JPH02304420A

JPH02304420A - 液晶表示装置の製造方法

Info

Publication number: JPH02304420A
Application number: JP12525789A
Authority: JP
Inventors: Masayuki Iwasaki; 正之岩崎; Akihiro Mochizuki; 昭宏望月; Toshiaki Yoshihara; 敏明吉原
Original assignee: Fujitsu Ltd
Current assignee: Fujitsu Ltd
Priority date: 1989-05-18
Filing date: 1989-05-18
Publication date: 1990-12-18

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】（概要）液晶表示装置の製造方法に関し、更に詳しく言えば液晶
表示装置の配向膜の形成方法に関し、膜質がよく、かつ
膜厚が均一な配向膜を形成することができる方法を提供
することを目的とし、透明電極の形成されたガラス基板
上に、配向膜の材料と溶媒とを混合した？８液をスピン
コート法により塗布する工程と、前記溶媒と同一の溶媒
を含ませた海綿状部材を用いて、ガラス基板上の所定領
域の混合溶液を除去する工程と、前記ガラス基板上に残
存する混合溶液を硬化して配向ＩＩ２Ｉ２酸形成工程と
を含み構成する。

〔産業上の利用分野〕

本発明は、液晶表示装置の製造方法に関し、更に詳しく
言えば液晶表示装置の配向膜の形成方法に関するもので
ある。

〔従来の技術〕

従来、配向膜は作業が容易なため転写印刷法により作成
されている。

第３図（ａ）、（ｂ）は、従来の転写印刷法による配向
膜の形成方法について説明する斜視図である。

同図（ａ）は、配向膜の材料と溶媒との混合溶液をガラ
ス基板上に塗布する前の状態を示してい同図（ａ）にお
いて、２は第１のガラス基板１上に形成されたストライ
ブ状の透明電極で、液晶に電界をかけるために設けられ
ている。３は混合溶液をガラス基板上に塗布するための
転写装置で、第６図に示すように、表面には多数の凹部
／凸部が設けられている。

まず、この転写装置３の表面に混合溶液を塗る。

このとき、混合溶液は表面の凹凸のため流れ落ちないで
保持される。次いで、転写装置３を第１のガラス基板１
上で回転させる。その結果、転写袋！３の幅は第１のガ
ラス基＋７ｆｉ　１の幅よりも小さくされているので、
同図（ｂ）に示すように、電極引出し部／シール部５を
除いて第１のガラス基板ｌ上に混合溶液が塗布される。

その後、第１のガラス基板ｌ上の混合溶液を加熱して硬
化させると、配向膜４が形成される。

続いて、第３図（Ｃ）〜（ｅ）に示す処理を行う。

即ち、同図（ｃ）に示すように、電極引出し部５の各透
明電極２に引出しり一部６を取り付けた後、接着剤７を
シール部５に塗布する。なお、液晶を配向膜４上に流し
込むため接着剤７を一部塗布しない部分（０部）を設け
る。

次いで、同図（ｄ）に示すように、液晶を充填するため
の空間を保持するため、球状のプラスチックボール８を
多数配向膜４上に載置する。また、別に、第１のガラス
基板の場合と同じようにして、不図示の透明電極と配向
膜１０と引き出しり一部１３とを第２のガラス基板９上
に形成する。その後、この第２のガラス基板９を第１の
ガラス基板１上に重ねて接着し固定する。

次に、これを不図示の減圧室に入れて減圧した後、０部
を液晶に浸す。その後、減圧室内を大気圧に戻すと、圧
力差により２つのガラス基板１と９それぞれの配向膜４
と１０とに挟まれた空間に０部から液晶が吸い上げられ
、空間が充填される。

このようにして、液晶表示装置が完成する（同図（ｅ）
）。

なお、第４図は、第３図（ｅ）の液晶表示装置の一点鎖
線で示すＡ−Ａ矢視断面図である。

〔発明が解決しようとする課題］ところで、第６図に示すような転写装置３の凹凸によっ
て、混合溶液が転写装置３の面から流れ落ちるのを防止
することができるが、該凹凸によって転写・塗布された
膜の厚さは不均一になる。

このため、第４回に示すように、液晶表示装置の配向Ｈ
４と１０とに挟まれた液晶１１も、膜厚が不均一になり
、液晶表示装置には配向ムラが生じるという問題がある
。

この対策として、スピンコータにより混合溶液をガラス
基板上に均一な厚さで塗布する方法がある。

第５図（ａ）〜（Ｃ）は、スピンコータを用いた配向膜
の形成方法について説明する断面図である。

まず、同図（ａ）に示すように、ガラス基板１４上の電
極引出し部／シール部１５に、通常の方法により予めレ
ジスト１１Ｘ１６を形成しておく。

その後、同図（ｂ）に示すように、スピンコータ１８に
よりガラス基板１４上に混合溶液Ｉ７を塗布した後、混
合溶液１７を硬化させる。

次いで、レジスト剥離液１９に浸漬してレジストＰ１４
１６を除去すると、電極引出し部／シール部１５には配
向膜が形成されずに、必要な部分のみ均一な膜厚の配向
膜１７ａが形成される（同図（Ｃ））。

ところで、レジスト膜１６を除去する際、配向膜１７ａ
は高分子物質の溶解液であるレジスト剥離液１９にさら
されるため変質してしまう。このため、これを用いて作
成された液晶表示装置は電気的特性が悪化するという問
題がある。

本発明は、かかる従来の問題点に鑑みてなされたもので
、膜質がよく、かつ膜厚が均一な配向膜を形成すること
ができる方法を提供することを目的とするものである。

〔課題を解決するための手段〕上記課題は、透明電極の形成されたガラス基板上に、配
向膜の材料と溶媒とを混合した溶液をスピンコート法に
より塗布する工程と、前記溶媒と同一の溶媒を含ませた
海綿状部材を用いて、ガラス基板上の所定領域の混合溶
液を除去する工程と、前記ガラス基板上に残存する混合
溶液を硬化して配向膜を形成する工程とを含む液晶表示
装置の製造方法によって解決される。

〔作用〕

本発明の液晶表示装置の製造方法においては、所定領域
、例えば電極引出し部／シール部の混合溶液を混合溶液
の溶媒と同一の溶媒を含ませた海綿状部材を用いて除去
している。

このため、海綿状部材に含まれた溶媒を排出することに
より混合溶液は容易に溶解され、同時に、溶解した混合
溶液は海綿状部材によって直ちに吸収されるので、海綿
状部材で拭いた部分の混合溶液をきれいに除去できる。

また、このようにして除去された後に残存する混合溶液
を硬化させて形成される配向膜は、従来のようにレジス
ト剥離液のような高分子物質の溶解液にさらされること
がないので、良質な配向膜を形成できる。

更に、スピンコート法により均一な厚さに混合溶液を塗
布し、その後これを硬化させて配向膜を形成しているの
で、配向膜の膜厚を均一にす、ることができる。

〔実施例〕

次に、本発明の実施例について図を参照しながら説明す
る。

第１図（ａ）〜（ｇ）は、本発明の実施例の配向膜の形
成方法を用いた液晶表示装置の作成方法を説明する斜視
図である。

まず、同図（ａ）に示すように、酸化インジウムからな
る透明電極２１がストライブ状に形成された第１のガラ
ス基ｖｉ２０を真空チャック法によりスピンコータ２２
に固定する。その後、配向膜の材料としてのポリイミド
と溶媒としてのＮ−メチルピロリドンとの混合溶液２３
を第１のガラス基板２０上に滴下する。

続いて、スピンコータ２２を回転させて前記混合溶液２
３を第１のガラス基板２０の表面に広げる。これにより
、混合溶液２３の薄い膜が表面全体にほぼ均一な厚さ１
５００人で形成される（同図（ｂ））。

次に、Ｎ−メチルピロリドンをスポンジ２４に含ませた
後、このスポンジ２４を用いて第１のガラス基板２０の
周辺の巾約５ｍｍの帯状の部分を拭いていく、その結果
、スポンジ２４に含まれるＮ−メチルピロリドンが排出
されてこの部分の混合溶液２３゛は容易に溶解されると
同時にスポンジ２４内に直ちに吸収される。これにより
、電極引出し部／シール部２５の混合溶液２３は容易に
、かつきれいに除去される（同図（ｃ））。

次いで、同図（ｄ）に示すように、温度２５０℃で、１
時間加熱処理して、第１のガラス基板２０上に残存する
混合溶液を硬化させ、ポリイミドからなる配向膜２３ａ
を形成する。

次に、電極引出し部２５に露出している各透明電極２１
にそれぞれ引出しリード２６を取付けた後、シール部２
５に接着剤２７を塗布する。このとき、一部（Ｄ部）に
は、接着剤２７を塗布しないでお（（同図（ｓ））。

次いで、同図（ｆ）に示すように、゛直径６μｍのプラ
スチックボール２８を多数混合させたフレオンを配向１
ｔ１２３ａの上に滴下した後、フレオンのみを草発させ
る。これにより、プラスチックボール２８は配向膜２３
ａの上に均一な密度で載置される。また、不図示のスト
ライブ状の透明電極が形成された第２のガラス基板２９
上に、同じようにして配向膜３０と引出しり一ド３１と
を形成しておく。

次に、透明電極のストライブの方向が互いに直角になる
ように、かつ配向膜３０と２３ａとが対向するように第
２のガラス基ｔｉ２９を第１のガラス基板２０の上に重
ね、接着剤２７で接着して固定する。このとき、配向膜
２３ａと３０との間にはプラスチックボール２８のため
に約６μｍの番ｉぼ一定の厚さの空間ができる。

次に、不図示の減圧室に入れて減圧した後、Ｄ部を液晶
にひだすやその後、減圧室を大気圧に戻すと、液晶は圧
力差によりＤ部から配向ＩＰ！２３ａと３０との間の空
間に吸い上げられ、空間は液晶３１により充填される（
同図（ｇ））。

なお、第２図は、同図（ｇ）の液晶表示装置の一点鎖線
で示すＥ−Ｅ矢視断面図である。

このようにして形成された液晶表示装置の液晶３１は均
一な膜厚の配向Ｉｔ！２３ａと３０とに挟まれているの
で、一定の膜厚になっている。このため、液晶表示装置
を動作させた場合、配向ムラが生じることはない。

また、同図（ｃ）に示すように、電極引出し部／シール
部２５の混合溶液を混合溶液の溶媒と同一の溶媒を含ま
せたスポンジで拭いて除去し、続いて同図（ｄ）に示す
ようにこれを加熱・硬化させて配向膜を形成している。

従って、配向膜は、従来と異なりレジスト剥離液のよう
な高分子物質の溶解液などの薬品にさらされることはな
いので、良質な配向膜を形成できる。これにより、液晶
表示装置の電気的特性を向上させることができる。

なお、本発明の実施例では、配向膜の材料と溶媒との混
合溶液としてポリイミド／Ｎ−メチルピロリドン溶液を
用いたが、メチルセルローズ水溶液でも適用可能である
。

また、本発明の実施例では、溶媒が完全に除去された乾
燥状態でなく、溶媒が存在する溶液状態で所定領域の配
向膜を除去する例を上げたが、これは溶媒が除去された
乾燥状態では（特に配向膜が架橋硬化したような場合）
所定領域の配向膜の除去が難しくなるので、溶液状態で
除去するのが好ましいからである。しかし、溶媒が除去
された乾燥状態であっても、溶媒による溶解・除去が容
易なものであれば、配向膜形成後に除去してもよい。

〔発明の効果〕

以上のように、本発明の液晶表示装置の製造方法によれ
ば、電極引出し部／シール部の混合溶液を硬化する前に
、溶媒を含ませた海綿状部材で拭き取っているので、容
易に、かつきれいに除去できる。

また、このようにして拭き取った後に残る混合溶液を硬
化させて形成した配向膜は、従来と異なりレジスト剥離
液などの薬品にさらされることがないので、良質な配向
膜を得ることができる。これにより、液晶表示装置の電
気的特性を向上させることができる。

更に、混合溶液はスピンコート法により形成されている
ので、配向膜の膜厚を均一にすることができる。これに
より液晶表示装置の配向ムラを防止することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）〜（ｇ）は、本発明の詳細な説明する斜視
図、第２図は、本発明の実施例の製造方法により作製した液
晶表示装置の断面図、第３図（ａ）〜（ｅ）は、従来例を説明する斜視図、第４図は、従来例の製造方法により作製した液晶表示装
置の断面図、第５図（ａ）〜（ｃ）は、従来例の他の配向膜の形成方
法を説明する断面図、第６図は、従来例の配向膜の形成方法に用いる転写装置
の断面図である。（符号の説明）１．２０・・・第１のガラス基板、２．１２．２１．３２・・・透明電極、３・・・転写装
置、４．１０．１７ａ、２３ａ、３０−配向膜、５．１５．
２５・・・電極引出し部／シール部、６．１３，２６．
３１・・・引出しリード、７．２７・・・接着剤、８．２８・・・プラスチックボール、９．２９・・・第２のガラス基板、１１．３３・・・液晶、１４・・・ガラス基板、１６・・・レジスト膜、１７．２３・・・混合溶液、１８．２２・・・スピンコータ、ｌ９・・・レジスト剥離液、２４・・・スポンジ。

Claims

【特許請求の範囲】透明電極の形成されたガラス基板上に、配向膜の材料と
溶媒とを混合した溶液をスピンコート法により塗布する
工程と、前記溶媒と同一の溶媒を含ませた海綿状部材を用いて、
ガラス基板上の所定領域の混合溶液を除去する工程と、前記ガラス基板上に残存する混合溶液を硬化して配向膜
を形成する工程とを含むことを特徴とする液晶表示装置
の製造方法。