JPH02303083A - 放電励起パルスレーザ装置 - Google Patents
放電励起パルスレーザ装置Info
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- JPH02303083A JPH02303083A JP1123345A JP12334589A JPH02303083A JP H02303083 A JPH02303083 A JP H02303083A JP 1123345 A JP1123345 A JP 1123345A JP 12334589 A JP12334589 A JP 12334589A JP H02303083 A JPH02303083 A JP H02303083A
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- H01S3/22—Gases
- H01S3/223—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms
- H01S3/225—Gases the active gas being polyatomic, i.e. containing two or more atoms comprising an excimer or exciplex
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
この発明はエキシマレーザ装置等放電励起パルスレーザ
装置に係り、特にそのパルス発生回路に関するものであ
る。
装置に係り、特にそのパルス発生回路に関するものであ
る。
第６図は例えば０ＰＴＩＣＳ ＣＯＭＭＵＮＩＣＡＴＩ
ＯＮＳ”Ｖｏｌ、５６、Ｎｏ、ｌ、１９８５． Ｉｌ、
１発行Ｐ、５１に記載されたこの種従来のエキシマレ
ーザ装置のパルス発生回路を示す回路図である０図にお
いて、（１）は例えばＸｅＣＩ等のレーザガスを封入す
るレーザヂャンバーで、以下の各ｔｉ等を内部に収容し
ている。即ち、（２）は曲面状の放電面を有する第１主
電極、（３１は第１主電極（２）と対向して配置され、
メツシュ金属材を曲面状に成形した第２主電極、（イ）
は第２主電極（３）の凹面側に設けられた補助電極、（
５１は補助電極（イ）の表面を覆うように配置された絶
縁物、（６）は充電用端子、（７）は充電ｊｆ１抵抗、
８）は火花ギャップからなるスイッチで、その一方の極
は第２主電極０）に接続されかつ接地されている。（９
）はリアクトル叫と直列となってスイッチ（５）の他方
の極と第１主電極（２）との間に接続された第１の充電
用コンデンサ、（１１）は第１の充電用コンデンサ（９
）とリアクトルａ〔との接続点と第２主ｔ ｉ （３１
との間に接続された充電用コンデンサ、（１２）はスイ
ッチ（ａの他方の極と補助電極（４）との間に接続され
た第２の充電用コンデンサ、（１３）は両生電極（２１
（３） ｆ？’ｆｌに接続されたピーキングコンデンサ
、（！４）は両生電極（２１（３）間に接続された第１
の充電用回路素子としての抵抗、（１５）は第２１電［
（３１と補助電極は）との間に接続された第２の充電用
回路素子と、しての抵抗である。
ＯＮＳ”Ｖｏｌ、５６、Ｎｏ、ｌ、１９８５． Ｉｌ、
１発行Ｐ、５１に記載されたこの種従来のエキシマレ
ーザ装置のパルス発生回路を示す回路図である０図にお
いて、（１）は例えばＸｅＣＩ等のレーザガスを封入す
るレーザヂャンバーで、以下の各ｔｉ等を内部に収容し
ている。即ち、（２）は曲面状の放電面を有する第１主
電極、（３１は第１主電極（２）と対向して配置され、
メツシュ金属材を曲面状に成形した第２主電極、（イ）
は第２主電極（３）の凹面側に設けられた補助電極、（
５１は補助電極（イ）の表面を覆うように配置された絶
縁物、（６）は充電用端子、（７）は充電ｊｆ１抵抗、
８）は火花ギャップからなるスイッチで、その一方の極
は第２主電極０）に接続されかつ接地されている。（９
）はリアクトル叫と直列となってスイッチ（５）の他方
の極と第１主電極（２）との間に接続された第１の充電
用コンデンサ、（１１）は第１の充電用コンデンサ（９
）とリアクトルａ〔との接続点と第２主ｔ ｉ （３１
との間に接続された充電用コンデンサ、（１２）はスイ
ッチ（ａの他方の極と補助電極（４）との間に接続され
た第２の充電用コンデンサ、（１３）は両生電極（２１
（３） ｆ？’ｆｌに接続されたピーキングコンデンサ
、（！４）は両生電極（２１（３）間に接続された第１
の充電用回路素子としての抵抗、（１５）は第２１電［
（３１と補助電極は）との間に接続された第２の充電用
回路素子と、しての抵抗である。
次に動作について説明する。先ず、充電用端子（６）に
電源（図示せず）から直流電圧を供給して充電用抵抗口
を介して各コンデンサ（９ＩＣＩＯ１（１２）を充電す
る。ここで、各電極間には抵抗（１４） （＋５＞が接
続されているので、上記各コンデンサｆ９１ （＋１）
（＋２）に十分な電圧が印加される。
電源（図示せず）から直流電圧を供給して充電用抵抗口
を介して各コンデンサ（９ＩＣＩＯ１（１２）を充電す
る。ここで、各電極間には抵抗（１４） （＋５＞が接
続されているので、上記各コンデンサｆ９１ （＋１）
（＋２）に十分な電圧が印加される。
スイッチ（８）、リアクトルα０）およびコンデンサ（
９）（１１＞は従来からよく用いられるいわゆるＬＣ反
転回路を構成する。従って、充電が完了した後スイッチ
（ａの火花ギャップを放電させると、第７図の波形１に
示すように、両コンデンサ（９１（１１）の電圧が重畳
して両生？［ｔ ｆｉ（２］ （３１間に高いパルス電
圧が発生する。また、スイッチ（８）の閏と同時に第２
の充電用コンデンサ（１２）も放電し、第２主電極Ｂ）
と補助電極４）との間にも、第７図波形２で示すような
パルス電圧が発生する。
９）（１１＞は従来からよく用いられるいわゆるＬＣ反
転回路を構成する。従って、充電が完了した後スイッチ
（ａの火花ギャップを放電させると、第７図の波形１に
示すように、両コンデンサ（９１（１１）の電圧が重畳
して両生？［ｔ ｆｉ（２］ （３１間に高いパルス電
圧が発生する。また、スイッチ（８）の閏と同時に第２
の充電用コンデンサ（１２）も放電し、第２主電極Ｂ）
と補助電極４）との間にも、第７図波形２で示すような
パルス電圧が発生する。
上記したパルス電圧の発生により、先ず、第２主電極ｅ
）と補助電極は）との間にコロナ放電（！６）が発生す
る。この結果、このコロナ放電（１６）による紫外線が
メツシュ構造の第２主電極Ｇ）を通して両生電［＋２１
（３１ｒＷｌに照射され予備電纜が行われる。なお、
絶縁物（（５）はコロナ放電（１６）がアーク放電に移
行するのを防止する。
）と補助電極は）との間にコロナ放電（！６）が発生す
る。この結果、このコロナ放電（１６）による紫外線が
メツシュ構造の第２主電極Ｇ）を通して両生電［＋２１
（３１ｒＷｌに照射され予備電纜が行われる。なお、
絶縁物（（５）はコロナ放電（１６）がアーク放電に移
行するのを防止する。
両生電極（２） （３１間のパルス電圧の波高値が上昇
してくると、予備？ＩＪａによって発生した電子が種に
なって衝突電離が発生し、両生電８１ｉ（２１（３）間
に主放電（１７）が発生しレーザ発振を行う、なお、ピ
ーキングコンデンサ（１３）はいわゆる容量移行により
両生Ｔｈ極（２） ＋３１間に発生する電圧波高値を増
大させるものである。
してくると、予備？ＩＪａによって発生した電子が種に
なって衝突電離が発生し、両生電８１ｉ（２１（３）間
に主放電（１７）が発生しレーザ発振を行う、なお、ピ
ーキングコンデンサ（１３）はいわゆる容量移行により
両生Ｔｈ極（２） ＋３１間に発生する電圧波高値を増
大させるものである。
ところで、第２主電極（３）と補助電極（４）との間に
発生するパルス電圧の立ち上がりを速くすると、そのコ
ロナ放電（１６）による予備電離量が増加し、主放電（
１７）の均一性が増してレーザ出力が増大することが知
られている。（例えば“Ｊ、Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｓ、”５
４（１０）、１９８３．１０発行Ｐ、 ５６７２〜Ｐ、
５６７５参照）、上記した補助電極（４）の回路のパ
ルス電圧の立ち上がり速度は、回路の漂遊インダクタン
ス成分等に大きく左右される。即ち、特に、スイッチ（
５）の端部に存在する漂遊インダクタンス成分や抵抗成
分には主族ｔｃ、（＋７）の回路の？Ｓ流も流れ、これ
が電圧降下分となってコロナ放電（１６）の回路の電圧
の立ち上がりが遅れることになる。
発生するパルス電圧の立ち上がりを速くすると、そのコ
ロナ放電（１６）による予備電離量が増加し、主放電（
１７）の均一性が増してレーザ出力が増大することが知
られている。（例えば“Ｊ、Ａｐｐｌ、Ｐｈｙｓ、”５
４（１０）、１９８３．１０発行Ｐ、 ５６７２〜Ｐ、
５６７５参照）、上記した補助電極（４）の回路のパ
ルス電圧の立ち上がり速度は、回路の漂遊インダクタン
ス成分等に大きく左右される。即ち、特に、スイッチ（
５）の端部に存在する漂遊インダクタンス成分や抵抗成
分には主族ｔｃ、（＋７）の回路の？Ｓ流も流れ、これ
が電圧降下分となってコロナ放電（１６）の回路の電圧
の立ち上がりが遅れることになる。
従って、リアクトル叫の容量を増大して主放電（１７）
の回路の電流を抑制すると、その分コロナ放電（１６）
の回路の電圧の立ち上がりが速くなる（第８図波形２）
。
の回路の電流を抑制すると、その分コロナ放電（１６）
の回路の電圧の立ち上がりが速くなる（第８図波形２）
。
〔発明が解決しようとする１題〕
従来の放電励起パルスレーザ装置は以上のように構成さ
れているので、コロナ放電による予歯電Ｍ量を増大させ
るためリアクトル叫の容量を増大させると、第８図の波
形１に示すように、主放電の回路の電圧パルスの立ち上
がりが遅くなる。そのため、主放電のＶ−を特性から放
′：ｒ１ｒＭ始電圧ＶＢが低下して注入エネルギーが減
少し、結果としてレーザ出力を増大させること・ができ
ないという問題点があった。
れているので、コロナ放電による予歯電Ｍ量を増大させ
るためリアクトル叫の容量を増大させると、第８図の波
形１に示すように、主放電の回路の電圧パルスの立ち上
がりが遅くなる。そのため、主放電のＶ−を特性から放
′：ｒ１ｒＭ始電圧ＶＢが低下して注入エネルギーが減
少し、結果としてレーザ出力を増大させること・ができ
ないという問題点があった。
この発明は上記のような問題点を解消するためになされ
たもので、両主電極間の放電開始電圧を低下させること
なく、補助電極と第２主電極との間の電圧の立ち上がり
を速めてレーザ出力の増大を図ることができる放電励起
パルスレーザ装置を得ることを目的とする。
たもので、両主電極間の放電開始電圧を低下させること
なく、補助電極と第２主電極との間の電圧の立ち上がり
を速めてレーザ出力の増大を図ることができる放電励起
パルスレーザ装置を得ることを目的とする。
〔課題を解決するための手段および作用〕この発明に係
る放電励磁パルスレーザ装置は、第１の充電用コンデン
サと直列に接続されるリアクトルを可飽和リアクトルで
構成し、スイッチを閏として補助電極と第２主Ｔｈｆ！
どの間の電圧が立ち上がった後、上記可飽和リアクトル
のインダクタンスが低減するようにしたものである。
る放電励磁パルスレーザ装置は、第１の充電用コンデン
サと直列に接続されるリアクトルを可飽和リアクトルで
構成し、スイッチを閏として補助電極と第２主Ｔｈｆ！
どの間の電圧が立ち上がった後、上記可飽和リアクトル
のインダクタンスが低減するようにしたものである。
可飽和リアクトルの当初の容量を大きくしておくことに
より、補助電極と第２主電極との間のパルス電圧の立ち
上がりは急峻となる。そして、このパルス電圧が立ち上
がった後、可飽和リアクトルは磁気飽和してその容量（
インダクタンス）が非線形に低下し、両主電極間のパル
ス電圧の立ち上がりはほとんど遅くならない。
より、補助電極と第２主電極との間のパルス電圧の立ち
上がりは急峻となる。そして、このパルス電圧が立ち上
がった後、可飽和リアクトルは磁気飽和してその容量（
インダクタンス）が非線形に低下し、両主電極間のパル
ス電圧の立ち上がりはほとんど遅くならない。
更に、第２の充電用コンデンサと直列に遅延回路を挿入
して補助電極と第２主電極との間のパルス電圧の立ち上
がりのタイミングを両主電極間のパルス電圧の立ち上が
りのタイミングに合わせたものでは、コロナ放電による
予備電離で発生した電子があまり減少しない間に両主電
極間の電圧が立ち上がってくることになり予備電離の効
果が有効に活かされる。
して補助電極と第２主電極との間のパルス電圧の立ち上
がりのタイミングを両主電極間のパルス電圧の立ち上が
りのタイミングに合わせたものでは、コロナ放電による
予備電離で発生した電子があまり減少しない間に両主電
極間の電圧が立ち上がってくることになり予備電離の効
果が有効に活かされる。
第１図はこの発明の一実施例によるエキシマレーザ装置
を示す回路図である。図において、従来の第６図と同一
符号のものは従来と同一または相当部分を示す、但し、
充電用回路素子（１４） （１５）としては充電用リア
クトルを使用している。また、（１８）は充電用リアク
トル、（１９）は可飽和リアクトルで、従来のリアクト
ルＱＯＩに替わるものである。
を示す回路図である。図において、従来の第６図と同一
符号のものは従来と同一または相当部分を示す、但し、
充電用回路素子（１４） （１５）としては充電用リア
クトルを使用している。また、（１８）は充電用リアク
トル、（１９）は可飽和リアクトルで、従来のリアクト
ルＱＯＩに替わるものである。
次に動作について説明する。従来と同様、先ず、充電用
リアクトル（１８）を介して各コンデンサ（９）（１１
） ＜１２）を充電しておく、この充電の過程で、可飽
和リアクトル（＋９）の鉄心は一方の極性に飽和した状
態となっている。そして、時刻１＝０でスイッチ６の火
花ギャップを放電させると各コンデンサｆ（１）） （
１１） （１２）は放電を開始する。可飽和リアクトル
（１９）を流れる電流の向きは充電時と逆になるので、
その鉄心は非飽和の状態となり、従来の第８図の部分で
説明した通り、可飽和リアクトル（１９）は大容量のリ
アクトルとして・き、第２図に示すように、第１の充電
用コンデンサ（９）の放電を抑制する一方、第２の充電
用コンデンサ（１２）の放電の立ち上がりが速くなって
コロナ族Ｔ！：、（＋６）による予備電層型が増大する
等、リアクトル（＋９）の容量増大に基づく効果が期待
通り得られる。
リアクトル（１８）を介して各コンデンサ（９）（１１
） ＜１２）を充電しておく、この充電の過程で、可飽
和リアクトル（＋９）の鉄心は一方の極性に飽和した状
態となっている。そして、時刻１＝０でスイッチ６の火
花ギャップを放電させると各コンデンサｆ（１）） （
１１） （１２）は放電を開始する。可飽和リアクトル
（１９）を流れる電流の向きは充電時と逆になるので、
その鉄心は非飽和の状態となり、従来の第８図の部分で
説明した通り、可飽和リアクトル（１９）は大容量のリ
アクトルとして・き、第２図に示すように、第１の充電
用コンデンサ（９）の放電を抑制する一方、第２の充電
用コンデンサ（１２）の放電の立ち上がりが速くなって
コロナ族Ｔ！：、（＋６）による予備電層型が増大する
等、リアクトル（＋９）の容量増大に基づく効果が期待
通り得られる。
そして、第２図において放電が進み、時刻Ｌ＝Ｔｓに至
ると可飽和リアクトル（１９）の鉄心は飽和状態となり
、そのインダクタンスは非線形に急減する。この結果、
同図波形１で示すように、両生電極（２）（３１間のパ
ルス電圧の立ち上がりはこの急減したインダクタンスで
決まり、従って、従来の第７図の場合とほぼ同様に高速
度で立ち上がり放電開始電圧ＶＢも高くなって主放電（
１７）に注入されるエネルギーも増大する。
ると可飽和リアクトル（１９）の鉄心は飽和状態となり
、そのインダクタンスは非線形に急減する。この結果、
同図波形１で示すように、両生電極（２）（３１間のパ
ルス電圧の立ち上がりはこの急減したインダクタンスで
決まり、従って、従来の第７図の場合とほぼ同様に高速
度で立ち上がり放電開始電圧ＶＢも高くなって主放電（
１７）に注入されるエネルギーも増大する。
補助電［（／ＩＩと第２主電極Ｇ）との間には、第２図
に波形２で示したように、立ち上がりの急峻なパルス電
圧が印加され、コロナ放電（１６）が発生して両生電極
（２） （３１１ｍの予備電離が行われる。ところで、
レーザチャンバー（１）内に封入するレーザガスとして
Ｆ２や０１□等の電子付着性ガスを混合したものを採用
した場合、予ＯＩ電離により一旦発生した電子が上記電
子付着性ガスに吸着され予（ＯＴｃ、離の効果が減少す
る。
に波形２で示したように、立ち上がりの急峻なパルス電
圧が印加され、コロナ放電（１６）が発生して両生電極
（２） （３１１ｍの予備電離が行われる。ところで、
レーザチャンバー（１）内に封入するレーザガスとして
Ｆ２や０１□等の電子付着性ガスを混合したものを採用
した場合、予ＯＩ電離により一旦発生した電子が上記電
子付着性ガスに吸着され予（ＯＴｃ、離の効果が減少す
る。
第３図はこの点の不具合を解消した実施例を示す回路図
で、第１図と異なるところは、第２の充電用コンデンサ
（＋２）と直列に遅延回路として同軸ケーブル（２０）
を新たに挿入した点のみである。
で、第１図と異なるところは、第２の充電用コンデンサ
（＋２）と直列に遅延回路として同軸ケーブル（２０）
を新たに挿入した点のみである。
第４図はこの場合の各パルス電圧の波形を示す。
即ち、補助電極（イ）と第２主電極（３）との間のパル
ス電圧（同図波形２）を、第２図の場合に比較して、そ
の立ち上がり峻度を変えることなくその立ち上がり時点
を同軸ケーブル（２０）により約４０Ｉｆｉ遅らせてい
る。この結果、パルス電圧波形２の立ち上がりのタイミ
ングが両主電極（２１（３）間のパルス電圧波形１の立
ち上がりのタイミングに合うことになり、コロナ放電に
基づく予測電離で発生した電子が吸着される弊害がほぼ
除去され、主放電への移行がスフ１−ズに行われる。
ス電圧（同図波形２）を、第２図の場合に比較して、そ
の立ち上がり峻度を変えることなくその立ち上がり時点
を同軸ケーブル（２０）により約４０Ｉｆｉ遅らせてい
る。この結果、パルス電圧波形２の立ち上がりのタイミ
ングが両主電極（２１（３）間のパルス電圧波形１の立
ち上がりのタイミングに合うことになり、コロナ放電に
基づく予測電離で発生した電子が吸着される弊害がほぼ
除去され、主放電への移行がスフ１−ズに行われる。
なお、上記各実施例では、両主電極（２１（３）間にパ
ルス電圧を発生させる回路として充電用コンデンサ＜１
１＞をも使用したいわゆるＬＣ反転回路を用いているが
、この発明の適用にあたっては、必ずしもこの回路に限
定されることはなく、従って、充電用コンデンサ（１１
）を省略した回路であってもよい。
ルス電圧を発生させる回路として充電用コンデンサ＜１
１＞をも使用したいわゆるＬＣ反転回路を用いているが
、この発明の適用にあたっては、必ずしもこの回路に限
定されることはなく、従って、充電用コンデンサ（１１
）を省略した回路であってもよい。
また、電極の構造は、第５図に示すようなものであって
もよい、即ち、図において、第２主電極Ｂ）は第１主電
１（２）と同じ形状とされ、この第２主電極（３）の両
側に棒状の補助電極（イ）が配置され、更にこの補助電
極（／ｉ）の周囲を絶縁物（５１が覆っている。
もよい、即ち、図において、第２主電極Ｂ）は第１主電
１（２）と同じ形状とされ、この第２主電極（３）の両
側に棒状の補助電極（イ）が配置され、更にこの補助電
極（／ｉ）の周囲を絶縁物（５１が覆っている。
この場合も、先ず、補助電極（イ）と第２主電極（３）
との間でコロナ族Ｅ （１６１を発生させ、これによっ
て両電極（２）（３）間を予＠電離し、更に１放？ｔ：
（１７）に移行させるもので、上記実施例と同様に連用
でき同様の効果を奏する。
との間でコロナ族Ｅ （１６１を発生させ、これによっ
て両電極（２）（３）間を予＠電離し、更に１放？ｔ：
（１７）に移行させるもので、上記実施例と同様に連用
でき同様の効果を奏する。
また、上記各実施例ではスイッチ８として火花ギャップ
によるものを採用したが、例えばサイラトロンを用いて
も同様の効果を奏する。また、充電用回路素子（１４）
（１５＞としてはリアクトルに限らず抵抗やリアクト
ルと抵抗とを直並列接続して構成したものであってもよ
い、更に、当然ながら、この発明はエキシマレーザ装置
に限らず、広く放電励起パルスレーザ装置に適用するこ
とができる。
によるものを採用したが、例えばサイラトロンを用いて
も同様の効果を奏する。また、充電用回路素子（１４）
（１５＞としてはリアクトルに限らず抵抗やリアクト
ルと抵抗とを直並列接続して構成したものであってもよ
い、更に、当然ながら、この発明はエキシマレーザ装置
に限らず、広く放電励起パルスレーザ装置に適用するこ
とができる。
以上のように、この発明では、第１の充電用コンデンサ
と可飽和リアクトルとを組合せ、コロナ放電のための電
圧が立ち上がった後、上記可飽和リアクトルの、インダ
クタンスが低減するようにしたので、コロナ放電と主放
電とのための電圧の立ち上がり峻度を共に高い値に設定
することができ、予ＯＩ電離量が増大して主放電が均一
となり放電への注入エネルギーも増大してレーザ出力、
発振効率が向上する。
と可飽和リアクトルとを組合せ、コロナ放電のための電
圧が立ち上がった後、上記可飽和リアクトルの、インダ
クタンスが低減するようにしたので、コロナ放電と主放
電とのための電圧の立ち上がり峻度を共に高い値に設定
することができ、予ＯＩ電離量が増大して主放電が均一
となり放電への注入エネルギーも増大してレーザ出力、
発振効率が向上する。
また、第２の充電用コンデンサに遅延回路を挿入してコ
ロナ放電と主放電とのための電圧の立ち上がりのタイミ
ングを合わせるようにしたものでは、コロナ放電による
予備電離の効果が有効に活かされ、主放電への移行がス
ムーズとなりレーザ出力およびレーザ発振効率が一層向
上する。
ロナ放電と主放電とのための電圧の立ち上がりのタイミ
ングを合わせるようにしたものでは、コロナ放電による
予備電離の効果が有効に活かされ、主放電への移行がス
ムーズとなりレーザ出力およびレーザ発振効率が一層向
上する。
第１図はこの発明の一実施例によるエキシマレーザ装置
を示す回路図、第２図はそのパルス電圧波形を示す波形
図、第３図は他の実施例のものを示す回路図、第４図は
第３図の場合のパルス電圧波形を示す波形図、第５図は
更に他の実施例における電極構造を示す構成図、第６図
は従来のエキシマレーザ装置を示す回路図、第７図、第
８図は第６図の場合のパルス電圧波形を示す波形図であ
る。 図において、（２）は第１主電極、（３）は第２主電極
、（４）は補助電極、矧はスイッチ、（９）は第１の充
電用コンデンサ、（１２）は第２の充電用コンデンサ、
（１４）および（１５）はそれぞれ第１および第２の充
電用回路素子としての充電用リアクトル、（ｔ６）はコ
ナ放電、（１７）は主放電、（１９）は可飽和リアクト
、 ＜２０）は遅延回路としての同軸ケーブルである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分をす。 代理人 弁理士 大 岩 増 雄 第１図 第６図 平成１年特許願第１２３３４５号 ２発明の名称 放電励起パルスレーザ装置 ３補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
名 称（６０１）三菱電機株式会社代表者志岐守哉 ４代理人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
６補正の内容 （１）明細書第４ページ第６行に［各コンデンサ（９）
叫（１２） Ｊとあるのを、［各コンデンサ（９１（１
１）（１２） Ｊと訂正する。 （２）同第５ページ第１３行にｒものである。」とある
のを、［か、または、主族ｔ（＋７）へのビークパワー
を増大させるものである。」と訂正する。 （３）同第７ページ第８行に「放電励磁」とあるのを、
「放電励起」と訂正する。 （４）同第１０ページ第７行にｒＣＩ２Ｊとあるのをｒ
Ｈｃｌ、と訂正する。 （５１同第１Ｏペ一ジ第８行に「採用した場合、」とあ
るのを［採用した場合（特にＦ２ガスの場合）、」と訂
正する。 （６）同第１０ページ第１９行に「約４０Ｉｓ」とある
のを、「約４Ｑｎｓ Ｊと訂正する。 以上
を示す回路図、第２図はそのパルス電圧波形を示す波形
図、第３図は他の実施例のものを示す回路図、第４図は
第３図の場合のパルス電圧波形を示す波形図、第５図は
更に他の実施例における電極構造を示す構成図、第６図
は従来のエキシマレーザ装置を示す回路図、第７図、第
８図は第６図の場合のパルス電圧波形を示す波形図であ
る。 図において、（２）は第１主電極、（３）は第２主電極
、（４）は補助電極、矧はスイッチ、（９）は第１の充
電用コンデンサ、（１２）は第２の充電用コンデンサ、
（１４）および（１５）はそれぞれ第１および第２の充
電用回路素子としての充電用リアクトル、（ｔ６）はコ
ナ放電、（１７）は主放電、（１９）は可飽和リアクト
、 ＜２０）は遅延回路としての同軸ケーブルである。 なお、各図中同一符号は同一または相当部分をす。 代理人 弁理士 大 岩 増 雄 第１図 第６図 平成１年特許願第１２３３４５号 ２発明の名称 放電励起パルスレーザ装置 ３補正をする者 事件との関係 特許出願人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
名 称（６０１）三菱電機株式会社代表者志岐守哉 ４代理人 住 所 東京都千代田区丸の内二丁目２番３号
６補正の内容 （１）明細書第４ページ第６行に［各コンデンサ（９）
叫（１２） Ｊとあるのを、［各コンデンサ（９１（１
１）（１２） Ｊと訂正する。 （２）同第５ページ第１３行にｒものである。」とある
のを、［か、または、主族ｔ（＋７）へのビークパワー
を増大させるものである。」と訂正する。 （３）同第７ページ第８行に「放電励磁」とあるのを、
「放電励起」と訂正する。 （４）同第１０ページ第７行にｒＣＩ２Ｊとあるのをｒ
Ｈｃｌ、と訂正する。 （５１同第１Ｏペ一ジ第８行に「採用した場合、」とあ
るのを［採用した場合（特にＦ２ガスの場合）、」と訂
正する。 （６）同第１０ページ第１９行に「約４０Ｉｓ」とある
のを、「約４Ｑｎｓ Ｊと訂正する。 以上
Claims (2)
- （１）主放電を発生させる一対の第１主電極と第２主電
極、この第２主電極との間でコロナ放電を発生させる補
助電極、一方の極が上記第２主電極に接続されたスイッ
チ、このスイッチの他方の極と上記第１主電極との間に
接続されたリアクトルと上記主放電のための第１の充電
用コンデンサとの直列体、上記両主電極間に接続された
第１の充電用回路素子、上記スイッチの他方の極と上記
補助電極との間に接続された上記コロナ放電のための第
２の充電用コンデンサ、および上記第２主電極と補助電
極との間に接続された第２の充電用回路素子を備え、上
記スイッチを開とした状態で上記両充電用コンデンサを
充電した後、上記スイッチを閉とすることにより、先ず
、上記補助電極と第２主電極との間にコロナ放電を発生
させこのコロナ放電により上記主電極間を予備電離して
主放電に移行させるようにしたものにおいて、 上記リアクトルを可飽和リアクトルで構成し、上記スイ
ッチを閉として上記補助電極と第２主電極との間の電圧
が立ち上がった後上記可飽和リアクトルのインダクタン
スが低減するようにしたことを特徴とする放電励起パル
スレーザ装置。 - （２）第２の充電用コンデンサと直列に接続され、補助
電極と第２主電極との間に印加されるパルス電圧の立ち
上がりのタイミングを両主電極間に印加されるパルス電
圧の立ち上がりのタイミングに合わせる遅延回路を備え
たことを特徴とする請求項１記載の放電励起パルスレー
ザ装置。
Priority Applications (8)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1123345A JPH077857B2 (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 | 放電励起パルスレーザ装置 |
| KR1019900006883A KR930008356B1 (ko) | 1989-05-17 | 1990-05-15 | 방전 여기펄스 레이저장치. |
| US07/523,688 US5090021A (en) | 1989-05-17 | 1990-05-15 | Discharge exciting pulse laser device |
| EP93119529A EP0589494B1 (en) | 1989-05-17 | 1990-05-17 | Discharge exciting pulse laser device |
| DE69016258T DE69016258T2 (de) | 1989-05-17 | 1990-05-17 | Durch Entladung angeregte, gepulste Laservorrichtung. |
| DE69029150T DE69029150T2 (de) | 1989-05-17 | 1990-05-17 | Entladungsangeregte Impulslaservorrichtung |
| EP90109341A EP0398330B1 (en) | 1989-05-17 | 1990-05-17 | Discharge exciting pulse laser device |
| CA002017056A CA2017056C (en) | 1989-05-17 | 1990-05-17 | Discharge exciting pulse laser device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1123345A JPH077857B2 (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 | 放電励起パルスレーザ装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02303083A true JPH02303083A (ja) | 1990-12-17 |
| JPH077857B2 JPH077857B2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=14858265
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1123345A Expired - Fee Related JPH077857B2 (ja) | 1989-05-17 | 1989-05-17 | 放電励起パルスレーザ装置 |
Country Status (6)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5090021A (ja) |
| EP (2) | EP0398330B1 (ja) |
| JP (1) | JPH077857B2 (ja) |
| KR (1) | KR930008356B1 (ja) |
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Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04311077A (ja) * | 1991-04-08 | 1992-11-02 | Tech Res & Dev Inst Of Japan Def Agency | パルス気体レーザ装置 |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5040184A (en) * | 1990-06-04 | 1991-08-13 | Raytheon Company | Starter circuit for an RF laser |
| EP0526635B1 (en) * | 1991-02-08 | 1995-07-05 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Pulse laser device |
| US5181217A (en) * | 1991-02-27 | 1993-01-19 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Laser oscillator circuit |
| DE4108474A1 (de) * | 1991-03-15 | 1992-09-17 | Lambda Physik Forschung | Vorrichtung zur vorionisierung eines gepulsten gaslasers |
| JPH04326584A (ja) * | 1991-04-25 | 1992-11-16 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 放電励起ガスレーザ装置 |
| US5202892A (en) * | 1991-11-08 | 1993-04-13 | Kigre, Inc. | Pulse forming and delivery system |
| US5309462A (en) * | 1993-02-17 | 1994-05-03 | National Research Council Of Canada | Magnetic spiker gas laser excitation circuit |
| CN1034898C (zh) * | 1994-09-21 | 1997-05-14 | 中国科学院电子学研究所 | 高重复频率高平均功率激光器 |
| JPH08132321A (ja) * | 1994-11-04 | 1996-05-28 | Mitsubishi Electric Corp | 放電励起パルスレーザ装置 |
| JP3815578B2 (ja) * | 1996-07-19 | 2006-08-30 | 忠弘 大見 | エキシマレーザー発振装置 |
| US6198761B1 (en) * | 1999-05-07 | 2001-03-06 | Lambda Physik Gmbh | Coaxial laser pulser with solid dielectrics |
| US6834066B2 (en) | 2000-04-18 | 2004-12-21 | Lambda Physik Ag | Stabilization technique for high repetition rate gas discharge lasers |
| US6862307B2 (en) * | 2000-05-15 | 2005-03-01 | Lambda Physik Ag | Electrical excitation circuit for a pulsed gas laser |
| US7706424B2 (en) * | 2005-09-29 | 2010-04-27 | Cymer, Inc. | Gas discharge laser system electrodes and power supply for delivering electrical energy to same |
Family Cites Families (8)
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|---|---|---|---|---|
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| IT1171313B (it) * | 1981-06-17 | 1987-06-10 | Selenia Ind Elettroniche | Laser a scarica longitudinale ad impulsi con preionizzazione ottenuta mediante effetto corona |
| DE3240372A1 (de) * | 1982-11-02 | 1984-05-03 | Kraftwerk Union AG, 4330 Mülheim | Anregungssystem zur erzeugung einer schnellen, gepulsten hochspannungsentladung, insbesondere zur anregung eines hochleistungslasers |
| DE3313811A1 (de) * | 1983-04-15 | 1984-10-18 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Transversal angeregter gaslaser |
| WO1987002517A1 (en) * | 1985-10-18 | 1987-04-23 | Amoco Corporation | Electrical excitation circuit for gas lasers |
| IT1197768B (it) * | 1983-12-29 | 1988-12-06 | Selenia Ind Elettroniche | Preionizzatore ad effetto corona per laser a gas |
| DE3705165A1 (de) * | 1986-02-18 | 1987-08-20 | Mitsubishi Electric Corp | Mit entladungserregung arbeitende laservorrichtung fuer kurze impulse |
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-
1989
- 1989-05-17 JP JP1123345A patent/JPH077857B2/ja not_active Expired - Fee Related
-
1990
- 1990-05-15 KR KR1019900006883A patent/KR930008356B1/ko not_active Expired - Fee Related
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- 1990-05-17 DE DE69016258T patent/DE69016258T2/de not_active Expired - Fee Related
- 1990-05-17 EP EP90109341A patent/EP0398330B1/en not_active Expired - Lifetime
- 1990-05-17 DE DE69029150T patent/DE69029150T2/de not_active Expired - Fee Related
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- 1990-05-17 EP EP93119529A patent/EP0589494B1/en not_active Expired - Lifetime
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04311077A (ja) * | 1991-04-08 | 1992-11-02 | Tech Res & Dev Inst Of Japan Def Agency | パルス気体レーザ装置 |
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| EP0589494A1 (en) | 1994-03-30 |
| CA2017056C (en) | 1994-09-20 |
| EP0398330B1 (en) | 1995-01-25 |
| EP0398330A2 (en) | 1990-11-22 |
| CA2017056A1 (en) | 1990-11-17 |
| DE69016258D1 (de) | 1995-03-09 |
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| EP0589494B1 (en) | 1996-11-13 |
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| KR930008356B1 (ko) | 1993-08-30 |
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| DE69029150T2 (de) | 1997-04-03 |
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