JPH02309036A - 除振台 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 （発明の技術分野） 本発明は、振動発生源を有する第１部材とその第１部材
からの振動の伝達を嫌う第２部材とを所定の関係にて固
定する除振台に関するものである。

（発明の背景） 第３図に示したように、定盤２上には第１部材４と第２
部材５とが固定されている。部材５は例えば顕微鏡等の
観察装置あるいは半導体製造分野で使用されるバタン転
写装置、バタン描画装置であり、部材４は例えば観察装
置の載物台に試料を搬送するための搬送装置である。す
なわち、部材４は試料を順次搬送腕に送り出す機構を有
し、搬送腕が移動することにより、試料は部材５内に搬
入され部材５の載物台上にくる。載物台は中央に上下動
自在の真空チャックあるいは静電チャックを有し、この
チャックが上昇して前記搬送腕の試料を受は取るように
なっている。″ｔｉ送腕通読記チャックに試料を受は渡
した後、部材４内に戻り、またチャックは下降して受は
取った試料を！！載物台所定位置に載置させる。観察終
了後、前記チャックが上昇することにより、試料は受は
渡し位置まで搬送され部材４からの搬送腕に受は渡しさ
れる。Ｒ通読は受は取った試料を収納する。

このような構造の場合、部材４内には搬送腕を移動する
ために、モータ等の大きな振動を発生する振動発生源が
あり、この振動が定盤２を通して部材５に伝達され、試
料の観察に支障を来す場合がある。

従来このような防振のためには、エアークッション２防
振ゴム等の固有振動数の低い部材が用いられている。し
かしながら、このような固有振動数の低い材料を上述の
部材４、部材５と定盤の間に配設すると、弾性変形量が
大きいために、互いの相対位置を正確に保持することが
困難であるという欠点が生ずる。

（発明の目的） 本発明は、これらの欠点を解決し、定盤上の第１部材と
第２部材との間の防振を行なうとともに、互いの相対位
置も正確に保持することのできる除振台を得ることを目
的とするものである。

（発明の構成） この目的を達成するために、本発明は、定盤上に振動発
生源を有する第１部材と該第１部材からの振動の伝達を
嫌う第２部材とを所定の関係にて固定する除振台におい
て、前記定盤は除振層により支持面に支持され、前記第
１部材と前記定盤間もしくは前記第２部材と前記定盤間
の少なくとも一方に金属もしくは磁性複合材料からなる
吸振性材料より構成された第２の定盤が配設された構成
を有している。

ここで、金属もしくは磁性複合材料から成る吸振性材料
（制御材料）とは、例えば、鉄などに比べて対数減衰率
が２〜３桁大きい各種合金、鋳鉄。

磁性複合材料等を差し、例えばＮＩＸＸＥＩ　ｌ’１Ｅ
ｃ）ＩＡＮＩｃＡＬ　１９８３．３．１４の１２９頁か
ら１３６頁に紹介されているようにトランカロイ（日本
銅管製）、フェリストーン（日電製）等として製品化さ
れているものがある。

（実施例） 第１図は本発明の第１実施例であって、除振層１により
支持面としての床面からの振動の伝達を除くように支持
された第１定盤２上には、金属性の吸振性材料によって
作られた第２定盤３がボルト等で取り付けられている。

第１定盤２は花崗岩等で作られた石定盤であり、第２定
盤３は例えばフェリストーン（日電製）で作られた吸振
性材料の定盤であり、第２定盤３には、第１定盤２と直
接接触することがないように振動を防ぐ必要のある観察
装置５がボルト等で取り付けられている。

また、搬送装置４は第１定盤２に直接ボルト等で取り付
けられている。

このような構造であるから、この実施例では、搬送装置
４から発生する振動は、観察装置５に達する途中で、吸
振性材料によって作られた第２定盤３により吸収される
。従って、観察装置５に搬送装置４からの振動示伝わる
ことがない。しかも定盤３は金属性であるために弾性変
形量は小さく、観察装置５と搬送装置４の位置は正確に
確保されるから、試料の受は渡し時の狂いを無くすため
の高精度の位置決めを可能とするものであるゆ次に、第
２図は、部材４．５の底面の高さを一致させる必要があ
り、さらに、部材４．５の間隔を設定し易い場合の本発
明の第２実施例である。

第２図の実施例は、第１図と同様に支持された第１定盤
２の一部に凹陥部７を形成し、その凹陥部７に、底面の
みが接するように第２定盤３を固定する。第１図の実施
例と同様に、第２部材５を第２定盤３に固定し、第１部
材４は直接第１定盤２に固定する。さらに、第１部材４
と第２部材５は、相互間に吸振性材料により作られた中
空の振動絶縁材６を介して互いに結合される。第１部材
４を搬送装置、第２部材５を観察装置とすれば、絶縁材
６の中空部分は搬送腕の移動空間となる。

このような構造であるため、第１図の実施例と同様に、
第１部材４によって発生する振動は、第２部材５に達す
る途中で、第２底盤３、振動絶縁材６により吸収される
と共に、第１部材４と第２部材５の相対的な位置関係は
保持される。

第２図の例において、第２定盤３の側面を第１定盤２に
接触しないように取り付けるのは、第１定盤２の表面を
伝わる振動を第２定盤３に伝えにくくさせるためであり
、この振動が少ない場合には、側面を接触させたり、隙
間に充填物（例えば吸振性材料）を入れれば小部品が落
ちることを防止することができる。

また、第１図と第２図の実施例では、振動を嫌う第２部
材５を、吸振性材料によって作られた第２定盤３に取り
付けたが、これらの例とは逆に、振動発生源である第１
部材４を吸振性材料によって作られた第２定盤に取り付
けても同様な効果を期待するこ、とが出来るし、第１部
材４と第１定盤２との間及び第２部材５と第１定盤２と
の間のいずれにも各々第２定盤３を設けても良い。

（発明の効果） 以上のように、本発明によれば、弾性変形が小さく吸振
性の金属材料の振動を発生する第１部材と、振動を嫌う
第２部材との間に入れることによって、第１部材から第
２部材へ伝わる振動を吸収し、しかもそれらの部材間の
相対的位置関係を正確に保持することが出来る効果が得
られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の第１実施例の構造を示す側面図、第２
図は本発明の第２実施例の構造を示す側面図、第３図は
従来装置の構造例を示す側面図である。 １・・・除振脚、　２・・・第１定盤、　３・・・第２
定盤、４・・・第１部材（搬送装置等）、　５・・・第
２部材（観察装置等）、　６・・・振動絶縁材、７・・
・凹陥部。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 定盤上に振動発生源を有する第１部材と該第１部材から
   の振動の伝達を嫌う第２部材とを所定の関係にて固定す
   る除振台において、 前記定盤は除振脚により支持面に支持され、前記第１部
   材と前記定盤間もしくは前記第２部材と前記定盤間の少
   なくとも一方に金属もしくは磁性複合材料から成る吸振
   性材料より構成された第２の定盤が配設されたことを特
   徴とする除振台。