JPH0242184A - 圧電型マイクロポンプ - Google Patents
圧電型マイクロポンプInfo
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- JPH0242184A JPH0242184A JP19383588A JP19383588A JPH0242184A JP H0242184 A JPH0242184 A JP H0242184A JP 19383588 A JP19383588 A JP 19383588A JP 19383588 A JP19383588 A JP 19383588A JP H0242184 A JPH0242184 A JP H0242184A
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Landscapes
- Reciprocating Pumps (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は圧電型マイクロポンプに関する。
一般に、金属板の一方に圧電材を貼り付け、この圧電材
に電界を加えることによって、圧電材の分極方向に対し
て加わる電界により、圧電材が面方向に収縮する。この
とき、金属板と圧電材との貼り合わせ面でこの収縮を拘
束するため、全体的には、湾曲した状態に変形させるこ
とが出来る。
に電界を加えることによって、圧電材の分極方向に対し
て加わる電界により、圧電材が面方向に収縮する。この
とき、金属板と圧電材との貼り合わせ面でこの収縮を拘
束するため、全体的には、湾曲した状態に変形させるこ
とが出来る。
この構成体に、例えば、可聴周波数の交流電圧を加えれ
ば、この湾曲方向が交互に変わり、この構成体の一部を
固定することで発音体となる。
ば、この湾曲方向が交互に変わり、この構成体の一部を
固定することで発音体となる。
このように、この構成体を利用すれば、発音体だけでは
なく、例えば、接点を動かすリレーやアクチエータの利
用が考えられ、これらに関する種々の応用商品が考案さ
れている。例えば、これらの応用例の一つとして圧電型
マイクロポンプがある。
なく、例えば、接点を動かすリレーやアクチエータの利
用が考えられ、これらに関する種々の応用商品が考案さ
れている。例えば、これらの応用例の一つとして圧電型
マイクロポンプがある。
第８（ａ）〜（ｃ）は従来の圧電型マイクロポンプを説
明するための断面図である。この圧電型マイクロポンプ
は、第８図（ａ）に示すように、流体路６が形成された
板部材１の一外壁の一部に圧電バイモルフである振動板
２が取り付けられ、この板部材ｌの流体路６の両端には
、供給口３及び排出口４が設けられている。また、供給
口３と排出口４には、それぞれに逆流防止弁５ｂ及び５
ａが取り付けられている。
明するための断面図である。この圧電型マイクロポンプ
は、第８図（ａ）に示すように、流体路６が形成された
板部材１の一外壁の一部に圧電バイモルフである振動板
２が取り付けられ、この板部材ｌの流体路６の両端には
、供給口３及び排出口４が設けられている。また、供給
口３と排出口４には、それぞれに逆流防止弁５ｂ及び５
ａが取り付けられている。
次に、この圧電型マイクロポンプの動作を説明する。第
８図（ａ）に示す状態は、流体が流体路６に満ちている
停滞状！ぶである。まず、第８図（ｂ）に示すように、
振動板２に電極（図示せず）を介して電圧を印加すると
、振動板２が撓み、流体は矢印７ａ及び７ｃに示ず方向
に流れようとする。このとき、逆流防止弁５ｂは流れよ
うとする流体圧力により閉じられ、逆流防止弁５ａは流
れようとする流体圧力で開けられ、流体は矢印７ｂに示
す方向に流れる。次に、振動板２に印加した電圧を開放
してやると、第１図（ｃ）に示すように、振動板２は復
元する。この振動板２の復元力により流体に圧力を与え
、供給口３にある逆流防止弁５ｂが開き、他方の逆流防
止弁５ａは閉じ、流体路６に流体を満たす。この動作を
繰返して、流体を一方向に供給する。
８図（ａ）に示す状態は、流体が流体路６に満ちている
停滞状！ぶである。まず、第８図（ｂ）に示すように、
振動板２に電極（図示せず）を介して電圧を印加すると
、振動板２が撓み、流体は矢印７ａ及び７ｃに示ず方向
に流れようとする。このとき、逆流防止弁５ｂは流れよ
うとする流体圧力により閉じられ、逆流防止弁５ａは流
れようとする流体圧力で開けられ、流体は矢印７ｂに示
す方向に流れる。次に、振動板２に印加した電圧を開放
してやると、第１図（ｃ）に示すように、振動板２は復
元する。この振動板２の復元力により流体に圧力を与え
、供給口３にある逆流防止弁５ｂが開き、他方の逆流防
止弁５ａは閉じ、流体路６に流体を満たす。この動作を
繰返して、流体を一方向に供給する。
上述した従来の圧電型マイクロポンプでは、−方向に流
体を流すために、供給口及び排出口に逆流防止弁が必要
である９この逆流防止弁は機械的構造のものであるなめ
、小型化するのに限度がある。特に、この圧電型マイク
ロポンプをセラミックで一体化して作る場合には、困難
である。
体を流すために、供給口及び排出口に逆流防止弁が必要
である９この逆流防止弁は機械的構造のものであるなめ
、小型化するのに限度がある。特に、この圧電型マイク
ロポンプをセラミックで一体化して作る場合には、困難
である。
本発明の目的は、かかる機械的な逆流防止弁を必要とし
ない圧電型マイクロボブを提供することにある。
ない圧電型マイクロボブを提供することにある。
本発明の圧電型マイクロポンプは、少なくとも二つの板
状部材の内側面で囲まれた流体路と、前記流体路の両端
に形成された少なくとも一組の供給口及び排出口と、前
記流体路を形成する少なくとも一つの前記板状部材に前
記供給口側と前記４ＪＦ出口側とに分離してそれぞれに
設けらた圧電部材と、前記圧電部材の前記供給口側ある
いは排出口側に対応する辺の反対側の前記圧電部材の一
辺を前記板状部材に固定するとともに前記圧電材の他の
三辺と前記板状部材と接続するベローズ形継手とを備え
構成される。
状部材の内側面で囲まれた流体路と、前記流体路の両端
に形成された少なくとも一組の供給口及び排出口と、前
記流体路を形成する少なくとも一つの前記板状部材に前
記供給口側と前記４ＪＦ出口側とに分離してそれぞれに
設けらた圧電部材と、前記圧電部材の前記供給口側ある
いは排出口側に対応する辺の反対側の前記圧電部材の一
辺を前記板状部材に固定するとともに前記圧電材の他の
三辺と前記板状部材と接続するベローズ形継手とを備え
構成される。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図（ａ）及び（ｂ）は本発明による第１の実施例を
示す圧電型マイクロポンプの斜視図及び断面図である。
示す圧電型マイクロポンプの斜視図及び断面図である。
この圧電型マイクロポンプは、第１図に示すように、板
状部材である支持体枠８の両端に供給口３及び排出口４
を設けられており、これらを継なぐ直線的な流体路２２
が形成されている。この支持体８を被せるように板状部
材の支持板９が貼り付けられていて、この支持板９の圧
電板１０には供給口３側と排出口４側とにそれぞれ電極
１１ｂと電極１１ａが設けられている。また、この電極
１１ｂと電極１１ａとの間には、これらの電極に電圧を
印加するための端子１２ａ、１２ｂ及び１２ｃが形成さ
れている。更に、電極と圧電板とその下部の支持板とで
なる圧電部材の一辺は端子がある支持板９と連なり、他
の三辺の周囲領域には、支持板９の表裏面に複数の溝で
形成されてなるベローズ形継手２３が設けられている。
状部材である支持体枠８の両端に供給口３及び排出口４
を設けられており、これらを継なぐ直線的な流体路２２
が形成されている。この支持体８を被せるように板状部
材の支持板９が貼り付けられていて、この支持板９の圧
電板１０には供給口３側と排出口４側とにそれぞれ電極
１１ｂと電極１１ａが設けられている。また、この電極
１１ｂと電極１１ａとの間には、これらの電極に電圧を
印加するための端子１２ａ、１２ｂ及び１２ｃが形成さ
れている。更に、電極と圧電板とその下部の支持板とで
なる圧電部材の一辺は端子がある支持板９と連なり、他
の三辺の周囲領域には、支持板９の表裏面に複数の溝で
形成されてなるベローズ形継手２３が設けられている。
第２図は第１図の圧電型マイクロポンプの分解斜視図で
ある。次に、この圧電型マイクロポンプの内部構造を説
明すると、この圧電型マイクロポンプは、支持体８と支
持板９及び圧電板１０とに分解される。
ある。次に、この圧電型マイクロポンプの内部構造を説
明すると、この圧電型マイクロポンプは、支持体８と支
持板９及び圧電板１０とに分解される。
支持体８には供給口３を形成する第２の満１４と排出口
４を形成する溝１５が形成され、また、これらの溝を継
ないで流体路となる第１の満１３が設けられている。更
に、この二つの渦の間には、圧電部材の一辺を固定する
突出部１９が設けられている。
４を形成する溝１５が形成され、また、これらの溝を継
ないで流体路となる第１の満１３が設けられている。更
に、この二つの渦の間には、圧電部材の一辺を固定する
突出部１９が設けられている。
支持板９には、電極１１ａ及び電極１１ｂが取り付けら
れる領域の周囲、即ち供給口あるいは排出口に面する電
極の一辺を３みその一辺の両端の辺の周囲に、前記それ
ぞれの辺に平行に表側からの講１６ａ及び１６ｂと裏側
からの講１７ａ及び１７ｂが形成されている。この複数
の溝構造を形成することにより、圧電板１０を接着する
接着面１８の領域でなる圧電部材と、この圧電部材の周
囲の支持板９の領域とを接続する第１図（ｂ）に示すベ
ローズ形継手２３を形成したことになる。
れる領域の周囲、即ち供給口あるいは排出口に面する電
極の一辺を３みその一辺の両端の辺の周囲に、前記それ
ぞれの辺に平行に表側からの講１６ａ及び１６ｂと裏側
からの講１７ａ及び１７ｂが形成されている。この複数
の溝構造を形成することにより、圧電板１０を接着する
接着面１８の領域でなる圧電部材と、この圧電部材の周
囲の支持板９の領域とを接続する第１図（ｂ）に示すベ
ローズ形継手２３を形成したことになる。
圧電板１０には、下面に共通電極２０が設けられ、上面
には供給口側と排出側とに分離して電極１１ｂと１１
ａが形成されている。また、共通電極２０は端子１２ｂ
に、電極１１ｂは端子１２ｃに及び電極１１ａに端子１
２ａがそれぞれ接続されている。
には供給口側と排出側とに分離して電極１１ｂと１１
ａが形成されている。また、共通電極２０は端子１２ｂ
に、電極１１ｂは端子１２ｃに及び電極１１ａに端子１
２ａがそれぞれ接続されている。
これらの構成体を、まず、圧電板１０の外形を支持板９
の第１の境界線２１ａに合せ接着する。
の第１の境界線２１ａに合せ接着する。
次に、圧電板１０が接着された支持板９は、支持体８の
流体路２２となる第１の溝１３の側壁と支持板９の第２
の境界線２１ｂと合せ接着する。このことにより第１図
に示した圧電型マイクロポンプとなる。
流体路２２となる第１の溝１３の側壁と支持板９の第２
の境界線２１ｂと合せ接着する。このことにより第１図
に示した圧電型マイクロポンプとなる。
次に、この圧電型マイクロポンプの製造方法を説明する
。圧電板１０の基板は、マグネシウム・ニオブ酸鉛（Ｐ
ｂ （Ｍｇｌ八Ｎへ２八）０３〕を主成分とする電歪材
料の粉末を有機バインダとともに溶媒中に分散し、スラ
リー状とする。これをドクターブレードを用いたスリッ
プキャスティング法によって、厚さ１００μｍ程度の均
一な厚みの厚電材グリーンシートを製作する。次に、こ
の圧電材グリーンシートを規定の大きさに打ち抜き、電
極１１ａ及びｌｌｂと端子１２ａ、１２ｂ及び１２ｃを
それぞれ接続するためのスルーホールをポンチで開ける
。次に、圧電材グリーンシーｈにスクリーン印刷法によ
り金属ペースｌ−で印刷して電極１１ａ及びｌｌｂを形
成する。次に、この圧電材グリーンシートを金型にはめ
込み、１００℃前後の温度で加熱しながら、約２５０
ｋ ｇ ／ ｃ ｍ２の圧力を加えて密度を高めた圧電
材グリーンシーｌ−にする。次に、プレスにより所定の
寸法に仕上げる。
。圧電板１０の基板は、マグネシウム・ニオブ酸鉛（Ｐ
ｂ （Ｍｇｌ八Ｎへ２八）０３〕を主成分とする電歪材
料の粉末を有機バインダとともに溶媒中に分散し、スラ
リー状とする。これをドクターブレードを用いたスリッ
プキャスティング法によって、厚さ１００μｍ程度の均
一な厚みの厚電材グリーンシートを製作する。次に、こ
の圧電材グリーンシートを規定の大きさに打ち抜き、電
極１１ａ及びｌｌｂと端子１２ａ、１２ｂ及び１２ｃを
それぞれ接続するためのスルーホールをポンチで開ける
。次に、圧電材グリーンシーｈにスクリーン印刷法によ
り金属ペースｌ−で印刷して電極１１ａ及びｌｌｂを形
成する。次に、この圧電材グリーンシートを金型にはめ
込み、１００℃前後の温度で加熱しながら、約２５０
ｋ ｇ ／ ｃ ｍ２の圧力を加えて密度を高めた圧電
材グリーンシーｌ−にする。次に、プレスにより所定の
寸法に仕上げる。
次に、酸化雰囲気中で、温度上昇率２５℃／時間でゆっ
くり上昇させ、５００〜６００℃程度で保持し、このシ
ート中の有機物を取り除き、更に、９００〜１２００℃
で焼成して圧電板１０が完成する。
くり上昇させ、５００〜６００℃程度で保持し、このシ
ート中の有機物を取り除き、更に、９００〜１２００℃
で焼成して圧電板１０が完成する。
次に、支持板９及び支持体８はステンレス板より製作す
る。この支持体８には、通常の化学的エツチング法によ
り流体路２２と供給口３及び排出口４となるそれぞれの
溝を、例えば、深さ０，１〜１ｍｍ程度に形成する。ま
た、この実施例で製作した支持体の溝の寸法は、流体路
２２の溝幅が２０ ｍ ｍで、深さＱ、 ２ｒｎｍであ
り、供給口３及び排出口４の溝幅は５ｍｍで、深さ０．
２ｍｍであった。更に、二つの流体路２２の溝を継なぐ
溝の幅は５ｍｍに製作した。
る。この支持体８には、通常の化学的エツチング法によ
り流体路２２と供給口３及び排出口４となるそれぞれの
溝を、例えば、深さ０，１〜１ｍｍ程度に形成する。ま
た、この実施例で製作した支持体の溝の寸法は、流体路
２２の溝幅が２０ ｍ ｍで、深さＱ、 ２ｒｎｍであ
り、供給口３及び排出口４の溝幅は５ｍｍで、深さ０．
２ｍｍであった。更に、二つの流体路２２の溝を継なぐ
溝の幅は５ｍｍに製作した。
一方支持板９は厚さ０．０５〜Ｑ、１ｍｍ程度のステン
レス板より製作する。この板厚を設定したら、前述の支
持体８の溝の深さは、この板厚の３１５以上の深さが必
要である。
レス板より製作する。この板厚を設定したら、前述の支
持体８の溝の深さは、この板厚の３１５以上の深さが必
要である。
以上のようにして得た支持板９に圧電板１０を絶縁性の
エポキシ系接着剤等により接着し、更に、これらの圧電
体に、分極処理として、電極１１ａと共通電極２０、電
極１１ｂと共通電極１１ｂとの間にそれぞれ直流電源を
接続し、１ ｋ ｖ ／ ｍ ｍとなる電界を１分間与
える。
エポキシ系接着剤等により接着し、更に、これらの圧電
体に、分極処理として、電極１１ａと共通電極２０、電
極１１ｂと共通電極１１ｂとの間にそれぞれ直流電源を
接続し、１ ｋ ｖ ／ ｍ ｍとなる電界を１分間与
える。
第３図及び第４図は圧電板に与えるドライブ波形図及び
ドライブ回路図、第５図＜ａ）〜（ｅ）は圧電型マイク
ロポンプを動作順を示す断面図である。まず、第５図（
ａ＞の状態はどちらの電極にも電圧がかかっていない状
態で、流体路２２の流体は停滞したままである。
ドライブ回路図、第５図＜ａ）〜（ｅ）は圧電型マイク
ロポンプを動作順を示す断面図である。まず、第５図（
ａ＞の状態はどちらの電極にも電圧がかかっていない状
態で、流体路２２の流体は停滞したままである。
次に、第５図（ｂ）に示す状態は、第４図に示ずＩ・ラ
ンジスタＴ ｒ １に信号Ｓ１が入り、トラジスタＴｒ
、が動作し、第３図に示すような電圧Ｖが、第５図（ｂ
）に示す電極１１ｂに印加する。
ンジスタＴ ｒ １に信号Ｓ１が入り、トラジスタＴｒ
、が動作し、第３図に示すような電圧Ｖが、第５図（ｂ
）に示す電極１１ｂに印加する。
この電圧印加により圧電板１０は撓み流体は矢印の方向
に押し出された状態になる。
に押し出された状態になる。
次Ｃ１第５図（ｃ）に示す状態は、第４図に示すトラジ
スタＴ ｒ ２に信号Ｓ２が入り、トランジスタＴｒ２
が動作し、第３図に示す電圧Ｖが、第５図（Ｃ）に示す
電極１１ａに印加する。この電圧印加により圧電板１０
は撓み流体の流れは止められな状態になる。
スタＴ ｒ ２に信号Ｓ２が入り、トランジスタＴｒ２
が動作し、第３図に示す電圧Ｖが、第５図（Ｃ）に示す
電極１１ａに印加する。この電圧印加により圧電板１０
は撓み流体の流れは止められな状態になる。
次に、第５図（ｄ）に示す状態は、第４図に示すトラジ
スタＴｒ３に信号ＳＩＡが入り、トランジスタＴｒ３が
動作し、第３図に示す電圧Ｖが抵抗Ｒ７を通して放電し
、第５図（ｄ）に示す電極１１ａに印加された電圧を解
除する。この電圧の解除により圧電板１０は復元し、流
体が、矢印に示すように、この圧電板１．０の復元力に
より供給口３より吸出された状態になる。
スタＴｒ３に信号ＳＩＡが入り、トランジスタＴｒ３が
動作し、第３図に示す電圧Ｖが抵抗Ｒ７を通して放電し
、第５図（ｄ）に示す電極１１ａに印加された電圧を解
除する。この電圧の解除により圧電板１０は復元し、流
体が、矢印に示すように、この圧電板１．０の復元力に
より供給口３より吸出された状態になる。
次に、第５図（ｅ）に示す状態は、第４図に示すトラジ
スタＴｒ４に信号Ｓ２Ａが入り、トランジスタＴｒ４が
動作し、第３図に示す電圧■が抵抗Ｒ２を通して放電し
、第５図（ｅ）に示す電極１１ａに印加された電圧を解
除する。この電圧の解除により圧電板１０は復元し、流
体が、矢印に示すように、この圧電板１０の復元力によ
り供給口３より吸出され、排出口４に流れる状態になる
。
スタＴｒ４に信号Ｓ２Ａが入り、トランジスタＴｒ４が
動作し、第３図に示す電圧■が抵抗Ｒ２を通して放電し
、第５図（ｅ）に示す電極１１ａに印加された電圧を解
除する。この電圧の解除により圧電板１０は復元し、流
体が、矢印に示すように、この圧電板１０の復元力によ
り供給口３より吸出され、排出口４に流れる状態になる
。
やがて、この復元力による流体の慣性力を失うと、再び
、第５図（ａ）の状態に戻る。
、第５図（ａ）の状態に戻る。
以下同様にして、第５図（ａ）から（ｅ）といった動作
を連続的に繰返して行うことによって、ポンプ動作が行
なえ得る。なお、この動作で、供給口３ ｆ！ＩＪと排
出口４側との圧電板１０をそれぞれ独立に時間をずらし
て動作するので、この動作自体が逆流防止弁の効果を発
揮している。
を連続的に繰返して行うことによって、ポンプ動作が行
なえ得る。なお、この動作で、供給口３ ｆ！ＩＪと排
出口４側との圧電板１０をそれぞれ独立に時間をずらし
て動作するので、この動作自体が逆流防止弁の効果を発
揮している。
第６図は本発明の第２の実施例を示す圧電型マイクロポ
ンプの断面図である。この実施例は、支持板９ａに７ｓ
２５を設けた以外は、第１の実施例と同じである。この
満２５を設けることにより、第１の実施例に比べ、支持
板９ａと圧電板１０ａとの接着面積がより少なくなり、
この支持板９ａがより可撓性が増し、より低い電圧で動
作出来るという利点がある。
ンプの断面図である。この実施例は、支持板９ａに７ｓ
２５を設けた以外は、第１の実施例と同じである。この
満２５を設けることにより、第１の実施例に比べ、支持
板９ａと圧電板１０ａとの接着面積がより少なくなり、
この支持板９ａがより可撓性が増し、より低い電圧で動
作出来るという利点がある。
第７図は本発明の第３の実施例を示す圧電型マイクロポ
ンプの斜視図である。この実施例は供給口３と排出口４
とが同一方向になるようにしたものである。また、電極
１１ａ及びｌｌｂが設けられた圧電板１０ｂも横に並べ
て形成されている。
ンプの斜視図である。この実施例は供給口３と排出口４
とが同一方向になるようにしたものである。また、電極
１１ａ及びｌｌｂが設けられた圧電板１０ｂも横に並べ
て形成されている。
この圧電板１０ｂの下部の流体路の間は、仕切り部２４
で仕切られ、流体路２２ｂで継なかっている。それ以外
の構造及び動作は第１の実施例と同じである。
で仕切られ、流体路２２ｂで継なかっている。それ以外
の構造及び動作は第１の実施例と同じである。
以上説明した実施例では、支持板に一枚の圧電板を貼り
付けたユニモルフ構造としたが、圧電板を２層にしたバ
イモルフ構造としてもよい。なお、この場合は、動作電
圧をより低°くすることが出来る利点がある。また、こ
のポンプの外郭体を絶縁性樹脂で覆えば、流体のタンク
内に投げ込むような圧電形マイクロポンプが得られる。
付けたユニモルフ構造としたが、圧電板を２層にしたバ
イモルフ構造としてもよい。なお、この場合は、動作電
圧をより低°くすることが出来る利点がある。また、こ
のポンプの外郭体を絶縁性樹脂で覆えば、流体のタンク
内に投げ込むような圧電形マイクロポンプが得られる。
更に、この支持体の両面に、流体路を設けて、この機構
も両面に設けることが出来る。
も両面に設けることが出来る。
一方、この圧電形マイクロポンプの応用例として、例え
ば、排出口をノズル状にして、電極に断続的にパルス電
圧をに印加すれば、ノズルから適状の流体が噴出し、ド
ツトプリンタのインフジエラＩ・等に利用出来る。
ば、排出口をノズル状にして、電極に断続的にパルス電
圧をに印加すれば、ノズルから適状の流体が噴出し、ド
ツトプリンタのインフジエラＩ・等に利用出来る。
以上説明したように本発明は、供給口側と排出口側とに
それぞれ独立した圧電板と支持板でなる圧電部材を流体
路壁の一面に形成して設けたので、この圧電部材のそれ
ぞれに時間をずらして電圧を印加してドライブすること
により、流体を逆流することなく一方向に流すことが出
来る。従って、機械的な逆流防止弁を必要としない圧電
型マイクロボン１が得られるという効果がある。
それぞれ独立した圧電板と支持板でなる圧電部材を流体
路壁の一面に形成して設けたので、この圧電部材のそれ
ぞれに時間をずらして電圧を印加してドライブすること
により、流体を逆流することなく一方向に流すことが出
来る。従って、機械的な逆流防止弁を必要としない圧電
型マイクロボン１が得られるという効果がある。
第１図（ａ）及び（ｂ）は本発明による第１の実施例を
示す圧電型マイクロポンプの斜視図及び断面図、第２図
は第１図の圧電型マイクロポンプの分解斜視図、第３図
及び第４図は圧電板に与えるドライブ波形図及びドライ
ブ回路図、第５図（ａ）〜（ｅ）は圧電型マイクロポン
プを動作順を示す・断面図、第６図は本発明の第２の実
施例を示す圧電型マイクロポンプの断面図、第７図は木
発クロポンプを説明するための断面図である。 １・・・板部材、２・・・振動板、３・・・供給口、４
・・・４ＪＦ−出口、５ａ、５ｂ・・・逆流防止弁、６
．２２・・・流体路、７ａ、７ｂ、７ ｃ−矢印、８．
８ａ・・・支持体、９．９ａ、９ ｂ−・・支持板、１
０．１０ ａ−圧電板、１１ａ、１ ｌ ｂ ・・・電
極、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ・・・端子、１３・・・第
１の溝、１４・・・第２の溝、１５・・・第３の溝、１
６ａ、１６ ｂ−・・表側の溝、１７ａ、１７ｂ・・・
裏側の溝、１８・・・接着面、１９・・・突出部、２０
・・・共通電極、２１ａ・・・第１の境界線、２１ｂ・
・・第２の境界線、２３・・・ベローズ形継手、２４・
・・仕切り部、２５・・・溝。
示す圧電型マイクロポンプの斜視図及び断面図、第２図
は第１図の圧電型マイクロポンプの分解斜視図、第３図
及び第４図は圧電板に与えるドライブ波形図及びドライ
ブ回路図、第５図（ａ）〜（ｅ）は圧電型マイクロポン
プを動作順を示す・断面図、第６図は本発明の第２の実
施例を示す圧電型マイクロポンプの断面図、第７図は木
発クロポンプを説明するための断面図である。 １・・・板部材、２・・・振動板、３・・・供給口、４
・・・４ＪＦ−出口、５ａ、５ｂ・・・逆流防止弁、６
．２２・・・流体路、７ａ、７ｂ、７ ｃ−矢印、８．
８ａ・・・支持体、９．９ａ、９ ｂ−・・支持板、１
０．１０ ａ−圧電板、１１ａ、１ ｌ ｂ ・・・電
極、１２ａ、１２ｂ、１２ｃ・・・端子、１３・・・第
１の溝、１４・・・第２の溝、１５・・・第３の溝、１
６ａ、１６ ｂ−・・表側の溝、１７ａ、１７ｂ・・・
裏側の溝、１８・・・接着面、１９・・・突出部、２０
・・・共通電極、２１ａ・・・第１の境界線、２１ｂ・
・・第２の境界線、２３・・・ベローズ形継手、２４・
・・仕切り部、２５・・・溝。
Claims (1)
- 少なくとも二つの板状部材の内側面で囲まれた流体路と
、前記流体路の両端に形成された少なくとも一組の供給
口及び排出口と、前記流体路を形成する少なくとも一つ
の前記板状部材に前記供給口側と前記排出口側とに分離
してそれぞれに設けらた圧電部材と、前記圧電部材の前
記供給口側あるいは排出口側に対応する辺と反対側の前
記圧電部材の一辺を前記板状部材に固定するとともに前
記圧電材の他の三辺と前記板状部材と接続するベローズ
形継手とを備えたことを特徴とする圧電型マイクロポン
プ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19383588A JP2671412B2 (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | 圧電型マイクロポンプ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19383588A JP2671412B2 (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | 圧電型マイクロポンプ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0242184A true JPH0242184A (ja) | 1990-02-13 |
| JP2671412B2 JP2671412B2 (ja) | 1997-10-29 |
Family
ID=16314529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19383588A Expired - Lifetime JP2671412B2 (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | 圧電型マイクロポンプ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2671412B2 (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06137987A (ja) * | 1992-10-27 | 1994-05-20 | Fuji Giken Kogyo Kk | 配管用気密テスト装置 |
| US6720710B1 (en) * | 1996-01-05 | 2004-04-13 | Berkeley Microinstruments, Inc. | Micropump |
| EP1458977B1 (de) * | 2002-08-22 | 2005-04-20 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Peristaltische mikropumpe |
| US8308454B2 (en) | 2007-03-12 | 2012-11-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Fluid conveyance device |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US20070065308A1 (en) * | 2003-08-04 | 2007-03-22 | Mitsuru Yamamoto | Diaphragm pump and cooling system with the diaphragm pump |
-
1988
- 1988-08-02 JP JP19383588A patent/JP2671412B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH06137987A (ja) * | 1992-10-27 | 1994-05-20 | Fuji Giken Kogyo Kk | 配管用気密テスト装置 |
| US6720710B1 (en) * | 1996-01-05 | 2004-04-13 | Berkeley Microinstruments, Inc. | Micropump |
| EP1458977B1 (de) * | 2002-08-22 | 2005-04-20 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Peristaltische mikropumpe |
| US8308454B2 (en) | 2007-03-12 | 2012-11-13 | Murata Manufacturing Co., Ltd. | Fluid conveyance device |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2671412B2 (ja) | 1997-10-29 |
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