JPH01263882A - 検査装置 - Google Patents
検査装置Info
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- JPH01263882A JPH01263882A JP63093040A JP9304088A JPH01263882A JP H01263882 A JPH01263882 A JP H01263882A JP 63093040 A JP63093040 A JP 63093040A JP 9304088 A JP9304088 A JP 9304088A JP H01263882 A JPH01263882 A JP H01263882A
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- Japan
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Landscapes
- Image Processing (AREA)
- Supply And Installment Of Electrical Components (AREA)
- Image Analysis (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は検査装置、特にプリント基板上に実装された微
小チップ部品例えは、チップコンデンダ。
小チップ部品例えは、チップコンデンダ。
チップ抵抗の位置ズレを検査する検査装置に［Ｈずる。
従来の検査装置は、被検査物である印刷基板上の半田ラ
ンド位置に載置されたチップ部品を撮影する手段である
工業用カメラと、前記工業用カメラを基準と１７だ一定
領域の画イＷを２値化し、白黒レベルに変換する手段と
、前記白黒レベルとあらかじめ記憶させておいたチップ
部品の正確な基準パターン画像の白黒レベルを比較する
手段とｔ含んで構成される。
ンド位置に載置されたチップ部品を撮影する手段である
工業用カメラと、前記工業用カメラを基準と１７だ一定
領域の画イＷを２値化し、白黒レベルに変換する手段と
、前記白黒レベルとあらかじめ記憶させておいたチップ
部品の正確な基準パターン画像の白黒レベルを比較する
手段とｔ含んで構成される。
上記の構成による検査装置の基準ノくターンとの比較処
理の方法としては、まず良品と舊われる基準パターンの
白黒レベルの数をにを算し、この数をあらかじめ記憶さ
せておく。
理の方法としては、まず良品と舊われる基準パターンの
白黒レベルの数をにを算し、この数をあらかじめ記憶さ
せておく。
その後、被検査物の画像からカメラの位置を基準として
、８１１記基準パターンと同一領域を三値化し、白黒レ
ベルの数を計簀する。そして、前記被検査物の白黒レベ
ルの数と該基準・（ターンの白黒レベルの数を比較し、
どの程ｉ−ｉしているかにより検査を行う。
、８１１記基準パターンと同一領域を三値化し、白黒レ
ベルの数を計簀する。そして、前記被検査物の白黒レベ
ルの数と該基準・（ターンの白黒レベルの数を比較し、
どの程ｉ−ｉしているかにより検査を行う。
上述した従来の検査装置は、カメラ等の画像撮影手段に
よる位ｔｉｔ’に基準として、所定の領域内の画像を取
り込みその領域に対する位置ズレ等を検出しているため
、検査対象基鈑等の取りつけ及び基板自体の製造誤差に
より基準となるパターンの画像取り込み位置と被検査物
の画像取り込み位置からかならすしも一致せず、正確な
検査が行なえないという欠点があった。
よる位ｔｉｔ’に基準として、所定の領域内の画像を取
り込みその領域に対する位置ズレ等を検出しているため
、検査対象基鈑等の取りつけ及び基板自体の製造誤差に
より基準となるパターンの画像取り込み位置と被検査物
の画像取り込み位置からかならすしも一致せず、正確な
検査が行なえないという欠点があった。
本発明の検査装置は、
（Ａ） 被検査微小チ、ブ部品を撮像したカメラから
の映像信号をデジタルに変換するＡ／Ｄ変挽変格回 路Ｂ） 前記デジタルデータを記憶する画像メモリ回
路、 （Ｃ） 前記画像データのノイズを除去する平滑化回
路、 （１）） 前記平滑化回路を通した磯淡ｉ１１．ｕ像
の濃淡値の垂直及び水平方向の変化状態を算出する微分
回路、 （Ｅ） 前記微分回路を通した微分画像の垂直及び水
平方向の微分値極大・極小点を検出するエツジ検出回路
、 （均 ル１ｊ記検出したエツジの分布のｉｉ！ｉｉ ｆ
４を記憶するエツジ画像記憶回路、 （Ｇ） 前記エツジ画像データを垂直及び水平方向に一
ライン分読み出すラインデータ読込み回路、（Ｈ）
前記読み込んだラインデータを前後にシフトさせ、それ
らのデータを足しこむラインデータ拡大回路、 （Ｉ） 前記拡大したラインデータを独数本比較し、
最も共通している値を取り出すラインデータ比較判定回
路、 （Ｊ） 前記重ね合せにより論理判定したラインデー
タと設計基準データとを比較する比較回路、（ト））前
記比較した結果により被検査物のズレ蓋を算出するズレ
債算出回路、 とを含んで構成される。
の映像信号をデジタルに変換するＡ／Ｄ変挽変格回 路Ｂ） 前記デジタルデータを記憶する画像メモリ回
路、 （Ｃ） 前記画像データのノイズを除去する平滑化回
路、 （１）） 前記平滑化回路を通した磯淡ｉ１１．ｕ像
の濃淡値の垂直及び水平方向の変化状態を算出する微分
回路、 （Ｅ） 前記微分回路を通した微分画像の垂直及び水
平方向の微分値極大・極小点を検出するエツジ検出回路
、 （均 ル１ｊ記検出したエツジの分布のｉｉ！ｉｉ ｆ
４を記憶するエツジ画像記憶回路、 （Ｇ） 前記エツジ画像データを垂直及び水平方向に一
ライン分読み出すラインデータ読込み回路、（Ｈ）
前記読み込んだラインデータを前後にシフトさせ、それ
らのデータを足しこむラインデータ拡大回路、 （Ｉ） 前記拡大したラインデータを独数本比較し、
最も共通している値を取り出すラインデータ比較判定回
路、 （Ｊ） 前記重ね合せにより論理判定したラインデー
タと設計基準データとを比較する比較回路、（ト））前
記比較した結果により被検査物のズレ蓋を算出するズレ
債算出回路、 とを含んで構成される。
次に、本発明の実施例について、図面を８照して詳細に
説明する。
説明する。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図である。
第１図に示す検査装置は、カメラｌからの映像信号をデ
ジタル画像に変換するＡｌ１）変換回路コことデジタル
画像を記憶する画像メモリ回路３と、デジタル画像のノ
イズを除去する平滑化回ｗ１４と、平滑化した画像の一
淡値紮水平及び垂直方向にそれぞれ微分する画像微分（
ロ）路５と、前記微分画１寡の水平及び垂直方向それぞ
れの微分値の極大・極小点の位置を検出するエツジ検出
回路６と、前記極大・極小点の位置を記憶するエツジ画
像記憶回路７と、前記記憶した画像の水平及び垂直方向
の１ラインのデータを読み込むラインデータ読み込み回
路８と、前記読み込んだラインデータを前後にシフトさ
せそれらをｉ％ｌ和をとるラインデータ拡大回路９と、
前記拡大したラインデータを複数本分比較し、最も共通
している論理値を取り出すラインデータ比較判定回路１
０と、前記論理判定したラインデータと設計基準データ
と全比較する比較回路ｌｌと、前記比較した結果より被
検査物のズレを算出するズレ量算出回路１２とを含んで
構成される。
ジタル画像に変換するＡｌ１）変換回路コことデジタル
画像を記憶する画像メモリ回路３と、デジタル画像のノ
イズを除去する平滑化回ｗ１４と、平滑化した画像の一
淡値紮水平及び垂直方向にそれぞれ微分する画像微分（
ロ）路５と、前記微分画１寡の水平及び垂直方向それぞ
れの微分値の極大・極小点の位置を検出するエツジ検出
回路６と、前記極大・極小点の位置を記憶するエツジ画
像記憶回路７と、前記記憶した画像の水平及び垂直方向
の１ラインのデータを読み込むラインデータ読み込み回
路８と、前記読み込んだラインデータを前後にシフトさ
せそれらをｉ％ｌ和をとるラインデータ拡大回路９と、
前記拡大したラインデータを複数本分比較し、最も共通
している論理値を取り出すラインデータ比較判定回路１
０と、前記論理判定したラインデータと設計基準データ
と全比較する比較回路ｌｌと、前記比較した結果より被
検査物のズレを算出するズレ量算出回路１２とを含んで
構成される。
カメラ１からの１交像信号ａはＡ／ １）変換回路２に
よりテジタル映像信号すに変換され画像メモリ回路３に
記憶さ扛る。。
よりテジタル映像信号すに変換され画像メモリ回路３に
記憶さ扛る。。
記憶された画像データＣは平滑化回路４によジノイズ除
去され平滑化画像データｄとして画像微分回路５に人力
される。
去され平滑化画像データｄとして画像微分回路５に人力
される。
画像微分回路５では人力された画像の水平及び垂直方向
のそれぞれの御飯値の変化状態を検出するため局所領域
により微分計算が行なわれ各画素に微分値があたえられ
、微分画像データＣとして、エツジ検出回路６に入力さ
れる。
のそれぞれの御飯値の変化状態を検出するため局所領域
により微分計算が行なわれ各画素に微分値があたえられ
、微分画像データＣとして、エツジ検出回路６に入力さ
れる。
エツジ検出回路６では微分画像の各水平及び垂直方向の
微分値の極大・極小点を検出し、微分ピーク画像ｆと１
〜でエツジ画像記憶回路７に記憶させる。
微分値の極大・極小点を検出し、微分ピーク画像ｆと１
〜でエツジ画像記憶回路７に記憶させる。
第２図（ａ）に示すように、平滑化画像の磯淡値を部品
方向Ａ−１３の一次元ラインで抽出すると績淡値は、第
２図（ｂ）のようになる。これを画像微分回路５に通す
ことにより第２図（Ｃ）で表わせるような微分値データ
が求まる。
方向Ａ−１３の一次元ラインで抽出すると績淡値は、第
２図（ｂ）のようになる。これを画像微分回路５に通す
ことにより第２図（Ｃ）で表わせるような微分値データ
が求まる。
前述の微分値データの極大・極小値を求めることにより
第２図（ｄ）に示される微分ピーク画像が抽出される。
第２図（ｄ）に示される微分ピーク画像が抽出される。
前述の微分ピーク点は被検査部品及び半田部分の輪郭位
置と一致する。
置と一致する。
エツジ画像記憶回路７に記憶されたエツジ画像ｇの任意
の位置から、ラインデータ読み込み回路８により、第２
図（ｄ）に示されたようなエツジラインデータｈを読み
込む。
の位置から、ラインデータ読み込み回路８により、第２
図（ｄ）に示されたようなエツジラインデータｈを読み
込む。
エツジラインデータｈは第３図に示すようにラインデー
タ拡大回路９により、前後にシフトされる。各シフトデ
ータは足しこまれ、拡大ラインデータ鳳となる。
タ拡大回路９により、前後にシフトされる。各シフトデ
ータは足しこまれ、拡大ラインデータ鳳となる。
ラインデータ比較判定回路ｉｏでは、第４図（ａ）。
（ｂ）に示すように、平滑化画像の部品方向の複数の拡
大ラインデータを用い比較ラインデータｊを作成する。
大ラインデータを用い比較ラインデータｊを作成する。
作成する方法は、例えは３つのデータの同じ位置に２つ
以上値が存在（−だ場合にゝゝｌ”、その他をゝゝ０
／／というように二１１ａテータを出力する。拡大デー
タは場合により５本、７本ととることができる。こバに
より、各方向例えば、水平方向の微分ピークデータの信
頼性を昼くすることができる。
以上値が存在（−だ場合にゝゝｌ”、その他をゝゝ０
／／というように二１１ａテータを出力する。拡大デー
タは場合により５本、７本ととることができる。こバに
より、各方向例えば、水平方向の微分ピークデータの信
頼性を昼くすることができる。
比較回路１１では第４図（ｄ） 、 （ｅ）に示すよう
な設計基準データ及び比較ラインデータＪと比較ライン
データＪとかＡＮｉ）をとられ、部品が取り付けられる
バ、ド位置と部品の位１ηが検出位置にとして出力され
る。検出位［ｋからズレ蓋算出回路１２により第４図（
ｆ）に示すような部品とパッドのズレ量ｍが算出される
。
な設計基準データ及び比較ラインデータＪと比較ライン
データＪとかＡＮｉ）をとられ、部品が取り付けられる
バ、ド位置と部品の位１ηが検出位置にとして出力され
る。検出位［ｋからズレ蓋算出回路１２により第４図（
ｆ）に示すような部品とパッドのズレ量ｍが算出される
。
本発明の検査装置は、被検査部品の位置ズレを測定する
場合、カメラより取り込んだ御飯画像を微分することに
より、被検査部品の輪郭及び被検査部品が半田付けされ
るパッドの輪郭をそれぞれ検出できるため、同一画像よ
り部品とパッドの相対位置を求めることができる。また
検出用データを複数用いることにより各位置の検出デー
タの信頼性を高めることができるため、半田の状態及び
部品の形状にノイズかあった場合でも、正確な部品の位
１ガスレ量を測定できるという効果がある。
場合、カメラより取り込んだ御飯画像を微分することに
より、被検査部品の輪郭及び被検査部品が半田付けされ
るパッドの輪郭をそれぞれ検出できるため、同一画像よ
り部品とパッドの相対位置を求めることができる。また
検出用データを複数用いることにより各位置の検出デー
タの信頼性を高めることができるため、半田の状態及び
部品の形状にノイズかあった場合でも、正確な部品の位
１ガスレ量を測定できるという効果がある。
第１図は本発明の一実施例を示すフロック図、第２図（
ａ）〜（ｄ）は第１図に示す回路の信号を説明するため
の模式図、第３図は第１図中の２インデ一タ拡大回路の
動作説明図、第４図徘１はズレ蓋の算出を行うだめの回
路の動作を説明するための模式図である。 ｌ・・・・・・カメラ、２・・・・・・Ａ／ＩＪ変換回
路％ ３・・・・・・画像メモリ回路、４・・・・・・
平滑化回路、５・・・・・・画像微分回路、６・・・・
・・エツジ検出沖」路、７°゛°°パ工ノジ画像記憶１
す１路、８・・・・・・ラインデータ読込み回路、９・
・・・・・ラインデータ拡大回路、１０・・・・・ライ
ンデータ比較判定回路、ＩＩ・・・・・・比較回路、１
２・・・・・・ズレを算出回路、９・・・・・・映像信
号、ｂ・・・・・・デジタル映傳゛信号、Ｃ・・・・・
・画像データ、ｄ・・・・・・平滑化画像データ、ｅ・
・・・・・微分画像データ、ｆ・・・・・・微分ピーク
画像、ｇ・・・・・・エツジ画像、ｈ・・・・・・エツ
ジラインデータ、ｉ・・・・・・拡大フィンデータ、ｊ
・・・・・・比較ラインデータ、ｋ・・・・・・横用位
置、１・・・・・・検査結果、ｍ・・・・・・ズレ景。 代理人 弁理士 内 原 音 ａ、ザ葎侶号 Δ＋＋Ｂ（Ｃ）泳介ノ画チータ 第 ２ 図 イ く 華 ４ ＜１２−） 下クヤｔイ堕、イβＦ ；、８、）才ムにうＡシブニブ ＬＣ）ｋｔ唖ト４−ラインテニグ ｄ２ノく−ｔｒＪ場ミよｎｌ ぶしｌ溌〒テーダ ｆ）Ｈヒ之ヒＡ止３ｔ Ｇσ
ａ）〜（ｄ）は第１図に示す回路の信号を説明するため
の模式図、第３図は第１図中の２インデ一タ拡大回路の
動作説明図、第４図徘１はズレ蓋の算出を行うだめの回
路の動作を説明するための模式図である。 ｌ・・・・・・カメラ、２・・・・・・Ａ／ＩＪ変換回
路％ ３・・・・・・画像メモリ回路、４・・・・・・
平滑化回路、５・・・・・・画像微分回路、６・・・・
・・エツジ検出沖」路、７°゛°°パ工ノジ画像記憶１
す１路、８・・・・・・ラインデータ読込み回路、９・
・・・・・ラインデータ拡大回路、１０・・・・・ライ
ンデータ比較判定回路、ＩＩ・・・・・・比較回路、１
２・・・・・・ズレを算出回路、９・・・・・・映像信
号、ｂ・・・・・・デジタル映傳゛信号、Ｃ・・・・・
・画像データ、ｄ・・・・・・平滑化画像データ、ｅ・
・・・・・微分画像データ、ｆ・・・・・・微分ピーク
画像、ｇ・・・・・・エツジ画像、ｈ・・・・・・エツ
ジラインデータ、ｉ・・・・・・拡大フィンデータ、ｊ
・・・・・・比較ラインデータ、ｋ・・・・・・横用位
置、１・・・・・・検査結果、ｍ・・・・・・ズレ景。 代理人 弁理士 内 原 音 ａ、ザ葎侶号 Δ＋＋Ｂ（Ｃ）泳介ノ画チータ 第 ２ 図 イ く 華 ４ ＜１２−） 下クヤｔイ堕、イβＦ ；、８、）才ムにうＡシブニブ ＬＣ）ｋｔ唖ト４−ラインテニグ ｄ２ノく−ｔｒＪ場ミよｎｌ ぶしｌ溌〒テーダ ｆ）Ｈヒ之ヒＡ止３ｔ Ｇσ
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （Ａ）被検査微小チップ部品を撮像したカメラからの映
像信号をデジタルに変換するＡ／Ｄ変換回路、 （Ｂ）前記デジタルデータを記憶する画像メモリ回路、 （Ｃ）前記画像データのノイズを除去する平滑化回路、 （Ｄ）前記平滑化回路を通した濃淡画像の濃淡値の垂直
及び水平方向の変化状態を算出する微分回路、 （Ｅ）前記微分回路を通した微分画像の垂直及び水平方
向の微分値極大・極小点を検出するエッジ検出回路、 （Ｆ）前記検出したエッジの分布の画像を記憶するエッ
ジ画像記憶回路、 （Ｇ）前記エッジ画像データを垂直及び水平方向に一ラ
イン分読み出すラインデータ読込み回路、（Ｈ）前記読
み込んだラインデータを前後にシフトさせ、それらのデ
ータを足しこむラインデータ拡大回路、 （Ｉ）前記拡大したラインデータを複数本比較し、最も
共通している値を取り出すラインデータ比較判定回路、 （Ｇ）前記重ね合せにより論理判定したラインデータと
設計基準データとを比較する比較回路、（Ｋ）前記比較
した結果により被検査物のズレ量を算出するズレ量算出
回路、 とを含むことを特徴とする検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63093040A JPH01263882A (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | 検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP63093040A JPH01263882A (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | 検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH01263882A true JPH01263882A (ja) | 1989-10-20 |
Family
ID=14071386
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63093040A Pending JPH01263882A (ja) | 1988-04-15 | 1988-04-15 | 検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH01263882A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011033575A (ja) * | 2009-08-05 | 2011-02-17 | Mitsubishi Electric Corp | 部材の位置認識装置、位置決め装置、接合装置および部材の接合方法 |
-
1988
- 1988-04-15 JP JP63093040A patent/JPH01263882A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2011033575A (ja) * | 2009-08-05 | 2011-02-17 | Mitsubishi Electric Corp | 部材の位置認識装置、位置決め装置、接合装置および部材の接合方法 |
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