JPH0235252A - 2次元運動機構 - Google Patents
2次元運動機構Info
- Publication number
- JPH0235252A JPH0235252A JP18423488A JP18423488A JPH0235252A JP H0235252 A JPH0235252 A JP H0235252A JP 18423488 A JP18423488 A JP 18423488A JP 18423488 A JP18423488 A JP 18423488A JP H0235252 A JPH0235252 A JP H0235252A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- axis
- rod
- drive body
- coupling
- guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 230000033001 locomotion Effects 0.000 title claims abstract description 15
- 230000008878 coupling Effects 0.000 abstract description 8
- 238000010168 coupling process Methods 0.000 abstract description 8
- 238000005859 coupling reaction Methods 0.000 abstract description 8
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Standing Axle, Rod, Or Tube Structures Coupled By Welding, Adhesion, Or Deposition (AREA)
- Transmission Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明はx−yステージ等の2次元運動機構に関する。
(従来の技術)
従来、移動体を所定の矩形平面内で移動可能に設けた2
次元運動機構としては、本願発明者が開発し、実開昭5
9−88556号公報に開示される技術が有る。この技
術は3次元運動機構であるが、平行に配された2組のX
軸ガイドと、平行に配されると共に、1111記X輔ガ
イドとは路間−・平面内で直交する2 &J]のY軸ガ
イ(−と、前記X軸ガイドとX軸ガイド−とで囲まれて
形成される矩形平面内を移動可能な移動体と、前記X軸
ガイドに沿って移動可能に配された2個のX軸駆動部と
、前記Y軸ガイ1に沿って移動可能に配された2個のY
軸駆動部と、前記移動体へ前記Y軸ガイI・に平行に挿
通され、両端が前記X!lll駆動部に連結されたX軸
ロッドと、前記移動体へ前記X軸ガイlに平行に挿通さ
れ、両端が前記Y軸駆動部に連結されたY軸ロッドとを
有し、移動体は2次元運動を行う構成になっている。
次元運動機構としては、本願発明者が開発し、実開昭5
9−88556号公報に開示される技術が有る。この技
術は3次元運動機構であるが、平行に配された2組のX
軸ガイドと、平行に配されると共に、1111記X輔ガ
イドとは路間−・平面内で直交する2 &J]のY軸ガ
イ(−と、前記X軸ガイドとX軸ガイド−とで囲まれて
形成される矩形平面内を移動可能な移動体と、前記X軸
ガイドに沿って移動可能に配された2個のX軸駆動部と
、前記Y軸ガイ1に沿って移動可能に配された2個のY
軸駆動部と、前記移動体へ前記Y軸ガイI・に平行に挿
通され、両端が前記X!lll駆動部に連結されたX軸
ロッドと、前記移動体へ前記X軸ガイlに平行に挿通さ
れ、両端が前記Y軸駆動部に連結されたY軸ロッドとを
有し、移動体は2次元運動を行う構成になっている。
(発明が解決しようとする課題)
しかしながら、上記の従来の2次元運動機構には次のよ
うな課題が有る。
うな課題が有る。
1台の2次元運動機構装置で多種類の作業を行う場合、
移動体を交換する必要が有る。その際、X軸ロッド及び
Y軸ロッ1をX軸駆動体及びX軸駆動体へ連結する位置
を正確に決める調整がゲltLい。特にX軸ロッド及び
/またはY軸ロッドの数が複数本になるとさらに連結位
置の調整は暉しくなり装置の停止時間が長くなっ“でし
まい作業量がダウンするという課題が有る。
移動体を交換する必要が有る。その際、X軸ロッド及び
Y軸ロッ1をX軸駆動体及びX軸駆動体へ連結する位置
を正確に決める調整がゲltLい。特にX軸ロッド及び
/またはY軸ロッドの数が複数本になるとさらに連結位
置の調整は暉しくなり装置の停止時間が長くなっ“でし
まい作業量がダウンするという課題が有る。
従って、本発明は移動体を交換する際に容易にX軸ロソ
l及びY輔ロソ1を、X軸駆動体及びX軸駆動体の所定
連結位置へ正確に連結可能な2次元運動機構を提供する
ことを1」的とする。
l及びY輔ロソ1を、X軸駆動体及びX軸駆動体の所定
連結位置へ正確に連結可能な2次元運動機構を提供する
ことを1」的とする。
(課題を解決するための手段)
」二記課題を解決するため、本発明は次の構成を備える
。
。
すなわち、平行に配された2組のX軸ガイ1−と、平行
に配されると共に、軸線が前記X軸ガイドの軸線とは路
間−平面内で直交する2組のX軸ガイドと、前記X軸ガ
イI上をX輔ガイ1の長さ方向へ移動可能に設けられた
X@駆動体と、前記X軸ガイド上をX軸ガイドの長さ方
向へ移動可能に設けられたX軸駆動体と、前記X軸駆動
体を前記X軸ガイド上で移動させるためのX軸駆動手段
と、前記X軸駆動体を前記Y軸ガイド上で移動さ・ける
ためのY軸駆動手段と、両端がそれぞれ前記X軸駆動体
に連結されζ[)j1記Y軸ガイドに平行に設けられた
X軸ロッドと、両端がそれぞれ前記X軸駆動体に連結さ
れて前記X軸ガイドに平行に設けられたY軸ロッドと、
前記X軸ロッドと前記Y軸ロッドが挿入され、X軸ロッ
ド上及びY軸ロッド上を移動自在に設けられた移動体と
を具備する2次元運動機構において、前記X軸及びY軸
ロッドは、X軸駆動体及びX軸駆動体へ連結する際に所
定の位置へ連結するために位置決め部を有する連結手段
を介して連結されていることを特徴とする。
に配されると共に、軸線が前記X軸ガイドの軸線とは路
間−平面内で直交する2組のX軸ガイドと、前記X軸ガ
イI上をX輔ガイ1の長さ方向へ移動可能に設けられた
X@駆動体と、前記X軸ガイド上をX軸ガイドの長さ方
向へ移動可能に設けられたX軸駆動体と、前記X軸駆動
体を前記X軸ガイド上で移動させるためのX軸駆動手段
と、前記X軸駆動体を前記Y軸ガイド上で移動さ・ける
ためのY軸駆動手段と、両端がそれぞれ前記X軸駆動体
に連結されζ[)j1記Y軸ガイドに平行に設けられた
X軸ロッドと、両端がそれぞれ前記X軸駆動体に連結さ
れて前記X軸ガイドに平行に設けられたY軸ロッドと、
前記X軸ロッドと前記Y軸ロッドが挿入され、X軸ロッ
ド上及びY軸ロッド上を移動自在に設けられた移動体と
を具備する2次元運動機構において、前記X軸及びY軸
ロッドは、X軸駆動体及びX軸駆動体へ連結する際に所
定の位置へ連結するために位置決め部を有する連結手段
を介して連結されていることを特徴とする。
(作用)
作用について説明する。
X軸ロッド及びY軸ロッドを、X軸駆動体及びX軸駆動
体へ連結する際に、位置決め部によって連結位置が正確
に決められるので連結手段を介して容易に連結が可能と
なる。
体へ連結する際に、位置決め部によって連結位置が正確
に決められるので連結手段を介して容易に連結が可能と
なる。
(実施例)
以下、本発明の好適な実施例について添付図面と共に詳
述する。
述する。
まず構成について説明する。
第1図において、1oはフレームであり、中央がくり抜
かれた四角い棒状をなす4り体に形成されている。
かれた四角い棒状をなす4り体に形成されている。
12.14はX軸ガイドの一例であるX軸ボールネジで
あり、平行に配されている。X軸ポール皐ジ】2.14
は不図示の支持部材によってフレーム10」二に回動自
在に支持されている。
あり、平行に配されている。X軸ポール皐ジ】2.14
は不図示の支持部材によってフレーム10」二に回動自
在に支持されている。
16.18はX軸ガイドの一例であるY軸ボールネジで
あり、平行に配されていると共に、軸線がX軸ボールネ
ジ12.14の軸線と路間−平面内で直交するよう配さ
れている。Y軸ボールネジ16.18もやはり不図示の
支持部材によってフレーム10上に回動自在に支持され
ている。
あり、平行に配されていると共に、軸線がX軸ボールネ
ジ12.14の軸線と路間−平面内で直交するよう配さ
れている。Y軸ボールネジ16.18もやはり不図示の
支持部材によってフレーム10上に回動自在に支持され
ている。
20はX軸駆動手段であるX軸モータであり、軸22・
・・とヘベルギア24・・・からなる第1の伝達機構を
介して2tlijOX軸ボールネジ12.14を同方向
へ同速度で回転させる。
・・とヘベルギア24・・・からなる第1の伝達機構を
介して2tlijOX軸ボールネジ12.14を同方向
へ同速度で回転させる。
26はY軸駆動手段であるY軸モータであり、軸28・
・・とヘベルギア3o・・・からなる第2の伝達機構を
介して2個のY軸ボールネジ16、18を同方向へ同速
度で回転させる。
・・とヘベルギア3o・・・からなる第2の伝達機構を
介して2個のY軸ボールネジ16、18を同方向へ同速
度で回転させる。
32.34はX軸駆動体であり、X軸ボールネジ12.
14へそれぞれ螺合され、X軸ホールネジ12.14が
回転することによりX軸ボールネジ12.14−にを移
動する。
14へそれぞれ螺合され、X軸ホールネジ12.14が
回転することによりX軸ボールネジ12.14−にを移
動する。
30.3))はY軸駆動体であり、Y軸ポールネジ16
.18へそれぞれ螺合され、Y軸ポールネジ] 〔j、
」8が回転することによりY軸ボールネジ1(風 18
」−を移動する。
.18へそれぞれ螺合され、Y軸ポールネジ] 〔j、
」8が回転することによりY軸ボールネジ1(風 18
」−を移動する。
40はX軸U1ノドであり、Y軸ボールネジ16.18
−\平行に配され、両端は連結手段42.44を介して
X輔駆動体32.34へ連結されている。
−\平行に配され、両端は連結手段42.44を介して
X輔駆動体32.34へ連結されている。
4GはY輔[Iノドであり、X軸ポールネジ12.14
−・平行に配され、両端は連結手段48.50を介して
Y軸駆動体36.38へ連結されている。
−・平行に配され、両端は連結手段48.50を介して
Y軸駆動体36.38へ連結されている。
52は移ηす3体でありX軸ロッド40とYIIIll
IOソF 4 [iが直角に挿通されており、X軸ボー
ルネジ12.14とY軸ホールネジ16、]8に囲まれ
て形成される矩形平面54内でX軸ロッド40とY軸ロ
ッド46上を移動することによりX−Y方向の2次元連
動を行う。
IOソF 4 [iが直角に挿通されており、X軸ボー
ルネジ12.14とY軸ホールネジ16、]8に囲まれ
て形成される矩形平面54内でX軸ロッド40とY軸ロ
ッド46上を移動することによりX−Y方向の2次元連
動を行う。
ごの移動体52にロボット装置のヘソ1ζ、工其もしく
はワークを取りイ」す、矩形平面54内で位置決めを行
ないつつ作業を行うことができイ】。また、移動体52
には第1図に図示したブロック状のものの他、第2図(
a)〜(d)に示すように作業の用途等により様々な形
状のものを取り(=t L′Jル必要があり、X軸ロッ
ド40、Yllilll+ニドノド46と共に交換可能
にする必要が有る。そのため本発明では連結手段42.
44.48.50を用いている。第3図にX軸ロノF’
40とX軸駆動体32を連結しCいる連結手段42を
示す。他の連結手段44.48.50も同じ構造なので
連結三丁段42につい゛C説明する。
はワークを取りイ」す、矩形平面54内で位置決めを行
ないつつ作業を行うことができイ】。また、移動体52
には第1図に図示したブロック状のものの他、第2図(
a)〜(d)に示すように作業の用途等により様々な形
状のものを取り(=t L′Jル必要があり、X軸ロッ
ド40、Yllilll+ニドノド46と共に交換可能
にする必要が有る。そのため本発明では連結手段42.
44.48.50を用いている。第3図にX軸ロノF’
40とX軸駆動体32を連結しCいる連結手段42を
示す。他の連結手段44.48.50も同じ構造なので
連結三丁段42につい゛C説明する。
第3図において56は延設部であり、χ軸駆動体32の
下部から水平に延設されている。その延設部56上面に
は位置決め部を構成する2本の位置決めピン58.60
が立設されている。また、延設部56には2個の雌螺孔
62.64も穿設されている。一方、6Gは連結部であ
り、X軸17ノト40の端部へ固定されている。連結部
66の底面には位置決めピン58.60と嵌合し、位置
決め部を構成する位置決め孔(不図示)が2個穿設され
ている。また、連結部66のフランジ68.70には延
設部56の雌螺孔62.64に対応する位置に透孔72
.74が穿設されている。連結部66の、延設部56へ
の取りイ」けは、連結部66の位置決め孔と延設部56
の位置決めピン58.60を嵌合させ、ボルト76.7
8を透孔72.74へ挿通させると共に雌螺孔62.6
4へ螺着させればX軸ロッド40のX軸駆動体32への
連結が完了する。連結部66を延設部56へ2本のボル
ト76.78を介して固定するので位置決めピン58.
60及び位置決め孔からなる位置決め部は無くてもよい
ように思われるが、迅速な位置決めと、ポル]・以外の
他の手段、例えば連結部66と延設部56を単に挟着す
る手段で取り付ける場合には位置決め部は不可欠である
。
下部から水平に延設されている。その延設部56上面に
は位置決め部を構成する2本の位置決めピン58.60
が立設されている。また、延設部56には2個の雌螺孔
62.64も穿設されている。一方、6Gは連結部であ
り、X軸17ノト40の端部へ固定されている。連結部
66の底面には位置決めピン58.60と嵌合し、位置
決め部を構成する位置決め孔(不図示)が2個穿設され
ている。また、連結部66のフランジ68.70には延
設部56の雌螺孔62.64に対応する位置に透孔72
.74が穿設されている。連結部66の、延設部56へ
の取りイ」けは、連結部66の位置決め孔と延設部56
の位置決めピン58.60を嵌合させ、ボルト76.7
8を透孔72.74へ挿通させると共に雌螺孔62.6
4へ螺着させればX軸ロッド40のX軸駆動体32への
連結が完了する。連結部66を延設部56へ2本のボル
ト76.78を介して固定するので位置決めピン58.
60及び位置決め孔からなる位置決め部は無くてもよい
ように思われるが、迅速な位置決めと、ポル]・以外の
他の手段、例えば連結部66と延設部56を単に挟着す
る手段で取り付ける場合には位置決め部は不可欠である
。
なお、実際にはX軸ボールネジ12.14及びY軸ポー
ルネジ16.18等にはカバー(不図示)が取り付けら
れるため、延設部56はそのカバより矩形平面54側ヘ
カハーに設&Jられたスロッド等から突出するようにな
っている。
ルネジ16.18等にはカバー(不図示)が取り付けら
れるため、延設部56はそのカバより矩形平面54側ヘ
カハーに設&Jられたスロッド等から突出するようにな
っている。
従って、移動体52の交換は、交換する移動体52に挿
通されたX軸ロッド4oとY軸ロッド4Gの長さ(矩形
平面54のザイスで予め決められる)さえ同一ならば4
個の連結手段42.44.48.50の取り外しと付は
換えで簡]1に行な・うごとができる。
通されたX軸ロッド4oとY軸ロッド4Gの長さ(矩形
平面54のザイスで予め決められる)さえ同一ならば4
個の連結手段42.44.48.50の取り外しと付は
換えで簡]1に行な・うごとができる。
上述の実施例ではX軸ロッド4oとY軸ロッド46が各
−本ずつ挿通された移動体52について説明したが、移
動体52が支持する1工具もしくはワーク等が重い場合
等、第4図に示すように複数のX軸ロッド40a・・・
及び/もしくはY軸ロッド46a・・・が挿通された移
動体52が用いられる。その場合の連結手段4.2 a
を第5図に示す。第3図と同様、X軸駆動体32に対応
する連結手段42aで説明する。延設部56の構造は第
3図の例と同一である。長尺の連結部66aは底面には
やはり位置決めピン58.6oに嵌合可能な位置決め孔
(不図示)が穿設されている。また、連結部66aには
雌螺孔62.64に対応した位置に透孔72a、74a
が穿設されており、ポルト76 a、78aで延設部5
6へ連結部66aを取り付けるようになっている。
−本ずつ挿通された移動体52について説明したが、移
動体52が支持する1工具もしくはワーク等が重い場合
等、第4図に示すように複数のX軸ロッド40a・・・
及び/もしくはY軸ロッド46a・・・が挿通された移
動体52が用いられる。その場合の連結手段4.2 a
を第5図に示す。第3図と同様、X軸駆動体32に対応
する連結手段42aで説明する。延設部56の構造は第
3図の例と同一である。長尺の連結部66aは底面には
やはり位置決めピン58.6oに嵌合可能な位置決め孔
(不図示)が穿設されている。また、連結部66aには
雌螺孔62.64に対応した位置に透孔72a、74a
が穿設されており、ポルト76 a、78aで延設部5
6へ連結部66aを取り付けるようになっている。
以上、本発明の好適な実施例について種々述べて来たが
、本発明は」二連の実施例に限定されるのではなく、発
明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのは
もちろんである。
、本発明は」二連の実施例に限定されるのではなく、発
明の精神を逸脱しない範囲で多くの改変を施し得るのは
もちろんである。
(発明の効果)
本発明に係る2次元運動機構を用いると、移動体の交換
が容易に行なうことができると共に、X軸ロノFとY軸
ロッドの長ささえ正確であれば精密装置に特有の調整作
業を行う必要がなくなる。
が容易に行なうことができると共に、X軸ロノFとY軸
ロッドの長ささえ正確であれば精密装置に特有の調整作
業を行う必要がなくなる。
従って迅速な交換と共に装置の停止時間が僅かで済むと
いう著効を奏する。
いう著効を奏する。
第1図は本発明に係る2次元運動機構の実施例を示した
平面図、第2図(a)〜(d)は移動体の他の態様を示
した平面図、第3図は連結手段を示した斜視図、第4図
(a)〜(c)は複数のX軸ロッド及び/もしくはY軸
ロッドを用いた移動体の平面図、第5図は第4図に示し
た移動体を取り付けるための連結手段の斜視図。 12.14・・・X軸ボールネジ、 1.6.1.8・・・Y軸ボールネジ、20・・・X軸
モータ、 26・・・Y !id+モータ、32.3
4・・・Xil!llI駆動体、36.38・・・YI
illl駆動体、40・・・X軸ロフト、 42.4
4・・・連結手段、 46・・・Y軸1コソド、 48.50・・・連結手段、 52・・・移動体、5
8.60・・・位置決めピン。
平面図、第2図(a)〜(d)は移動体の他の態様を示
した平面図、第3図は連結手段を示した斜視図、第4図
(a)〜(c)は複数のX軸ロッド及び/もしくはY軸
ロッドを用いた移動体の平面図、第5図は第4図に示し
た移動体を取り付けるための連結手段の斜視図。 12.14・・・X軸ボールネジ、 1.6.1.8・・・Y軸ボールネジ、20・・・X軸
モータ、 26・・・Y !id+モータ、32.3
4・・・Xil!llI駆動体、36.38・・・YI
illl駆動体、40・・・X軸ロフト、 42.4
4・・・連結手段、 46・・・Y軸1コソド、 48.50・・・連結手段、 52・・・移動体、5
8.60・・・位置決めピン。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1、平行に配された2組のX軸ガイドと、 平行に配されると共に、軸線が前記X軸ガ イドの軸線とは略同一平面内で直交する2組のY軸ガイ
ドと、 前記X軸ガイド上をX軸ガイドの長さ方向 へ移動可能に設けられたX軸駆動体と、 前記Y軸ガイド上をY軸ガイドの長さ方向 へ移動可能に設けられたY軸駆動体と、 前記X軸駆動体を前記X軸ガイド上で移動 させるためのX軸駆動手段と、 前記Y軸駆動体を前記Y軸ガイド上で移動 させるためのY軸駆動手段と、 両端がそれぞれ前記X軸駆動体に連結され て前記Y軸ガイドに平行に設けられたX軸ロッドと、 両端がそれぞれ前記Y軸駆動体に連結され て前記X軸ガイドに平行に設けられたY軸ロッドと、 前記X軸ロッドと前記Y軸ロッドが挿入さ れ、X軸ロッド上及びY軸ロッド上を移動自在に設けら
れた移動体とを具備する2次元運動機構において、 前記X軸及びY軸ロッドは、X軸駆動体及 びY軸駆動体へ連結する際に所定の位置へ連結するため
に位置決め部を有する連結手段を介して連結されている
ことを特徴とする2次元運動機構。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63184234A JP2804483B2 (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | 2次元運動機構 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63184234A JP2804483B2 (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | 2次元運動機構 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0235252A true JPH0235252A (ja) | 1990-02-05 |
| JP2804483B2 JP2804483B2 (ja) | 1998-09-24 |
Family
ID=16149723
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63184234A Expired - Fee Related JP2804483B2 (ja) | 1988-07-22 | 1988-07-22 | 2次元運動機構 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2804483B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO1995000776A1 (en) * | 1993-06-28 | 1995-01-05 | Yugen Kaisha Sozoan | Rotary motion mechanism |
| KR100844287B1 (ko) * | 2002-02-08 | 2008-07-09 | 록히드 마틴 코포레이션 | 파편 트래킹을 위하여 도플러 트랙 상관시키는 시스템 및 방법 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5712156A (en) * | 1980-06-26 | 1982-01-22 | Brother Ind Ltd | X-y feed driver |
| JPS5988556U (ja) * | 1982-12-03 | 1984-06-15 | 柳沢 健 | 3次元運動機構 |
-
1988
- 1988-07-22 JP JP63184234A patent/JP2804483B2/ja not_active Expired - Fee Related
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5712156A (en) * | 1980-06-26 | 1982-01-22 | Brother Ind Ltd | X-y feed driver |
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|---|---|---|---|---|
| WO1995000776A1 (en) * | 1993-06-28 | 1995-01-05 | Yugen Kaisha Sozoan | Rotary motion mechanism |
| US5655406A (en) * | 1993-06-28 | 1997-08-12 | Yugen Kaisha Sozoan | Rotary motion drive system |
| CN1048082C (zh) * | 1993-06-28 | 2000-01-05 | 有限会社创造庵 | 回转驱动机构 |
| KR100844287B1 (ko) * | 2002-02-08 | 2008-07-09 | 록히드 마틴 코포레이션 | 파편 트래킹을 위하여 도플러 트랙 상관시키는 시스템 및 방법 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2804483B2 (ja) | 1998-09-24 |
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