JPH0240312Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） この考案は、並列に接続された複数の真空ポン
プ系列の運転状態を状態指示スイツチの操作によ
り制御するようにした真空装置に関する。

（従来の技術とその問題点） 真空装置は、単系統の真空ポンプ系列を備える
ものと多系統に真空ポンプ系列を備えるものに区
別できるが、一般に単系統に比べ多系統の方が機
能に優れている。例えば、真空槽が大型の場合
に、単系統では真空ポンプの口径に限界があり短
時間で真空にできないのに対し、多系統では複数
の真空ポンプ系列を同時に作動させて短時間で真
空にできる。また、真空排気中に真空ポンプがダ
ウンすると、単系統ではその時点で真空装置の運
転が停止してしまうのに対し、多系統では残りの
運転可能な真空ポンプ系列で引き続き運転を継続
でき、しかも継続運転中にダウンしたポンプのメ
ンテナンスや点検もできる。また、多系統の真空
装置において、真空槽の圧力を大気圧から高真空
状態にする場合には、全ての真空ポンプを並列運
転して短時間で高真空状態にすることができる一
方、一旦真空状態にした後は真空槽の漏れが殆ん
どないので多系統から単系統へ運転を切り換えて
も高真空状態を維持することができる。このよう
に必要に応じて多系列運転と単系列運転とを切り
換えるようにすれば、電気・冷却水等の省エネ運
転ができる。

第８図は従来の４系統（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）の真
空ポンプ系列を備えた真空装置の操作パネルを示
す正面図である。同図に示すように、４系統
（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）の真空ポンプ系列にそれぞれ
対応して起動ボタン１ａ，１ｂ，１ｃ，１ｄ、準
備ボタン２ａ，２ｂ，２ｃ，２ｄ、排気ボタン３
ａ，３ｂ，３ｃ，３ｄ、バルブ閉ボタン４ａ，４
ｂ，４ｃ，４ｄおよび停止ボタン５ａ，５ｂ，５
ｃ，５ｄが設けられるとともに、一つの大気導入
ボタン６が設けられており、これらのボタン（以
下「状態指示スイツチ」と称する。）の押操作に
より対応する真空ポンプ系列の運転状態を制御す
るように構成されている。例えば、起動ボタン１
ａを押操作することによりＡ系統の真空ポンプ系
列が起動するようにしている。

しかしながら、従来の真空装置では、上述した
ように、大気導入ボタン６を除き各（Ａ，Ｃ，
Ｃ，Ｄ）系統にそれぞれ１組ずつ状態指示スイツ
チが設けられているため、状態指示スイツチが多
数必要であるとともに、４系統すべての真空ポン
プ系列を一度に同状態へ変化させる際に各系列毎
に合計４回の押操作が必要となり、操作が繁雑で
あるという問題があつた。

（考案の目的） この考案は上記従来技術の問題を解消し、操作
用のスイツチを大幅に削減できるとともに、多系
統すべての真空ポンプ系列を一度に同状態へ変化
させる際に操作が簡単な真空装置を提供すること
を目的とする。

（目的を達成するための手段） この考案は、並列に接続された複数の真空ポン
プ系列の運転状態を状態指示スイツチの操作によ
り制御するようにした真空装置であつて、上記目
的を達成するため、前記状態指示スイツチを１組
だけ設けるとともに、前記複数の真空ポンプ系列
に対応して複数の選択スイツチを設け、前記状態
指示スイツチにより運転制御される前記真空ポン
プ系列を前記選択スイツチにより選択するように
している。

（実施例） 第１図はこの考案の一実施例である真空装置Ｐ
の概略構成図である。同図に示すように、この真
空装置Ｐは並列に接続された４系統の真空ポンプ
系列Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄで真空槽７を真空状態にする
ように構成している。すなわち、真空槽７から引
き出された通気路が途中で分岐されて一つの分路
はリークバルブ８，９を介して大気に開放される
とともに残りの４つの分路ａ，ｂ，ｃ，ｄは真空
ポンプ系列Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄにそれぞれ接続されて
いる。第１真空ポンプ系列Ａに接続される第１分
路ａはメインバルブ１０ａおよび冷却装置１１ａ
を介して油拡散ポンプ１２ａの吸入側に接続さ
れ、油拡散ポンプ１２ａの排出側はフオアライン
バルブ１３ａを介してメカニカルブースターポン
プ１４ａの吸入側に接続され、更にメカニカルブ
ースターポンプ１４ａの排出側はロータリーポン
プ１５ａに接続されている。また、第１分路ａの
メインバルブ１０ａの吸入側よりラフイングバル
ブ１６ａを介して直接メカニカルブースターポン
プ１４ａに接続されるようにバイパス経路１７ａ
が設けられる。更に、メインバルブ１０ａと冷却
装置１１ａの間には第１サーモカツプル真空計１
８ａが設けられるとともにフオアラインバルブ１
３ａとメカニカルブースターポンプ１４ａの間に
は第２サーモカツプル真空計１９ａが設けられ
る。更に真空槽７の排出口直後には第３サーモカ
ツプル真空計２０が設けられる。第２、第３、第
４真空ポンプ系列Ｂ，Ｃ，Ｄの構成は上記第１真
空ポンプ系列Ａの構成と同様であるため、相当部
分に相当符号を付してその説明を省略する。

第２図はこの真空装置Ｐの操作パネルを示す正
面図である。同図に示すように、一組の状態指示
スイツチ、すなわち起動ボタン２１、準備ボタン
２２、排気ボタン２３、大気導入ボタン２４、バ
ルブ閉ボタン２５および停止ボタン２６が設けら
れるとともに、上記真空ポンプ系列Ａ，Ｂ，Ｃ，
Ｄにそれぞれ対応して選択スイツチ２７ａ，２７
ｂ，２７ｃ，２７ｄ（以下、いずれの選択スイツ
チかを特に限定しない場合には「選択スイツチ２
７」と称する。）が設けられる。そして、選択ス
イツチ２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄで運転制
御したい真空ポンプ系列Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを選択
し、それにより選択された真空ポンプ系列Ａ，
Ｂ，Ｃ，Ｄを状態指示スイツチ２１〜２６で運転
制御できるように構成されている。なお、起動ボ
タン２１、準備ボタン２２、排気ボタン２３、大
気導入ボタン２４、バルブ閉ボタン２５および停
止ボタン２６等の状態指示スイツチは照光式押釦
スイツチで構成されており、スイツチを押して制
御理論上の禁止条件がなければ、スイツチを受け
付けて点滅し動作終了後点灯する一方、禁止条件
があれば受け付けず照光しないように構成されて
いる。

以下にこの真空装置Ｐの動作について説明す
る。第３図は真空装置Ｐの真空ポンプ系列の状態
説明図である。真空ポンプ系列が停止状態ST1に
あるときに起動ボタン２１を押操作すると、「入」
に設定されている選択スイツチ２７に対応する真
空ポンプ系列が準備運転状態ST2へ移行し、50分
経過後準備状態ST3へ移行する。一方、「切」に
設定されている選択スイツチ２７に対応する真空
ポンプ系列は準備運転状態ST2へは移行せずに停
止状態ST1を維持する。例えば停止状態ST1にお
いて、選択スイツチ２７ａを「切」に設定し、そ
の他の選択スイツチ２７ｂ，２７ｃ，２７ｄを
「入」に設定して、起動ボタン２１を押操作する
と、真空ポンプ系列Ａは準備運転状態ST2へは移
行せず、真空ポンプ系列Ｂ，Ｃ，Ｄは準備運転状
態ST2へ移行する。なお、一旦準備運転状態ST2
へ移行した後は選択スイツチ２７を「切」に設定
しても、停止状態ST1へは移行しない。

ここで、真空ポンプ系列Ａを例にとつて停止状
態ST1から準備状態ST3へ移行する際の具体的な
動作を、第１図ないし第３図とともに、第４図の
フローチヤートを参照しつつ説明する。他の真空
ポンプ系列Ｂ，Ｃ，Ｄについても同様である。停
止状態ST1において、起動ボタン２１を押操作す
ると、真空ポンプ系列Ａが初期状態、すなわちリ
ークバルブ８，９、メインバルブ１０ａ、フオア
ラインバルブ１３ａおよびラフイングバルブ１６
ａが閉状態にリセツトされる。つづいて、ステツ
プS1で選択スイツチ２７ａが「入」に設定され
ているかどうかが判断され、「切」に設定されて
いるときにはそこで動作を終了する。一方、「入」
に設定されているときは、準備ボタン２２が点滅
されるとともに、ステツプS2へ進んでロータリ
ーポンプ１５ａとメカニカルブースターポンプ１
４ａとが駆動される。そして第１サーモカツプル
真空計１９ａでメカニカルブースターポンプ１４
ａの吸入側の圧力が所定以下になるのが確認さ
れ、かつ第２サーモカツプル真空計１８ａで油拡
散ポンプ１２ａの吸入側の圧力が所定以下である
ことが確認されたときに、ステツプS3へ移行し、
フオアラインバルブ１３ａが開かれるとともに、
油拡散ポンプ１２ａの油温を上昇させるための
DPヒータ（図示省略）が駆動される。その後50
分間（油拡散ポンプ１２ａの油温が規定値まで上
昇する間）その状態を維持してから、ステツプ４
へ移り、準備ボタン２２を連続点灯させて準備状
態ST3へ移行されたことを知らせる。なお、準備
運転状態ST2中に大気導入ボタン２４を押操作す
ると、リークバルブ８，９が開いて大気が真空槽
７内へ導入され、大気導入に必要な、所定時間経
過後にリークバルブ８，９が閉じられて準備状態
ST3へ移行する。また、準備運転状態ST2中に停
止ボタン２６を押操作すると、ポンプ１２ａ，１
４ａ，１５ａは停止し、かつフオアラインバルブ
１３ａが閉成して停止状態に戻る。

次に、排気ボタン２３の押操作により、第３図
の準備状態ST3から排気状態ST4へ移行する場合
について説明する。真空ポンプ系列が準備状態
ST3にある場合、排気ボタン２３を押操作する
と、真空槽７内の圧力が第３サーモカツプル真空
計２０で計測され、圧力が高ければ油拡散ポンプ
１２ａを使用せずにメカニカルブースターポンプ
１４ａでいわゆる粗引が開始され、圧力が低下し
てくると油拡散ポンプ１２ａを使用するいわゆる
本引に自動的に切換わる。また、真空槽７内の圧
力が始めから低ければ、始めから油拡散ポンプ１
２ａによる本引が開始され、排気状態ST4へ移行
する。

ここで、真空ポンプ系列Ａを例にとつて準備状
態ST3から排気状態ST4へ移行する際の具体的な
動作を、第５図のフロートヤートを参照しつつ説
明する。他の真空ポンプ系列Ｂ，Ｃ，Ｄについて
も同様である。準備状態ST3、すなわち油拡散ポ
ンプ１２ａ、メカニカルブースターポンプ１４
ａ、ロータリーポンプ１５ａは駆動しており、リ
ークバルブ８，９、メインバルブ１０ａ、ラフイ
ングバルブ１６ａは閉、フオアラインバルブ１３
ａは開である状態において、排気ボタン２３を押
操作すると、まず排気ボタン２３が点滅し、次に
ステツプS10において、第３サーモカツプル真空
計２０により真空槽７内の圧力が所定圧力L₁以
下であるかどうかが判断される。計測した圧力が
所定圧力L₁以上であるときはステツプS11へ移
り、ラフイングバルブ１６ａが開かれる一方、フ
オアラインバルブ１３ａが閉じられて粗引が開始
される。そして、真空槽７内の圧力が所定圧力
L₁以下になるのを待つて（ステツプS12）、ステ
ツプS13へ移行し、ラフイングバルブ１６ａが閉
じられるとともに、メインバルブ１０ａおよびフ
オアラインバルブ１３ａが開かれて油拡散ポンプ
１２ａによる本引が開始されてステツプS14へ移
る。一方、ステツプS10において、真空槽７内の
圧力が所定圧力L₁以下であるときはステツプS15
へ移り、メインバルブ１０ａが開き（このときフ
オアラインバルブ１３ａは開成している）いきな
り油拡散ポンプ１２ａによる本引が開始されてス
テツプS14へ移る。ステツプS14では、第３サー
モカツプル真空計２０により真空槽７内の圧力が
所定圧力L₂まで低下したかが判断され、所定圧
力L₂以下になるとステツプS16で排気ボタン２３
を連続点灯させて動作を終了する。

逆に、排気状態ST4から準備状態ST3への移行
は、準備ボタン２２を押操作することにより行な
われ、すなわち準備ボタン２２を押操作すると、
メインバルブ１０ａが閉じられて準備状態ST3へ
戻る。

次に、第３図の準備状態ST3から大気導入状態
ST5へ移行させる場合について説明する。ここで
も、真空ポンプ系列Ａを例にとつて第６図のフロ
ーチヤートを参照しつつ説明すると、準備状態
ST3、すなわち油拡散ポンプ１２ａ、メカニカル
ブースターポンプ１４ａ、ロータリーポンプ１５
ａは駆動しており、リークバルブ８，９、メイン
バルブ１０ａ、ラフイングバルブ１６ａは閉、フ
オアラインバルブ１３ａは開である状態におい
て、大気導入ボタン２４を押操作すると、大気導
入ボタン２４が点滅しリークバルブ８，９が開か
れる（ステツプS20）。次に、ステツプS21で真空
槽７内に大気が導入されるのに必要な所定時間が
経過するのを確認してステツプS22に進み、大気
導入ボタン２４の連続点灯が行なわれる。

逆に、大気導入状態ST5から準備状態ST3への
移行は準備ボタン２２を押操作することにより行
なわれ、すなわち準備ボタン２２を押操作すると
リークバルブ８，９が閉じられ、準備状態ST3へ
戻る。

なお、準備運転状態ST2、準備状態ST3、排気
状態ST4および大気導入状態ST5およびそれら相
互の移行の際において、選択スイツチ２７の
「入」「切」を切換えても、状態指示スイツチによ
り運転制御される真空ポンプ系列が切り換えられ
ることはない。言い換えれば、起動時に「入」の
選択スイツチ２７により選択された真空ポンプ系
列が、その後の選択スイツチ２７の「入」「切」
の操作に影響されることなく、状態指示スイツチ
の指示に従い引き続き有効に運転制御される。

次に、第３図の準備状態ST3から停止状態ST7
へ移行するときについて説明する。真空ポンプ系
列が準備状態ST3にあるときに停止ボタン２６が
押操作されると、まず停止運転状態ST6へ移行
し、30分経過後停止状態ST7へ移行する。また、
停止運転状態ST6中に準備ボタン２２が押操作さ
れると、「入」に設定されている選択スイツチ２
７に対応する真空ポンプ系列は準備状態ST3へ移
行するが、「切」に設定されている選択スイツチ
２７に対応する真空ポンプ系列は準備ボタン２２
の押操作にかかわらず準備状態ST3へは移行せず
に停止運転状態ST6を終了した後、停止状態ST7
へ移行する。例えば真空ポンプ系列Ａ，Ｂ，Ｃ，
Ｄが準備状態ST3にある場合、選択スイツチ２７
ａを「切」、選択スイツチ２７ｂ，２７ｃ，２７
ｄを「入」に設定し、停止ボタン２６を押操作す
ると、真空ポンプ系列Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄは停止運転
状態ST6（油拡散ポンプ１２ａ，１２ｂ，１２ｃ，
１２ｄのみを停止させ冷却させる状態）へ移行
し、30分以内に準備ボタン２２を押操作すると、
真空ポンプ系列Ｂ，Ｃ，Ｄは油拡散ポンプ１２
ｂ，１２ｃ，１２ｄのDPヒータが再駆動されて
準備状態ST3へ戻るが、真空ポンプ系列Ａは準備
状態ST3へは戻らずに30分経過するのを待つて停
止状態ST7へ移行する。ここでも、上記動作を真
空ポンプ系列Ａを例にとつて第７図のフローチヤ
ートを参照しつつ説明すると、準備状態ST3、す
なわち油拡散ポンプ１２ａ、メカニカルブースタ
ーポンプ１４ａ、ロータリーポンプ１５ａは駆動
しており、リークバルブ８，９、メインバルブ１
０ａ、ラフイングバルブ１６ａは閉、フオアライ
ンバルブ１３ａは開である状態において、停止ボ
タン２６が押操作されると、タイマー（セツト時
間は30分）がスタートするとともに、油拡散ポン
プ１２ａが停止して冷却が開始される（ステツプ
S31）。次に、ステツプS32で選択スイツチ２７ａ
が「切」に設定されているかどうかが判断され、
「切」の場合には30分経過（ステツプS33）した
後、メカニカルブースターポンプ１４ａ、ロータ
リーポンプ１５ａを停止させるとともにフオアラ
インバルブ１３ａを閉じて（ステツプS34）停止
状態ST7へ移行する。一方、ステツプS32で選択
スイツチ２７ａが「入」に設定されているときに
は、30分以内に準備ボタン２２が押操作されたか
どうかが判断される（ステツプS35，S36）。そし
て、30分以内に準備ボタン２２が押されたとき
は、油拡散ポンプ１２ａを駆動させて準備状態
ST3へ戻り、逆に準備ボタン２２が押されなかつ
たときはステツプS34へ進み、メカニカルブース
タポンプ１４ａ、ロータリーポンプ１５ａを停止
させるとともにフオアラインバルブ１３ａを閉じ
て停止状態ST7へ移行する。

このような処理手順は、真空ポンプ系列Ｂ，
Ｃ，Ｄについても同様であるため、例えば真空ポ
ンプ系列Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄが準備状態ST3のときに
真空ポンプ系列Ａのみを停止させたい場合には、
選択スイツチ２７ａを「切」に設定するとともに
選択スイツチ２７ｂ，２７ｃ，２７ｄを「入」に
設定して、停止ボタン２６を押操作し直ちに（30
分以内に）準備ボタン２２を押操作することによ
り、真空ポンプ系列Ａのみを停止状態ST7へ移行
させ、真空ポンプ系列Ｂ，Ｃ，Ｄを準備状態ST3
へ戻すことが可能になる。つまり、必要に応じて
多系統運転から単系統運転へ切り換えることが可
能になる。

ところで、第２図に示すバルブ閉ボタン２５
は、緊急時等に使用され、押操作することにより
すべてのバルブが閉じられるように構成されてい
る。真空ポンプ系列Ａを例に挙げて説明すれば、
排気状態ST4（ポンプ１２ａ，１４ａ，１５ａは
駆動、メインバルブ１０ａ、フオアラインバルブ
１３ａは開、リークバルブ８，９、ラフイングバ
ルブ１６ａは閉）のときに押操作すると、メイン
バルブ１０ａ、フオアラインバルブ１３ａが閉じ
られる。また、準備状態ST3（ポンプ１２ａ，１
４ａ，１５ａは駆動、フオアラインバルブ１３ａ
は開、リークバルブ８，９、メインバルブ１０
ａ、ラフイングバルブ１６ａは閉）のときに押操
作すると、フオアラインバルブ１３ａが閉じられ
る。さらに、停止状態ST1（ST7）、停止運転状態
ST6、起動状態ST2のときに押操作すると、すべ
てのバルブが閉じられすべてのポンプが停止され
る。この場合、選択スイツチ２７の「入」「切」
には影響されない。

なお、停止状態ST1（ST7）において大気導入
ボタン２４を押操作するとリークバルブ８，９の
みが開成して真空槽７内に大気が導入され、この
状態からバルブ閉ボタン２５を押操作するとリー
クバルブ８，９は閉じられる。

以上のように、この真空装置によれば、状態指
示スイツチ２１，２２，２３，２４，２５，２６
を１組だけ設けるとともに、真空ポンプ系列Ａ，
Ｂ，Ｃ，Ｄに対応して選択スイツチ２７ａ，２７
ｂ，２７ｃ，２７ｄをそれぞれ設け、状態指示ス
イツチにより制御される真空ポンプ系列Ａ，Ｂ，
Ｃ，Ｄを選択スイツチ２７ａ，２７ｂ，２７ｃ，
２７ｄにより選択するように構成しているため、
操作用のスイツチの数を削減することができる。
また、真空ポンプ系列Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄを一度に同
状態へ移行させる際には、いずれかの状態指示ス
イツチを一回押操作するだけで済み操作が簡単に
なる。

なお上記実施例においては、真空ポンプ系列が
４系統（Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ）のものを用いている
が、真空ポンプ系列の数に限定されることはな
い。

（考案の効果） 以上のように、この考案の真空装置によれば、
状態指示スイツチを１組だけ設けるとともに、複
数の真空ポンプ系列に対応して複数の選択スイツ
チを設け、状態指示スイツチにより運転制御され
る真空ポンプの系列を選択スイツチにより選択す
るようにしているため、スイツチの数を大幅に削
減できるとともに、すべての真空ポンプ系列を一
度に同状態へ移行させる際に一度の操作で済み操
作が簡単であるという効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例である真空装置の
概略構成図、第２図はその真空装置の操作パネル
を示す正面図、第３図はその真空装置の真空ポン
プ系列の運転状態を説明する図、第４図は一つの
真空ポンプ系列が停止状態から準備状態へ移行す
る際の動作を示すフローチヤート、第５図は一つ
の真空ポンプ系列が準備状態から排気状態へ移行
する際の動作を示すフローチヤート、第６図は一
つの真空ポンプ系列が準備状態から大気導入状態
へ移行する際の動作を示すフローチヤート、第７
図は一つの真空ポンプ系列が準備状態から停止状
態へ移行する際の動作を示すフローチヤート、第
８図は従来の真空装置の操作パネルを示す正面図
である。 ２１……起動ボタン、２２……準備ボタン、２
３……排気ボタン、２４……大気導入ボタン、２
５……バルブ閉ボタン、２６……停止ボタン、２
７ａ，２７ｂ，２７ｃ，２７ｄ……選択スイツ
チ、Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ……真空ポンプ系列。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 並列に接続された複数の真空ポンプ系列の運転
   状態を状態指示スイツチの操作により制御するよ
   うにした真空装置において、 前記状態指示スイツチを１組だけ設けるととも
   に、前記複数の真空ポンプ系列に対応して複数の
   選択スイツチを設け、前記状態指示スイツチによ
   り運転制御される前記真空ポンプ系列を前記選択
   スイツチにより選択するようにした真空装置。