JPH0238459Y2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0238459Y2 JPH0238459Y2 JP10516384U JP10516384U JPH0238459Y2 JP H0238459 Y2 JPH0238459 Y2 JP H0238459Y2 JP 10516384 U JP10516384 U JP 10516384U JP 10516384 U JP10516384 U JP 10516384U JP H0238459 Y2 JPH0238459 Y2 JP H0238459Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- water
- controlling
- laser tube
- heat exchange
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
Links
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Landscapes
- Lasers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
〔技術分野〕
本考案はグロー放電によりレーザガスを励起す
るガスレーザ発振器に関し、特にその冷却機構の
改良されたガスレーザ発振器に関するものであ
る。
るガスレーザ発振器に関し、特にその冷却機構の
改良されたガスレーザ発振器に関するものであ
る。
一般に炭酸ガスレーザなどでは、レーザ管が２
重管構造（この部分を放電部といつてもよい）に
なつていて、放電部分の外側に水を流して冷却し
放電による発熱が光共振器の熱変形そしてその結
果としての出力の変動などに結びつかないように
している。またレーザ管のカソードの発熱に対し
ても冷却が必要であつて、金属ブロツクをカソー
ドとしそのブロツクの中に穴を通し冷却液を流し
て冷却することによりカソードの劣化を防いでい
る。そしてカソード電位がグランド電位から大き
く隔つているときは、冷却液は水ではなく絶縁油
が用いられる。これは冷却液が水だと導電性のあ
る水を通してカソードである金属ブロツクが電気
分解したり不都合が多いからである。さらに光共
振器の構造体にも絶縁油を恒温化して流すように
し、これにより構造体が周囲の温度変化に影響さ
れなくなりレーザ出力が安定化される。
重管構造（この部分を放電部といつてもよい）に
なつていて、放電部分の外側に水を流して冷却し
放電による発熱が光共振器の熱変形そしてその結
果としての出力の変動などに結びつかないように
している。またレーザ管のカソードの発熱に対し
ても冷却が必要であつて、金属ブロツクをカソー
ドとしそのブロツクの中に穴を通し冷却液を流し
て冷却することによりカソードの劣化を防いでい
る。そしてカソード電位がグランド電位から大き
く隔つているときは、冷却液は水ではなく絶縁油
が用いられる。これは冷却液が水だと導電性のあ
る水を通してカソードである金属ブロツクが電気
分解したり不都合が多いからである。さらに光共
振器の構造体にも絶縁油を恒温化して流すように
し、これにより構造体が周囲の温度変化に影響さ
れなくなりレーザ出力が安定化される。
上記において、レーザ管の放電部を冷却するた
めの水の温度は、単に冷却という面では低くても
よいわけであるが、レーザ管表面に結露が生じな
いような温度たとえば30゜程度より低くならない
ようにする必要がある。このため市水をそのまま
無調整に冷却に用いることはせず、水道水を一次
冷却水とし、熱交換器を介して閉ループ内の水を
冷却し、生じた二次冷却水を圧送してレーザ管放
電部分を冷却し、その際二次冷却水温度が所定の
温度より低くならないように温度調節している。
又、レーザ管のカソード及び光共振器の構造体の
温度を一定に保つためには、水道水を一次冷却水
とし、熱交換器を介して閉ループ内の油を一定の
温度に冷却してこれをカソード及び光共振器に圧
送するようにしていた。
めの水の温度は、単に冷却という面では低くても
よいわけであるが、レーザ管表面に結露が生じな
いような温度たとえば30゜程度より低くならない
ようにする必要がある。このため市水をそのまま
無調整に冷却に用いることはせず、水道水を一次
冷却水とし、熱交換器を介して閉ループ内の水を
冷却し、生じた二次冷却水を圧送してレーザ管放
電部分を冷却し、その際二次冷却水温度が所定の
温度より低くならないように温度調節している。
又、レーザ管のカソード及び光共振器の構造体の
温度を一定に保つためには、水道水を一次冷却水
とし、熱交換器を介して閉ループ内の油を一定の
温度に冷却してこれをカソード及び光共振器に圧
送するようにしていた。
しかしながら従来のこの種のガスレーザ発振器
においては、時によつてアノードとカソードの間
のグロー放電がスタートしにくいことがあり、又
レーザ管カソードと光共振器の恒温性が必ずしも
充分でないという欠点があつた。
においては、時によつてアノードとカソードの間
のグロー放電がスタートしにくいことがあり、又
レーザ管カソードと光共振器の恒温性が必ずしも
充分でないという欠点があつた。
したがつて本考案の目的は、安定な発振が常に
得られ、又カソード及び光共振器の恒温性の充分
に保たれたガスレーザ発振器を得ようとするもの
である。
得られ、又カソード及び光共振器の恒温性の充分
に保たれたガスレーザ発振器を得ようとするもの
である。
上記の目的を達成するため従来装置の欠点を生
じる原因を探索した結果、第１の欠点はアノード
の高電圧が過渡的にガラス管壁を通してグランド
電位にある冷却用水道水に漏れてしまうことであ
り、第２の欠点は油を冷却するための熱交換にお
ける一次冷却水の温度と保持しようとする比較的
高い温度との差が大きく、又一次水の出入を制御
する弁はふつう断続式のものを用いるので、結果
的に温度の波動が比較的に大きくなることを見出
した。
じる原因を探索した結果、第１の欠点はアノード
の高電圧が過渡的にガラス管壁を通してグランド
電位にある冷却用水道水に漏れてしまうことであ
り、第２の欠点は油を冷却するための熱交換にお
ける一次冷却水の温度と保持しようとする比較的
高い温度との差が大きく、又一次水の出入を制御
する弁はふつう断続式のものを用いるので、結果
的に温度の波動が比較的に大きくなることを見出
した。
よつて前述の本考案の目的を達成するために、
電気抵抗が充分には大きくない水道水の代りに、
電気抵抗の充分に高い純水を用い、油冷却のため
の一次冷却水として、水道水よりは比較的に温度
が高く且つほぼ所定の温度に近い温度を保つてい
る前記の純水を用いるようにしたものである。
電気抵抗が充分には大きくない水道水の代りに、
電気抵抗の充分に高い純水を用い、油冷却のため
の一次冷却水として、水道水よりは比較的に温度
が高く且つほぼ所定の温度に近い温度を保つてい
る前記の純水を用いるようにしたものである。
すなわち本考案によれば、ガスレーサ管と光共
振器を組合わせ、液体を用いて必要な部分の温度
を制御しながらグロー放電によりレーザガスの励
起を行うガスフロー形レーザ発振器において、前
記ガスレーサ管の放電部の温度を制御する手段
が、前記液体として純水を用い、純水化装置と、
装置外からの冷却水との熱交換を行うための熱交
換部と、熱交換を受けた純水の温度を所定の温度
よりは下らないように制御する温度調節手段と、
圧送ポンプとを含む閉ループを構成し、前記ガス
レーザ管のカソードの部分及び前記光共振器構造
体の温度を制御する手段が、前記液体として油を
用い、前記ガスレーザ管の放電部の温度制御に用
いる純水との熱交換を行うための熱交換部と、熱
交換を受けた油の温度を一定に保持するように制
御する温度調節手段と、圧送ポンプとを含む閉ル
ープを構成していることを特徴とするガスレーザ
発振器が得られる。
振器を組合わせ、液体を用いて必要な部分の温度
を制御しながらグロー放電によりレーザガスの励
起を行うガスフロー形レーザ発振器において、前
記ガスレーサ管の放電部の温度を制御する手段
が、前記液体として純水を用い、純水化装置と、
装置外からの冷却水との熱交換を行うための熱交
換部と、熱交換を受けた純水の温度を所定の温度
よりは下らないように制御する温度調節手段と、
圧送ポンプとを含む閉ループを構成し、前記ガス
レーザ管のカソードの部分及び前記光共振器構造
体の温度を制御する手段が、前記液体として油を
用い、前記ガスレーザ管の放電部の温度制御に用
いる純水との熱交換を行うための熱交換部と、熱
交換を受けた油の温度を一定に保持するように制
御する温度調節手段と、圧送ポンプとを含む閉ル
ープを構成していることを特徴とするガスレーザ
発振器が得られる。
第１図は本考案の一実施例を模式的に示した図
である。第１図において、レーザ管１０のアノー
ド１１とカソード１２の間に高電圧が印加され、
これによりレーザガスのグロー放電部分１３がで
きている。レーザ管１０の両端には１対の反射鏡
１４が正対して配置され、その対向性がくずれな
いように堅固な光共振器の構造体１５に固定され
ている。
である。第１図において、レーザ管１０のアノー
ド１１とカソード１２の間に高電圧が印加され、
これによりレーザガスのグロー放電部分１３がで
きている。レーザ管１０の両端には１対の反射鏡
１４が正対して配置され、その対向性がくずれな
いように堅固な光共振器の構造体１５に固定され
ている。
次に本考案の提供する関係部分の冷却方法につ
いての説明に入ると、第１図において油タンク１
６に収納された絶縁油は圧送ポンプ１７から送り
出されレーザ管のカソード１２と光共振器構造体
１５を通つて流れ再び油タンク１６にもどる。水
タンク１８には純水が収納され圧送ポンプ１９か
ら送りだされ、レーザ管１０の二重管部の外側又
は油タンク１６内の熱交換器２０を流れ、イオン
交換樹脂２１を通つて水タンク１８にもどる。蛇
口２２からの市水は水タンク１８内の熱交換器２
３を通り排出される。なおタンクと熱交換器の組
（１６と２０，１８と２３）は熱交換部といつて
もよいものである。ここで絶縁油の温度と純水の
温度は測温体２４と２５でそれぞれ測定され、そ
れぞれの温度コントローラ２６，２７に伝えられ
る。温度コントローラ２６，２７はそれぞれの設
定温度を保つべく電磁弁２８，２９をそれぞれ開
閉する。
いての説明に入ると、第１図において油タンク１
６に収納された絶縁油は圧送ポンプ１７から送り
出されレーザ管のカソード１２と光共振器構造体
１５を通つて流れ再び油タンク１６にもどる。水
タンク１８には純水が収納され圧送ポンプ１９か
ら送りだされ、レーザ管１０の二重管部の外側又
は油タンク１６内の熱交換器２０を流れ、イオン
交換樹脂２１を通つて水タンク１８にもどる。蛇
口２２からの市水は水タンク１８内の熱交換器２
３を通り排出される。なおタンクと熱交換器の組
（１６と２０，１８と２３）は熱交換部といつて
もよいものである。ここで絶縁油の温度と純水の
温度は測温体２４と２５でそれぞれ測定され、そ
れぞれの温度コントローラ２６，２７に伝えられ
る。温度コントローラ２６，２７はそれぞれの設
定温度を保つべく電磁弁２８，２９をそれぞれ開
閉する。
以上の構成によれば、熱交換部（１６，２０）
における一次冷却水の温度が比較的高い（結露温
度より高い温度）ので光共振器構造体が極めて正
確に一定温度に保たれ、このためにレーザ出力の
変化の少ない出力特性が得られる。又レーザ管１
０のグロー放電部分１３の外側は純水で冷却され
るため、アノードに印加された高圧がレーザ管壁
を通して冷却水中に過渡的に漏れることがなく、
従つて放電がスタートしにくいということがな
い。
における一次冷却水の温度が比較的高い（結露温
度より高い温度）ので光共振器構造体が極めて正
確に一定温度に保たれ、このためにレーザ出力の
変化の少ない出力特性が得られる。又レーザ管１
０のグロー放電部分１３の外側は純水で冷却され
るため、アノードに印加された高圧がレーザ管壁
を通して冷却水中に過渡的に漏れることがなく、
従つて放電がスタートしにくいということがな
い。
以上レーザ発振器の冷却系統に工夫をほどこす
ことにより発振のスタートの確実性と光共振器な
どの高度の恒温性により実用上大きな効果が得ら
れる。なお第１図は本考案の思想を限定するもの
ではなく、「実用新案登録請求の範囲」の中にお
いていくつかのバリエーシヨンがある。
ことにより発振のスタートの確実性と光共振器な
どの高度の恒温性により実用上大きな効果が得ら
れる。なお第１図は本考案の思想を限定するもの
ではなく、「実用新案登録請求の範囲」の中にお
いていくつかのバリエーシヨンがある。
第１図は本考案の一実施例を示す模式図で図に
おいて 記号の説明：１０はレーザ管、１１はアノー
ド、１２はカソード、１３は放電部分、１４は反
射鏡、１５は光共振器の構造体、１６は油タン
ク、１７は絶縁油の圧送ポンプ、１８は水タン
ク、１９は純水の圧送ポンプ、２０は熱交換器、
２１はイオン交換樹脂、２２は市水の蛇口、２３
は熱交換器、２４と２５は測温体、２６と２７は
温度コントローラ、２８と２９は電磁弁をそれぞ
れあらわしている。
おいて 記号の説明：１０はレーザ管、１１はアノー
ド、１２はカソード、１３は放電部分、１４は反
射鏡、１５は光共振器の構造体、１６は油タン
ク、１７は絶縁油の圧送ポンプ、１８は水タン
ク、１９は純水の圧送ポンプ、２０は熱交換器、
２１はイオン交換樹脂、２２は市水の蛇口、２３
は熱交換器、２４と２５は測温体、２６と２７は
温度コントローラ、２８と２９は電磁弁をそれぞ
れあらわしている。
Claims (1)
- ガスレーザ管と光共振器を組合わせ、液体を用
いて必要な部分の温度を制御しながらグロー放電
によりレーザガスの励起を行うガスフロー形レー
ザ発振器において、前記ガスレーザ管の放電部の
温度を制御する手段が、前記液体として純水を用
い、純水化装置と、装置外からの冷却水との熱交
換を行うための熱交換部と、熱交換を受けた純水
の温度を所定の温度よりは下らないように制御す
る温度調節手段と、圧送ポンプとを含む閉ループ
を構成し、前記ガスレーザ管のカソードの部分及
び前記光共振器構造体の温度を制御する手段が、
前記液体として油を用い、前記ガスレーザ管の放
電部の温度制御に用いる純水との熱交換を行うた
めの熱交換部と、熱交換を受けた油の温度を一定
に保持するように制御する温度調節手段と、圧送
ポンプとを含む閉ループを構成していることを特
徴とするガスレーザ発振器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10516384U JPS6122375U (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10516384U JPS6122375U (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6122375U JPS6122375U (ja) | 1986-02-08 |
| JPH0238459Y2 true JPH0238459Y2 (ja) | 1990-10-17 |
Family
ID=30664498
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10516384U Granted JPS6122375U (ja) | 1984-07-13 | 1984-07-13 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6122375U (ja) |
-
1984
- 1984-07-13 JP JP10516384U patent/JPS6122375U/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6122375U (ja) | 1986-02-08 |
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