JPH0236166B2 - - Google Patents

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JPH0236166B2
JPH0236166B2 JP57196671A JP19667182A JPH0236166B2 JP H0236166 B2 JPH0236166 B2 JP H0236166B2 JP 57196671 A JP57196671 A JP 57196671A JP 19667182 A JP19667182 A JP 19667182A JP H0236166 B2 JPH0236166 B2 JP H0236166B2
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JP
Japan
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interferometer
medium
light
interferometer according
radiation
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JP57196671A
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JPS5892902A (ja
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Arudeitei Erube
Gurandoruju Fuiritsupu
Papushon Misheru
Yuinyaaru Jannpieeru
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Thales SA
Original Assignee
Thomson CSF SA
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Publication date
Application filed by Thomson CSF SA filed Critical Thomson CSF SA
Publication of JPS5892902A publication Critical patent/JPS5892902A/ja
Publication of JPH0236166B2 publication Critical patent/JPH0236166B2/ja
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    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
    • G02F1/0338—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect structurally associated with a photoconductive layer or having photo-refractive properties
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01C—MEASURING DISTANCES, LEVELS OR BEARINGS; SURVEYING; NAVIGATION; GYROSCOPIC INSTRUMENTS; PHOTOGRAMMETRY OR VIDEOGRAMMETRY
    • G01C19/00—Gyroscopes; Turn-sensitive devices using vibrating masses; Turn-sensitive devices without moving masses; Measuring angular rate using gyroscopic effects
    • G01C19/58—Turn-sensitive devices without moving masses
    • G01C19/64—Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams
    • G01C19/72—Gyrometers using the Sagnac effect, i.e. rotation-induced shifts between counter-rotating electromagnetic beams with counter-rotating light beams in a passive ring, e.g. fibre laser gyrometers
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01J—MEASUREMENT OF INTENSITY, VELOCITY, SPECTRAL CONTENT, POLARISATION, PHASE OR PULSE CHARACTERISTICS OF INFRARED, VISIBLE OR ULTRAVIOLET LIGHT; COLORIMETRY; RADIATION PYROMETRY
    • G01J9/00—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength
    • G01J9/02—Measuring optical phase difference; Determining degree of coherence; Measuring optical wavelength by interferometric methods

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  • Optics & Photonics (AREA)
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  • Remote Sensing (AREA)
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  • Ceramic Engineering (AREA)
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  • Radar, Positioning & Navigation (AREA)
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  • Instruments For Measurement Of Length By Optical Means (AREA)
  • Gyroscopes (AREA)
  • Measuring Magnetic Variables (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はマイケルソン干渉計の原理に基づいて
構成した干渉計に関する。マイケルソン干渉計
は、一般に、単色放射線源、鏡によつて終端した
２つの測定アームに供給する、例えば半透明板の
如く光学ビームスプリツター手段、及び２つの測
定アームに沿つて往復運動をした放射線を光学ス
プリツター手段を介して重ね合せるように配置さ
れた放射線検出器から成る。このような装置は、
測定アームに沿う光学放射線の伝播に影響するよ
うな多数の物理量を測定することが可能である。
これらの物理量のあるものは、測定アームの各々
における光学放射線の伝播方向がどのようなもの
であろうと、同一の伝達遅延を発生させる相反効
果を生じさせる。他の物理量は光学放射線の伝播
の関数として異なつたように伝達遅延に影響する
非相反効果に導く。通常考えられる非相反効果は
フアラデイー効果及び相対論的慣性効果である。
フアラデイー効果は、磁界が好ましい電子スピン
配向を生じさせるような材料媒質から測定アーム
が成るとき、生じる。この効果を用いることによ
つて、干渉計で電流の測定に適用できるものであ
る。この場合、測定アームは、各端で励振される
光フアイバーの如き光ガイド中の光学放射線を循
環することによつて軸に結ぶことができる。この
ことは、鏡をなくすことができ且つ干渉計は環状
干渉計となる。環状干渉計で用いられる相対論的
慣性効果はサグナツク効果と呼ばれ、そのとき干
渉計はジヤイロメータと呼ばれる。
相反効果は空間または材料媒質の対称性の破壊
とは関連がない。これらの相反効果は、測定アー
ムが機械的、光学的または熱的応力の源であると
き観察される。
マイケルソン干渉計が特定の物理量を測定する
ために用いられるとき、一般に、干渉計は測定を
誤まらせるかもしれない他の物理量に対しても感
応する。
相反効果の場合、測定アームの端に従来通り嵌
合した鏡は測定アームを実際の２倍に表し、この
ことは非相反効果を測定しようと望む際には主要
な欠点となる。
さらに、共役波頭の形態で入射波頭を反射する
ことができる光屈折媒質の使用に基づく光学反射
系は周知である。普通の鏡は、その鏡に光を照射
している物体ではない虚像の物体からあたかも光
がくるように光を反射する。しかし、光屈折媒質
は、共役位相を有する波頭を反射し、物体からの
放射線と同形写像関係の放射線を物体に戻す。相
反効果の場合に、この相互作用的反射は、もしそ
れらの効果が放射線の往復路中に変化されず、光
屈折媒質がこれらの効果の変化に適応できるなら
ば、そのような効果に無感応であることを保証す
る。しかしながら、相反効果を打消す能力は非相
反効果の干渉測定に対して不利になるものでな
く、環状干渉計に対して従来から占められていた
分野にマイケルソン干渉計の使用に対する新しい
可能性を与えるものである。
本発明は、光屈折鏡を持つマイケルソン干渉計
において、単色放射線源と、反射体で終端した２
つの測定アームに放射線の第１及び第２部分を分
配する光学ビームスプリツターと、及び前記アー
ムに沿つて往復した放射線の第１及び第２部分を
光学スプリツターを介して重ね合せるように集め
るように配置した光検出器と、を有し、第１及び
第２放射線部分が光屈折媒質内で交叉し、反射体
が垂直入射の下で光屈折媒質を横切つた放射線の
第１部分を反射するように配置されていることを
特徴とする干渉計に関するものである。
次ぎに本発明の添付図面を参照して説明する。
第１図は、従来の鏡の代わりに光屈折性反射体を
用いてマイケルソン干渉計とは異なる２つのアー
ムを有する干渉計を示す。
従来のマイケルソン干渉計と共通に、図示の干
渉計は、例えば、平らな半反射板によつて構成さ
れた光学スプリツター２の方向にビーム１１を放
出する単色放射源１を有する。スプリツター２に
入る入射放射線１１は第１の透過部分１２及び第
２の反射部分１４に分割される。
透過部分１２はレンズ４によつて第１の光ガイ
ド６の入口Ａに焦点が結ばれ、光ガイドこの放射
線部分を出口Ｂで再放出する。
反射部分１４は鏡３によつてレンズ５に向けら
れ、レンズ５は第２の光ガイド７の入口Ｃに放射
線１５の焦点を合せる。光ガイド７の端Ｄは発散
ビームを放射し、この発散ビームは導波管６の端
Ｂによつて放射した発散ビームと出合う。従来の
マイケルソン干渉計の場合には、２つの放射線部
分をビームスプリツター２に反射してビーム１３
中で重ね合せを保証するために、端Ｂ及びＤを金
属化することが可能である。これらの２つの放射
線部分の干渉は光検出器１０で検出され、ひかり
検出器は干渉じまの変化を表わす信号Ｓ（Ｔ）を
供給する。したがつて、干渉計の２つの測定アー
ムは、一方の素子４，６及び他方の素子３，５，
７から成る。
本発明によると、第１図の干渉計は、光屈折媒
質８及び２つの測定アーム内を循環した放射線部
分をＢからＡに及びＤからＣに反射するための凹
状球面鏡９を用いる。凹状球面鏡９は、端Ｂから
の球面波頭が垂直入射の下で反射して端Ｂに焦点
が結ばれるように、媒質８を横切つて端Ｂからの
球面波頭を受けるように配列されている。媒質８
の存在を除いたが、光ガイド６のこの反射性端は
従来の性質を有するものである。
光ガイド７の反射性端に関しては、光屈折媒質
８は鏡９及び端Ｂからポンピング放射線と共働
し、端Ｄによつて放出された放射線の共役位相を
有し且つ同時に収れんする放射線を端Ｄに戻す。
光屈折性媒質は、酸化ビスマス・シリコン
（BSO）酸化ビスマス・ゲルマニユーム（BGO）、
チタン酸バリウムBaTiO3およびニオビウム酸カ
リウムKNbO3の結晶であることができる。
光屈折性媒質は、入射光子がチヤージキヤリヤ
を形成するような光励起自在の媒質であり、チヤ
ージキヤリヤは、照明が光領域と交互に変わる暗
領域を有するとき、材質中に拡散できる。この媒
質は、また電気光学性でもあり、内部電界によつ
て形成される屈折率変化を観察でき、そのことは
チヤージキヤリヤの移動から生じる。これらの特
性に基づいて、信号ビーム及びポンピングビーム
の干渉を光屈折媒質に持たらすことによつて光屈
折媒質を光学的に条件付けることがてきる。干渉
じまパターンは、ポンピングビームを回折するこ
とによつて共役信号ビームを発生させることがで
きるインデツクスラインを発生する。このこと
は、媒質を通過するポンピングビームが逆戻しを
保証する鏡によつて媒質に反射されるとき、４波
式干渉計方法にしたがつて形成される。
第１図は、端Ｂから出て光屈折媒質８を横切る
放射線が垂直入射の下で鏡９の反射表面に達し、
この鏡が媒質８を横切つた放射線を端Ｂに戻すこ
とを示している。この放射線は光屈折媒質８のポ
ンピングビームと考えることができる。
光ガイド７の端Ｄからの放射線は、したがつて
信号ビームを構成し、この信号ビームは光屈折媒
質８内でポンピングビームと干渉する。この干渉
は光屈折媒質の屈折特性を空間的に変調し、イン
デツクスライン系の形成に導き、インデツクスラ
イン系は信号ビーム中に含まれる放射線の構造体
の動的ホログラムであると考えることができる。
球面鏡９に対する垂直反射後、光屈折媒質８を横
切るポンピング放射線を受けとることによつて、
動的ホログラムは光ガイド７の端Ｄに向かつて、
端Ｄから出た放射線の共役再生を回折する。もし
光屈折媒質の方向に端Ｄから出る放射線が進行電
磁波であるならば、共役再生は位相ずれの符号が
変わつた異種同形の波頭を有する後退電磁波であ
り、後者は、基準としてポンピングビームの位相
基準を取ることによつて評価されうる。
前述のことに基づいて、光屈折媒質８のライン
パターンは干渉計の第２測定アームの端Ｄに対し
て反射鏡として働らく。この反射機能は、もし鏡
９によるポンピング放射線の反射が波頭の形状を
保持するならば、信号ビームに特殊な条件を与え
ない。このように、単一モード光ガイド６が選ば
れ、放射線源１は適当なコヒーレントの長さを有
する放射線を供給することができなければならな
い。放射線源１は、例えば、ヘリウム−ネオンレ
ーザーまたは単一モード半導体レーザーである。
干渉発振モードをなくすためのモードフイルター
を用いることも可能であり、このために、光学ス
プリツター２は、単一モード光ガイドを持つ集積
光学回路の形状のとき有効である。
反射鏡が干渉計の２つの測定アームの端Ｂ及び
Ｄからの放射線の光学屈折媒質８中の相互作用か
ら生ずる動的ホログラムによつて構成されると
き、多数の結果が得られる。これらの結果の１つ
は、第２の干渉計アームが不利益なしに多重モー
ド光フアイバ７から成ることができることであ
る。他の結果は干渉計の測定アームで生じる往復
及び非往復結果を考慮し且つもし適用できるなら
ば動的ホログラムを達成するときを考慮すること
によつて理解できる。
作動モードの記載を明瞭にするために、最初に
干渉計の第２アームにだけ影響を与える相反及び
非相反効果の干渉じま変位による検知について勉
強し、その後第１測定アームの場合に何が起るか
について考えよう。
相反効果がＣ及びＤ間で位相ずれ△φを発生す
ると仮定すると、同じ位相ずれが第２測定アーム
に沿う帰路中にＤ及びＣ間でも生ずる。この場
合、光屈折媒質の反射効果は端Ｄに伝達される共
役位相−△φを持つ信号ビームに導く。第２の干
渉計のアーム中の放射線の往路及び復路に対する
相反効果によつて生じる位相ずれの代数和は確立
した作動モード中に干渉じま変位を生じさせな
い。干渉計は相反効果に対して無感応であり、一
方従来の鏡の場合には、２△φに比例する干渉じ
まの変化が存在した。相反効果に対する無感応性
は、もし相反効果が往路及び復路の間で変化があ
るばあい（実際には極めて迅速な変化である）、
不完全なものである。しかしながら、光屈折媒質
を適応する能力は、敏感に動的ホログラムに引き
継がれる相反効果の遅い変化に導き、一方もつと
も早い変化は遅延に導き、その結果としてこの種
の変化は干渉じまの変化によつて識別される。光
屈折材料の性質、ラインの間隔、放射強度及び外
部電界の存在に作用することによつて、動的ホロ
グラムを確立をする時間を計測する時定数を決め
ることが可能である。このことは、相反効果の選
択的検出の目的でハイパスフイルターの特性を干
渉計に属させることを可能にする。
Ｃ及びＤの間の非相反効果が位相ずれ△θを発
生すると仮定すると、Ｄ及びＣ間で発生した位相
ずれか−△θである。非相反効果が両者の場合同
一振幅を有する（実際、通常そうではあるが）と
仮定する。光屈折媒質８が共役位相ずれ−△θを
発生すると、第２測定アーム中の往路及び復路は
位相ずれ−２△θを導き、この位相ずれは干渉じ
まの変位を発生する。もし、従来の鏡であるなら
ば、非相反効果は干渉じまの変位を発生させな
い。したがつて、第１図の干渉計はフアラデイー
効果を介して電流を測定するまたは相対論的効果
によつて旋回速度を測定するのに用いることがで
きる。この種の用途において、導電体が光ガイド
６及び７の少なくとも１つに巻かれるか、または
光ガイドの少なくとも１つが、環状干渉計の場合
に、マンドレルのまわりに巻かれる。
さて、今は、第１測定アームに適用される相反
または非相反効果の干渉計的検出を考える問題が
ある。
第２図は、第１図の本質的要素を概略的に示
し、第１測定アームにおいて、仮相的光源１００
が位相変位による相反効果の現われを△φで表示
し且つ位相変位による非相反効果を現れを△θで
表示している。
実際の矢印は相反効果の結果として得られる位
相変位と関連する放射線循環を表す。点線の矢印
は非相反効果に対する同種の情報を与える。
相反効果に関して板２から始めると、ポンピン
グ波が位相ずれ△φで媒質８に達し、この位相ず
れは復路中に相反効果がそれを２倍にするまで保
持される。光屈折媒質内の相互作用は位相ずれ△
φを集積し、しかし、共役信号放射線の発生中ポ
ンピング波の位相ずれ△φが点線によつて第２図
中に表されたインデツクスパターンの位相ずれ△
φに加えられる。その結果、２つの測定アームに
よつて板２に戻された賦射エネルギーは、干渉じ
まが検出器１０によつて検出されないように、同
一位相ずれ２△φを受ける。
非相反効果の場合、位相ずれ△θ及び２△θは
光屈折媒質８の位置で同一の関係に従うが、第１
測定アームからくる、板２によつて戻りに集めら
れた放射線の位相ずれはない。このようにして、
検出器１０は２△θに比例する干渉じまの変位を
検出する。重ね合せ効果の原理によつて、一般の
場合は前述のことと同じになる。
第３図は、第１図で採用した形状を有する光屈
折媒質の作用を示す。第１測定アームの端Ｂに集
められた波頭Σpのポンピング波は第２測定アー
ムの端Ｄからの波頭Σoの信号波と干渉する。し
たがつて、インデツクスライン１６は媒質８中に
生じる。中心Ｂの鏡９によつて反射したポンピン
グ波は波頭Σr pを有し、この波頭は端Ｂに向かつ
て軸線Ｘに沿つて上昇する。この波はライン１６
で回折され、信号波の共役再生を起こす。この再
生は共役波頭Σ* pを有することを特徴とし、波頭
は第２測定アームの端Ｄに向かつて集まる。
第４図に示す配列は、光屈折媒質８と端Ｂ及び
Ｄとの間にコリメータリンズ１７及び１８を有す
る。光屈折媒質８は２つの垂直な軸線Ｘ及びＹに
直角な小面を有する。この配列は、比較的密な干
渉じまパターン１９を得ることができ、干渉じま
パターンにおいて、干渉じまは軸線光屈折鏡及び
Ｙの二等分線の一つに垂直な面にしたがつて分布
される。この場合、鏡９は平らであり、第２測定
アームの端に対して通路を与える必要はない。干
渉じまパターン１９によつて誘起されたインデツ
クスライン格子２０は作用領域の全体にわたつて
同一であり、このことは均質な動的応答を得るこ
とを可能にする。媒質８の２つの隣接する小面に
よる放射線の接近はおおくの点で有利である。
明らかに、本発明は測定アーム中に導波管を有
する干渉計の場合に限定されるものではない。第
５図は本発明の干渉計の構造上の変形を示し、ポ
ンピング放射線を運ぶ第１測定アームが鏡３を組
込んでいるものである。信号放射線を運ぶ第２測
定アームは、光屈折媒質８中で角度αの下でポン
ピングビーム及び信号ビームの交叉を得るのに用
いられる鏡２１及び２２を組込んでいる。ポンピ
ングビームの帰路は鏡２３によつて保証されてい
る。透明セル２８の形状の相反効果発生素子が第
２測定アーム中に導入され且つこの素子には加圧
空気源に連結したチユーブ２９が設けられてお
り、加圧空気の値は変動できるものである。チヤ
ージキヤリヤの変動を加速するために、電極２５
及び２６が光屈折媒質８の２つの対向する小面上
に配置され電気分極発生器２７に連結されてい
る。点線で示す従来の鏡M1及びM2は従来のマイ
ケルソン干渉計の構造を示し、本発明の基礎を示
すものである。
光検出器１０における干渉じまのコントラスト
を改良するために、検光子３１がビームスプリツ
ター２と光検出器１０との間に配置されている。
ビームスプリツター２及び光屈折媒質８の間に配
置した偏光子３０は、媒質８の旋回力の関数とし
ての減衰波を帰路において検光子３１に供給する
ために、光屈折媒質８及び反射媒質２３の間に置
かれた四分の一波長２４と共働する。検光子３１
はまただ円偏光を有する回折した信号波を帰路に
受けとる。検光子３１は最良の干渉じまコントラ
ストを得るように回動され、そのコントラストは
光屈折媒質８の回折効率に依存するものである。
チユーブ２９に低周波数パルス化空気が供給さ
れると、光検出器１０によつて供給される信号Ｓ
（ｔ）は変化しない。パルス周波数が増加すると、
信号Ｓ（ｔ）はパルス化に著しく良く応答する。
その理由は、動的ホログラムの慣性が効果を有
し、セル２８で発生された相反効果の完全な補償
に反対するようになるからである。このハイパス
フイルター特性は、遅い干渉によつて邪魔されな
いで圧力の交流成分を検出することが望まれると
き、有効である。このような場合は、具体的に
は、遅い変化の静圧の存在の下で超音波放射を検
出する際生じる。動的ホログラムの慣性は非相反
効果の検出においてローパスフイルター効果を有
する。
光屈折媒質８が第５図中に鏡３及び２１から出
る放射線の交叉に位置決めされることを邪魔する
ものは何もない。鏡２２は省略できるが、電極２
６は、そのときは、透明電極である。
【図面の簡単な説明】
第１図は、本発明の干渉計の第１実施例を示す
図である。第２図は、第１図の概略図に関連する
説明図である。第３図及び第４図は第１図の装置
の構成詳細図である。第５図は、本発明の干渉計
の他の実施例である。 １：単色放射線源、２：光学スプリツター、１
１：ビーム、１２：透過部分、１４：反射部分、
６，７：光ガイド、３：鏡、５：レンズ、８：光
屈折媒質、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，：端。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 光屈折鏡を持つマイケルソン干渉計におい
    て、単色光源と、反射体で終端する２つの測定ア
    ームに、前記単色光源からの光ビームの第１及び
    第２部分を分配する光学ビームスプリツターと、
    前記２つの測定アームに沿つて往復した光ビーム
    の第１及び第２部分を光学スプリツターを介して
    重ね合せて集めるように配置した光検出器とを有
    し、前記光ビームの第１及び第２部分が光屈折媒
    質内で交叉し、反射体が、光屈折媒質を横切つて
    垂直入射する光ビームの前記第１部分を反射する
    ように配置されていることを特徴とする干渉計。 ２ アームの少なくとも１つが単一モード光ガイ
    ドを有することを特徴とする特許請求の範囲第１
    項に記載の干渉計。 ３ 光屈折媒質中で相互作用する波の少なくとも
    １つが球面波であることを特徴とする特許請求の
    範囲第１項又は第２項のいずれかに記載の干渉
    計。 ４ 光屈折媒質中で相互作用する波の少なくとも
    １つは平面波であることを特徴とする特許請求の
    範囲第１項に記載の干渉計。 ５ 電気的分極手段が光屈折媒質に関連すること
    を特徴とする特許請求の範囲第１項に記載の干渉
    計。 ６ 反射体が球面鏡であることを特徴とする特許
    請求の範囲第１項に記載の干渉計。 ７ 反射体が平面鏡であることを特徴とする特許
    請求の範囲第１項に記載の干渉計。 ８ 測定アームの少なくとも１つが多モード光ガ
    イドであることを特徴とする特許請求の範囲第１
    項に記載の干渉計。 ９ 測定アームの少なくとも１つが非相反効果を
    検出するように配列されていることを特徴とする
    特許請求の範囲第１項に記載の干渉計。 １０ 非相反効果が測定アームの少なくとも１つ
    の内にある材料媒質の存在に関連していることを
    特徴とする特許請求の範囲第９項に記載の干渉
    計。 １１ 偏光手段が測定アーム中に挿入され、４分
    の１波長板が光屈折媒質及び反射体の間に挿入さ
    れていることを特徴とする特許請求の範囲第１項
    に記載の干渉計。 １２ 光屈折媒質として用いられる材料が酸化ビ
    スマス−シリコン、酸化ビスマス−ゲルマニウ
    ム、チタン酸バリウム及びニオビウム酸カリウム
    を含む群から選ばれることを特徴とする特許請求
    の範囲第１項に記載の干渉計。
JP57196671A 1981-11-09 1982-11-09 光屈折鏡を持つマイケルソン干渉計 Granted JPS5892902A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8120958A FR2516232B1 (fr) 1981-11-09 1981-11-09 Interferometre de type michelson a miroir photorefractif
FR8120958 1981-11-09

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPS5892902A JPS5892902A (ja) 1983-06-02
JPH0236166B2 true JPH0236166B2 (ja) 1990-08-15

Family

ID=9263827

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57196671A Granted JPS5892902A (ja) 1981-11-09 1982-11-09 光屈折鏡を持つマイケルソン干渉計

Country Status (5)

Country Link
US (1) US4571080A (ja)
EP (1) EP0079268B1 (ja)
JP (1) JPS5892902A (ja)
DE (1) DE3276839D1 (ja)
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