JPH0238796B2 - - Google Patents

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JPH0238796B2
JPH0238796B2 JP63237471A JP23747188A JPH0238796B2 JP H0238796 B2 JPH0238796 B2 JP H0238796B2 JP 63237471 A JP63237471 A JP 63237471A JP 23747188 A JP23747188 A JP 23747188A JP H0238796 B2 JPH0238796 B2 JP H0238796B2
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JP
Japan
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pump
primary pump
primary
relay
detector
Prior art date
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JP63237471A
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English (en)
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JPH01106980A (ja
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Kuranketsuto Jannmari
Ron Jatsuku
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Nokia Inc
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Nokia Inc
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Publication date
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Publication of JPH01106980A publication Critical patent/JPH01106980A/ja
Publication of JPH0238796B2 publication Critical patent/JPH0238796B2/ja
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    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B37/00—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00
    • F04B37/10—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use
    • F04B37/14—Pumps having pertinent characteristics not provided for in, or of interest apart from, groups F04B25/00 - F04B35/00 for special use to obtain high vacuum
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B41/00—Pumping installations or systems specially adapted for elastic fluids
    • F04B41/06—Combinations of two or more pumps
    • F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
    • F04—POSITIVE - DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS FOR LIQUIDS OR ELASTIC FLUIDS
    • F04B—POSITIVE-DISPLACEMENT MACHINES FOR LIQUIDS; PUMPS
    • F04B49/00—Control, e.g. of pump delivery, or pump pressure of, or safety measures for, machines, pumps, or pumping installations, not otherwise provided for, or of interest apart from, groups F04B1/00 - F04B47/00
    • F04B49/02—Stopping, starting, unloading or idling control

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  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • General Engineering & Computer Science (AREA)
  • Control Of Positive-Displacement Pumps (AREA)
  • Compressors, Vaccum Pumps And Other Relevant Systems (AREA)
  • Control Of Positive-Displacement Air Blowers (AREA)
  • Exposure Of Semiconductors, Excluding Electron Or Ion Beam Exposure (AREA)
  • Jet Pumps And Other Pumps (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は直列に接続された真空ポンプの起動方
法に係る。
本発明はまた、該方法を実施し得る装置に係
る。
発明の背景 工業用真空装置においては、１つの一次ポンプ
と１つ以上の二次ポンプとを含む直列に接続され
た複数のポンプが使用される。これらの二次ポン
プは一般に、例えば「ルーツ」ポンプ、「スクリ
ユー」ポンプまたは「スパイラル」ポンプ型の回
転ポンプである。ポンプ出力は熱的拘束及び機械
的拘束によつて制約され、またポンプ出力が入口
と出口との圧力差の関数なので常圧でポンプを起
動することができない。まず一次ポンプを起動し
て二次ポンプの許容値まで圧力を下げる必要があ
る。
圧力が許容値に到達した時点を決定するために
吸引ダクトに公知のごとく圧力計を接続する。圧
力計は感圧カプセルから成り、その変形によつて
電気接触器を閉鎖する。該電気接触器は二次ポン
プの制御回路に接続されており二次ポンプの起動
を生起する。
この種の圧力計は、腐食及び塵埃ガスに弱く、
また低圧では振動に敏感である。従つて信頼性が
あまりよくない。このため二次ポンプが起動され
ないことがありまたはもつと悪い場合には焼き付
きの恐れがあるような高圧で起動されたりする。
本発明方法では圧力計を削除し、圧力を直接測
定するのでなく、所定の範囲内では圧力と同様の
法則で変化する物理量を測定する。
発明の概要 本発明の目的は、一次ポンプと、真空を成立さ
せるべき室と前記一次ポンプとの間に配置された
少なくとも１つの二次ポンプとを含む直列に接続
された真空ポンプの起動方法を提供することであ
る。本発明方法では、まず一次ポンプを起動し、
次に一次ポンプの回転によつて減少した一次ポン
プの吸込み圧力が許容値に到達したときに二次ポ
ンプを起動する。本発明方法の特徴は、圧力の法
則と同様の法則で変化する一次ポンプ関連の物理
量を利用して二次ポンプ内の圧力を決定すること
である。
本発明の目的はまた、前記方法を実施し得る装
置を提供することである。本発明装置は、手動ス
イツチによつて制御されるコイルと一次ポンプの
モータに３つの相を接続する３つの接触器とをも
つ第１の電磁継電器と、二次ポンプをオンに切り
替える第２の電磁継電器とを含む。本発明装置の
特徴は、前記第２継電器のコイルが、第１継電器
の時間遅延を導入する第４接触器と、一次ポンプ
の吸込み圧力の関数として変化する一次ポンプ関
連の物理量を測定する検出器の接触器とを介して
給電されることである。
この検出器は、モータへの給電相の１つに配置
され、吸収されたパワーを直接測定する電流継電
器でもよい。検出器はまた、ポンプに配置された
振動検出器または音量検出器でもよい。これらの
２つの物理量（音量または振動の振幅）は吸収さ
れたパワーの法則と同じ法則で変化する。
具体例 １つの二次ポンプを含む真空装置に使用された
添付図面に示す非限定具体例に基づいて本発明の
方法及び装置をより詳細に説明する。
第１図は、一次ポンプによつて吸収されたパワ
ーの変化を吸込み圧力の関数として示すグラフで
ある。300ミリバールに等しい所定の閾値を越え
てから10-3ミリバールの限界真空まではこのパワ
ーが減少することが理解されよう。
一次ポンプの振動の振幅及び音量も同等の法則
に従つて変化する。
第２図は、一次ポンプＡと二次ポンプＢと真空
を成立させるべき処理室Ｅと２つのモータＭ１，
Ｍ２への給電回路とを含む装置を停止状態で示
す。
従来同様に各ポンプは三相モータによつて駆動
され、これらのモータの各々は継電器を介して給
電される。一次ポンプＡのモータＭ１は継電器１
０の３つの接触器１２を介して給電され、二次ポ
ンプＢのモータＭ２は継電器２０の３つの接触器
２２を介して給電される。
継電器１０はコイル１１を含み、このコイルは
一次ポンプを起動するためにオペレータが操作し
得るスイツチＩによつて給電される。この継電器
はまた、時間遅延を導入する第４接触器１３を備
え、この接触器は検出器３０の接触器３１と直列
に接続されている。継電器２０のコイル２１はこ
れらの２つの接触器１３及び３１を介して給電さ
れる。
第２図において検出器３０は一次ポンプのモー
タＭ１の給電相の１つに接続された電流継電器で
ある。
かかる装置は以下のごとく作動する。
ポンプ動作を開始させるときにはまずスイツチ
Ｉを入れて一次ポンプＡを起動する。接触器１２
が閉じモータＭ１が回転する。この起動時点で接
触器３１が閉じる。但し、接触器１３の閉鎖は遅
れて生じる。従つて継電器２０のコイル２１には
給電されずモータＭ２は起動されない。電流継電
器３０は多量のパワーを吸収したモータＭ１によ
つて励起され、その結果接触器３１が開く。接触
器１３の時間遅延は、接触器３１が開いた後に接
触器１３が閉じるように設計され、接触器３１が
開いているので継電器２０のコイル２１が給電さ
れない。ポンプＡの吸込み圧力が所定の閾値まで
減少すると吸収されたパワーが低下し給電電流も
低下して電流継電器３０の励起が停止する。接触
器３１が閉鎖され、継電器２０のコイル２１に給
電される。接触器２２が閉じているのでポンプＢ
が起動される。
もし何らかの理由で一次ポンプの吸込み圧力が
増加すると、電流継電器３０が再度励起され接触
器３１が開きポンプＢの給電が遮断される。
第３図の変形具体例では電流継電器に代替して
振動の振幅または音量を検出する検出器４０が電
流モータ−ポンプアセンブリに配置され協働する
接触器４１の開閉を制御する。
【図面の簡単な説明】
第１図は一次ポンプで吸収されたパワーの変化
を吸込み圧力の関数として示すグラフ、第２図は
一方が一次ポンプ他方が二次ポンプを駆動する２
つのモータの給電回路を備えた真空装置を示す説
明図、第３図は給電回路の別の具体例の説明図で
ある。 Ａ……一次ポンプ、Ｂ……二次ポンプ、Ｅ……
処理室、Ｍ１，Ｍ２……モータ、１０，２０……
継電器、１２，２２……接触器、２１……コイ
ル、３０……検出器。

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 １ 一次ポンプと、真空を成立させるべき室と前
    記一次ポンプとの間に配置された少なくとも１つ
    の二次ポンプとを含む直列接続真空ポンプにおい
    て、まず一次ポンプが起動され、次に一次ポンプ
    の回転によつて低下した一次ポンプの吸込み圧力
    が許容値に到達したときに二次ポンプが起動され
    るポンプ起動方法であつて、圧力の法則と同じ法
    則に従つて変化する一次ポンプ関連の物理量を利
    用して二次ポンプ内の圧力を決定することを特徴
    とする方法。 ２ 手動スイツチによつて制御されるコイルと一
    次ポンプのモータに３つの相を接続する３つの接
    触器とをもつ第１電磁継電器と、二次ポンプをオ
    ンに切り替える第２電磁継電器とを含む装置であ
    つて、前記第２継電器のコイルが第１継電器の時
    間遅延を導入する第４接触器と一次ポンプの吸込
    み圧力の関数として変化する一次ポンプ関連の物
    理量を測定する検出器の接触器とを介して給電さ
    れることを特徴とする請求項１に記載の方法を実
    施する起動装置。 ３ 検出器が一次ポンプのモータへの給電相の１
    つに配置された電流継電器であることを特徴とす
    る請求項２に記載の装置。 ４ 検出器が一次ポンプ及びモータのアセンブリ
    に配置された振動検出器または音量検出器である
    ことを特徴とする請求項２に記載の装置。
JP63237471A 1987-09-25 1988-09-21 直列接続された真空ポンプの起動方法及び該方法の実施装置 Granted JPH01106980A (ja)

Applications Claiming Priority (2)

Application Number Priority Date Filing Date Title
FR8713267 1987-09-25
FR8713267A FR2621141B1 (fr) 1987-09-25 1987-09-25 Procede de demarrage de pompes a vide couplees en serie, et dispositif permettant la mise en oeuvre de ce procede

Publications (2)

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JPH01106980A JPH01106980A (ja) 1989-04-24
JPH0238796B2 true JPH0238796B2 (ja) 1990-08-31

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JP63237471A Granted JPH01106980A (ja) 1987-09-25 1988-09-21 直列接続された真空ポンプの起動方法及び該方法の実施装置

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US (1) US4887941A (ja)
EP (1) EP0308846B1 (ja)
JP (1) JPH01106980A (ja)
AT (1) ATE68565T1 (ja)
DE (1) DE3865615D1 (ja)
ES (1) ES2026620T3 (ja)
FR (1) FR2621141B1 (ja)
GR (1) GR3003251T3 (ja)

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