JPH0237204B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0237204B2 JPH0237204B2 JP57181035A JP18103582A JPH0237204B2 JP H0237204 B2 JPH0237204 B2 JP H0237204B2 JP 57181035 A JP57181035 A JP 57181035A JP 18103582 A JP18103582 A JP 18103582A JP H0237204 B2 JPH0237204 B2 JP H0237204B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wind speed
- shutter
- filter
- control device
- blower
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F15/00—Details of, or accessories for, apparatus of groups G01F1/00 - G01F13/00 insofar as such details or appliances are not adapted to particular types of such apparatus
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B15/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
- B08B15/02—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area using chambers or hoods covering the area
- B08B15/023—Fume cabinets or cupboards, e.g. for laboratories
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10P—GENERIC PROCESSES OR APPARATUS FOR THE MANUFACTURE OR TREATMENT OF DEVICES COVERED BY CLASS H10
- H10P95/00—Generic processes or apparatus for manufacture or treatments not covered by the other groups of this subclass
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B08—CLEANING
- B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
- B08B2215/00—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area
- B08B2215/003—Preventing escape of dirt or fumes from the area where they are produced; Collecting or removing dirt or fumes from that area with the assistance of blowing nozzles
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S55/00—Gas separation
- Y10S55/18—Work bench
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Filtering Of Dispersed Particles In Gases (AREA)
- Workshop Equipment, Work Benches, Supports, Or Storage Means (AREA)
- Ventilation (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明はクリーンベンチの風速制御装置に関
するものである。
するものである。
一般に、クリーンベンチの作業室は、出入口よ
り各種の実験を行なうもので、場合によつては出
入口を閉塞して培養場所として使用する場合があ
る。いずれも一定条件の風速下で実験又は培養す
る必要がある。
り各種の実験を行なうもので、場合によつては出
入口を閉塞して培養場所として使用する場合があ
る。いずれも一定条件の風速下で実験又は培養す
る必要がある。
クリーンベンチの作業室を流れる風速は、出入
口の開放時、または、出入口の閉塞時において異
なる一方、フイルターの目詰りによる影響も考え
られ条件が異なるようになる。
口の開放時、または、出入口の閉塞時において異
なる一方、フイルターの目詰りによる影響も考え
られ条件が異なるようになる。
したがつて、これらの各条件に基づいて作業室
内の風速を一定に制御管理するには難しい問題が
あつた。
内の風速を一定に制御管理するには難しい問題が
あつた。
そこで、この発明はシヤツターの開閉に対応し
てフイルターを通過する風速がほぼ一定量で作業
室内に流れるように自動化したクリーンベンチの
風速制御装置を提供することを目的としている。
てフイルターを通過する風速がほぼ一定量で作業
室内に流れるように自動化したクリーンベンチの
風速制御装置を提供することを目的としている。
前記目的を達成するためにこの発明にあつて
は、送風機から送り出されたエアがフイルターを
通り出入口を有する作業室内に送り込まれるクリ
ーンベンチにおいて、前記作業室の出入口の開度
量を制御するシヤツターと、シヤツターの開度量
に対応してフイルターを通過する風速を作業室の
上手側で検出する風速センサと、風速センサによ
つて検出された風速検出値を入力して前記シヤツ
ターの開度量の如何にかかわらず前記風速がほぼ
一定の値となるように送風機の回転数を制御する
制御装置とから成つている。
は、送風機から送り出されたエアがフイルターを
通り出入口を有する作業室内に送り込まれるクリ
ーンベンチにおいて、前記作業室の出入口の開度
量を制御するシヤツターと、シヤツターの開度量
に対応してフイルターを通過する風速を作業室の
上手側で検出する風速センサと、風速センサによ
つて検出された風速検出値を入力して前記シヤツ
ターの開度量の如何にかかわらず前記風速がほぼ
一定の値となるように送風機の回転数を制御する
制御装置とから成つている。
従つて、風速センサはシヤツターの開度量に対
応してフイルターを通過する風速を検出し送風機
５の回転数を自動的に制御するようになる。
応してフイルターを通過する風速を検出し送風機
５の回転数を自動的に制御するようになる。
以下、この発明の一実施例を図面を用いて詳細
に説明する。
に説明する。
第１図、第２図は、気流垂直形のクリーンベン
チの正面図および側面図を示すものであり、作業
室９内に清浄空気を垂直に送り込むように構成さ
れている。すなわち、下部の空気吸込口１１から
プレフイルタ１３を経て吸込まれたエアは、送風
機５によつて上方へ送風され、フイルター１によ
つて空気中の塵埃が除去されて無塵、無菌の清浄
空気となつて、作業室９内に送り込まれた後、前
面の出入口９ａから排出されるように構成されて
いる。出入口９ａはシヤツター１５によつて開閉
可能となつている。
チの正面図および側面図を示すものであり、作業
室９内に清浄空気を垂直に送り込むように構成さ
れている。すなわち、下部の空気吸込口１１から
プレフイルタ１３を経て吸込まれたエアは、送風
機５によつて上方へ送風され、フイルター１によ
つて空気中の塵埃が除去されて無塵、無菌の清浄
空気となつて、作業室９内に送り込まれた後、前
面の出入口９ａから排出されるように構成されて
いる。出入口９ａはシヤツター１５によつて開閉
可能となつている。
前記フイルター１の下流側には、該フイルター
１を通過して作業室９内に送り込まれる清浄空気
の風速を作業室９上方で検出する熱線風送計等の
ごとき風速センサー３が設けられており、この風
速センサー３は制御装置７に接続されている。
１を通過して作業室９内に送り込まれる清浄空気
の風速を作業室９上方で検出する熱線風送計等の
ごとき風速センサー３が設けられており、この風
速センサー３は制御装置７に接続されている。
制御装置７は、風速センサー３で検出した検出
風速値を入力し、この値と予め設定した設定値と
を比較演算し演算結果に基づき送風機５の回転数
を制御する情報が入力されている。さらに、検出
風速値が最低限界値になつたときその風速値の演
算結果に基づき警報を発する情報等が入力されて
いる。なお、図中、１７は作業室９の上方に設け
られた蛍光灯、１９は蛍光灯の光を散乱させる散
光板である。
風速値を入力し、この値と予め設定した設定値と
を比較演算し演算結果に基づき送風機５の回転数
を制御する情報が入力されている。さらに、検出
風速値が最低限界値になつたときその風速値の演
算結果に基づき警報を発する情報等が入力されて
いる。なお、図中、１７は作業室９の上方に設け
られた蛍光灯、１９は蛍光灯の光を散乱させる散
光板である。
第３図は風速センサーによる風速制御のブロツ
ク図である。本図において、制御回路７は電源部
２１に接続され、内部にアナログデジタル変換器
２３、マイクロコンピユータ（CPU）２５、表
示部２７、デジタルアナログ変換器２９、風速設
定部３１、比較回路３３及び送風機５の駆動回路
３５を有している。風速センサーは２個あり、そ
のうち１個（上方）３ａが基準センサーであり、
この基準値は風速センサー３にデジタルアナログ
変換器２９を介して帰還されセンサー３を較正で
きるようにしてある。
ク図である。本図において、制御回路７は電源部
２１に接続され、内部にアナログデジタル変換器
２３、マイクロコンピユータ（CPU）２５、表
示部２７、デジタルアナログ変換器２９、風速設
定部３１、比較回路３３及び送風機５の駆動回路
３５を有している。風速センサーは２個あり、そ
のうち１個（上方）３ａが基準センサーであり、
この基準値は風速センサー３にデジタルアナログ
変換器２９を介して帰還されセンサー３を較正で
きるようにしてある。
このように構成されたクリーンベンチの風速制
御装置において送風機５より送り出されたエアは
フイルター１を通過し作業室９内に流れるように
なる。フイルター１を通過する風速は基準風送セ
ンサー３ａの較正のもとに風送センサ３によつて
検出される。この時、シヤツター１５の開放時又
は、シヤツター１５の閉塞時において検出風速値
が異なるようになるが、前記検出風送値は制御装
置７に入力され、制御装置７内において、風速設
定部３１の設定値と比較されて演算処理され送風
機５の回転数の増減を駆動回路３５で図り作業室
９内にほぼ一定風速のエアが流れるようにする。
御装置において送風機５より送り出されたエアは
フイルター１を通過し作業室９内に流れるように
なる。フイルター１を通過する風速は基準風送セ
ンサー３ａの較正のもとに風送センサ３によつて
検出される。この時、シヤツター１５の開放時又
は、シヤツター１５の閉塞時において検出風速値
が異なるようになるが、前記検出風送値は制御装
置７に入力され、制御装置７内において、風速設
定部３１の設定値と比較されて演算処理され送風
機５の回転数の増減を駆動回路３５で図り作業室
９内にほぼ一定風速のエアが流れるようにする。
即ち、培養などの作業の為、シヤツター１５を
閉塞する程度にその開度小の状態で行なう場合、
送風機５の回転が変らなければ、エアの流量が空
気抵抗により小となり風速が低下する。この風速
低下が例えば、0.2ｍ／ｓ以下に低下すると、実
験作業室内の各部分での風速にバラツキを生じ、
浮遊微粒子などによる部分的な塵埃、又は細菌の
集中汚染、いわゆるコンタミネーシヨンが発生す
る。これはクリーンベンチにおいては、でき得る
限り避けねばならないことである。しかして、か
かる場合に、上記実施例においては、この低下し
た風速検出値が制御装置７に入力され、設定値と
比較演算され、低いということで風速機５の回転
数を上げるべく制御装置７が指令する。この結果
シヤツター開度小においても、風速が増して設定
の範囲内に入るようになるので、コンタミネーシ
ヨンが生じないのである。
閉塞する程度にその開度小の状態で行なう場合、
送風機５の回転が変らなければ、エアの流量が空
気抵抗により小となり風速が低下する。この風速
低下が例えば、0.2ｍ／ｓ以下に低下すると、実
験作業室内の各部分での風速にバラツキを生じ、
浮遊微粒子などによる部分的な塵埃、又は細菌の
集中汚染、いわゆるコンタミネーシヨンが発生す
る。これはクリーンベンチにおいては、でき得る
限り避けねばならないことである。しかして、か
かる場合に、上記実施例においては、この低下し
た風速検出値が制御装置７に入力され、設定値と
比較演算され、低いということで風速機５の回転
数を上げるべく制御装置７が指令する。この結果
シヤツター開度小においても、風速が増して設定
の範囲内に入るようになるので、コンタミネーシ
ヨンが生じないのである。
又、作業台上での資料物品の出し入れ又は直接
実験等の関係でシヤツター１５を解放する程度に
その開度大の状態で作業を行なう場合、エアが流
れ易くなり風速大となる傾向を生ずる。この風速
が例えば、0.8ｍ／ｓを越えると、風速により作
業者の目、耳、又は口などが生理的に支障をきた
すおそれがある。
実験等の関係でシヤツター１５を解放する程度に
その開度大の状態で作業を行なう場合、エアが流
れ易くなり風速大となる傾向を生ずる。この風速
が例えば、0.8ｍ／ｓを越えると、風速により作
業者の目、耳、又は口などが生理的に支障をきた
すおそれがある。
しかるに、上記実施例では、この場合も、風速
値の大なる値が制御装置７に入力されるため、送
風機５の回転を下げ、風速を下げる結果、作業者
に生理的苦痛を生じさせないのである。
値の大なる値が制御装置７に入力されるため、送
風機５の回転を下げ、風速を下げる結果、作業者
に生理的苦痛を生じさせないのである。
このように、上記実施例はシヤツター１５の開
度のいかんにかかわらず、フイルター下流の風速
をほぼ一定値に自動的に制御するので、クリーベ
ンチでの作業を確実に行ないうる効果がある。
度のいかんにかかわらず、フイルター下流の風速
をほぼ一定値に自動的に制御するので、クリーベ
ンチでの作業を確実に行ないうる効果がある。
又、風速センサーはフイルター下流側でフイル
ターの通過風速を検出するため、フイルター３の
つまりによる風速低下を検出し、これを制御装置
によりほぼ一定値になるように自動的に制御する
ので、フイルターのつまりによる交換時期即ち寿
命を延長することができるものである。
ターの通過風速を検出するため、フイルター３の
つまりによる風速低下を検出し、これを制御装置
によりほぼ一定値になるように自動的に制御する
ので、フイルターのつまりによる交換時期即ち寿
命を延長することができるものである。
以上説明したように、この発明のクリーンベン
チの風速制御装置によれば、シヤツターの開度量
の如何に無関係に、かつ、フイルター通過時の抵
抗をも含めてベンチ内風速をほぼ一定値に自動的
に制御する事により、シヤツター小開度時の資料
の汚染、大開度時の作業員の生理的苦痛を共に防
止できると共に、フイルターの交換寿命を延長で
き、クリーンベンチの信頼性、耐久性を確保する
上で、多大な効果を奏するものである。
チの風速制御装置によれば、シヤツターの開度量
の如何に無関係に、かつ、フイルター通過時の抵
抗をも含めてベンチ内風速をほぼ一定値に自動的
に制御する事により、シヤツター小開度時の資料
の汚染、大開度時の作業員の生理的苦痛を共に防
止できると共に、フイルターの交換寿命を延長で
き、クリーンベンチの信頼性、耐久性を確保する
上で、多大な効果を奏するものである。
なお、シヤツターの開度を小さくして運転する
場合には、制御装置に入力する設定風速値の情報
を予め低く設定しておくことにより、フイルター
の寿命を更に延長させることができる。
場合には、制御装置に入力する設定風速値の情報
を予め低く設定しておくことにより、フイルター
の寿命を更に延長させることができる。
また、この発明は上記実施例に限定されるもの
ではない。例えば風速センサーの取付位置におけ
る風速と作業室における風速との間に差異がある
場合には、あらかじめ相互の関係を制御装置に入
力しておくことにより、風速センサーの検出した
検出風速値から作業室における風速値を換算し、
この換算値によつて制御するように構成すること
もできる。
ではない。例えば風速センサーの取付位置におけ
る風速と作業室における風速との間に差異がある
場合には、あらかじめ相互の関係を制御装置に入
力しておくことにより、風速センサーの検出した
検出風速値から作業室における風速値を換算し、
この換算値によつて制御するように構成すること
もできる。
また、フイルターの下流側に、風速センサーを
取付ける場所が無い場合には、フイルターの下流
側の空気を分岐させる分岐部を設け、この分岐部
に風速センサーを設けても同様の効果を奏するも
のである。更に、風速の検出及び制御方法をデジ
タル式にする事により価格アツプも少くて済むも
のである。
取付ける場所が無い場合には、フイルターの下流
側の空気を分岐させる分岐部を設け、この分岐部
に風速センサーを設けても同様の効果を奏するも
のである。更に、風速の検出及び制御方法をデジ
タル式にする事により価格アツプも少くて済むも
のである。
図面は、この発明の一実施例を示すものであ
り、第１図、第２図は、この発明に係る風速制御
装置を備えたクリーンベンチの正面図および側面
図、第３図は風速制御のブロツク図である。 （図面の主要な部分を表わす符号の説明）、１
……フイルター、３……風速センサー、５……送
風機、７……制御装置、９……作業室、９ａ……
出入口、１５……シヤツター。
り、第１図、第２図は、この発明に係る風速制御
装置を備えたクリーンベンチの正面図および側面
図、第３図は風速制御のブロツク図である。 （図面の主要な部分を表わす符号の説明）、１
……フイルター、３……風速センサー、５……送
風機、７……制御装置、９……作業室、９ａ……
出入口、１５……シヤツター。
Claims (1)
- １ 送風機から送り出されたエアがフイルターを
通り出入口を有する作業室内に送り込まれるクリ
ーンベンチにおいて、前記作業室の出入口の開度
量を制御するシヤツターと、シヤツターの開度量
に対応してフイルターを通過する風速を作業室の
上手側で検出する風速センサと、風速センサによ
つて検出された風速検出値を入力して、前記シヤ
ツターの開度量の如何にかかわらず前記風速がほ
ぼ一定値になるように送風機の回転数を制御する
制御装置とから成ることを特徴とするクリーンベ
ンチの風速制御装置。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57181035A JPS5969919A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | クリ−ンベンチの風速制御装置 |
| US06/541,563 US4557184A (en) | 1982-10-15 | 1983-10-13 | Clean bench |
| DE19833337398 DE3337398C2 (de) | 1982-10-15 | 1983-10-14 | Auslaßluftgeschwindigkeitsmeßvorrichtung für das in einer Reinluftbank vorgesehene Filter |
| GB08327610A GB2128757B (en) | 1982-10-15 | 1983-10-14 | Measuring flow rate |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57181035A JPS5969919A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | クリ−ンベンチの風速制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5969919A JPS5969919A (ja) | 1984-04-20 |
| JPH0237204B2 true JPH0237204B2 (ja) | 1990-08-23 |
Family
ID=16093622
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57181035A Granted JPS5969919A (ja) | 1982-10-15 | 1982-10-15 | クリ−ンベンチの風速制御装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4557184A (ja) |
| JP (1) | JPS5969919A (ja) |
Families Citing this family (22)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61122433A (ja) * | 1984-11-19 | 1986-06-10 | Takasago Thermal Eng Co Ltd | クリ−ンドライベンチ |
| JPH067542B2 (ja) * | 1984-11-22 | 1994-01-26 | 株式会社日立製作所 | 製造装置 |
| JPS62152567A (ja) * | 1985-12-27 | 1987-07-07 | Trinity Ind Corp | 給気付塗装ブ−スの運転方法 |
| JPH0736418B2 (ja) * | 1986-05-19 | 1995-04-19 | 富士通株式会社 | ウエーハキャリア |
| JPH02139080U (ja) * | 1989-04-21 | 1990-11-20 | ||
| US5059079A (en) * | 1989-05-16 | 1991-10-22 | Proconics International, Inc. | Particle-free storage for articles |
| US5764579A (en) * | 1990-10-01 | 1998-06-09 | American Auto-Matrix, Inc. | System for controlling laboratories with fume hoods |
| US5920488A (en) * | 1990-10-01 | 1999-07-06 | American Auto-Matrix, Inc. | Method and system for maintaining a desired air flow through a fume hood |
| US5083558A (en) * | 1990-11-06 | 1992-01-28 | Thomas William R | Mobile surgical compartment with micro filtered laminar air flow |
| US5380244A (en) * | 1993-05-24 | 1995-01-10 | Forma Scientific, Inc. | Safety cabinet |
| US5439414A (en) * | 1993-07-26 | 1995-08-08 | Landis & Gyr Powers, Inc. | Networked fume hood monitoring system |
| US5487768A (en) * | 1994-01-31 | 1996-01-30 | Zytka; Donald J. | Minienvironment for material handling |
| US5946221A (en) | 1994-09-07 | 1999-08-31 | American Auto-Matrix, Inc. | Method and system for maintaining a desired air flow through a fume hood |
| US5562537A (en) * | 1995-05-11 | 1996-10-08 | Landis & Gyr Powers, Inc. | Networked fume hood monitoring system |
| KR20010113901A (ko) | 1999-04-28 | 2001-12-28 | 스트라토테크 코포레이션 | 조정 가능한 청정 공기 유동 환경 |
| US6802767B2 (en) * | 2000-04-10 | 2004-10-12 | Yoshiaki Kanaya | Local exhausting and ventilating methods, and local exhausting device and local ventilating system |
| US6623538B2 (en) * | 2001-03-05 | 2003-09-23 | Council Of Scientific & Industrial Research | Sterile laminar airflow device |
| US6692346B2 (en) * | 2001-08-03 | 2004-02-17 | Fisher Hamilton L.L.C. | Fume hood with alarm system |
| US7013902B2 (en) * | 2003-02-07 | 2006-03-21 | Applied Materials, Inc. | Wet cleaning mobile workbench |
| TWI289645B (en) * | 2003-07-29 | 2007-11-11 | Alps Electric Co Ltd | Clean bench |
| JP5603030B2 (ja) * | 2009-06-23 | 2014-10-08 | Ｄｍｇ森精機株式会社 | 加工機械の温度制御装置 |
| JP7446671B2 (ja) * | 2019-10-25 | 2024-03-11 | ダイダン株式会社 | クリーンブース空気清浄度管理システム |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3518814A (en) * | 1967-03-28 | 1970-07-07 | Smith Corp A O | Airflow control for a dust-free bench |
| US3811250A (en) * | 1971-12-15 | 1974-05-21 | Becton Dickinson Co | Contamination control apparatus |
| JPS50101345U (ja) * | 1974-01-23 | 1975-08-21 | ||
| JPS50101344U (ja) * | 1974-01-23 | 1975-08-21 | ||
| JPS51147382U (ja) * | 1975-05-21 | 1976-11-26 | ||
| US4174065A (en) * | 1976-06-04 | 1979-11-13 | Knauth Design, Inc. | Fluid flow regulating systems |
| JPS5417284U (ja) * | 1977-07-06 | 1979-02-03 | ||
| US4254659A (en) * | 1979-01-12 | 1981-03-10 | Kbg Corporation | Fluid dynamic angular rate sensor |
| US4418568A (en) * | 1981-09-10 | 1983-12-06 | Eaton Corporation | Hot film fluid flowmeter with auxiliary flow sensing |
-
1982
- 1982-10-15 JP JP57181035A patent/JPS5969919A/ja active Granted
-
1983
- 1983-10-13 US US06/541,563 patent/US4557184A/en not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5969919A (ja) | 1984-04-20 |
| US4557184A (en) | 1985-12-10 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPH0237204B2 (ja) | ||
| US10884438B2 (en) | Safety workbench with controlled circulating air flow and method for its operation | |
| JP6711802B2 (ja) | 安全キャビネットおよびその排気ダクト接続の検査方法 | |
| ES2356525T3 (es) | Banco de trabajo de seguridad. | |
| US20160033162A1 (en) | Indoor unit for air-conditioning apparatus | |
| CN101185932A (zh) | 具有可根据前挡玻璃位置控制的风扇功率的安全工作台 | |
| KR100923228B1 (ko) | 미분탄 정량이송 시스템 | |
| US10067046B2 (en) | Containment workstation for hazardous fine particles | |
| CN215062495U (zh) | 一种用于控制洁净区域净化系统送风量的装置 | |
| US4926531A (en) | Apparatus for giving protection from draft and dust at a winding machine | |
| JPS62132550A (ja) | 安全キヤビネツト | |
| CN206996621U (zh) | 一种生物安全柜 | |
| KR102256679B1 (ko) | 미세입자의 카운트가 가능한 크린벤치 | |
| CN208526647U (zh) | 一种生物安全柜排风控制系统及生物安全柜 | |
| JPH0390631A (ja) | 空気搬送系の操作法並びにその実施装置 | |
| KR20090099639A (ko) | 고층건물용 자동 제연시설 | |
| CN108302686A (zh) | 用于对内部环境或第一环境的通风进行分析和控制的组件 | |
| CN116008485B (zh) | 一种气体采集装置及方法 | |
| CN209968424U (zh) | 一种生物安全柜 | |
| JP2006094767A (ja) | 脱穀装置の選別装置 | |
| KR20180036254A (ko) | 건물의 실내압 조정장치 | |
| JPH09289145A (ja) | 基板処理装置 | |
| JPH02150643A (ja) | クリーンルーム室系制御システム | |
| CN207752388U (zh) | 一种温控器 | |
| CN112169207A (zh) | 自动风量的调速方法 |