JPH0242338A - ガス分析計 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、サンプルガス中の測定対象成分（例えばＮＯ
−？）Ｇｏなど）の濃度（ひいては量）を測定するため
に用いられるガス分析計、詳しくは、基準ガスとサンプ
ルガスとが所定のガス変調周波数で交互に切換導入され
る測定セルに対して、光源から照射される光を通過させ
るように構成すると共に、前記基準ガスを通過した光お
よび前記すンブルガスを通過した光に対する吸光度検出
器を設け、かつ、前記吸光度検出器による出力信号から
前記基準ガスを通過した光エネルギーと前記サンプルガ
スを通過した光エネルギーとのエネルギー差に相当する
交流成分を取り出し、その交流成分の変化量に基いて前
記サンプルガス中の測定対象成分の濃度を測定するよう
に構成してあるガス分析計に関する。

〔従来の技術〕

この種のガス分析計の先駆的かつ代表的なものとして、
本願出願人の提案にかかる例えば特公昭５６−４８８２
２号公報等から知られるもの（この場合にはクロスフロ
一方式が採用されている）のように、基準ガス（通常は
ゼロガスが用いられる）とサンプルガスとが一定周期（
測定データとしての後記交流成分の基本となる周波数）
で交互に切換導入される測定セルの後方に設けるべき吸
光度検出器として、例えばニューマチインク型検出器（
コンデンサーマイクロホン検出器等）のように、基準ガ
スを通過した光エネルギーと前記サンプルガスを通過し
た光エネルギーとのエネルギー差（サンプルガス中の測
定対象成分による吸光エネルギー量）に相当する交流成
分を、直流成分を含まない形で直接的に取り出すことが
できる、言わば光量差検出器を用いた型式のガス分析計
があるが、その他に、最近では、例えばサーモパイル検
出器等のように、測定セルを通過した光エネルギーの絶
対値の変化を検出する光量検出器（これによる出力信号
は、基準ガスを通過した一定光エネルギーに相当する直
流成分に、サンプルガス中の測定対象成分による吸光エ
ネルギー量に相当する交流成分が重畳された形のもので
ある）を用いると共に、信号処理によって前記吸光エネ
ルギー量に相当する交流成分を取り出すように構成され
た型式のガス分析計も知られている。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところで、この種のガス分析計においては、前者型式に
ニーマチイック型検出器などの光量差検出器を用いて、
前記吸光エネルギー量に相当する交流成分を直接的に取
り出す構成）のものにせよ、あるいは、後者型式（サー
モパイル検出器などのように光エネルギーの絶対値を検
出する光量検出器を用いると共に、信号処理によって前
記吸光エネルギー盪に相当する交流成分を取り出す構成
）のものにせよ、何れの場合にも、光源に対する印加電
圧や周囲温度の変化および光源自体の劣化等による光量
変化、ガス流通用セルの透過窓の汚れ、吸光度検出器自
体の感度変化等に起因して、どうしてもスパンドリフト
が発生することは避は得ない。

従って、このようなスパンドリフトの発生を極力防止す
るために、従来は、光源に対する印加電圧を安定化する
ための手段や、周囲温度を常時−定に維持するための手
段を設ける、といった対策を講じていたが、その場合に
は装置全体が非常に大型化および複雑化するという欠点
があるのみならず、それだけでは光源自体の劣化、ガス
流通用セルの透過窓の汚れ、吸光度検出器自体の感度変
化等の経時的な要因に起因する光学系の特性変化による
スパンドリフトは補償できないため、標準スパンガスを
用いた校正操作を穎繁に行わねばならず、極めて面倒で
あると共にスパンガスの消費量も多く必要とするため非
常に不経済であるという問題があった。特に、安定した
スパンガスの供給が困難なガスの測定を行う場合には、
その欠点が非常に顕著となる。

そこで、本発明者らは、前述した後者型式のガス分析計
について、上記のような問題を解消し得る技術を開発し
、それについては、特願昭６１−２２２３２６号（昭和
６１年９月２０日出願）により既に提案しているもので
ある。

それは、前記光量検出器による出力信号から、サンプル
ガス中の測定対象成分による吸光エネルギー量に相当す
る交流成分とは別に、基準ガスを通過した一定光エネル
ギーに相当する直流成分をも取り出し、その直流成分で
前記交流成分の変化量を除する補正手段、または、それ
と等価な補正手段を設けることによって、前記交流成分
および直流成分に共通にかつ同等に（同じ割合で）含ま
れているところの、光源の光量、ガス流通用セルの透過
窓の光透過率、光量検出器の感度等の光学系の特性によ
る影響を、前記補正手段の除算機能により相殺して、直
接の測定対象である交流成分の変化量における前記各種
要因による影響分を確実かつ効果的に除去できるように
構成したものである。

しかしながら、上記した特許出願に係る技術は、後者型
式のガス分析計（基準ガスを通過した一定光エネルギー
に相当する直流成分に、サンプルガス中の測定対象成分
による吸光エネルギー量に相当する交流成分が重畳され
た形の絶対値相当信号を出力するサーモパイル検出器な
どの光量検出器を用いたもの）には有効に適用できるが
、前者型式のガス分析計（サンプルガス中の測定対象成
分による吸光エネルギー量に相当する交流成分のみから
成る信号を出力するニューマチインク型検出器などの光
量差検出器を用いたもの）に適用することはできず、従
って、その前者型式のガス分析計については、未だ、前
述した諸問題が解決されていない。

本発明は、かかる実情に鑑みてなされたものであって、
その目的は、従来のように、光源に対する印加電圧を安
定化したり周囲温度を常時一定に維持するための大掛か
りな手段を必要とせずに、また、標準スパンガスを用い
た不経済かつ面倒な校正操作をそれほど頻繁に行う必要
無しに、単なる内部信号処理手段と極く簡素で安価に構
成できる構造付加を施すのみによって、前記した種々の
要因に暴くスパンドリフトを全て効果的に補償でき、し
かも、前記した何れの型式のガス分析計に対しても適用
できるスパンドリフト補償技術を開発・提供せんとする
ことにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明によるガス分析計は
、冒頭に記載したような基本的構成を有するものにおい
て、 前記光源からの照射光の強度を、前記ガス変調周波数と
同じ周波数の光変調周波数で、かつ、前記ガス変調動作
とは異なる位相関係を持たせて、変化させるように構成
し、 前記吸光度検出器からの出力信号に対して、前記ガス変
調動作を表す同期信号で同期検波整流および平滑処理す
ることにより、前記ガス変調に関する第１整流信号を得
ると共に、前記吸光度検出器からの出力信号に対して、
前記光変調動作を表す同期信号で同期検波整流および平
滑処理することにより、前記光変調に関する第２整流信
号を得るように構成し、かつ、前記第１整流信号を第２
整流信号で除する補正手段、または、それと等価な補正
手段を有する信号処理回路を設けてある、という特徴を
備えている。

〔作用〕

かかる特徴構成故に発揮される作用は次の通りである。

即ち、上記本発明に係るガス分析針によれば、後述する
実施例の説明中で詳述しているように、吸光度検出器か
らの出力信号として、本来の測定データであるガス変調
に関する交流信号（サンプルガス中の測定対象成分によ
る吸光エネルギー量に相当する交流成分）に対して、そ
れとは位相関係が異なる光変調に関する交流信号（光源
からの照射光の強度変化に基く交流成分）を意図的に重
畳した形の信号を取り出せるように構成し、かつ、その
ガス変調に関する交流成分にも、光変調に関する交流成
分にも、共に、光源の光量、ガス流通用セルの透過芯の
光透過率、吸光度検出器の感度等の光学系の特性による
影響が同等に（同じ割合で）関与しているとの考察結果
に基いて、前記吸光度検出器による出力信号から、前記
ガス変調動作を表す同期信号と前記光変調動作を表す同
期信号とで夫々同期検波整流および平滑処理することに
より、前記ガス変調に関する第１整流信号と前記光変調
に関する第２整流信号と各別に取り出すように構成する
と共に、その第１整流信号を第２整流信号で除するよう
に構成したことによって、直接の測定対象である前記ガ
ス変調に関する交流成分の変化量における前記種々の要
因による影響分を、光源からの照射光の強度を変化させ
るための極く簡素で安価に構成できる構造付加と、単な
る内部信号処理による補正手段とを施すだけで、確実か
つ効果的に相殺して除去することができるようになり、
以って、従来のように光源に対する印加電圧を安定化し
たり周囲温度を常時一定に維持するための大掛かりな手
段を設けたり、あるいは他の格別な補償用検出器を設け
る必要の無い、極めてシンプルかつコンパクトで安価に
構成できるものでありながら、しかも、従来のように標
準スパンガスを用いた不経済かつ面倒な校正操作をそれ
ほど頻繁に行なう必要も無く、光源に対する印加電圧や
周囲温度の変化および光源自体の劣化等による光量変化
、ガス流通用セルの透過窓の汚れ、検出器自体の感度変
化等の種々の要因に基くスパンドリフトを全て、常に確
実に且つ精度良く補償することができるようになった。

しかも、本発明においては、上記したように、吸光度検
出器からの出力信号として、本来の測定データであるガ
ス変調に関する交流信号（サンプルガス中の測定対象成
分による吸光エネルギー量に相当する交流成分）に対し
て、それとは位相関係が異なる光変調に関する交流信号
（光源からの照射光の強度変化に基く交流成分）を意図
的に重畳した形の信号を取り出せるように構成する、と
いう手段を採用しているから、本発明は、特に、サンプ
ルガス中の測定対象成分による吸光エネルギー量に相当
する交流成分のみから成る信号を出力するニューマチイ
ンク型検出器などの光量差検出器を用いた型式のガス分
析計に対して好適に利用できることは勿論、基準ガスを
通過した一定光エネルギーに相当する直流成分に、サン
プルガス中の測定対象成分による吸光エネルギー量に相
当する交流成分が重畳された形の絶対値相当信号を出力
するサーモパイル検出器などの光量検出器を用いた型式
のガス分析計に対しても、十分に適用可能である。

〔実施例〕

以下、本発明の各種具体的実施例を図面に基いて説明す
る。

第１図ないし第３図は、本発明の基本的実施例に係るシ
ングルセルタイプのクロスフロー式ガス分析計を示して
いる。

第１図の全体概略構成図において、Ａは、サンプルガス
に含まれる測定対象成分ガスによる吸光度を検出するた
めの吸光度検出部であり、Ｂは、前記吸光度検出部Ａに
おける光源ｌへ作動用電圧を供給するための電源回路で
あり、Ｃは、前記吸光度検出部Ａにおけるガス流通用セ
ル２内へサンプルガスと基準ガス（通常はゼロガス）と
を交互に切り換え導入するための例えば三方切り換え弁
あるいは四方切り換え弁またはロータリーバルブ等で構
成されるガス分配器であり、Ｄは、前記吸光度検出部Ａ
における吸光度検出器３による出力信号に対する信号処
理回路であり、Ｅは、前記信号処理回路りからの出力信
号に対応する値（測定結果としてのガス濃度）を表示す
る表示器であり、そして、Ｆは、前記電源回路Ｂ、ガス
分配器Ｃ１信号処理回路りに対して、図中細い実線矢印
で示しているように、弁切換信号とそれに対応するガス
切換信号および光変調信号（この例では全てＩＨｚに設
定している）などの所定の制御信号を発するコントロー
ラーである。

即ち、前記吸光度検出部Ａは、測定用光（例えば赤外線
）を照射するための光源１と、ガス分配器Ｂによりサン
プルガスと基準ガスとが所定のガス変調周波数（ＩＨｚ
）で交互に切り換え導入される測定セル２と、その測定
セル２内に基準ガスが導入された場合（光エネルギーの
吸収は生じない）と、サンプルガスが導入された場合（
光エネルギーの吸収が生じる）との光エネルギー差を交
流信号として検出するための光量差検出器（例えばコン
デンサーマイクロホン検出器等のニューマチインク型検
出器）から成る吸光度検出器３とを、光学的直線関係が
成立するようにその順に配置して構成されている。

また、前記電源回路Ｂは、光源用定電圧電源４と、その
定電圧電源ｌからの電圧を、前記コントローラーＦから
の光変調信号に基いて、前記ガス変調周波数と同じ周波
数の光変調周波数（ＩＨｚ）で、かつ、前記ガス変調動
作とは異なる位相関係を持たせて（この例では、位相差
θを９０″または略９０”に設定している）変調する（
強弱に変化させる）電圧変調回路５とで構成されている
。

そして、前記信号処理回路りは、第２図のブロック回路
図に示すように構成されている。以下、この信号処理回
路りの構成について、第３図（イ）に示す入力信号につ
いての説明図、および第３図（ロ）に示す各部信号のタ
イミングチャートを参照しながら、詳細に説明する。

先ず、前記吸光度検出器３からこの信号処理回路りへ入
力される検出信号Ｖについて予め説明しておくと、この
検出信号Ｖは、第３図（イ）に示すように、本来の測定
データとしてのガス変調に関するＩＨ２の交流成分Ｖｌ
（サンプルガス中の測定対象成分による吸光エネルギー
量に相当する交流成分と、それとは位相関係がθ（＝９
０＠）異なる周波数ＩＨｚの交流成分Ｖ２（光源１から
の照射光の強度変化に基く交流成分）とが重畳されてい
る形となっている。なお、そのガス変調に関する交流成
分ｖｌにも、光変調に関する交流成分ｖ２にも、共に、
光ａ１１の光量、ガス流通用セル２の透過窓の光透過率
、吸光度検出器３の感度等の光学系の特性による影響が
同等に（同じ割合で）関与していることは明らかであり
、後述の説明から明らかになるように、このことが、本
発明にとって非常に重要なポイントとなっている。

而して、第２図に示す前記信号処理回路りは、入力端子
ａを介して供給される前記検出信号Ｖを増幅して、第３
図（ロ）に示すように本来の測定データに相当するガス
変調に関する交流成分ｖｌ’（前記交流成分ｖ１を増幅
したもの）と、それとは位相関係が異なる光変調に関す
る交流成分ｖ２”（前記交流成分ｖ２を増幅したもの）
とが重畳されている形の信号Ｖ　（＝ｖｌ’　　＋Ｖ２
°）を取り出すためのプリアンプ６と、そのプリアンプ
６の出力信号Ｖから前記ガス変調周波数および光変調周
波数（ＩＨｚ）以外の周波数のノイズ成分を予め除去す
るためのバンドパスフィルター７　（中心周波数がＩＨ
ｚ）と、入力端子すを介して前記コントローラーＦより
供給されるガス切換信号（ｌＨｚ）に基いて、前記バン
ドパスフィルター７の出力信号を同期整流することによ
り、前記ガス変調に関する交流成分ｖ１°に等価な（つ
まり、平滑後の値が互いに等しくなる）信号■１のみを
取り出すための第１同期検波整流回路８Ａ、および、そ
の第１同期検波整流回路８Ａからの出力信号を平滑した
第１整流信号ＩＶＩＩを得るための平滑回路９Ａ（例え
ばローパスフィルター）と、入力端子Ｃを介して前記コ
ントローラーＦより供給される光切換信号（ＩＨｚ、　
　θ＝９０°）に基いて、前記バンドパスフィルター７
の出力信号のを同期整流することにより、前記光変調に
関する交流成分ｖ２′に等価な（つまり、平滑後の値が
互いに等しくなる）信号ｖ２のみを取り出すための第２
同期検波整流回路８Ｂ、および、その第２同期検波整流
回路８Ｂからの出力信号を平滑した第２整流信号１ｖ２
１を得るための平滑回路９Ｂと、前記第１平滑回路９Ａ
から入力される前記第１整流信号ＩＶＩＩを前記第２平
滑回路９Ｂから入力される第２整流信号１■２１で除算
処理するための除算器１０とで構成されており、その除
算器１０からの出力信号ｖ３は、表示器Ｅへの出力端子
ｄへ供給されて、サンプルガスに含まれる測定対象成分
の濃度値として表示されるようになっている。

そして、前記除算器１０によって行われるところの、本
来の測定データに対応する第１整流信号Ｖｌｌを照射光
の強度変化に対応する第２整流信号ＩＶ２１で除算する
という処理により、夫々の整流信号に同等に（同じ割合
で）含まれている前述した光学系の特性における各種要
因による影響が相殺されることになるため、その除算器
１０からの出力信号（最終的な濃度測定信号）からは、
その影響が確実かつ効果的に除去される。従って、例え
ば光源１に対する印加電圧や周囲温度の変化および光源
１自体の劣化等による光量の変化や、ガス流通用セル２
の透過窓の汚れによる透過率の変化や、吸光度検出器３
自体の感度の変化等、種々の経時的な変化が生じたとし
ても、それらによる影響（スパンドリフト）は、前記信
号処理回路りの除算器１０から前記指示計Ｅへの出力信
号■３中には含まれることが無く、もって、指示計Ｅに
は常にサンプルガスの濃度に精度良く対応した値が指示
されることになる。

そこで、ここでは、前記バンドパスフィルター７、両同
期検波整流回路８Ａ、８Ｂ、両平滑回路９Ａ、９Ｂなら
びに除算器１０等を併せて、補正手段Ｘと総称する。

第４図は別の実施例を示し、前記光源ｌからの照射光の
強度を変化させるための手段として、上記基本的実施例
における電圧変調回路５のような電気的手段を用いるの
では無く、第４図（イ）に示すように、前記電源回路Ｂ
は光源用定電圧電源４のみで構成して光源１からは一定
強度の光を照射させる一方、その照射光を前記具なる周
波数で部分的にチョッピングするためのチョッパー装置
１４を設けるという機械的手段を用いたものである。こ
のチョッパー装置１４は、駆動用モーター１２とそれに
より回転駆動される羽根体１３とから構成され、その羽
根体１３は、第４図（ロ）の拡大正面図にも示している
ように、その半回転の間は光Ｓｔからの照射光の全てを
通過させることによりガス流通用セル２へ供給される光
を強光度状態にするが、他の半回転の間はその照射光の
一部を遮断することによりガス流通用セル２へ供給され
る光を弱光度状態にするように、−枚羽型に形成されて
いる。このチョッパー装置１４の場合において、前記実
施例の場合と同様にＩＨｚで光変調を行なわせるために
は、前記モーター１２をＩ　Ｈｚで回転させればよい。

但し、このモーター１２の回転数は、光変調の目標周波
数と前記羽根体１３の形状で決まるものであり、前記羽
根体１３を他の形状（例えば２枚羽型）にすればモータ
ー１２を１　／　２　Ｈｚで回転させればよいことにな
る。なお、この実施例におけるその他の構成等について
は、前記基本的実施例のものと同様であるから、同じ機
能を有する部材には同じ参照符号を付することにより、
その説明は省略する。

第５図は、前記第２図に示した信号処理回路りの変形例
を示し、この場合には、前記基本的実施例におけるよう
に、第１同期検波整流回路８Ａおよび第１平滑回路９Ａ
により直接的に得られる第１整流信号１ｖ１１を、第２
同期検波整流回路８Ｂおよび第２平滑回路９Ｂにより直
接的に得られる第１整流信号１ｖ２１で、除算器１０を
用いて直接的に除算処理するように構成するのでは無く
、プリアンプ６とバンドパスフィルター７との間にオー
トゲインコントローラー（以下ＡＧＣと称する）１５を
介装すると共に、そのＡＣＣＩ２と第２平滑回路９Ｂと
の間に基準電圧がＶ、のコンパレータ１６を介装して、
第２同期検波整流回路８Ｂおよび第２平滑回路９Ｂによ
り得られる第２整流信号１■２１を常に一定の値Ｖ、に
維持させるように、ＡＧＣ１２に対するフィードバック
制御を行う補正手段Ｘを構成することによって、前記基
本的実施例の場合と等価な作用（間接的な除算）を行な
わせるようにしたものである。

ところで、上記した各実施例における信号処理回路りの
構成は、前記吸光度検出器３として、サンプルガス中の
測定対象成分による吸光エネルギーＩに相当する交流成
分のみから成る信号を出力するニューマチイック型検出
器などの光量差検出器を用いた場合に対応して構成され
ているが、基準ガスを通過した一定光エネルギーに相当
する直流成分に、サンプルガス中の測定対象成分による
吸光エネルギー量に相当する交流成分が重畳された形の
絶対値相当信号を出力するサーモパイル検出器などの光
量検出器を用いた場合には、第６図に示すように、プリ
アンプ６の直後段に交流増幅回路１７を介装して、前記
直流成分を除去してから、前記と同様の信号処理を施す
ように構成すればよく、従って、本発明はかかる光量検
出器を用いたガス分析計にも十分に適用可能である。

また、第７図は、二組の光ｓ１．　　ｌおよびガス流通
用セル２，２を設けると共に、二つの切換弁から成るガ
ス分配器Ｃ１Ｃの制御により、前記両ガス流通用セル２
．２内へサンプルガスと基準ガスとを一定周期で交互に
かつ背反的に切り換え導入するように構成された、所謂
ダブルセルタイプのクロスフロー式ガス分析計に本発明
を適用した場合の実施例を示している。なお、この実施
例におけるその他の構成等については、前記基本的実施
例のものと同様であるから、同じ機能を有する部材には
同じ参照符号を付することにより、その説明は省略する
。

〔発明の効果〕

以上詳述したところから明らかなように、本発明に係る
ガス分析計によれば、本来の測定データであるガス変調
に関する交流信号（サンプルガス中の測定対象成分によ
る吸光エネルギー量に相当する交流成分）に対して、そ
れとは位相関係が異なる光変調に関する交流信号（光源
からの照射光の強度変化に基く交流成分）を意図的に重
畳した形の信号を取り出せるように構成し、かつ、その
ガス変調に関する交流成分にも、光変調に関する交流成
分にも、共に、光源の光量、ガス流通用セルの透過窓の
光ｉ３過率、吸光度検出器の感度等の光学系の特性によ
る影響が同等に（同じ割合で）関与しているとの考察結
果に基いて、前記吸光度検出器による出力信号から、前
記ガス変調動作を表す同期信号と前記光変調動作を表す
同期信号とで夫々同期検波整流および平滑処理すること
により、前記ガス変調に関する第１整流信号と前記光変
調に関する第２整流信号と各別に取り出すように構成す
ると共に、その第１整流信号を第２整流信号で除するよ
うに構成したことによって、直接の測定対象である前記
ガス変調に関する交流成分の変化量における前記種々の
要因による影響骨を、光源からの照射光の強度を変化さ
せるための掻く簡素で安価に構成できる構造付加と、単
なる内部信号処理による補正手段とを施すだけで、確実
かつ効果的に相殺して除去することができるようになり
、以って、従来のように光源に対する印加電圧を安定化
したり周囲温度を常時一定に維持するための大掛かりな
手段を設けたり、あるいは他の格別な補償用検出器を設
ける必要の無い、極めてシンプルかつコンパクトで安価
に構成できるものでありながら、しかも、従来のように
標準スパンガスを用いた不経済かつ面倒な校正操作をそ
れほど頻繁に行なう必要も無く、光源に対する印加電圧
や周囲温度の変化および光源自体の劣化等による光量変
化、ガス流通用セルの透過窓の汚れ、検出器自体の感度
変化等の種々の要因に基くスパンドリフトを全て、常に
確実に且つ精度良く補償することができるようになり、
更に、上記したように、吸光度検出器からの出力信号と
して、本来の測定データであるガス変調に関する交流信
号（サンプルガス中の測定対象成分による吸光エネルギ
ーＩに相当する交流成分）に対して、それとは位相関係
が異なる光変調に関する交流信号（光源からの照射光の
強度変化に基く交流成分）を意図的に重畳した形の信号
を取り出せるように構成しているから、本発明は、特に
、サンプルガス中の測定対象成分による吸光エネルギー
量に相当する交流成分のみから成る信号を出力するニュ
ーマチインク型検出器などの光量差検出器を用いた型式
のガス分析計に対して好適に利用できることは勿論、基
準ガスを通過した一定光エネルギーに相当する直流成分
に、サンプルガス中の測定対象成分による吸光エネルギ
ー量に相当する交流成分が重畳された形の絶対値相当信
号を出力するサーモバイル検出器などの光量検出器を用
いた型式のガス分析計に対しても、十分に適用できる、
という優れた効果が発揮されるに至った。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明に係るガス分析計の各種具体的実施例を示
し、第１図は基本的な実施例の全体概略構成図、第２図
はその信号処理回路のブロック回路構成図、第３図（イ
）は吸光度検出器の出力信号の説明図、第３図（ロ）は
前記信号処理回路におけうる各部の信号図であり、第４
図（イ）は別の実施例の全体概略構成図、第４図（ロ）
はその要部の拡大正面図であり、第５図は信号処理回路
の変形例のブロック回路構成図、第６図は信号処理回路
の別の変形例の要部回路図であり、そして、第７図はま
た別の実施例の全体概略構成図である。 Ｚ・・・・・・基準ガス、　　　　Ｓ・・・・・・サン
プルガス、ｌ・・・・・・光源、　　　　　　２・・・
・・・測定セル、３・・・・・・吸光度検出器、　θ・
・・・・・位相差、Ｘ・・・・・・・・・補正手段。 出願人　株式会社　堀　場　製　作　所代理人　弁理士
　　藷　本　英　夫

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 　基準ガスとサンプルガスとが所定のガス変調周波数で
   交互に切換導入される測定セルに対して、光源から照射
   される光を通過させるように構成すると共に、前記基準
   ガスを通過した光および前記サンプルガスを通過した光
   に対する吸光度検出器を設け、かつ、前記吸光度検出器
   による出力信号から前記基準ガスを通過した光エネルギ
   ーと前記サンプルガスを通過した光エネルギーとのエネ
   ルギー差に相当する交流成分を取り出し、その交流成分
   の変化量に基いて前記サンプルガス中の測定対象成分の
   濃度を測定するように構成してあるガス分析計において
   、 前記光源からの照射光の強度を、前記ガス変調周波数と
   同じ周波数の光変調周波数で、かつ、前記ガス変調動作
   とは異なる位相関係を持たせて、変化させるように構成
   し、 前記吸光度検出器からの出力信号に対して、前記ガス変
   調動作を表す同期信号で同期検波整流および平滑処理す
   ることにより、前記ガス変調に関する第１整流信号を得
   ると共に、前記吸光度検出器からの出力信号に対して、
   前記光変調動作を表す同期信号で同期検波整流および平
   滑処理することにより、前記光変調に関する第２整流信
   号を得るように構成し、かつ、前記第１整流信号を第２
   整流信号で除する補正手段、または、それと等価な補正
   手段を有する信号処理回路を設けてある、ことを特徴と
   するガス分析計。