JPH0242343A - スルーホール検査装置 - Google Patents
スルーホール検査装置Info
- Publication number
- JPH0242343A JPH0242343A JP19384888A JP19384888A JPH0242343A JP H0242343 A JPH0242343 A JP H0242343A JP 19384888 A JP19384888 A JP 19384888A JP 19384888 A JP19384888 A JP 19384888A JP H0242343 A JPH0242343 A JP H0242343A
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- JP
- Japan
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- signal
- stage
- mask
- camera
- controller
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000007689 inspection Methods 0.000 claims description 32
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 3
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 abstract description 5
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 abstract 1
- 230000000630 rising effect Effects 0.000 description 4
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
- G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
- G01N21/95—Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
- G01N21/956—Inspecting patterns on the surface of objects
- G01N21/95692—Patterns showing hole parts, e.g. honeycomb filtering structures
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- Pathology (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明はスルーホール検査装置に関する。
従来のスルー・ホール検査装置は、第３図を見るに、
正常な被検査物の一部分を撮像する２次元カメラ１０と
、 被検査物の一部分の２次元カメラ１０と同様な視野で撮
像し、２次元カメラ１０のＸ軸とＹ軸の各々に平行なＸ
軸とＹ軸を有する２次元カメラ１１と、 ２次元カメラ１０のＸ軸とＹ軸の各々に平行な軸を有し
、正常な被検査物と被検査物を設置する２つの台を有す
るステージ１２と、 ステージを制御するステージコントローラ１４と、 ２次元カメラ１０・１２から画像信号に−ｆｆを取り込
み、取り込んだ画像のパターンマツチングを行うパター
ンマツチング回路１３と、前記ステージコントローラ１
４に検査開始を指示する検査開始信号ｑと、ステージに
１ピツチ移動を指示する１ピッチ移動化号ｐを出力し、
前記パターンマツチング回路１３にパターンマツチング
を指示するパターンマツチング開始信号ｎを出力し、パ
ターンマツチング後にマツチングミス情報ｒを前記パタ
ーンマツチング回路１３から読みだし、スルーホールの
良否を判定する検査制御部を含んでい−る。
、 被検査物の一部分の２次元カメラ１０と同様な視野で撮
像し、２次元カメラ１０のＸ軸とＹ軸の各々に平行なＸ
軸とＹ軸を有する２次元カメラ１１と、 ２次元カメラ１０のＸ軸とＹ軸の各々に平行な軸を有し
、正常な被検査物と被検査物を設置する２つの台を有す
るステージ１２と、 ステージを制御するステージコントローラ１４と、 ２次元カメラ１０・１２から画像信号に−ｆｆを取り込
み、取り込んだ画像のパターンマツチングを行うパター
ンマツチング回路１３と、前記ステージコントローラ１
４に検査開始を指示する検査開始信号ｑと、ステージに
１ピツチ移動を指示する１ピッチ移動化号ｐを出力し、
前記パターンマツチング回路１３にパターンマツチング
を指示するパターンマツチング開始信号ｎを出力し、パ
ターンマツチング後にマツチングミス情報ｒを前記パタ
ーンマツチング回路１３から読みだし、スルーホールの
良否を判定する検査制御部を含んでい−る。
ス゛テージ１２には、正常な被検査物と、検査すべき被
検査物とがセットされる。検査を開始すると、検査制御
部１５は検査開始信号ｑによりステージコントローラ１
４に検査開始を指示する。ステージコントローラ１４は
ステージ１２を検査開始位置に移動する。次に検査制御
部１５は、パターンマツチング開始信号ｎを、パターン
マツチング回路１３におくる。パターンマツチング回路
１３はパターンマツチング開始信号ｎによりパターンマ
ツチンクラ行い、パターンマツチング情１１ｔ−を検査
制御部１５に送る。
検査物とがセットされる。検査を開始すると、検査制御
部１５は検査開始信号ｑによりステージコントローラ１
４に検査開始を指示する。ステージコントローラ１４は
ステージ１２を検査開始位置に移動する。次に検査制御
部１５は、パターンマツチング開始信号ｎを、パターン
マツチング回路１３におくる。パターンマツチング回路
１３はパターンマツチング開始信号ｎによりパターンマ
ツチンクラ行い、パターンマツチング情１１ｔ−を検査
制御部１５に送る。
次に検査制御部１５は、ステージコントローラ１４に１
ピッチ移動化号ｐを送る。ステージコントローラ１４は
１ピッチ移動化号ｐを受は取るとステージ制御信号ｍに
よりステージを１ピツチ送る。再び検査制御部１５は、
パターンマツチング開始信号ｎを、パターンマツチング
回路１３におくる。
ピッチ移動化号ｐを送る。ステージコントローラ１４は
１ピッチ移動化号ｐを受は取るとステージ制御信号ｍに
よりステージを１ピツチ送る。再び検査制御部１５は、
パターンマツチング開始信号ｎを、パターンマツチング
回路１３におくる。
以上の動作を繰り返し行い、被検査物を−通りスキャン
し終ると検査制御部１５はパターンマツチング情報ｒよ
り、スルーホールの良否を判定する。
し終ると検査制御部１５はパターンマツチング情報ｒよ
り、スルーホールの良否を判定する。
上述した従来のスルーホール検査情報は、正常な被検査
物を常時必要としており、正常とされる被検査物との相
対評価によってのみ被検査物を評価するため、正常とさ
れる被検査物に異常がある場合に、被検査物に同様な異
常が存在していても、その被検査物は正常であると、誤
判定してしまうという欠点があった。
物を常時必要としており、正常とされる被検査物との相
対評価によってのみ被検査物を評価するため、正常とさ
れる被検査物に異常がある場合に、被検査物に同様な異
常が存在していても、その被検査物は正常であると、誤
判定してしまうという欠点があった。
本発明のスルーホール検査装置は、一次元カメラのスキ
ャン方向に３台の一次元カメラを並べて一次元画像を取
り込む画像入力部と、 前記一次元カメラの画像取り込みタイミングを制御し、
３台の一次元カメラの画像信号を合成゛して１つのビデ
オ信号を生成し、かつカメラクロック信号を出力するカ
メラコントローラと、検査対象物を設置し、前記一次元
カメラの並び方向に対して垂直方向に移動する軸を有す
るステージと、 前記ステージを制御し、かつステージエンコーダパルス
信号を出力するステージコントローラと、 前記カメラコントローラが出力するカメラクロック信号
とステージコントローラが出力するステージエンコーダ
パルス信号とを入力し、Ｘマスク信号とＹマスク信゛号
とを出力するマスク生成回路と、 前記Ｘマスク信号とＸマスク信号およびビデオ信号を入
力し、Ｘマスク信号とＸマスク信号が同時にアクティブ
の場合にビデオ信号がアクティブである間の画素数を数
え記憶回路に格納する面積カウント回路と、 検査対象物に空けてあるスルーホールの位置を示す検査
データを格納する記憶装置と、前記面積カウント回路に
よって記憶回路に格納された画素数を入力し、スルーホ
ールの有無を判断し、前記記憶装置の検査データと比較
し、余分スルーホールと不足スルーホールの検出をする
検出部とを含んで構成される。
ャン方向に３台の一次元カメラを並べて一次元画像を取
り込む画像入力部と、 前記一次元カメラの画像取り込みタイミングを制御し、
３台の一次元カメラの画像信号を合成゛して１つのビデ
オ信号を生成し、かつカメラクロック信号を出力するカ
メラコントローラと、検査対象物を設置し、前記一次元
カメラの並び方向に対して垂直方向に移動する軸を有す
るステージと、 前記ステージを制御し、かつステージエンコーダパルス
信号を出力するステージコントローラと、 前記カメラコントローラが出力するカメラクロック信号
とステージコントローラが出力するステージエンコーダ
パルス信号とを入力し、Ｘマスク信号とＹマスク信゛号
とを出力するマスク生成回路と、 前記Ｘマスク信号とＸマスク信号およびビデオ信号を入
力し、Ｘマスク信号とＸマスク信号が同時にアクティブ
の場合にビデオ信号がアクティブである間の画素数を数
え記憶回路に格納する面積カウント回路と、 検査対象物に空けてあるスルーホールの位置を示す検査
データを格納する記憶装置と、前記面積カウント回路に
よって記憶回路に格納された画素数を入力し、スルーホ
ールの有無を判断し、前記記憶装置の検査データと比較
し、余分スルーホールと不足スルーホールの検出をする
検出部とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を参照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は、本発明の一実施例を示すブロック図である。
画像入力部１は一次元カメラのスキャン方向に３台の一
次元カメラを並べて一次元画像を取り込み、カメラコン
トローラ２から出力されるタイミング制御信号ａによっ
て、３台の一次元カメラを制御し画像信号すを出力する
。カメラコントローラ２は、１台目のカメラにタイミン
グ制御信号ａを送り画像信号すを入力すると、２台目の
カメラにタイミング制御信号ａを送り画像信号すを入力
する。かようにして順次カメラコントローラ２は時間軸
でずれのある３つの画像信号すを１つの画像信号に合成
し、２値化した２値化信号Ｃを出力する。また、１画素
の幅を示すカメラクロック信号りを出力する。
次元カメラを並べて一次元画像を取り込み、カメラコン
トローラ２から出力されるタイミング制御信号ａによっ
て、３台の一次元カメラを制御し画像信号すを出力する
。カメラコントローラ２は、１台目のカメラにタイミン
グ制御信号ａを送り画像信号すを入力すると、２台目の
カメラにタイミング制御信号ａを送り画像信号すを入力
する。かようにして順次カメラコントローラ２は時間軸
でずれのある３つの画像信号すを１つの画像信号に合成
し、２値化した２値化信号Ｃを出力する。また、１画素
の幅を示すカメラクロック信号りを出力する。
スーテジ、３はスルーホールのある被検査物（検査対゛
象物）を固定し、画像入力部１の一次元カメラのスキャ
ン方向と垂直方向に移動する軸を有しており、１画素分
ずつステージ３を移動して、画像入力部１で１ライン分
の画像を取り込む動作を繰り返えすことによって、被検
査物を取り込む動作を繰り返えすことによって、被検査
物全体を撮像する。ステージコントローラ４は、ステー
ジ３の１画素分ずつ移動するためのステージ制御信号ｄ
を出力し、ステージが移動したことを示すステージエン
コーダパルス信号ｅを出力する。
象物）を固定し、画像入力部１の一次元カメラのスキャ
ン方向と垂直方向に移動する軸を有しており、１画素分
ずつステージ３を移動して、画像入力部１で１ライン分
の画像を取り込む動作を繰り返えすことによって、被検
査物を取り込む動作を繰り返えすことによって、被検査
物全体を撮像する。ステージコントローラ４は、ステー
ジ３の１画素分ずつ移動するためのステージ制御信号ｄ
を出力し、ステージが移動したことを示すステージエン
コーダパルス信号ｅを出力する。
マスク生成回路５は、カメラクロック信号り及びステー
ジエンコーダパルス信号ｅを入力し、被検査物を撮像し
た結果得られる２値化信号ＣにマスクをかけるためのＸ
マスク信号ｆおよびＹマスク信号ｇを出力する。
ジエンコーダパルス信号ｅを入力し、被検査物を撮像し
た結果得られる２値化信号ＣにマスクをかけるためのＸ
マスク信号ｆおよびＹマスク信号ｇを出力する。
第２図はＸマスク信号ｆとＹマスク信号ｇの生成概略タ
イミングチャートである。Ｘマスク信号ｆは、カメラク
ロック信号りを分周することによって生成し、Ｙマスク
信号ｇはステージエンコーダパルス信号ｅを分周するこ
とによって生成する。
イミングチャートである。Ｘマスク信号ｆは、カメラク
ロック信号りを分周することによって生成し、Ｙマスク
信号ｇはステージエンコーダパルス信号ｅを分周するこ
とによって生成する。
面積カウント回路６は、２値化信号Ｃとカメラクロツタ
信号りとＸマスク信号ｆとＹマスク信号ｇとを入力し、
Ｘマスク信号ｆとＹマスク信号ｇとが同時にハイ・アク
ティブであると共に２値化信号Ｃがハイレベルである間
に、カメラクロックｈの立上りの個数をカウントし、面
積カウント回路６に内蔵する記憶回路に格納すると共に
、面積カウント値ｉを検査部８に出力する。記憶回路の
アドレスは、Ｘマスク信号ｆの立上りの個数をカウント
したＸアドレスとＹマスク信号ｇの立上りの個数をカウ
ントしたＹアドレスの２次元アドレスによって定める。
信号りとＸマスク信号ｆとＹマスク信号ｇとを入力し、
Ｘマスク信号ｆとＹマスク信号ｇとが同時にハイ・アク
ティブであると共に２値化信号Ｃがハイレベルである間
に、カメラクロックｈの立上りの個数をカウントし、面
積カウント回路６に内蔵する記憶回路に格納すると共に
、面積カウント値ｉを検査部８に出力する。記憶回路の
アドレスは、Ｘマスク信号ｆの立上りの個数をカウント
したＸアドレスとＹマスク信号ｇの立上りの個数をカウ
ントしたＹアドレスの２次元アドレスによって定める。
記憶装置７には、スルーホールの有無を示す検査データ
をあらかじめ用意しておく。この検査データは被検査物
にスルーホールを生成するために用いた位置データから
スルーホールの有無を示すデータである。
をあらかじめ用意しておく。この検査データは被検査物
にスルーホールを生成するために用いた位置データから
スルーホールの有無を示すデータである。
検査部８は、面積カウント回路６によって記憶回路に格
納された面積カウント値ｉのデータを順次読み出す。こ
のデータは、Ｘマスク信号ｆとＹマスク信号ｇとが同時
にハイ・アクティブになっている間のスルーホールに相
当する部分の画素数を示す。あらかじめスルーホールの
有無を判定する画素数をパラメータで用意しておき、読
み出したデータとパラメータを比較しスルーホールの有
無を判定する。この結果と記憶装置７がら対応する検査
データｊを読み出し、スルーホールの有るべき位置にス
ルーホールが有るか、スルーホールの無いはずの位置に
スルーホールが無い場合は正常である、スルーホールの
有るべき位置にスルーホールが無いか、スルーホールの
無いはずの位置にスルーホールが有る場合をエラーとし
て検出する。
納された面積カウント値ｉのデータを順次読み出す。こ
のデータは、Ｘマスク信号ｆとＹマスク信号ｇとが同時
にハイ・アクティブになっている間のスルーホールに相
当する部分の画素数を示す。あらかじめスルーホールの
有無を判定する画素数をパラメータで用意しておき、読
み出したデータとパラメータを比較しスルーホールの有
無を判定する。この結果と記憶装置７がら対応する検査
データｊを読み出し、スルーホールの有るべき位置にス
ルーホールが有るか、スルーホールの無いはずの位置に
スルーホールが無い場合は正常である、スルーホールの
有るべき位置にスルーホールが無いか、スルーホールの
無いはずの位置にスルーホールが有る場合をエラーとし
て検出する。
本発明のスルーホール検査装置は、正常な被検査物と被
検査物を比較して一致しない箇所を捜しエラーを検出す
る代りに、被検査物と被検査物を作成するために用いた
データから生成した検査基準データとを比較することに
より、常に真の情報と被検査物とを比較できるので、正
常とされる被検査物に異常がある場合に、被検査物に同
様な異スク生成回路、６・・・面積カウント回路、７・
・・記憶装置、８・・・検出部、１０・・・２次元カメ
ラ、１１・・・２次元カメラ、１２・・・ステージ、１
３・・・パターンマツチング回路、１４・・・ステージ
コントローラ、１５・・・検査制御部。
検査物を比較して一致しない箇所を捜しエラーを検出す
る代りに、被検査物と被検査物を作成するために用いた
データから生成した検査基準データとを比較することに
より、常に真の情報と被検査物とを比較できるので、正
常とされる被検査物に異常がある場合に、被検査物に同
様な異スク生成回路、６・・・面積カウント回路、７・
・・記憶装置、８・・・検出部、１０・・・２次元カメ
ラ、１１・・・２次元カメラ、１２・・・ステージ、１
３・・・パターンマツチング回路、１４・・・ステージ
コントローラ、１５・・・検査制御部。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 一次元カメラのスキャン方向に３台の一次元カメラを並
べて一次元画像を取り込む画像入力部と、 前記一次元カメラの画像取り込みタイミングを制御し、
３台の一次元カメラの画像信号を合成して１つのビデオ
信号を生成し、かつカメラクロック信号を出力するカメ
ラコントローラと、 検査対象物を設置し、前記一次元カメラの並び方向に対
して垂直方向に移動する軸を有するステージと、 前記ステージを制御し、かつステージエンコーダパルス
信号を出力するステージコントローラと、 前記カメラコントローラが出力するカメラクロック信号
とステージコントローラが出力するステージエンコーダ
パルス信号とを入力し、Ｘマスク信号とＹマスク信号と
を出力するマスク生成回路と、 前記Ｘマスク信号とＹマスク信号およびビデオ信号を入
力し、Ｘマスク信号とＹマスク信号を同時にアクティブ
の場合にビデオ信号がアクティブである間の画素数を数
え記憶回路に格納する面積カウント回路と、 検査対象物に空けてあるスルーホールの位置を示す検査
データを格納する記憶装置と、 前記面積カウント回路によって記憶回路に格納された画
素数を入力し、スルーホールの有無を判断し、前記記憶
装置の検査データと比較し、余分スルーホールと不足ス
ルーホールの検出をする検出部とを含むことを特徴とす
るスルーホール検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19384888A JPH0242343A (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | スルーホール検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19384888A JPH0242343A (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | スルーホール検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0242343A true JPH0242343A (ja) | 1990-02-13 |
Family
ID=16314755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19384888A Pending JPH0242343A (ja) | 1988-08-02 | 1988-08-02 | スルーホール検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0242343A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011089939A (ja) * | 2009-10-24 | 2011-05-06 | Djtech Co Ltd | 外観検査装置及び印刷半田検査装置 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5459169A (en) * | 1977-10-19 | 1979-05-12 | Toshiba Corp | Size measuring apparatus |
| JPS61132843A (ja) * | 1984-12-01 | 1986-06-20 | Sankyo Boeki Kk | プリント板検査方法 |
-
1988
- 1988-08-02 JP JP19384888A patent/JPH0242343A/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5459169A (en) * | 1977-10-19 | 1979-05-12 | Toshiba Corp | Size measuring apparatus |
| JPS61132843A (ja) * | 1984-12-01 | 1986-06-20 | Sankyo Boeki Kk | プリント板検査方法 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011089939A (ja) * | 2009-10-24 | 2011-05-06 | Djtech Co Ltd | 外観検査装置及び印刷半田検査装置 |
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