JPH0240760B2 - - Google Patents

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JPH0240760B2
JPH0240760B2 JP61207477A JP20747786A JPH0240760B2 JP H0240760 B2 JPH0240760 B2 JP H0240760B2 JP 61207477 A JP61207477 A JP 61207477A JP 20747786 A JP20747786 A JP 20747786A JP H0240760 B2 JPH0240760 B2 JP H0240760B2
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JP
Japan
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etching
carbon electrodes
aluminum foil
current
electrolytic
Prior art date
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JP61207477A
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Japanese (ja)
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JPS6364320A (en
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Atsushi Koike
Toshio Higuchi
Takashi Tsucha
Hiroshi Hotsuta
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Elna Co Ltd
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Elna Co Ltd
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  • Fixed Capacitors And Capacitor Manufacturing Machines (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】[Detailed description of the invention]

[産業上の利用分野] 本発明は電解コンデンサ用アルミニウム箔を連
続的にエツチングするためのエツチング装置に関
するものである。 [従来の技術] 一般に、電解コンデンサ用アルミニウム箔は静
電容量を増大させるために適当な電解液中でその
表面をエツチングにより増大している。 このエツチング方法は電解コンデンサの用途に
より中高圧用(中高電圧用)と低圧用(低電圧
用)とに大別される。特に、低圧用電解コンデン
サにおける低圧用エツチング箔では、エツチング
により形成される凹凸は微細なものほど良いため
に、エツチング箔をエツチング後に速かに電解液
中から引上げないと、微細な凹凸が電解液中で溶
解し、粗面化率が低下してしまうものである。 そこで、エツチング箔をエツチング後に速かに
電解液中から引上げるように構成したエツチング
装置として、特公昭42−21410号「電解蓄電器用
アルミニウム箔のエツチング方法」がすでにあ
る。第4図に示すように、このエツチング装置1
は適当な電解液2を満した電解槽3内に一対のカ
ーボン電極4,5を相対向させて縦設し、給電ロ
ーラ6,7を電解槽3外に配設し、また電解槽3
内には中間ローラ8,9を配設し、給電ローラ
6,7とカーボン電極4,5との間に電源10を
接続し、アルミニウム箔11を第1の給電ローラ
6側から導入し、第1の中間ローラ8および第2
の中間ローラ9を介し、カーボン電極4,5間を
通過させ、第2の給電ローラ7側から導出するよ
うにしたものである。このエツチング装置1にお
けるアルミニウム箔11のエツチングは、カーボ
ン電極4,5の下端間に進入した時点からエツチ
ングが開始し、その上端に向けて移行する間にエ
ツチングが進行し、電解液2から引上げられると
終了することになる。エツチング用の電源として
は交流電源、直流電源のほか、パルス電源あるい
はこれらの組合せ電源などがある。また、カーボ
ン電極4,5には余分な電流が流れないようにそ
の背面、底面あるいは側面などに電流を遮断する
ための絶縁板12が設けられることもある。 [発明が解決しようとする問題点] 次に、アルミニウム箔を電解エツチングする際
に、第5図に示すように一定電圧を印加すると、
第6図に示すような時間に対する電流の変化が見
られることはよく知られている。これは、アルミ
ニウム箔の表面に自然酸化により形成された酸化
皮膜がエツチングの開始時に界面抵抗を高くし、
電流の流れを抑制する働きをするためによるもの
である。しかし、エツチングが進行し、酸化皮膜
が破壊されるに伴つて電流は上昇し、所定の電流
に収束する。 すなわち、エツチングの開始時点では電流密度
は所定の電流密度より低く、この電流霧度の低い
ことにより電流のアルミニウム箔への集中化が起
こり、均一なエツチングの進行を妨げ、ひいては
エツチング箔の粗面化率の低下を招いているもの
である。 そこで、一般的には一定電圧を印加するのでは
なく、一定電流が流れるように定電流制御を行な
つている。しかし、第4図に示したエツチング装
置1を使用してエツチングする場合は、エツチン
グの開始時点Xでは所定の電流密度でアルミニウ
ム箔11がエツチングされず、前述した一定電圧
を印加した場合と同様な現象が生じているもので
ある。つまり、定電流コントロール電源10によ
り一定電流を流した場合、カーボン電極4,5全
体では一定電流になる。しかし、アルミニウム箔
11がカーボン電極4,5の下端から上端に向け
て移動している場合、カーボン電極4,5間の電
解液2面付近Zおよびカーボン電極4,5の中間
付近Yに位置するアルミニウム箔11はエツチン
グが充分に進行しており、酸化皮膜は殆ど存在せ
ず、界面抵抗は低く、電流は流れ易くなつてい
る。これに対し、カーボン電極4,5の下端間付
近Xに位置するアルミニウム箔11はカーボン電
極4,5間に突入した直後であり、高い界面抵抗
があり、電流は流れ難くなつている。このことに
より、第7図に示すようにカーボン電極4,5間
に位置するアルミニウム箔11にあつてはその長
さ方向に電流密度が不均一となつている。第7図
に示した電流密度曲線と第6図に示した電流曲線
とは非常に類似している。このことから判るよう
に、エツチングの開始時点Xは所定の電流密度よ
り著しく低くなつており、電流密度の低いことに
より電流の集中化が起こり、均一なエツチングの
進行を妨げているものである。また、カーボン電
極4,5の下端間では図示の破線にて示すように
エツチング電流の漏れ(LC)が生じており、こ
の漏れ電流(LC)はエツチングに際して当該箇
所における電流密度の一層の低下を招き、好まし
くないものである。したがつて、従来は目的とす
る高粗面化率を有する電解コンデンサ用アルミニ
ウム電極箔を得ることができないものであつた。 [問題点を解決するための手段] しかるに、本発明は上述したエツチングの開始
時点の電流密度を所定値まで引上げること、およ
び電流の漏れを抑制することにより高粗面化率を
有する電解コンデンサ用アルミニウム箔を得るこ
とが可能なエツチング装置を提供するものであ
り、具体的には相対向する一対のカーボン電極の
それぞれの下端の相対向する位置に突出部を形成
すると共に、漏れ電流遮断用絶縁体を設け、両絶
縁体の先端が互いに接触し合ことなく、互いに先
端間隔が0.5mm〜3.0mmになるような位置に配置し
たものである。 [実施例] 以下、本発明に係るエツチング装置1Aを第1
図乃至第3図にもとづいて説明する。 説明に先立つて、第4図に示した従来例と同一
の箇所については同一符号を付す。そして、本発
明においては特に改良した箇所についてのみ説明
を加えるものとする。 第1図に示すように、一対のカーボン電極4,
5の下端にエツチングの開始時点の電流密度を所
定値まで引上げるために、それぞれ相対向する突
出部41,51を形成する。この突出部41,5
1はカーボン電極4,5と一体または別体構造と
して形成される。突出部41,51の形状は、第
1図に示すように三角形状、第2図に示すように
矩形状、第3図に示すように台形状など、種々の
形状を例示することができる。 両カーボン電極4,5間の距離aと両突出部4
1,51間の距離bはエツチング条件によつて異
なるが、例えば厚さが100μmのアルミニウム箔
11を電流密度400mA/cm2でもつてエツチング
するような場合、距離aとしては50mm、距離bと
しては15mmを例示することができる。 また、第1図に示すように一対のカーボン電極
4,5の下端にカーボン電極4,5間以外への電
流の漏れを防止するために、それぞれ漏れ電流遮
断用絶縁体13,14を配置する、この漏れ電流
遮断用絶縁体13,14は両先端が互いに接触し
ない位置関係、例えば互いに先端間隔cが1.0mm
になるように配置される。漏れ電流遮断用絶縁体
13,14として電解槽3内に満された電解液2
と反応しない材料、例えば樹脂材あるいはゴム材
などからなり、可撓性を有することが好ましい。 このように配置された漏れ電流遮断用絶縁体1
3,14の先端は互いに接触し合つている状態に
あるので、アルミニウム箔11と漏れ電流遮断用
絶縁体13,14の間隙から電解液2がカーボン
電極4,5間に自然対流し、カーボン電極4,5
間の電解液2の循環が良くなり、電解槽3内の電
解液2温度の不均一、Al3+濃度の不均一を無く
すことができる。また、漏れ電流遮断用絶縁体1
3,14とアルミニウム箔11が接触しないの
で、アルミニウム箔11にキズを発生しない。さ
らに、互いの先端間隔cが0.5〜3.0mmであればア
ルミニウム箔11のエツチングに際してカーボン
電極4,5の下端からの電流漏れを生じない。 次に、具体的なエツチングとその効果について
述べる。電解液2の組成を、HClが0.5M、AlCl3
が0.5M、H2SO4が0.05M、H3PO4が0.5Mとし、
液温60℃で、かつ電流密度が400mA/cm2で、純
度が99.99%のアルミニウム箔11をエツチング
する。次に、エツチングしたアルミニウム箔11
をアジビン酸アルミニウム系水溶液にて50Vの電
圧を印加して化成する。このようにして製造され
た化成箔(実施例)と従来例について静電容量と
折曲強度との対比を第1表に示す。
[Industrial Field of Application] The present invention relates to an etching device for continuously etching aluminum foil for electrolytic capacitors. [Prior Art] Generally, the surface of aluminum foil for electrolytic capacitors is etched in a suitable electrolyte to increase the capacitance. This etching method is broadly divided into medium-high voltage (medium-high voltage) and low-voltage (low voltage) etching methods depending on the use of the electrolytic capacitor. In particular, for low-voltage etched foils in low-voltage electrolytic capacitors, the finer the unevenness formed by etching, the better. This causes the surface roughening rate to decrease. Therefore, there is already an etching device configured to quickly pull up the etching foil from the electrolytic solution after etching, as disclosed in Japanese Patent Publication No. 42-21410 ``Method for Etching Aluminum Foil for Electrolytic Condenser.'' As shown in FIG. 4, this etching apparatus 1
A pair of carbon electrodes 4 and 5 are vertically arranged facing each other in an electrolytic cell 3 filled with a suitable electrolytic solution 2, and power supply rollers 6 and 7 are arranged outside the electrolytic cell 3.
Intermediate rollers 8 and 9 are disposed inside, a power supply 10 is connected between the power supply rollers 6 and 7 and carbon electrodes 4 and 5, and an aluminum foil 11 is introduced from the first power supply roller 6 side. 1 intermediate roller 8 and the second
The power is passed between the carbon electrodes 4 and 5 via an intermediate roller 9, and is led out from the second power supply roller 7 side. Etching of the aluminum foil 11 in this etching apparatus 1 starts from the time when the aluminum foil 11 enters between the lower ends of the carbon electrodes 4 and 5, and progresses while moving toward the upper end, and is pulled up from the electrolytic solution 2. It will end with this. Power sources for etching include AC power, DC power, pulse power, and a combination of these power sources. Further, an insulating plate 12 may be provided on the back, bottom, or side surface of the carbon electrodes 4 and 5 to cut off the current so that no excess current flows. [Problems to be Solved by the Invention] Next, when electrolytically etching aluminum foil, if a constant voltage is applied as shown in FIG.
It is well known that the current changes over time as shown in FIG. This is because the oxide film formed on the surface of the aluminum foil by natural oxidation increases the interfacial resistance at the beginning of etching.
This is because it functions to suppress the flow of current. However, as etching progresses and the oxide film is destroyed, the current increases and converges to a predetermined current. That is, at the start of etching, the current density is lower than the predetermined current density, and this low current density causes the current to concentrate on the aluminum foil, preventing the progress of uniform etching, and eventually causing the rough surface of the etching foil. This is causing a decline in the conversion rate. Therefore, instead of applying a constant voltage, constant current control is generally performed so that a constant current flows. However, when etching is performed using the etching apparatus 1 shown in FIG. 4, the aluminum foil 11 is not etched at the predetermined current density at the etching start point X, which is similar to the case where a constant voltage is applied as described above. A phenomenon is occurring. That is, when a constant current is caused to flow by the constant current control power source 10, the current is constant throughout the carbon electrodes 4 and 5. However, when the aluminum foil 11 is moving from the lower end of the carbon electrodes 4 and 5 to the upper end, it is located near the electrolyte 2 surface Z between the carbon electrodes 4 and 5 and near the middle Y between the carbon electrodes 4 and 5. Etching has progressed sufficiently in the aluminum foil 11, there is almost no oxide film, the interfacial resistance is low, and current flows easily. On the other hand, the aluminum foil 11 located in the vicinity X between the lower ends of the carbon electrodes 4 and 5 has just entered between the carbon electrodes 4 and 5, and has a high interfacial resistance, making it difficult for current to flow. As a result, as shown in FIG. 7, the current density is non-uniform in the length direction of the aluminum foil 11 located between the carbon electrodes 4 and 5. The current density curve shown in FIG. 7 and the current curve shown in FIG. 6 are very similar. As can be seen from this, the etching start point X is significantly lower than the predetermined current density, and the low current density causes current concentration, which prevents uniform etching from progressing. In addition, leakage of etching current (LC) occurs between the lower ends of the carbon electrodes 4 and 5, as shown by the broken line in the figure, and this leakage current (LC) causes a further decrease in current density at that location during etching. It is inviting and undesirable. Therefore, conventionally it has not been possible to obtain an aluminum electrode foil for electrolytic capacitors having the desired high surface roughening ratio. [Means for Solving the Problems] However, the present invention provides an electrolytic capacitor having a high surface roughening rate by increasing the current density at the start of etching to a predetermined value and suppressing current leakage. The purpose of the present invention is to provide an etching device capable of obtaining aluminum foil for use in etching, and specifically, to form protrusions at opposing positions on the lower ends of a pair of opposing carbon electrodes, and to form protrusions for cutting off leakage current. An insulator is provided, and the tips of both insulators are arranged at positions such that the tips do not come into contact with each other and are spaced apart from each other by 0.5 mm to 3.0 mm. [Example] Hereinafter, an etching apparatus 1A according to the present invention will be described.
This will be explained based on FIGS. 3 to 3. Prior to the description, the same parts as in the conventional example shown in FIG. 4 are given the same reference numerals. In the present invention, only particularly improved parts will be explained. As shown in FIG. 1, a pair of carbon electrodes 4,
In order to raise the current density at the start of etching to a predetermined value, opposing protrusions 41 and 51 are formed at the lower end of the etching electrode 5, respectively. These protrusions 41, 5
1 is formed integrally with carbon electrodes 4 and 5 or as a separate structure. The protrusions 41 and 51 can have various shapes, such as a triangular shape as shown in FIG. 1, a rectangular shape as shown in FIG. 2, and a trapezoidal shape as shown in FIG. 3. Distance a between both carbon electrodes 4 and 5 and both protrusions 4
The distance b between 1 and 51 varies depending on the etching conditions, but for example, when etching an aluminum foil 11 with a thickness of 100 μm at a current density of 400 mA/cm 2 , the distance a is 50 mm and the distance b is An example is 15mm. Further, as shown in FIG. 1, leakage current blocking insulators 13 and 14 are placed at the lower ends of the pair of carbon electrodes 4 and 5, respectively, in order to prevent current from leaking to areas other than between the carbon electrodes 4 and 5. , the leakage current interrupting insulators 13 and 14 have a positional relationship in which both ends do not touch each other, for example, the distance between the ends c is 1.0 mm.
are arranged so that Electrolytic solution 2 filled in electrolytic cell 3 as insulators 13 and 14 for leakage current interruption
It is preferably made of a material that does not react with other materials, such as a resin material or a rubber material, and has flexibility. Leakage current interrupting insulator 1 arranged in this way
Since the tips of the electrodes 3 and 14 are in contact with each other, the electrolytic solution 2 naturally convects between the carbon electrodes 4 and 5 from the gap between the aluminum foil 11 and the leakage current interrupting insulators 13 and 14, and the carbon electrode 4,5
The circulation of the electrolytic solution 2 between the electrolytic solutions 2 and 2 is improved, and non-uniformity in the temperature of the electrolytic solution 2 in the electrolytic cell 3 and non-uniformity in the Al 3+ concentration can be eliminated. In addition, leakage current interrupting insulator 1
3 and 14 and the aluminum foil 11 do not come into contact with each other, so that the aluminum foil 11 is not scratched. Furthermore, if the distance c between the tips is 0.5 to 3.0 mm, current leakage from the lower ends of the carbon electrodes 4 and 5 will not occur during etching of the aluminum foil 11. Next, we will discuss specific etching and its effects. The composition of electrolyte 2 is 0.5M HCl, AlCl 3
is 0.5M, H 2 SO 4 is 0.05M, H 3 PO 4 is 0.5M,
An aluminum foil 11 with a purity of 99.99% is etched at a liquid temperature of 60° C. and a current density of 400 mA/cm 2 . Next, the etched aluminum foil 11
is chemically formed by applying a voltage of 50 V with an aluminum adibate aqueous solution. Table 1 shows a comparison between the capacitance and bending strength of the chemically formed foil produced in this manner (Example) and the conventional example.

【表】 実施例1は第3図に示したカーボン電極4,5
および漏れ電流遮断用絶縁体13,14を使用し
たものである。参考例は第3図に示したカーボン
電極4,5は使用するが、漏れ電流遮断用絶縁体
13,14は使用しないものである。 なお、従来例は第4図に示した従来のエツチン
グ装置により上述したエツチング条件および化成
条件により得たものである。 第1表から判るように、本発明によつて製造さ
れたエツチング箔は従来例および参考例より静電
容量が大きく、また折曲強度が大きいものを得る
ことができるものである。 [効果] 以上に述べたように、本発明においてはエツチ
ング装置の相対向する一対のカーボン電極のそれ
ぞれの下端の相対向する位置に突出部を形成する
と共に漏れ電流遮断用絶縁体を配置したので、従
来のようにアルミニウム箔のエツチング開始時点
におけるアルミニウム箔の不均一な溶解を防止す
ることができるものである。このため、高粗面化
率を有するエツチング箔を提供することができる
ものである。
[Table] Example 1 uses carbon electrodes 4 and 5 shown in FIG.
Also, leakage current interrupting insulators 13 and 14 are used. In the reference example, the carbon electrodes 4 and 5 shown in FIG. 3 are used, but the leakage current interrupting insulators 13 and 14 are not used. The conventional example was obtained using the conventional etching apparatus shown in FIG. 4 under the above-mentioned etching conditions and chemical formation conditions. As can be seen from Table 1, the etching foil produced according to the present invention has a larger capacitance and a greater bending strength than the conventional and reference examples. [Effect] As described above, in the present invention, protrusions are formed at opposing positions of the lower ends of each of the pair of opposing carbon electrodes of the etching device, and an insulator for interrupting leakage current is disposed. , it is possible to prevent uneven dissolution of the aluminum foil at the time of starting etching of the aluminum foil as in the prior art. Therefore, it is possible to provide an etching foil having a high surface roughening rate.

【図面の簡単な説明】[Brief explanation of drawings]

第1図は本発明に係るエツチング装置を示す
図、第2図および第3図はカーボン電極の他の形
状を示す図、第4図は従来のエツチング装置を示
す図、第5図は印加電圧特性を示す図、第6図は
電流特性を示す図、第7図は第4図に示したエツ
チング装置でのアルミニウム箔とカーボン電極間
の長さ方向における電流密度の関係を示す図であ
る。 図中、1,1A……エツチング装置、2……電
解液、3……電解槽、4,5……カーボン電極、
6,7,8,9……ローラ、10……電源、11
……アルミニウム箔、12……絶縁板、13,1
4……漏れ電流遮断用絶縁体、41,51……突
出部。
FIG. 1 shows an etching device according to the present invention, FIGS. 2 and 3 show other shapes of carbon electrodes, FIG. 4 shows a conventional etching device, and FIG. 5 shows an applied voltage. FIG. 6 is a diagram showing the current characteristics, and FIG. 7 is a diagram showing the relationship between the current density in the length direction between the aluminum foil and the carbon electrode in the etching apparatus shown in FIG. 4. In the figure, 1, 1A... etching device, 2... electrolyte, 3... electrolytic bath, 4, 5... carbon electrode,
6, 7, 8, 9...roller, 10...power supply, 11
... Aluminum foil, 12 ... Insulating plate, 13,1
4... Leakage current interrupting insulator, 41, 51... Projection.

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 1 電解液を満した電解槽内に一対のカーボン電
極を縦設し、両カーボン電極の下端の間隙からア
ルミニウム箱を導入してエツチングを開始し、ア
ルミニウム箔の電解液からの引上げに伴つてエツ
チングを終了するようにした連続エツチング装置
において、両カーボン電極の下端の相対向する位
置に突出部を形成すると共に、漏れ電流遮断用絶
縁体を同漏れ電流遮断用絶縁体の先端が互いに接
触し合うことなく、互いに先端間隔が0.5mm〜3.0
mmになるような関係に配置したことを特徴とする
エツチング装置。
1. A pair of carbon electrodes is installed vertically in an electrolytic tank filled with electrolytic solution, and an aluminum box is introduced from the gap between the lower ends of both carbon electrodes to start etching. As the aluminum foil is pulled up from the electrolytic solution, etching begins. In the continuous etching apparatus, protrusions are formed at opposite positions of the lower ends of both carbon electrodes, and the tips of the leakage current interrupting insulators are brought into contact with each other. Tip spacing between each other is 0.5mm~3.0 without
An etching device characterized in that it is arranged in a relationship such that mm.
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