JPH0240168B2 - - Google Patents
Info
- Publication number
- JPH0240168B2 JPH0240168B2 JP58025328A JP2532883A JPH0240168B2 JP H0240168 B2 JPH0240168 B2 JP H0240168B2 JP 58025328 A JP58025328 A JP 58025328A JP 2532883 A JP2532883 A JP 2532883A JP H0240168 B2 JPH0240168 B2 JP H0240168B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sensing body
- mounting
- bush
- measuring device
- displacement measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/347—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells using displacement encoding scales
- G01D5/34746—Linear encoders
- G01D5/34753—Carriages; Driving or coupling means
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Length Measuring Devices With Unspecified Measuring Means (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は変位測定装置用取付装置に係り、特
に、第１部材に取付けられた第１検知体と、第２
部材に取付けられ、かつ、この第２部材とともに
前記第１検知体に沿つて往復動可能とされた第２
検知体と、を有してなり、前記第１検知体と第２
検知体との相対移動から、前記第１および第２部
材の相対変位を測定する変位測定装置を前記第１
部材および第部材へ取付けるための取付装置の改
良に関する。
に、第１部材に取付けられた第１検知体と、第２
部材に取付けられ、かつ、この第２部材とともに
前記第１検知体に沿つて往復動可能とされた第２
検知体と、を有してなり、前記第１検知体と第２
検知体との相対移動から、前記第１および第２部
材の相対変位を測定する変位測定装置を前記第１
部材および第部材へ取付けるための取付装置の改
良に関する。
２個の対象物の相対的な位置を測定したり、或
いは調整したりするための変位測定装置の一種
に、例えば第１図に示されるように構成されてい
るものがある。
いは調整したりするための変位測定装置の一種
に、例えば第１図に示されるように構成されてい
るものがある。
図において、細長ケース１はほぼ方形の中空断
面を有するとともに、第１図の紙面と直交方向に
細長に形成され、更に長手方向の一側面に沿つて
ほぼ全長にわたり開口２を備えている。
面を有するとともに、第１図の紙面と直交方向に
細長に形成され、更に長手方向の一側面に沿つて
ほぼ全長にわたり開口２を備えている。
前記細長ケース１の開口２側の端面には移動部
材としての検出機構３が摺動部材４を介して当接
され、細長ケース１の長手方向に沿つて移動可能
とされている。
材としての検出機構３が摺動部材４を介して当接
され、細長ケース１の長手方向に沿つて移動可能
とされている。
この検出機構３の下面には、前記開口２から細
長ケース１内に延在する腕部５が一体的に形成さ
れている。また前記開口２の近傍における細長ケ
ース１の外側面には該細長ケース１の長手方向に
沿つて一対のマグネツト６が設けられ、このマグ
ネツト６に該開口２を被うように薄肉の鉄板から
なる閉塞部材７が吸着され、該開口２から細長ケ
ース１内への塵埃等が侵入することを防止するよ
うにされている。
長ケース１内に延在する腕部５が一体的に形成さ
れている。また前記開口２の近傍における細長ケ
ース１の外側面には該細長ケース１の長手方向に
沿つて一対のマグネツト６が設けられ、このマグ
ネツト６に該開口２を被うように薄肉の鉄板から
なる閉塞部材７が吸着され、該開口２から細長ケ
ース１内への塵埃等が侵入することを防止するよ
うにされている。
この時、検出機構３の腕部５が挿入される部分
の閉塞部材７は、該検出機構３に設けられるとと
もに、両端が検出機構３の下面に開口された側面
山形の溝８内に挿入され、この溝８により跨がれ
た状態の腕部５は細長ケース１内への挿入が可能
となるようにされている。
の閉塞部材７は、該検出機構３に設けられるとと
もに、両端が検出機構３の下面に開口された側面
山形の溝８内に挿入され、この溝８により跨がれ
た状態の腕部５は細長ケース１内への挿入が可能
となるようにされている。
前記細長ケース１内の長手方向に設けられた溝
９内には、ガラス等からなり、一側面（目盛面）
１０Ａに縦縞状の目盛が形成されたメインスケー
ル１０（第１検知体）の下端辺が挿入され、接着
剤１１等により固定されている。
９内には、ガラス等からなり、一側面（目盛面）
１０Ａに縦縞状の目盛が形成されたメインスケー
ル１０（第１検知体）の下端辺が挿入され、接着
剤１１等により固定されている。
前記検出機構３の腕部５は前記メインスケール
１０の近傍まで延長され、この先端部には例えば
線状片持ばねからなる連結手段１２を介してスラ
イダー１３が移動可能に取付けられている。
１０の近傍まで延長され、この先端部には例えば
線状片持ばねからなる連結手段１２を介してスラ
イダー１３が移動可能に取付けられている。
前記片持ばねからなる連結手段１２は、スライ
ダー１３をメインスケール１０の第１の走査基準
面と兼用された目盛面１０Ａ側に押圧するように
されるとともに、スライダー１３をメインスケー
ル１０の目盛面１０Ａと直交する第２の走査基準
面である端面１０Ｂ側にも押圧するようにされて
いる。
ダー１３をメインスケール１０の第１の走査基準
面と兼用された目盛面１０Ａ側に押圧するように
されるとともに、スライダー１３をメインスケー
ル１０の目盛面１０Ａと直交する第２の走査基準
面である端面１０Ｂ側にも押圧するようにされて
いる。
前記スライダー１３は、板材から略Ｌ字状に形
成された接触子取付部材１３Ａとこの接触子取付
部材１３Ａの一端折曲げ短辺にねじ止めされると
ともに、前記メインスケール１０の目盛が形成さ
れていない面に対向された肉厚の発光素子取付部
材１３Ｂと、前記接触子取付部材１３Ａの他端折
曲げ長辺にねじ（図示省略）止めされるととも
に、前記メインスケール１０の目盛面１０Ｂに対
向された肉厚の受光素子取付部材１３Ｃとにより
構成されている。
成された接触子取付部材１３Ａとこの接触子取付
部材１３Ａの一端折曲げ短辺にねじ止めされると
ともに、前記メインスケール１０の目盛が形成さ
れていない面に対向された肉厚の発光素子取付部
材１３Ｂと、前記接触子取付部材１３Ａの他端折
曲げ長辺にねじ（図示省略）止めされるととも
に、前記メインスケール１０の目盛面１０Ｂに対
向された肉厚の受光素子取付部材１３Ｃとにより
構成されている。
前記スライダー１３の接触子取付部材１３Ａの
前記メインスケール１０の目盛面１０Ａに対向し
た面には、メインスケール１０と同様な縦縞状の
目盛（図示省略）を有するインデツクススケール
１４（第２の検知体）が固定されている。このイ
ンデツクススケール１４とメインスケール１０と
を挾んだ状態で光源としての発光素子１５と受光
素子１６とが配置されている。
前記メインスケール１０の目盛面１０Ａに対向し
た面には、メインスケール１０と同様な縦縞状の
目盛（図示省略）を有するインデツクススケール
１４（第２の検知体）が固定されている。このイ
ンデツクススケール１４とメインスケール１０と
を挾んだ状態で光源としての発光素子１５と受光
素子１６とが配置されている。
この場合、発光素子１５は前記接触子取付部材
１３ＡのＬ字の短辺に固着された発光素子取付部
材１３Ｂに、また受光素子１６は前記接触子取付
部材１３ＡのＬ字の長辺に固着された受光素子取
付部材１３Ｃに各々２個固着されている。
１３ＡのＬ字の短辺に固着された発光素子取付部
材１３Ｂに、また受光素子１６は前記接触子取付
部材１３ＡのＬ字の長辺に固着された受光素子取
付部材１３Ｃに各々２個固着されている。
前記接触子取付部材１３ＡのＬ字の内面すなわ
ち前記メインスケール１０の第１の走査基準面で
ある目盛面１０Ａおよびこの目盛面に直交した第
２の走査基準面である端面１０Ｂに対向した面に
は、それぞれ、各ポリアセタール樹脂のような低
摩擦係数の樹脂からなる摺動駒１７，１８が複数
個固定され、これらの摺動駒１７，１８は前記連
結手段１２の付勢力によりメインスケール１０の
目盛面１０Ａおよびこの目盛面１０Ａに直交した
端面１０Ｂに当接するようにされている。
ち前記メインスケール１０の第１の走査基準面で
ある目盛面１０Ａおよびこの目盛面に直交した第
２の走査基準面である端面１０Ｂに対向した面に
は、それぞれ、各ポリアセタール樹脂のような低
摩擦係数の樹脂からなる摺動駒１７，１８が複数
個固定され、これらの摺動駒１７，１８は前記連
結手段１２の付勢力によりメインスケール１０の
目盛面１０Ａおよびこの目盛面１０Ａに直交した
端面１０Ｂに当接するようにされている。
このような構成において、細長ケース１および
移動部材としての検出機構３のいずれか一方を、
例えば検出機構３を被測定物（第２部材）に取付
け、他方すなわち細長ケース１を機械のベツド
（第１部材）１９の取付面１９Ａ，１９Ｂに固定
して被測定物を移動すると、メインスケール１０
の目盛とインデツクススケール１４の目盛との間
で明暗の縞模様が発生し、この縞模様を受光素子
１６で読み取つて被測定物の移動量を読み取り、
測定を行うものである。
移動部材としての検出機構３のいずれか一方を、
例えば検出機構３を被測定物（第２部材）に取付
け、他方すなわち細長ケース１を機械のベツド
（第１部材）１９の取付面１９Ａ，１９Ｂに固定
して被測定物を移動すると、メインスケール１０
の目盛とインデツクススケール１４の目盛との間
で明暗の縞模様が発生し、この縞模様を受光素子
１６で読み取つて被測定物の移動量を読み取り、
測定を行うものである。
このような変位測定装置においては、メインス
ケール１０とインデツクススケール１４との隙
間、平行度等は測定精度に極めて重大な影響を与
える。
ケール１０とインデツクススケール１４との隙
間、平行度等は測定精度に極めて重大な影響を与
える。
このため、従来のこの種変位測定装置は、製造
後調整、検査したのち、メインスケール１０とイ
ンデツクススケール１４との相対位置が輸送中に
ずれないように、細長ケース１および検出機構３
を固定具で締付け固定した状態で発送するように
している。
後調整、検査したのち、メインスケール１０とイ
ンデツクススケール１４との相対位置が輸送中に
ずれないように、細長ケース１および検出機構３
を固定具で締付け固定した状態で発送するように
している。
この変位測定装置の工作機械等への取付けは、
細長ケース１および検出機構３を固定具で締付け
固定した状態のまま工作機械等の可動部および固
定部へそれぞれ取付けるものである。
細長ケース１および検出機構３を固定具で締付け
固定した状態のまま工作機械等の可動部および固
定部へそれぞれ取付けるものである。
ここで、一般に工作機械等の固定部と可動部と
の相対位置関係は、前記固定状態の細長ケース１
および検出機構３の相対的位置関係と合致するこ
とはほとんどなく、両者の位置関係は２次元的ま
たは３次元的にずれているが一般的である。
の相対位置関係は、前記固定状態の細長ケース１
および検出機構３の相対的位置関係と合致するこ
とはほとんどなく、両者の位置関係は２次元的ま
たは３次元的にずれているが一般的である。
このため従来は、固定した状態の細長ケース１
および検出機構３を工作機械等の可動部および固
定部の取付け面に合致させるためレベル、ねじれ
等を調整しつつ行わなければならず、大変な労力
を要するとともに、取付け後は、前記細長ケース
１および検出機構３の相対位置関係をそのままの
状態で強固に維持しなければならず、取付け作業
および精度の点で大きな問題点があつた。
および検出機構３を工作機械等の可動部および固
定部の取付け面に合致させるためレベル、ねじれ
等を調整しつつ行わなければならず、大変な労力
を要するとともに、取付け後は、前記細長ケース
１および検出機構３の相対位置関係をそのままの
状態で強固に維持しなければならず、取付け作業
および精度の点で大きな問題点があつた。
この発明は上記従来の問題点に鑑みてなされた
ものであつて、上記のような変位測定装置におけ
る２つの検知体を工作機械等の可動部及び固定部
に容易迅速にかつ取付け後の両者間の精度を損う
ことなく取付けることができるようにした変位測
定装置用取付装置を提供することを特徴とする。
ものであつて、上記のような変位測定装置におけ
る２つの検知体を工作機械等の可動部及び固定部
に容易迅速にかつ取付け後の両者間の精度を損う
ことなく取付けることができるようにした変位測
定装置用取付装置を提供することを特徴とする。
この発明は、第１部材に取付けられる第１検知
体と、第２部材に取付けられ、かつ、この第２部
材とともに前記第１検知体に沿つて往復動可能と
された第２検知体と、を有してなり、、前記第１
検知体と第２検知体との相対移動から、前記第１
および第２部材の相対変位を測定するようにされ
た変位測定装置を前記第１部材および第２部材に
取付けるための変位測定装置用取付装置におい
て、中心軸が前記第１検知体と第２検知体の相対
移動方向に対して直角方向に配置されるととも
に、軸方向両端にそれぞれ球面座が形成され、か
つ、前記第２検知体と一体であつて、これを保持
する保持部材に軸方向に嵌挿された拡径可能、及
び、該保持部材に対して前記中心軸方向に移動可
能なブツシユと、このブツシユの前記第２部材側
の球面座に嵌合される球状軸部、該第２部材の取
付け面に係合される係合面及びこの係合面と略直
交する貫通孔を備え、前記第２部材の取付け面に
対して、前記ブツシユ中心軸線と直交する面内
で、一定範囲で取付位置調整可能な案内部材と、
前記他方の球面座に嵌合する球状軸部を備えた押
圧片と、前記ブツシユおよびこのブツシユの球面
座に嵌合される前記球状軸部を備えた前記案内部
材、押圧片を貫通して、先端が前記第２部材に螺
合するボルトと、を有してなり、該ボルトによ
り、前記２つの球状軸部を介して前記ブツシユを
軸方向に締付け、該ブツシユを介して、前記保持
部材およびこれと一体の前記第２検知体を前記第
２部材に固定するようにして上記目的を達成する
ものである。
体と、第２部材に取付けられ、かつ、この第２部
材とともに前記第１検知体に沿つて往復動可能と
された第２検知体と、を有してなり、、前記第１
検知体と第２検知体との相対移動から、前記第１
および第２部材の相対変位を測定するようにされ
た変位測定装置を前記第１部材および第２部材に
取付けるための変位測定装置用取付装置におい
て、中心軸が前記第１検知体と第２検知体の相対
移動方向に対して直角方向に配置されるととも
に、軸方向両端にそれぞれ球面座が形成され、か
つ、前記第２検知体と一体であつて、これを保持
する保持部材に軸方向に嵌挿された拡径可能、及
び、該保持部材に対して前記中心軸方向に移動可
能なブツシユと、このブツシユの前記第２部材側
の球面座に嵌合される球状軸部、該第２部材の取
付け面に係合される係合面及びこの係合面と略直
交する貫通孔を備え、前記第２部材の取付け面に
対して、前記ブツシユ中心軸線と直交する面内
で、一定範囲で取付位置調整可能な案内部材と、
前記他方の球面座に嵌合する球状軸部を備えた押
圧片と、前記ブツシユおよびこのブツシユの球面
座に嵌合される前記球状軸部を備えた前記案内部
材、押圧片を貫通して、先端が前記第２部材に螺
合するボルトと、を有してなり、該ボルトによ
り、前記２つの球状軸部を介して前記ブツシユを
軸方向に締付け、該ブツシユを介して、前記保持
部材およびこれと一体の前記第２検知体を前記第
２部材に固定するようにして上記目的を達成する
ものである。
またこの発明は、前記変位測定装置用取付装置
において、前記第２部材の前記取付け面および前
記案内部材の係合面を平面とすることにより、上
記目的を達成するものである。
において、前記第２部材の前記取付け面および前
記案内部材の係合面を平面とすることにより、上
記目的を達成するものである。
またこの発明は、前記変位測定装置用取付装置
において、前記ブツシユに、前記中心軸と平行な
スリツトを備え、これにより拡径可能として、上
記目的を達成するものである。
において、前記ブツシユに、前記中心軸と平行な
スリツトを備え、これにより拡径可能として、上
記目的を達成するものである。
以下本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。
る。
この実施例において、前記第１図に示される従
来の変位測定装置と同一または相当部分には、第
１図の同一の符号を附するこにより説明を省略す
るものとする。
来の変位測定装置と同一または相当部分には、第
１図の同一の符号を附するこにより説明を省略す
るものとする。
この実施例は、第１部材２１に取付けられる第
１検知体２２と、第２部材２３に取付けられ、か
つ、この第２部材２３とともに前記第１検知体２
２に沿つて往復動可能とされた第２検知体２４
と、を有してなり、前記第１検知体２２と第２検
知体２４との相対移動から、前記第１および第２
部材２１，２２の相対変位を測定するようにされ
た変位測定装置を前記第１部材２１および第２部
材２２に取付けるための変位測定装置用取付装置
において、中心軸２５Ａが前記第１検知体２２と
第２検知体２４の相対移動方向に対して直角方向
に配置されるとともに、軸方向両端にそれぞれ球
面座２６，２７が形成され、かつ、前記第２検知
体２４と一体であつて、これを保持する保持部材
２８に軸方向に嵌挿された拡径可能、及び、該保
持部材２８に対して前記中心軸２５Ａに沿つて移
動可能なブツシユ２５と、このブツシユ２５の前
記第２部材２３側の球面座２６に嵌合される球状
軸部３０Ａ、該第２部材２３の取付け面２３Ａに
係合される係合面３０Ｂ、及び、この係合面３０
Ｂと略直交する貫通孔３０Ｅを備えた案内部材３
０と、前記他方の球面座２７に嵌合する球状軸部
３１Ａを備えた押圧片３１と、前記ブツシユ２５
およびこのブツシユ２５の球面座２６，２７に嵌
合される前記球状軸部３０Ａ，３１Ａを備えた前
記案内部材３０、押圧片３１を貫通して、先端が
前記第２部材２３に螺合するボルト３２と、を有
してなり、該ボルト３２により、前記２つの球状
軸部３０Ａ，３１Ａを介して前記ブツシユ２５を
軸方向に締付け、該ブツシユ２５を介して、前記
保持部材２８およびこれと一体の前記第２検知体
２４を前記第２部材２３に固定するようにしたも
のである。
１検知体２２と、第２部材２３に取付けられ、か
つ、この第２部材２３とともに前記第１検知体２
２に沿つて往復動可能とされた第２検知体２４
と、を有してなり、前記第１検知体２２と第２検
知体２４との相対移動から、前記第１および第２
部材２１，２２の相対変位を測定するようにされ
た変位測定装置を前記第１部材２１および第２部
材２２に取付けるための変位測定装置用取付装置
において、中心軸２５Ａが前記第１検知体２２と
第２検知体２４の相対移動方向に対して直角方向
に配置されるとともに、軸方向両端にそれぞれ球
面座２６，２７が形成され、かつ、前記第２検知
体２４と一体であつて、これを保持する保持部材
２８に軸方向に嵌挿された拡径可能、及び、該保
持部材２８に対して前記中心軸２５Ａに沿つて移
動可能なブツシユ２５と、このブツシユ２５の前
記第２部材２３側の球面座２６に嵌合される球状
軸部３０Ａ、該第２部材２３の取付け面２３Ａに
係合される係合面３０Ｂ、及び、この係合面３０
Ｂと略直交する貫通孔３０Ｅを備えた案内部材３
０と、前記他方の球面座２７に嵌合する球状軸部
３１Ａを備えた押圧片３１と、前記ブツシユ２５
およびこのブツシユ２５の球面座２６，２７に嵌
合される前記球状軸部３０Ａ，３１Ａを備えた前
記案内部材３０、押圧片３１を貫通して、先端が
前記第２部材２３に螺合するボルト３２と、を有
してなり、該ボルト３２により、前記２つの球状
軸部３０Ａ，３１Ａを介して前記ブツシユ２５を
軸方向に締付け、該ブツシユ２５を介して、前記
保持部材２８およびこれと一体の前記第２検知体
２４を前記第２部材２３に固定するようにしたも
のである。
前記第２部材２３の前記取付け面２３Ａおよび
前記案内部材３０の係合面３０Ｂは、前記ブツシ
ユ２５の中心軸２５Ａと直交する平面とされてい
る。
前記案内部材３０の係合面３０Ｂは、前記ブツシ
ユ２５の中心軸２５Ａと直交する平面とされてい
る。
前記案内部材３０は、該案内部材３０に形成さ
れたボルト貫通孔３０Ｃを貫通するボルト３０Ｄ
を前記第２部材２３の取付け面２３Ａに螺合させ
ることによつて、該第２部材２３に固着されてい
る。
れたボルト貫通孔３０Ｃを貫通するボルト３０Ｄ
を前記第２部材２３の取付け面２３Ａに螺合させ
ることによつて、該第２部材２３に固着されてい
る。
前記ボルト貫通孔３０Ｃの内径は、ボルト３０
Ｄの外径よりも大きくされ、又、貫通孔３０Ｅの
内径も、ボルト３２の外径より大きくされてい
て、これによつて、前記案内部材３０は、前記第
２部材２３の取付け面２３Ａに対して、前記ブツ
シユ中心軸線２５Ａと直交する面内で、一定範囲
で取付位置調整可能とされている。
Ｄの外径よりも大きくされ、又、貫通孔３０Ｅの
内径も、ボルト３２の外径より大きくされてい
て、これによつて、前記案内部材３０は、前記第
２部材２３の取付け面２３Ａに対して、前記ブツ
シユ中心軸線２５Ａと直交する面内で、一定範囲
で取付位置調整可能とされている。
第２図および第３図に示される符号２５Ｂは、
ブツシユ２５の中心軸２５Ａと平行に形成された
スリツトを示し、これによつて、ブツシユ２５
は、拡径可能とされている。また、図の符号３３
は第１検知体２２を支持する細長ケース３４を第
１部材２１に固定するためのボルトを示す。
ブツシユ２５の中心軸２５Ａと平行に形成された
スリツトを示し、これによつて、ブツシユ２５
は、拡径可能とされている。また、図の符号３３
は第１検知体２２を支持する細長ケース３４を第
１部材２１に固定するためのボルトを示す。
次に上記実施例の作用を説明する。
まず第１検知体２２と第２検知体２４とを固定
した状態のまま（固定具図示省略）、まず第１部
材２１に第１検知体２２を支持している細長ケー
ス３４をボルト３３によつて固定する。
した状態のまま（固定具図示省略）、まず第１部
材２１に第１検知体２２を支持している細長ケー
ス３４をボルト３３によつて固定する。
次に、あらかじめボルト３２を緩めた状態で案
内部材３０をボルト３０Ｄによつて第２部材２３
の取付け面２３Ａに固定する。
内部材３０をボルト３０Ｄによつて第２部材２３
の取付け面２３Ａに固定する。
このとき、ボルト３０Ｄが貫通する案内部材３
０のボルト貫通孔３０Ｃは、その内径がボルト３
０Ｄの外径よりも、又、貫通孔３０Ｅはボルト３
２の外径よりも、それぞれ大きくされているの
で、両者の隙間の範囲で取付面２３Ａに対する案
内部材３０の取付け位置を調整することができ
る。
０のボルト貫通孔３０Ｃは、その内径がボルト３
０Ｄの外径よりも、又、貫通孔３０Ｅはボルト３
２の外径よりも、それぞれ大きくされているの
で、両者の隙間の範囲で取付面２３Ａに対する案
内部材３０の取付け位置を調整することができ
る。
即ち、相互に固定された第１検知体２２および
第２検知体２４の第２部材２３の取付け面２３Ａ
に対する取付け位置を、ブツシユ２５の中心軸２
５Ａと直交方向に微調整できるものである。従つ
て、球状軸部３０Ａの中心は、ボルト３２の螺合
用ねじ孔の中心と一致しないこともある。
第２検知体２４の第２部材２３の取付け面２３Ａ
に対する取付け位置を、ブツシユ２５の中心軸２
５Ａと直交方向に微調整できるものである。従つ
て、球状軸部３０Ａの中心は、ボルト３２の螺合
用ねじ孔の中心と一致しないこともある。
次に、案内部材３０を第２部材２３の取付け面
２３Ａに取付け状態で、ボルト３２を第２部材２
３の取付け面２３Ａに螺合させる。
２３Ａに取付け状態で、ボルト３２を第２部材２
３の取付け面２３Ａに螺合させる。
この時、ブツシユ２５は保持部材２８に対し
て、中心軸２５Ａに沿つて、移動可能であるの
で、該中心軸２５Ａ方向の、保持部材２８に対す
るブツシユ２５の位置調整がなされる。
て、中心軸２５Ａに沿つて、移動可能であるの
で、該中心軸２５Ａ方向の、保持部材２８に対す
るブツシユ２５の位置調整がなされる。
ボルト３２を更に締付けると、ブツシユ２５は
スリツト２５Ｂを有しているので、その球面座２
６，２７に係合する球状軸部３０Ａおよび３１Ａ
によつて拡径され、保持部材２８に強く係合させ
られるとともに、球状軸部３０Ａ，３１Ａおよび
ボルト３２を介して第２部材２３に強固に固定さ
れることになる。
スリツト２５Ｂを有しているので、その球面座２
６，２７に係合する球状軸部３０Ａおよび３１Ａ
によつて拡径され、保持部材２８に強く係合させ
られるとともに、球状軸部３０Ａ，３１Ａおよび
ボルト３２を介して第２部材２３に強固に固定さ
れることになる。
ボルト３２は球面座２６，２７の球の中心を通
るように締まるが、案内部材３０の球状軸部３０
Ａは、ボルト３２の外径よりも大きい内径の貫通
孔３０Ｅを設けたため、取付位置調整可能な案内
部材３０を第２部材２３の取付面２３Ａにボルト
３０Ｄで固定し、その後ボルト３２で締める際
に、ボルト３２は必ずしも球状軸部３０Ａの球の
中心を通るように締まるものではない。
るように締まるが、案内部材３０の球状軸部３０
Ａは、ボルト３２の外径よりも大きい内径の貫通
孔３０Ｅを設けたため、取付位置調整可能な案内
部材３０を第２部材２３の取付面２３Ａにボルト
３０Ｄで固定し、その後ボルト３２で締める際
に、ボルト３２は必ずしも球状軸部３０Ａの球の
中心を通るように締まるものではない。
又、球状軸部３０Ａの球の中心と、球状軸部３
１Ａの球の中心とが取付面２３Ａに対して垂直方
向にずれていたとしても、ブツシユ２５を拡径可
能とするスリツト２５Ｂを設けたことにより、ボ
ルト３２の締め付けによつて押圧片３１を介して
ブツシユ２５が拡径するため、球状軸部３０Ａ及
び３１Ａの球の中心ずれを、ブツシユ２５の拡径
によつて吸収することになり、ブツシユ中心軸２
５Ａは固定された検知体２２，２４に対して常に
一定の位置となつている。
１Ａの球の中心とが取付面２３Ａに対して垂直方
向にずれていたとしても、ブツシユ２５を拡径可
能とするスリツト２５Ｂを設けたことにより、ボ
ルト３２の締め付けによつて押圧片３１を介して
ブツシユ２５が拡径するため、球状軸部３０Ａ及
び３１Ａの球の中心ずれを、ブツシユ２５の拡径
によつて吸収することになり、ブツシユ中心軸２
５Ａは固定された検知体２２，２４に対して常に
一定の位置となつている。
従つて、半径方向に自由度を持つて、任意の位
置に案内部材を固定できるという効果が生じる。
置に案内部材を固定できるという効果が生じる。
このようにして、第１検知体２２および第２検
知体２４を第１部材２１および第２部材２３に締
付け固定した後、第１検知体２２および第２検知
体２４を固定している締付け具を取外す。
知体２４を第１部材２１および第２部材２３に締
付け固定した後、第１検知体２２および第２検知
体２４を固定している締付け具を取外す。
また、ボルト３２の締付け時に、第２部材２３
の取付け面２３に対する保持部材２８の位置不釣
合が生じた場合であつても、ブツシユ２５の両端
に形成された球面座２６，２７と球状軸部３０
Ａ，３１Ａとの間でこれら不釣合が吸収かつ整合
され、第１検知体２２と第２検知体２４は、その
固定具により固定状態を維持したまま、かつ、両
者間に不釣合に基づく応力を生じることなく第１
部材２１および第２部材２３に取付けることがで
きる。
の取付け面２３に対する保持部材２８の位置不釣
合が生じた場合であつても、ブツシユ２５の両端
に形成された球面座２６，２７と球状軸部３０
Ａ，３１Ａとの間でこれら不釣合が吸収かつ整合
され、第１検知体２２と第２検知体２４は、その
固定具により固定状態を維持したまま、かつ、両
者間に不釣合に基づく応力を生じることなく第１
部材２１および第２部材２３に取付けることがで
きる。
なお上記実施例は、案内部材３０のボルト貫通
孔３０Ｃを所謂ばか孔として、ボルト３０Ｄの外
径との間に隙間を設け、これによつて、案内部材
３０の取付位置を調整できるようにしたものであ
るが、本発明はこれに限定されるものではなく、
球面座２６，２７と球状軸部３０Ａ，３１Ａとの
間の相対変位によつて不釣合を吸収できるもので
あれば必ずしもボルト貫通孔３０Ｃをばか孔とす
る必要はない。
孔３０Ｃを所謂ばか孔として、ボルト３０Ｄの外
径との間に隙間を設け、これによつて、案内部材
３０の取付位置を調整できるようにしたものであ
るが、本発明はこれに限定されるものではなく、
球面座２６，２７と球状軸部３０Ａ，３１Ａとの
間の相対変位によつて不釣合を吸収できるもので
あれば必ずしもボルト貫通孔３０Ｃをばか孔とす
る必要はない。
また上記実施例は、第２部材２３の取付け面２
３Ａを平面にしたものであるが、本発明はこれに
限定されるものでなく、球面あるいは斜面等であ
つてもよい。
３Ａを平面にしたものであるが、本発明はこれに
限定されるものでなく、球面あるいは斜面等であ
つてもよい。
本発明は上記のような構成したので、変位測定
装置を第１部材および第２部材に取付ける際に、
第１検知体および第２検知体を固定した状態で、
第１検知体および第２検知体の位置の整合を自動
的に行うことができ、従つて、取付作業の容易迅
速化および取付け後の誤差の防止を図ることがで
きるという優れた効果を有する。
装置を第１部材および第２部材に取付ける際に、
第１検知体および第２検知体を固定した状態で、
第１検知体および第２検知体の位置の整合を自動
的に行うことができ、従つて、取付作業の容易迅
速化および取付け後の誤差の防止を図ることがで
きるという優れた効果を有する。
第１図は従来の変位測定装置の取付状態を示す
断面図、第２図は本発明に係る変位測定装置用取
付装置の実施例を示す断面図、第３図は第２図の
−線に沿う断面図である。 ２１…第１部材、２２…第１検知体、２３…第
２部材、２４…第２検知体、２５…ブツシユ、２
６，２７…球面座、２８…保持部材、３０…案内
部材、３０Ａ…球状軸部、３０Ｂ…係合面、３０
Ｅ…貫通孔、３１…押圧片、３０Ｄ，３２，３３
…ボルト。
断面図、第２図は本発明に係る変位測定装置用取
付装置の実施例を示す断面図、第３図は第２図の
−線に沿う断面図である。 ２１…第１部材、２２…第１検知体、２３…第
２部材、２４…第２検知体、２５…ブツシユ、２
６，２７…球面座、２８…保持部材、３０…案内
部材、３０Ａ…球状軸部、３０Ｂ…係合面、３０
Ｅ…貫通孔、３１…押圧片、３０Ｄ，３２，３３
…ボルト。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 第１部材に取付けられる第１検知体と、第２
部材に取付けられ、かつ、この第２部材とともに
前記第１検知体に沿つて往復動可能とされた第２
検知体と、を有してなり、前記第１検知体と第２
検知体との相対移動から、前記第１および第２部
材の相対変位を測定するようにされた変位測定装
置を前記第１部材および第２部材に取付けるため
の変位測定装置用取付装置において、中心軸が前
記第１検知体と第２検知体の相対移動方向に対し
て直角方向に配置されるとともに、軸方向両端に
それぞれ球面座が形成され、かつ、前記第２検知
体と一体であつて、これを保持する保持部材に軸
方向に嵌挿された拡径可能、及び、該保持部材に
対して前記中心軸方向に移動可能なブツシユと、
このブツシユの前記第２部材側の球面座に嵌合さ
れる球状軸部、該第２部材の取付け面に係合され
る係合面及びこの係合面と略直交する貫通孔を備
え、前記第２部材の取付け面に対して、前記ブツ
シユ中心軸線と直交する面内で、一定範囲で取付
位置調整可能な案内部材と、前記他方の球面座に
嵌合する球状軸部を備えた押圧片と、前記ブツシ
ユおよびこのブツシユの球面座に嵌合される前記
球状軸部を備えた前記案内部材、押圧片を貫通し
て、先端が前記第２部材に螺合するボルトと、を
有してなり、該ボルトにより、前記２つの球状軸
部を介して前記ブツシユを軸方向に締付け、該ブ
ツシユを介して、前記保持部材およびこれと一体
の前記第２検知体を前記第２部材に固定するよう
にしたことを特徴とする変位測定装置用取付装
置。 ２ 前記第２部材の前記取付け面および前記案内
部材の係合面を平面としたことを特徴とする特許
請求の範囲第１項記載の変位測定装置用取付装
置。 ３ 前記ブツシユは、前記中心軸と平行に形成さ
れたスリツトを備え、これにより拡径可能とされ
たことを特徴とする特許請求の範囲第１項または
第２項記載の変位測定装置用取付装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2532883A JPS59151011A (ja) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | 変位測定装置用取付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2532883A JPS59151011A (ja) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | 変位測定装置用取付装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS59151011A JPS59151011A (ja) | 1984-08-29 |
| JPH0240168B2 true JPH0240168B2 (ja) | 1990-09-10 |
Family
ID=12162877
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2532883A Granted JPS59151011A (ja) | 1983-02-17 | 1983-02-17 | 変位測定装置用取付装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS59151011A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2521969Y2 (ja) * | 1989-04-21 | 1997-01-08 | 双葉電子工業株式会社 | 測長装置 |
| JP2572786Y2 (ja) * | 1992-04-07 | 1998-05-25 | 株式会社ミツトヨ | 測定装置 |
Family Cites Families (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5728910U (ja) * | 1980-07-25 | 1982-02-16 |
-
1983
- 1983-02-17 JP JP2532883A patent/JPS59151011A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS59151011A (ja) | 1984-08-29 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| US4776098A (en) | Length measuring apparatus with temperature compensation | |
| US3816002A (en) | Apparatus for measuring displacement between two relatively movable members | |
| JPS63317711A (ja) | 位置測定装置 | |
| US6578283B2 (en) | Position transducer | |
| JPS6255081B2 (ja) | ||
| US4611403A (en) | Surface tracer | |
| US4348814A (en) | Gauge for checking linear sizes of mechanical parts | |
| US11519763B2 (en) | Assembly including a main support, an intermediate support disposed on the main support, and a scale disposed on the intermediate support | |
| EP0884556B1 (en) | Measuring instrument | |
| ATE111590T1 (de) | Mehrkoordinaten-tastkopf. | |
| WO2021194782A1 (en) | Positioning devices for radially positioning substrates with respect to an air bearing device | |
| JPH0240168B2 (ja) | ||
| US7111410B2 (en) | Centering device, in particular for a probe measuring device | |
| EP4080156A1 (en) | Optical or magnetic scale with selectable zero thermal expansion point | |
| JP4154089B2 (ja) | スケールユニットの連結部材 | |
| US2469613A (en) | Snap gauge | |
| JPS61142412A (ja) | 変位測定装置用取付装置 | |
| CN223460980U (zh) | 平行轴平行度的精密测量装置 | |
| CN216348448U (zh) | 可调式测具 | |
| CN115218750B (zh) | 检测装置、拉杆座空间检测方法 | |
| JPH0653911U (ja) | 測定装置 | |
| US3724082A (en) | Flexure mounting for friction-wheel measurement device | |
| JP2576884B2 (ja) | 伸び測定方法 | |
| JPH0331364B2 (ja) | ||
| KR910001089B1 (ko) | 측정 캘리퍼스 |