル３．フィルタ板４および偏光膜
５から構成されている。６はスイッチ、７は前記液晶セ
ル３とスイッチ６をつなぐ導線である。第１図（ｂ）は
光波長選択フィルタ１の部分拡大図で、０．５ｍｍ程度
の格子で構成されている。

第２図は、第１図の光波長選択フィルタ１の分解斜視図
で、第２図に示すように、液晶セル３は導線７を介して
第１図（ａ）のスイッチ６に接続されており、光８は偏
光膜２側より、偏光膜５に向って透過する。

また、第３図（ａ）、（ｂ）に示すように、フィルタ板
４は、波長選択部分９と空部分１０とで構成されており
、液晶セル３はフィルタ板４の格子と同形の格子で構成
され、かつ表面側の透明電極と裏面側の共通透明電極と
の間に液晶が保持されて構成されている。そして、透明
電極は波長選択部分９に対応するものと、空部分１０に
対応するものとにグループ分けされている。もし、波長
選択部分９がさらに何種類かに分れるときは、それに応
じたグループ数の透明電極が設けられる。

次に、動作について第４図（ａ）、（ｂ）を参照して説
明する。

第４図（ａ）のように、液晶セル３は、液晶分子３１と
、導電ガラス３２．３３によって構成されており、スイ
ッチ６側で液晶セル３に電圧を印加しない場合、第４図
（ａ）のように、導電ガラス３２．３３の表面加工によ
り液扁分子３１は９０゛ねじれている。したがって、偏
光膜２および５が同一方向の偏光（この場合はｙ方向と
する）のみ通す場合、光８は液晶セル３中を透過する間
に９０’ねじれ、Ｘ方向となり、偏光膜５を通過するこ
とができず暗くなる。

次に第４図（ｂ）の状態では、電圧を印加することによ
って液晶セル３を透過する光は液晶分子３１の影響を受
けないため、光はｙ方向のまま透過し明るくなる。

上記第４図（ａ）と（ｂ）の状態を、第３図の波長選択
部分９および空部分１ｏに組み合わせることより、光波
長選択フィルタ１の有、無の状態を電気的に起こすこと
ができる。つまり、第３図（ａ）の波長選択部分９と第
４図（ａ）の電圧無印加状態、および第３図（ａ）の空
部分１０と第４図（ｂ）の電圧印加状態の組み合せのと
き、フィルタ無しとなり、第３図（ａ）の波長選択部分
９と第４図（ｂ）の電圧印加状態、および第３図（ａ）
の空部分１０と第４図（ａ）の電圧無印加状態の組み合
せのときフィルタ有りとなる。

なお、上記実施例ではフィルタの有、無の場合を示した
が、第５図（ａ）のように複数種類のフィルタを組み合
わせておくことにより、所定の波長のフィルタとするこ
とができる。また、第５図（ｂ）のように、液晶セル３
の格子の組み合わせにより、シャッタとして利用するこ
ともできる。

（発明の効果） 以上説明したように、この発明は所定の波長の光を通す
透過部と、一定の波長をカットするフィルタ部とを備え
たフィルタ板と、このフィルタ板の透過部とフィルタ部
にそれぞれ対応した透明電極と共通透明電極との間に液
晶を保持する液晶セルとを偏光膜間に配置し、さらに共
通透明電極と各透明電極間に選択的に電圧を印加するス
イッチを設けた液晶ので、波長を選択するフィルタを８
勤させることなく、変更可能となり、作業能率の向上と
精度の高い波長選択フィルタが得られる効果がある。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの発明の一実施例による光波長選択フィルタ
の構成図、第２図は波長選択フィルタの分解斜視図、第
３図はフィルタ板および液晶セルの部分拡大図、第４し
′１は波長選択の動作を説明するための説明図、第５図
はこの発明の他の実ｈＫ例を示すフィルタの部分拡大図
、第６図は従来のフィルタを示す図である。 図において、１は光波長選択フィルタ、２．５は偏光膜
、３は液晶セル、４は７　ｉルタ板、６はスイッチ、７
は導線、８は光、９は波長選択部分、１０は空部分であ
る。 なお、各図中の同一符号は同一＝または相当部分をホす
３、 代理人　大　岩　増　雄　　　　（外２名）第 図 」Ｌ 導線 −〇シｎコ← 第 図 第 図 第 図 手 続 補 正 書 （自発）

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. 所定の波長の光を通す透過部と、一定の波長をカットす
   るフィルタ部とを備えたフィルタ板と、このフィルタ板
   の前記透過部とフィルタ部にそれぞれ対応した透明電極
   と共通透明電極との間に液晶を保持する液晶セルとを偏
   光膜間に配置し、さらに前記共通透明電極と各透明電極
   間に選択的に電圧を印加するスイッチを設けたことを特
   徴とする光波長選択フィルタ。