JPH02308209A - 半導体発光装置及びその部品並びにレンズ位置調整方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はレンズホルダ、発光装置、並びにレンズ位置調
整方法に係り、特に光通信、光記録装置。

光計測に使用される受発光装置とその部品に関する。

〔従来の技術〕

マイクロレンズを内蔵する受発光装置は特開昭６１−２
０９１１号、同６１−１３４７０９号、同６３−１９６
０９号公報に示されるようにレンズをブロック上に接着
固定し、或いはキャップに封止していた。これら従来の
レンズ固定はレンズ搭載ブロック取付は位置のばらつき
、或いは接着剤の厚さのばらつきや接着材固着時の収縮
によって発光素子とレンズとの光軸位置が変わってしま
うという問題があった。

またキャップ周囲の固着は汚染源となり易い樹脂を避け
てレーザ溶接、或いは半田ろう付けを行って固定してい
た。しかしながらこの固定作業は熱を伴うために位置ず
れを起こし易い。

これら種々な要因によりレーザ素子とレンズとの光軸位
置合わせを所定の設計通りに行うことは極めて難かしい
作業であった。

光通信用の発光装置の場合設計で要求される光軸に垂直
な方向の位置合わせ精度は数μｍである。

レンズ位置がずれるとレンズ通過光が所定の光軸から傾
斜するためレンズに光が斜めに入ることになり、この斜
め入射によりファイバに取り込まれる光量が著しく低下
する。上記の構造の場合、レンズが強固な搭載台あるい
はレンズケース内にいったん封止されると、これらのレ
ンズ固定は強固であり、固定時に起した光軸ずれを再補
正することは不可能である。

〔発明が解決しようとする課題〕 レーザ素子を向い合わせてレンズを固定する場合、まず
レーザ素子をパッケージ内に固定する。

次いで、このレーザ素子から所定の距離を離してレンズ
を固定する０両者の光軸位置合わせ精度にはサブミクロ
ンの精度が必要である。接着固定には樹脂接着剤、半田
などが用いられる。これらの接着固定材料で固定した場
合、硬化収縮や熱変形等によってサブミクロン程度の変
形は容易に起りやすく避けられない問題であった。この
変形はそのまま光軸ずれとなり光結合効率を低下させる
原因となっていた。

尚、前掲の特開昭６１−２０９１１号公報等に示された
装置はレンズホルダをパッケージに組み込み或いは基板
上に固定した後において位置の微調整を行う技術を開示
していない、上記したようにレンズホルダを剛部材たる
本体に位置合わせをして固定したとしても固定後のサブ
ミクロンオーダーの位置ずれは必然的に発生するもので
ある。また特開昭６３−１９６０９号公報記載の装置に
してもレンズホルダを光軸に沿って動かし得る構成には
なっていても発光素子と同一の光軸に対してレンズ位置
をいかに微調整するかについての開示はない。

本発明はレンズ固定後も固定後に生じた光軸ずれを修正
することができる構造を提供するものであり、また修正
によって光結合効率の低下を回復することを目的とする
。

〔課題を解決するための手段〕

固定されたレーザ素子に向い合わせてレンズの位置を決
める。位置を決めた状態でレンズをホルダに接着剤で固
定する。このときレーザ素子とレンズの光軸位置決めは
所定の通り行われるが接着剤の硬化収縮、固定治具の取
りはずしによる応力解放などで最適な光結合状態にはな
らないのが普通である。この最適結合状態からの位置ず
れを修正して無くすためにレンズのホルダを曲げ、塑性
変形可能な構造とする。レンズが接着されているホルダ
を曲げて、ホルダの一部に弾性及び塑性変形を起す０曲
げ荷重を除去したとき弾性変形量は元に戻るが塑性変形
量は永久に残る。この塑性変形量で位置ずれを修正し、
最大光結合を得る光軸合わせを達成するようにしたもの
である。

本発明のレンズホルダは、レンズを通過する光路を確保
しつつ該レンズを保持する部材であって、一端にレンズ
を組み込むと共に、該レンズ組み込み位置から離れた箇
所を他の剛性部材への接合位置とすることにより、該接
合位置を支点として■前記レンズを光軸に合わせうるよ
うに構成し、若しくは■光路に対する傾きを調整可能に
したことを特徴とする０本発明のレンズホルダはこの保
持部材における主たる部分がパイプ状若しくは板状又は
これらの併用形状であり、その主たる部分の一部が残余
の部分よりも低剛性となっていることが好ましい、或い
は本発明のレンズホルダはレンズを保持するホルダの一
部を塑性変形させることにより前記レンズを動かしてレ
ンズ位置を調整可能にしたことを特徴とする。

以上の本発明のレンズホルダは、保持部材に切り込みを
入れて塑性変形発生ケ所を特定することが調整作業上便
利である。

本発明の発光装置は、上記のレンズホルダと発光素子と
が互いに共通する光路上に配置されると共に両者が同一
基板上に搭載されていることを特徴とする。或いは本発
明の発光装置は、上記のレンズホルダと該レンズホルダ
に保持されるレンズと該レンズの光路上に配置された発
光量子とを一枚の基板上に備え、かつ該基板の一部は前
記レンズホルダを前記レンズから離れた位置で固定され
る第１の凸部と前記発光素子の搭載部位となる第２の凸
部とを形成してなることを特徴とする。いずれにせよ上
記の基板はペルチェ素子を内蔵したもの等のクーラ上に
搭載されていることが好ましい、また上記のレンズホル
ダを抵抗溶接及び／またはろう付けにより上記の基板に
接合してなることが好ましい。

本発明の半導体発光装置は、半導体レーザから射出され
た光を第１のレンズを介して平行光若しくは集束光とし
、アイソレータを通した後、第２のレンズで集光し、光
ファイバに導入するものであって、半導体レーザから第
１のレンズまでを上記の発光装置で構成したものである
。この場合。

レンズのホルダの一部を塑性変形させることにより、ア
イソレータを通った光をレンズで集光し、ファイバに導
入する装置として、集光した光をファイバ端面に垂直に
導入させることが好ましい。

本発明の光モジュールは、ファイバ、プリズム。

ミラー、スイッチ等の光学機能素子を搭載したホルダの
一部を塑性変形させることにより光軸微調整を行いうる
構成にしたことを特徴とする。

本発明のレンズ位置調整方法は、上記のレンズホルダを
光軸上に概略的に位置決めした後、該レンズホルダの一
部を剛部材に同定し、しかる後に前記レンズホルダの傾
きを微調させることにより及び／または該レンズホルダ
の一部を塑性変形させることによって、レンズを光軸に
位置合わせすることを特徴とする。或いは本発明のレン
ズ位置調整方法は、上記のレンズホルダを光軸上に概略
的に位置決めした後、該レンズホルダの一部を剛部材に
固定し、しかる後、発光素子を駆動して発光させながら
レンズ通過後の光出力をモニターしつつ光出力が増大す
る方向にレンズホルダ自体を曲げることにより、レンズ
を光軸に位置合わせすることを特徴とする。

【作用〕

レンズを接着し、固定した後の光軸ずれには。

レーザ素子とレンズとを結ぶ光＃（Ｚ）方向と。

この光軸に垂直なＸ＋３’方向の三成分である。２方向
の軸ずれはＸ＋３’方向の位置ずれに比べ、光軸方向に
光が伝播されるので５０〜１００倍の余裕度がある。こ
のため２方向の位置ずれは初期の位置合わせで十分であ
り、修正する必要はない。

これに対し−Ｘｙ　ｙ方向の光軸ずれは光軸から離れる
（ｏｆｆ−ａｘｉａｌ）変位であるため光出力の低下に
大きく影響する。このためｘ、ｙ方向の光軸ずれを修正
することが重要であり、本発明は、このｘ、ｙ方向のず
れをレンズホルダ固定後に修正可能とするものである。

ＸｔＶ方向の光軸ずれを修正するには、曲げ変形が可能
なレンズホルダをＸ、或いはｙ方向に強制変形させてレ
ンズ位置を修正する。まず、レーザ素子を駆動し発光さ
せながら、レンズ通過後の光出力をモニタする。光出力
が増大するＸ、あるいはｙ方向へ曲げる。−回の曲げ変
形で光出力が最大である最適位置に到達できなかった場
合には２回、３回と繰り返し曲げ変形量を調節して行う
。

またＸ、あるいはｙ方向に位置をずらし過ぎた場合には
、位置ずれを減らす方向に戻す曲げ変形を加える。この
ようにレンズを接着したホルダを塑性変形させて永久変
位を残すことによって最大の光出力を得る位置にレンズ
を設定することができる。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図面に従って説明する。

第１図は本発明に係る発光装置の一例を示す断面図であ
る。基板となるキャリア１は２箇所が上方に突出してお
り、中央の突出部にはマウント２を介して発光素子たる
レーザダイオード素子（以下レーザ素子という）３を搭
載している。レーザ素子３はその発光により前後両方向
ヘレーザが射出するように上記の突出部に半田接合にて
マウントされている。もう一方の突出部はレーザ素子３
搭載用突出部よりも高さがあり中央にはレンズホルダ５
を取り付ける為の穴をあけである。

レンズホルダ５は外径２１ｍ、厚さ０．１１ＩｌｌｌＩ
の鉄合金製薄肉パイプ材を一部フランジ型にプレス成形
して作製されており、キャリア１の突出部に裏から接合
する箇所５ａを有している。レンズホルダ５のパイプ中
心をレーザ素子３の発光ケ所（設計位置）に位置合わせ
した後、キャリア１とレンズホルダ５とを接合箇所５ａ
にて両者相互のスポット溶接をする。

レーザ素子を搭載したマウント２はキャリア１に接合す
る。

次いでレーザ素子３には通電用のリード線（図示省略）
をボンディングする。

予め開口数（Ｎ　Ａ　；　ｎｕｍｅｒｉｃａｌ　ａｐｅ
ｒｔｕｒｅ）から計算したレーザ素子３と、レンズ４の
先端との間隔にレンズ４を設置する。この場合、開口数
はレーザ素子３からレンズ４方向へ発光するレーザの広
がり角（これを２αとする）と絶対屈折率ｎとの関係か
らｎ　ｓｉｎα　で規定される。この状態でレンズ４を
レンズホルダ５に半田接合６をして固定する。

尚、受光素子８はキャリア１に接合した取付台７の後方
レーザ光照射位置に取り付ける。受光素子８は後述する
光ファイバから外へ出る出力を−定にするためのモニタ
であり、レーザ素子３の光を受けて適宜レーザ素子３へ
の電流を変えて出力の一定化を図るものである。

このように組立てたキャリア１を第２図に示すように予
めケース９の底抜上に接合しておいたクーラ１０の上部
に低融点ろう材で接合する。クーラ１０は例えばペルチ
ェ素子であり、ＴＥＣ（Ｔｈｅｒｍｏ　Ｅｌｅｃｔｒｉ
ｃ　Ｃｏｏｌｅｒ）ともいう。このときレーザ素子３−
レンズ４−アイソレータ１１−光ファイバ２２が一直線
に並び一本の光軸上に配列されるようにレーザ素子３及
びレンズ４を搭載したキャリア１を調節して固定する。

ケース９の下部にはレーザ素子３．受光素子８゜クーラ
１０等の駆動又はモニタ用のリード端子１４を引き出し
である。このケースはＤＩＬ（ｄｕａｌ　ｉｎ　１ｉｎ
ｅ）型パッケージケースである。またこのケースにはパ
ッケージ取付は板１５を横付けしである。パッケージ取
付は板はケース９の一端面よりも長く（図面の紙面に垂
直な方向に伸び）。

適宜取付は用の孔等で外部の装置壁等に固定されるよう
になっている。キャップ１６は蓋である。

ケース９の側面には円筒形アイソレータ１１の収納部１
３を銀ろう付けする。収納部１３のＬＤ（レーザ素子）
側端にはケース９内の気密性を保つため窓ガラス１２を
ガラス封止する。窓ガラス両面はレーザ光の反射戻り光
を防ぐため反射防止膜を施した。

尚、アイソレータ１１の後段側（光フアイバ側）にはレ
ンズ１７を配置し、更にその後段側に光ファイバ２２を
設けている。

ファイバ２２はフェルール２１がフェルールガイド２３
によってケース９に固定する。符号１８はホルダであり
、符号１９はネジ付きリングであり、符号２０はガラス
板である。

レーザ素子３に通電し、発光させるとレンズ４を通った
後に光は平行ビームとなる。ビーム径は例えば０．８ｍ
ｍである。ガラス窓１２を通過した平行レーザ光をアイ
ソレータ１１やファイバ２２を取り除いた状態で＆１察
する。ケースより１〜２ｍ離れた位置で予め決めておい
た光軸（位りと、平行ビームの円形スポットの中心のず
れを赤外線カメラを使用してＣＲＴに写し出す、ビーム
スポットの中心が光軸位置に近づき、一致するように、
ホルダ５を専用チャックで握み、光の伝播する光軸に対
して直角方向にホルダを曲げる０曲げ変形によってホル
ダ５の根元には塑性変形が残り、レンズ位置は修正され
、その結果、光軸ずれが無くなる。−同の曲げ変形で光
軸ずれが無くならないときは２回、３回、・・・・・・
とくり返して光軸ずれをとる。

次いでアイソレータ１１を収納部１３に挿入する。アイ
ソレータ１１を回転し、アイソレータ１１の後方の出射
光強度が最大となる位置を探す９レンズ１７を内蔵させ
たレンズホルダ１８を挿入し、先端をアイソレータ１１
に接触させる。この接触によりアイソレータ１１の回転
を止める。ネジ付リング１９をホルダ１８に締結する。

次に収納部１３にリング１９を溶接固定する。

アイソレータ１１を通過後の光は平行ビームとなってお
りレンズ１７で集光される。焦点にファイバ先端を合わ
せるため、ファイバ２２を埋込んだフェルール２１を用
いる。ファイバ２２の先端には反射防止膜付きのガラス
板２０を接着する。フェルールガイド２３の中でフェル
ール２１を光軸方向に微動させ、ファイバ光出力が最大
となる位置をみつけ、フェルールガイド２３とフェルー
ル２１と固定する。フェルール２１を内蔵固定したフェ
ルールガイド２３の端面２３ａを収納部の端面１３ａと
対向させ、すり合わせながら微動させて最大光出力位置
を探す、最大光出力位置で両者を溶接固定する。このよ
うにして光軸位置合わせを達成し、最大光出力を取り出
す。

第３図に光軸ずれの修正機能をもつホルダに関し、他の
実施例を示す、ロッドレンズ２４を保持するレンズホル
ダ２５には切り込み部２５ｃを設ける。この切り込み部
から半田を溶融注入させ、レンズ２４とレンズホルダ２
５を接合する。レンズホルダ２５の他端は十字形のヒレ
２５ａ形状に加工し、直角に曲げる。互いに隣り合うヒ
レ間には切り込み部２５ｂを設ける。ヒレ部においてキ
ヤリア１とレンズホルダ２５は抵抗溶接する。キャリア
１及びレンズホルダ２５はコバール材料からなる。レン
ズホルダはコバール材料の他に軟鋼を使用してもよい、
軟鋼はコバールより熱膨張係数がレンズの熱膨張係数（
ｓｘｔＱ−ａ℃−１）に近い、コバール、軟鋼ともに鉄
系材料であり１両者の抵抗溶接が容易である。

上記は円筒パイプ状のレンズホルダを用いているが、円
筒パイプ状の他に３角、４角或いは６角のパイプ状にし
ても変わらない、また角パイプはヒレ加工が容易であり
加工能率が良い６第４図は球レンズのレンズホルダを示
す１球レンズ２７の直径は２ｍである。レンズホルダ２
８は軟鋼パイプから作る。パイプには円周方向に直径０
．３ｍの円孔２８ｂを等間隔に８個あける。

パイプ（外径２Ｉ、内径１．８ｍｍ）に０．９ｍｍ深さ
の切り込みを入れる。切り込みにより４個のヒレ２８ａ
を形成する。次にヒレ２８ａを折り曲げて向い合うヒレ
先端の間隔を１，６１Ｉｌｌｌ＋とする。レンズ２７を
ヒレ２８ａを押し開きながら挿入する。

更にレンズ２７を安定な位置まで挿入し、ヒレ２８ａの
バネ性により着座させる。

レンズ２７の直径はパイプの内径より大きいのでパイプ
の中に球レンズ２７が入ることはない。

なお、レンズホルダ２８の他端は実施例２（第３図）の
ようにキャリア１に溶接する。レンズ２７のＸｙｙ方向
への微調整はレンズホルダ２８のパイプ平行部をつかみ
ｘ、ｙ方向へ曲げることにより、穿孔部、隔部に塑性変
形を与えて行う。

上記のレンズホルダによる微ｍｖｘはレンズの他に光フ
ァイバ、プリズム等のマイクロ光学部品に対しても応用
し得るものである。

第５図はロッドレンズのレンズホルダの一例を示す、レ
ンズホルダ２８は、５ＵＳ３０４から作り、半田メッキ
のぬれを良くするためＮｉメッキを行う。レンズホルダ
３４は半田たまり部３４ａ。

薄肉部３４ｂ、ヒレ部３４ｃを形成する。取付台３５の
円孔３５ａに合わせてレンズホルダ３４をヒレ部３４ｃ
で抵抗溶接する。メッキ付きロッドレンズ３３をレンズ
ホルダに入れ半田固定する。

レンズの位置はレンズホルダ３４の先端をつかみＸｐ’
！方向へ曲げ、薄肉部に変形を起して行う。

以上の各実施例によると、レンズを接着し、保持するパ
イプ状レンズホルダに微小な曲げ荷重を加えて変形する
ことができるので、このレンズホルダの変形によりレン
ズ位置を変えることができる。このレンズ位置を変える
とき、半導体素子から出射され、レンズを通過した光の
出力をモニタしていると光出力が最大となるレンズ位置
にレンズを位置合わせすることが可能である。レンズの
位置合わせは例えばピンセット等でもできる。

尚、レンズを通った光の伝播方向をモニタしていると、
レンズ位置を変えると光軸の傾斜が変化するので光軸の
傾きを修正することができる。

従来１発光装置では一旦レンズを接着剤や半田で固定し
た後では光軸がずれていた場合、接着剤や半田を完全に
取り除いて再び接着固定しなければならず、光軸を再度
の作業で最適な光軸合わせができる保障も何もないなど
発光装置の組立て効率が極めて悪かった。しかし上記各
側によると組立て後にも修正ができるため装置の組立て
の効率は極めて高いものになるという効果がある。

反射防止するアイソレータ１１を入れたＬＤ発光装置で
はＬＤ（レーザ素子３）から出射された光をレンズ４で
平行光とし、この平行光でアイソレータ１１を通過させ
、次のレンズ１７で集光してファイバ２２に導入する（
第６図）。このアイソレータ１１入り発光装置で、ＬＤ
３の光＃４２とレンズ４の光軸４１とを合わせ、組立て
をするとき両者の光軸４１，４２が相互にずれたり、傾
斜するなどのばらつきが必然的に生じる。この光軸ずれ
をΔＲとする。光軸ずれΔＲがあると後方のレンズを通
過した光は傾斜（角度ψ）してファイバ２２に入る。傾
斜角度ψが大きくなるにつれてファイバに取り込まれる
光量は急激に低下する。

数度の角度で取り込まれる光量はほとんで零となってし
まう、そこで本例では微調整角度θをもって上記マを零
にするよう光軸ずれ調整を行う。

さて本例では、光軸方向に沿ったＺ軸に対して垂直な面
内つまりＸ−ｙ面の中でレンズ４の先端面を動かすこと
になるが、＊調整角度θ、平行光角度ψ共５例えばＸ方
向、Ｘ方向夫々について各各個別に調整することになる
。従ってＸ方向に対するθ９．￥／６とＸ方向に対する
θ°、ψ°とはベクトル成分として個々に存在すること
になるが、実際に調整するときは各方向別にレンズ４を
動かす必要はなく任意方向にレンズ位置を操作して光量
最大位置にくるようにすれば足りる。

本実施例ではレーザ素子３に隣接するレンズ４の位置を
ずらすことにより傾斜角度マを零、即ち垂直にしてファ
イバに取り込む光量を最大にすることができる。この方
法は第７図において、例えば光軸ずれΔＲが３０μｍあ
った場合、傾斜角度マは１．３°　となっている、ホル
ダを持ってレンズを動かし、修正すると甲はΔＲ＝３０
μｍの線上に乗って減少し、！＝０となる位置に到達す
る。

このときホルダ（微調整角度θ）は０．８８°　傾く。

このこの位置でホルダの変形を止めるとファイバに入る
光はファイバに垂直に入る状態になる。

従って光軸ずれΔＲが１００μｍと大きくずれている場
合でも約３°傾斜させることで容易にファイバに入る入
射光を修正することができる。上記は光軸ずれΔＲがあ
った場合であるが、レンズに傾きがあった場合にも同様
に第７図に従い修正できる。

レンズのホルダを曲げたとき戻る成分がある。

この成分により光軸ずれが生じることが心配される。こ
の戻りは材料に依存し、本発明の鉄系ホルダ材料では１
０〜２０分で戻り量（数％）は飽和する。以後時間が経
っても戻り景は変らないで安定する。このため、上記各
側のホルダ構造をもつ発光装置は安定した高光出力が得
られる装置であるといえる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の発光装置の一実施例を示す縦断面図、
第２図は第１図に示した発光装置を内蔵した半導体発光
装置の一例の縦断面図、第３図は他の実施例に係る発光
装置の一部分を示す斜視図、第４図、第５図は夫々更に
他の実施例に係る発光装置の一部分を示す側面図、第６
図は本発明の位゛置合わせ方法を説明するための各構成
部品の位置ずれ関係の定義説明図、第７図は第６図の定
義に従い微調整角度と平行光角度との関係を示した特性
図である。 １・・・キャリア、２・・・マウント、３・・・レーザ
素子、４・・・レンズ、５・・・レンズホルダ、６・・
・半田接合、７・・・取付台、８・・・受光素子、９・
・・ケース、１０・・・クーラ、１１・・・アイソレー
タ、１２・・・窓ガラス。 １３・・・収納部、１４・・・リード、１５・・・取付
は板５１６・・・キャップ、１７・・・レンズ、１９・
・・リング。 ２０・・・ガラス板、２１・・・フェルール、２２・・
・ファイバ、２３・・・フェルールガイド、２４・・・
レンズ、２５・・・レンズホルダ、２６・・・半田、２
７・・・レンズ、第　１　　図 １　キャリア ７　　ジ呼にイす台 ３　金光禦蚤 第　３　図 Ｚ４　　Ｌシスパ ２＃ｉ　　Ｌ′／ス゛ホルタ゛ ２６　　半田 ■　５　図

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、レンズを通過する光路を確保しつつ該レンズを保持
   する部材であつて、一端にレンズを組み込むと共に、該
   レンズ組み込み位置から離れた箇所を他の剛性部材への
   接合位置とすることにより、該接合位置を支点として前
   記レンズを光軸に合わせうるように構成したことを特徴
   とするレンズホルダ。 ２、レンズを通過する光路を確保しつつ該レンズを保持
   する部材であつて、一端にレンズを組み込むと共に、該
   レンズ組み込み位置から離れた箇所を他の剛性部材への
   接合位置とすることにより、該接合位置を支点として前
   記光路に対する傾きを調整可能にしたことを特徴とする
   レンズホルダ。 ３、レンズを通過する光路を確保しつつ該レンズを保持
   する部材であつて、該保持部材における主たる部分がパ
   イプ状若しくは板状又はこれらの併用形状であり、その
   主たる部分の一部が残余の部分よりも低剛性となつてい
   ることを特徴とするレンズホルダ。 ４、レンズを保持するホルダの一部を塑性変形させるこ
   とにより前記レンズを動かしてレンズ位置を調整可能に
   したことを特徴とするレンズホルダ。 ５、請求項１、２、３又は４記載において、前記保持部
   材に切り込みを設けて塑性変形発生ケ所を特定したこと
   を特徴とするレンズホルダ。 ６、請求項１乃至５いずれか記載のレンズホルダと発光
   素子とが互いに共通する光路上に配置されると共に両者
   が同一基板上に搭載されていることを特徴とする発光装
   置。 ７、請求項１乃至５いずれか記載のレンズホルダと該レ
   ンズホルダに保持されるレンズと該レンズの光路上に配
   置された発光素子とを一枚の基板上に備え、かつ該基板
   の一部は前記レンズホルダを前記レンズから離れた位置
   で固定される第１の凸部と前記発光素子の搭載部位とな
   る第２の凸部とを形成してなることを特徴とする発光装
   置。 ８、請求項６又は７記載の基板がクーラ上に搭載されて
   いることを特徴とする発光装置。 ９、請求項１乃至５いずれか記載のレンズホルダを抵抗
   溶接及び／またはろう付けにより前記基板に接合してな
   ることを特徴とする請求項６乃至８いずれかに記載の発
   光装置。 １０、半導体レーザから射出された光を第１のレンズを
   介して平行光若しくは集束光とし、アイソレータを通し
   た後第２のレンズで集光し、光ファイバに導入する半導
   体発光装置において、前記半導体レーザから第１のレン
   ズまでを請求項６乃至９いずれか記載の発光装置で構成
   したことを特徴とする半導体発光装置。 １１、レンズのホルダの一部を塑性変形させることによ
   り、アイソレータを通つた光をレンズで集光し、ファイ
   バに導入する装置において、集光した光をファイバ端面
   に垂直に導入させたことを特徴とする請求項１０に記載
   の半導体発光装置。 １２、ファイバ、プリズム、ミラー、スイッチ等の光学
   機能素子を搭載したホルダの一部を塑性変形させること
   により光軸微調整を行いうる構成にしたことを特徴とす
   る光学モジュール。 １３、請求項１乃至５いずれかに記載のレンズホルダを
   光軸上に概略的に位置決めした後、該レンズホルダの一
   部を剛部材に固定し、しかる後に前記レンズホルダの傾
   きを微調させることにより及び／または該レンズホルダ
   の一部を塑性変形させることによつて、レンズを光軸に
   位置合わせすることを特徴とするレンズ位置調整方法。 １４、請求項１乃至５いずれかに記載のレンズホルダを
   光軸上に概略的に位置決めした後、該レンズホルダの一
   部を剛部材に固定し、しかる後、発光素子を駆動して発
   光させながらレンズ通過後の光出力をモニターしつつ光
   出力が増大する方向にレンズホルダ自体を曲げることに
   より、レンズを光軸に位置合わせすることを特徴とする
   レンズ位置調整方法。