JPH073656Y2 - ガスレ−ザ発振器 - Google Patents
ガスレ−ザ発振器Info
- Publication number
- JPH073656Y2 JPH073656Y2 JP1986114035U JP11403586U JPH073656Y2 JP H073656 Y2 JPH073656 Y2 JP H073656Y2 JP 1986114035 U JP1986114035 U JP 1986114035U JP 11403586 U JP11403586 U JP 11403586U JP H073656 Y2 JPH073656 Y2 JP H073656Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- temperature
- liquid
- optical resonator
- oil
- resonator structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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- Lasers (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案はガスレーザ発振器の出力安定化技術に関し，特
に光共振器構造体を恒温化して出力安定化をはかった構
成において動作開始直後の出力立上り特性を改良する技
術に関する。
に光共振器構造体を恒温化して出力安定化をはかった構
成において動作開始直後の出力立上り特性を改良する技
術に関する。
従来，炭酸ガスレーザなどの大形ガスレーザ装置では，
光共振器構造体に恒温化された液体を流して光共振器構
造体の温度を一定にし，これによって光共振器の熱変形
を防止し環境温度が変化しても，レーザ出力が変化しな
いようにする出力安定化が行なわれていた。
光共振器構造体に恒温化された液体を流して光共振器構
造体の温度を一定にし，これによって光共振器の熱変形
を防止し環境温度が変化しても，レーザ出力が変化しな
いようにする出力安定化が行なわれていた。
上述した従来の出力安定化の方法によると，光共振器構
造体に流す液体の温度は結露防止のため常温より高めに
えらばれることが多い。この場合，液体はレーザ管を冷
却した結果として上昇した温度上昇分を冷凍機を適当に
用いて降下させ，恒温化してから光共振器構造体に送り
こまれる。このようにして，光共振器構造体の温度が，
一定温度になってバランスがとれたところでレーザ出力
は安定化する。
造体に流す液体の温度は結露防止のため常温より高めに
えらばれることが多い。この場合，液体はレーザ管を冷
却した結果として上昇した温度上昇分を冷凍機を適当に
用いて降下させ，恒温化してから光共振器構造体に送り
こまれる。このようにして，光共振器構造体の温度が，
一定温度になってバランスがとれたところでレーザ出力
は安定化する。
しかし，レーザ動作を開始した直後は，光共振器構造体
とこれに流すための液体の温度は動作中の温度に比べて
低い。なぜなら，レーザ管の発熱が直接的又は間接的に
光共振器構造体へ送られる液体の温度を上昇させるよう
に働くが，レーザ動作開始直後は液体の熱容量の分だけ
設定温度になるまで時間がかかるからである。このた
め，レーザ出力が安定状態に達するには，少なくとも液
体温度が恒温化されるまでの時間が必要であった。更に
詳しく言えば，液体の温度が恒温状態に達しても，光共
振器構造体の各部分が恒温化するまでには光共振器構造
体の熱容量の分だけさらに時間がかかるわけであり，レ
ーザ出力が安定状態に達するまでには更に時間がかか
る。
とこれに流すための液体の温度は動作中の温度に比べて
低い。なぜなら，レーザ管の発熱が直接的又は間接的に
光共振器構造体へ送られる液体の温度を上昇させるよう
に働くが，レーザ動作開始直後は液体の熱容量の分だけ
設定温度になるまで時間がかかるからである。このた
め，レーザ出力が安定状態に達するには，少なくとも液
体温度が恒温化されるまでの時間が必要であった。更に
詳しく言えば，液体の温度が恒温状態に達しても，光共
振器構造体の各部分が恒温化するまでには光共振器構造
体の熱容量の分だけさらに時間がかかるわけであり，レ
ーザ出力が安定状態に達するまでには更に時間がかか
る。
従って，本考案の目的はこの出力安定化が得られるまで
の立上り時間を短縮し，レーザ管の放電をはじめるとた
だちに安定な出力を利用できるようなガスレーザ発振器
を提供することにある。
の立上り時間を短縮し，レーザ管の放電をはじめるとた
だちに安定な出力を利用できるようなガスレーザ発振器
を提供することにある。
本考案では，光共振器構造体に送られる液体を加熱昇温
させる装置と，この装置をオン，オフして液体の温度を
一定に保つための装置と，これらの液体の加熱恒温化の
ための装置の動作を，レーザ管の動作開始にさきだって
開始させるためのタイマ装置とを備えたことを特徴とす
る。
させる装置と，この装置をオン，オフして液体の温度を
一定に保つための装置と，これらの液体の加熱恒温化の
ための装置の動作を，レーザ管の動作開始にさきだって
開始させるためのタイマ装置とを備えたことを特徴とす
る。
第１図に本考案の実施例を示す。これは，レーザ管の冷
却は水により，光共振器構造体の冷却は金属部品の腐蝕
をさけるために油により行なわれている例である。
却は水により，光共振器構造体の冷却は金属部品の腐蝕
をさけるために油により行なわれている例である。
レーザ管１を放電させるに先だち，タイマ２によって設
定した時間だけ早めに，ポンプ３と油タンク４の中のヒ
ータ5,油温コントローラ６を動作させる。例えば，レー
ザ管１の動作開始予定時刻より１時間前に上記各部を動
作させるようにする。ポンプ３により油は光共振器構造
体７を貫流し油タンク４にもどる。動作後，油の熱容量
および光共振器構造体７などの熱容量に対応する時間が
経過すれば光共振器構造体７は熱平衡状態に達し，これ
に支えられたミラー８がさだめる光軸は安定状態に達し
ている。ここでレーザ管１を放電させると，レーザ出力
は安定状態に近いところから発生させることができる。
レーザ管１の動作開始と共に恒温化冷却器９を動作させ
る。なお，油温コントローラ６は油タンク４に設けられ
た温度センサ61の検出信号にもとづいてヒータ５を制御
する。
定した時間だけ早めに，ポンプ３と油タンク４の中のヒ
ータ5,油温コントローラ６を動作させる。例えば，レー
ザ管１の動作開始予定時刻より１時間前に上記各部を動
作させるようにする。ポンプ３により油は光共振器構造
体７を貫流し油タンク４にもどる。動作後，油の熱容量
および光共振器構造体７などの熱容量に対応する時間が
経過すれば光共振器構造体７は熱平衡状態に達し，これ
に支えられたミラー８がさだめる光軸は安定状態に達し
ている。ここでレーザ管１を放電させると，レーザ出力
は安定状態に近いところから発生させることができる。
レーザ管１の動作開始と共に恒温化冷却器９を動作させ
る。なお，油温コントローラ６は油タンク４に設けられ
た温度センサ61の検出信号にもとづいてヒータ５を制御
する。
レーザ管１の放電がはじまると，その発熱量はレーザ管
１の周囲を流れる水によって運ばれ，恒温化冷却器９で
一定水温に戻され再びレーザ管１に向かう。このような
状態になれば，油の昇温のためのヒータ5,油温コントロ
ーラ６は動作を停止しても良い。なぜなら，油と水との
間で熱交換する熱交換器10が恒温化冷却器９から作られ
る一定温度の水により油温を間接的に恒温化するからで
ある。
１の周囲を流れる水によって運ばれ，恒温化冷却器９で
一定水温に戻され再びレーザ管１に向かう。このような
状態になれば，油の昇温のためのヒータ5,油温コントロ
ーラ６は動作を停止しても良い。なぜなら，油と水との
間で熱交換する熱交換器10が恒温化冷却器９から作られ
る一定温度の水により油温を間接的に恒温化するからで
ある。
第２図に示された第２の実施例は，ヒータ５を熱交換器
10内に設けたもので，光共振器構造体７を流れる油を直
接予熱するのではなく，タイマ２の指示によりレーザ管
１の発熱に相当するヒータ５でレーザ管１の周囲を流れ
る水を予熱することにより油を間接的に予熱するもので
ある。このときは，タイマ２によってポンプ3,ヒータ５
と同時に動作を開始した恒温化冷却器９で水温制御され
るから，ヒータ５で加熱するだけでよい。このことによ
り，加熱電源11だけあればよく，第１図の油温コントロ
ーラ６は不要である。
10内に設けたもので，光共振器構造体７を流れる油を直
接予熱するのではなく，タイマ２の指示によりレーザ管
１の発熱に相当するヒータ５でレーザ管１の周囲を流れ
る水を予熱することにより油を間接的に予熱するもので
ある。このときは，タイマ２によってポンプ3,ヒータ５
と同時に動作を開始した恒温化冷却器９で水温制御され
るから，ヒータ５で加熱するだけでよい。このことによ
り，加熱電源11だけあればよく，第１図の油温コントロ
ーラ６は不要である。
第３図に示された第３の実施例は，油タンク４の中にヒ
ータ５を置き，一方的に油を加熱するものである。上昇
した油温は，恒温化冷却器９で温度制御された水により
冷却され，恒温化される。この場合も，第２の実施例と
同じくヒータ５を制御する油温コントローラは不要であ
る。このときもタイマ２の指示はポンプ3,ヒータ５と恒
温化冷却器９に対して行なわれている。
ータ５を置き，一方的に油を加熱するものである。上昇
した油温は，恒温化冷却器９で温度制御された水により
冷却され，恒温化される。この場合も，第２の実施例と
同じくヒータ５を制御する油温コントローラは不要であ
る。このときもタイマ２の指示はポンプ3,ヒータ５と恒
温化冷却器９に対して行なわれている。
以上の実施例では各液体の加熱昇温のための装置として
ヒータを考えた。しかし，液体を圧送するために用いら
れているポンプ3,あるいは特に表現してはいないが，恒
温化冷却器９の中に組込まれている圧送ポンプにはこれ
を通過する液体を加熱昇温させる効果がある。従って，
このポンプの発熱だけで液体を目的とする温度まで高め
ることができるならヒータは不要となる。
ヒータを考えた。しかし，液体を圧送するために用いら
れているポンプ3,あるいは特に表現してはいないが，恒
温化冷却器９の中に組込まれている圧送ポンプにはこれ
を通過する液体を加熱昇温させる効果がある。従って，
このポンプの発熱だけで液体を目的とする温度まで高め
ることができるならヒータは不要となる。
第４図では，第１図に対応するものとしてポンプ３を加
熱装置として考え，このポンプ３のオン，オフを油温コ
ントローラ６により温度制御のために制御するようにし
ている。恒温化冷却器９はレーザ管１の動作開始と同時
に起動される。
熱装置として考え，このポンプ３のオン，オフを油温コ
ントローラ６により温度制御のために制御するようにし
ている。恒温化冷却器９はレーザ管１の動作開始と同時
に起動される。
第５図は第２図におけるポンプ３を油の加熱装置とした
場合の例を示す。この場合，冷却水系と冷却油系の両方
に含まれるポンプが加熱装置となるから，タイマの指示
で動作がはじまると油系，水系ともに上昇をつづける。
しかし，水系では恒温化冷却器９の中にある冷却器が働
いて恒温化され，油系の温度は，熱交換器10により恒温
化される。
場合の例を示す。この場合，冷却水系と冷却油系の両方
に含まれるポンプが加熱装置となるから，タイマの指示
で動作がはじまると油系，水系ともに上昇をつづける。
しかし，水系では恒温化冷却器９の中にある冷却器が働
いて恒温化され，油系の温度は，熱交換器10により恒温
化される。
なお，実施例の説明は，熱伝達の液体として水と油の２
種類が用いられた系で行ったが，本考案はこれらに制限
されるものではない。この他にもいくつかの変形が考え
られることはもちろんである。
種類が用いられた系で行ったが，本考案はこれらに制限
されるものではない。この他にもいくつかの変形が考え
られることはもちろんである。
以上説明したように本考案によれば，レーザ光の利用を
開始する，例えば１時間前に，光共振器構造体の予熱タ
イマにより開始しておくことにより，はじめから安定な
レーザ出力を得ることができる。とくに，冬期に寒冷地
でのレーザ利用を考えると，出力の立上りを待つ無駄な
時間を節約する意義は大きい。
開始する，例えば１時間前に，光共振器構造体の予熱タ
イマにより開始しておくことにより，はじめから安定な
レーザ出力を得ることができる。とくに，冬期に寒冷地
でのレーザ利用を考えると，出力の立上りを待つ無駄な
時間を節約する意義は大きい。
第１図〜第５図はそれぞれ，本考案の第１〜第５の実施
例の概略図。 図において,1……レーザ管,2……タイマ,3……ポンプ,4
……油タンク,5……ヒータ,6……油温コントローラ,7…
…光共振器構造体,8……ミラー,9……恒温化冷却器,10
……熱交換器,11……加熱電源。
例の概略図。 図において,1……レーザ管,2……タイマ,3……ポンプ,4
……油タンク,5……ヒータ,6……油温コントローラ,7…
…光共振器構造体,8……ミラー,9……恒温化冷却器,10
……熱交換器,11……加熱電源。
Claims (1)
- 【請求項１】光共振器構造体に恒温化された第１の液体
を流す第１の流路系を備え、前記光共振器構造体の熱変
形を防止し出力の安定化をはかったガスレーザ発振器で
あって、レーザ管を冷却する恒温化された第２の液体を
流す第２の流路系を備え、更に、前記第１の液体と前記
第２の液体との熱交換を行う熱交換手段と、前記第１の
液体あるいは前記第２の液体を加熱昇温させる加熱手段
と、該加熱手段を制御して前記第１の液体を恒温化する
制御手段と、前記加熱手段と前記制御手段の動作を該ガ
スレーザ発振器の動作開始に先だって開始させるための
タイマ装置とを備えたことを特徴とするガスレーザ発振
器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986114035U JPH073656Y2 (ja) | 1986-07-26 | 1986-07-26 | ガスレ−ザ発振器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1986114035U JPH073656Y2 (ja) | 1986-07-26 | 1986-07-26 | ガスレ−ザ発振器 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6322762U JPS6322762U (ja) | 1988-02-15 |
| JPH073656Y2 true JPH073656Y2 (ja) | 1995-01-30 |
Family
ID=30996397
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1986114035U Expired - Lifetime JPH073656Y2 (ja) | 1986-07-26 | 1986-07-26 | ガスレ−ザ発振器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH073656Y2 (ja) |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS522650U (ja) * | 1975-06-24 | 1977-01-10 | ||
| JPS5944593U (ja) * | 1982-09-17 | 1984-03-24 | 三菱重工業株式会社 | 廃液処理装置 |
| JPS5970358U (ja) * | 1982-10-30 | 1984-05-12 | 株式会社東芝 | レ−ザ装置 |
-
1986
- 1986-07-26 JP JP1986114035U patent/JPH073656Y2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6322762U (ja) | 1988-02-15 |
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