JPH0242671B2 - - Google Patents
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- JPH0242671B2 JPH0242671B2 JP56108721A JP10872181A JPH0242671B2 JP H0242671 B2 JPH0242671 B2 JP H0242671B2 JP 56108721 A JP56108721 A JP 56108721A JP 10872181 A JP10872181 A JP 10872181A JP H0242671 B2 JPH0242671 B2 JP H0242671B2
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- JP
- Japan
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- substrate
- grooves
- recording
- recording head
- ink
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1601—Production of bubble jet print heads
- B41J2/1604—Production of bubble jet print heads of the edge shooter type
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/135—Nozzles
- B41J2/16—Production of nozzles
- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1623—Manufacturing processes bonding and adhesion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1626—Manufacturing processes etching
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
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- B41J2/1621—Manufacturing processes
- B41J2/1637—Manufacturing processes molding
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
- Ink Jet (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、記録ヘツド、詳しくはインクジエツ
ト方式の記録ヘツドに関する。
ト方式の記録ヘツドに関する。
ノンインパクト記録法、中でも所謂インクジエ
ツト記録法は記録時の騒音がほとんどないこと、
高速記録が可能なこと、或いは普通紙上に特定な
定着処理を必要とせずに記録が行なえること等、
多大な利点を有しているので最近活発に研究開発
が行なわれている。
ツト記録法は記録時の騒音がほとんどないこと、
高速記録が可能なこと、或いは普通紙上に特定な
定着処理を必要とせずに記録が行なえること等、
多大な利点を有しているので最近活発に研究開発
が行なわれている。
この記録法では噴射用液体として、一般にイン
クと称される記録液体が用いられる。一方、この
記録法の実施装置としては、上記の記録液体を吐
出させ、液滴として飛翔させる為の吐出口と記録
液体が流入する為の流入口とを有する記録ヘツド
が使用される。そして該記録ヘツドには、液滴の
吐出原理の差異に基づいて種々のタイプのものが
ある。
クと称される記録液体が用いられる。一方、この
記録法の実施装置としては、上記の記録液体を吐
出させ、液滴として飛翔させる為の吐出口と記録
液体が流入する為の流入口とを有する記録ヘツド
が使用される。そして該記録ヘツドには、液滴の
吐出原理の差異に基づいて種々のタイプのものが
ある。
例えば、外部に設けられたインクの供給タンク
からノズル状の室内へ加圧されたインクを供給し
(圧力のみでは吐出口から吐出しない程度に加圧
されている)、室内のインクと、吐出オリフイス
前方に設置されている電極との間に電圧印加し、
静電的にインクを吐出オリフイスから吐出させる
ものである。
からノズル状の室内へ加圧されたインクを供給し
(圧力のみでは吐出口から吐出しない程度に加圧
されている)、室内のインクと、吐出オリフイス
前方に設置されている電極との間に電圧印加し、
静電的にインクを吐出オリフイスから吐出させる
ものである。
このタイプの記録ヘツドは、構造は単純である
が、システム全体としての構成が複雑で、インク
滴の発生及びその飛翔方向の電気的制御に高度な
技術及び精度が要求されるという欠点がある。そ
して更に高速記録化には不可欠な記録ヘツドのマ
ルチノズル化が困難であるという欠点もある。
が、システム全体としての構成が複雑で、インク
滴の発生及びその飛翔方向の電気的制御に高度な
技術及び精度が要求されるという欠点がある。そ
して更に高速記録化には不可欠な記録ヘツドのマ
ルチノズル化が困難であるという欠点もある。
或いは、別のタイプの記録ヘツドとしては、機
械的振動法によつてインクを小滴にして吐出さ
せ、その小滴を飛翔させるものもある。即ち、こ
のタイプのものは、インクが供給される液室の容
積をピエゾ振動素子の機械的振動によつて周期的
に変化させ、これによりインクを吐出させるもの
である。その具体的方法は、USP3747120、
IEEE Transactions on Industry Applications
Vol.IA−13、No.1、January/February1977等
に開示されている。
械的振動法によつてインクを小滴にして吐出さ
せ、その小滴を飛翔させるものもある。即ち、こ
のタイプのものは、インクが供給される液室の容
積をピエゾ振動素子の機械的振動によつて周期的
に変化させ、これによりインクを吐出させるもの
である。その具体的方法は、USP3747120、
IEEE Transactions on Industry Applications
Vol.IA−13、No.1、January/February1977等
に開示されている。
この様な記録ヘツドは、システム全体の構造は
極めて単純である。しかし、ピエゾ振動素子の機
械的振動で液滴を発生する為に、高速記録に於け
る応答性に難点がある事、又液室の形成、ピエゾ
振動素子の設置等加工上に問題がある事及び小型
化及び高密度に集合することが難しい事等の理由
から、液体噴射ノズルのマルチ化が極めて困難で
あつて高速記録用装置にすることが難しい。
極めて単純である。しかし、ピエゾ振動素子の機
械的振動で液滴を発生する為に、高速記録に於け
る応答性に難点がある事、又液室の形成、ピエゾ
振動素子の設置等加工上に問題がある事及び小型
化及び高密度に集合することが難しい事等の理由
から、液体噴射ノズルのマルチ化が極めて困難で
あつて高速記録用装置にすることが難しい。
この様に従来の記録ヘツドの多くのものは、構
造上、加工上、高速記録化上、更にはシステム全
体の構成上等の点に於いて、解決されるべき問題
点を有している。
造上、加工上、高速記録化上、更にはシステム全
体の構成上等の点に於いて、解決されるべき問題
点を有している。
又、マルチノズル型記録ヘツドの場合は、各構
成要素が均質であることを要求されるから、それ
を歩止まり良く製造することは容易でない。特
に、各構成要素自体が微細、且つ、精密である記
録ヘツドをマルチアレイとする場合には、より一
層の製造技術的困難さを伴なうものである。
成要素が均質であることを要求されるから、それ
を歩止まり良く製造することは容易でない。特
に、各構成要素自体が微細、且つ、精密である記
録ヘツドをマルチアレイとする場合には、より一
層の製造技術的困難さを伴なうものである。
斯かる実情に鑑み、本発明に於ては、叙上の技
術的課題を満足させる液滴噴射式記録ヘツドを提
供すること、換言すれば、簡略な手法で、且つ、
確実に得ることができ、高精度の液滴噴射式マル
チノズル型記録ヘツドを提供することを主たる目
的とする。
術的課題を満足させる液滴噴射式記録ヘツドを提
供すること、換言すれば、簡略な手法で、且つ、
確実に得ることができ、高精度の液滴噴射式マル
チノズル型記録ヘツドを提供することを主たる目
的とする。
又、本発明では、高速度で、良品位の記録を可
能にする液滴噴射式マルチノズル型記録ヘツドで
あつて歩止まり良く、大量生産するのに適した新
規な記録ヘツドを提供することを他の目的とす
る。
能にする液滴噴射式マルチノズル型記録ヘツドで
あつて歩止まり良く、大量生産するのに適した新
規な記録ヘツドを提供することを他の目的とす
る。
而して、叙上の目的を達成する本発明とは、複
数の発熱素子を有する第1の基板と、複数の溝を
一方の面に有し複数の発熱素子を他方の面に有す
る第2の基板と、複数の溝を有する第3の基板
と、を有し、前記第1の基板の複数の発熱素子の
夫々と前記第2の基板の複数の溝の夫々とが対応
する様に前記第1の基板と前記第2の基板とが接
合され前記第2の基板の複数の溝によつて第1の
通路群が形成されており、前記第2の基板の複数
の発熱素子の夫々と前記第3の基板の複数の溝の
夫々とが対応する様に前記第2の基板と前記第3
の基板とが接合され前記第3の基板の複数の溝に
よつて第2の通路群が形成されていることを特徴
とする記録ヘツドである。
数の発熱素子を有する第1の基板と、複数の溝を
一方の面に有し複数の発熱素子を他方の面に有す
る第2の基板と、複数の溝を有する第3の基板
と、を有し、前記第1の基板の複数の発熱素子の
夫々と前記第2の基板の複数の溝の夫々とが対応
する様に前記第1の基板と前記第2の基板とが接
合され前記第2の基板の複数の溝によつて第1の
通路群が形成されており、前記第2の基板の複数
の発熱素子の夫々と前記第3の基板の複数の溝の
夫々とが対応する様に前記第2の基板と前記第3
の基板とが接合され前記第3の基板の複数の溝に
よつて第2の通路群が形成されていることを特徴
とする記録ヘツドである。
以下、図面を用いた実施例によつて本発明を詳
説する。先ず、記録液の液滴を形成するために利
用される熱エネルギーを発生する第1図に示す発
熱素子2を所定数配置して成る基板1を下記の要
領で作成する。
説する。先ず、記録液の液滴を形成するために利
用される熱エネルギーを発生する第1図に示す発
熱素子2を所定数配置して成る基板1を下記の要
領で作成する。
基板1としてガラス基板(厚さ0.7mm)を用い、
その上にZrB2から成る発熱抵抗層(厚さ800Å)
及びアルミニウムから成る電極層(厚さ5000Åを
形成した後、選択エツチングにより巾30μm長さ
100μmの発熱素子2を125μmの間隔で複数個形
成すると共に、夫々の電極リード3a及び3bを
形成する。更に電極層及び発熱抵抗層の上には
SiO2から成る保護層(厚さ1μ)が積層された。
その上にZrB2から成る発熱抵抗層(厚さ800Å)
及びアルミニウムから成る電極層(厚さ5000Åを
形成した後、選択エツチングにより巾30μm長さ
100μmの発熱素子2を125μmの間隔で複数個形
成すると共に、夫々の電極リード3a及び3bを
形成する。更に電極層及び発熱抵抗層の上には
SiO2から成る保護層(厚さ1μ)が積層された。
次に、第2図に示す様に、これとは別の基板4
としてガラス板(厚さ0.2mm)を用いそのガラス
板の片面に複数本の溝5(巾80μm深さ70μm)
をマイクロカツターを用いて切削形成する。その
基板4の溝5が形成されているのと反対側の表面
に、基板1の場合と同様にして発熱素子2及びそ
の電極リード3a,3bを複数個、基板1のそれ
と等間隔に形成した。このとき、発熱素子2およ
び電極リード3a,3bの溝方向の中心線は基板
4の他面に形成した2つの溝の中央に位置するよ
うにした。このようにして作成した溝つきの基板
4を基板1の上に、基板1の上の発熱素子2と基
板4の溝5との位置合せをした上で接合する。更
に、別の基板6としてガラス板(厚さ0.2mm)に
基板4の場合と同様に複数本の溝5を基板4上の
発熱素子2と同じ間隔で形成し、基板4の上に位
置合わせをして接合する。このようにして、2列
にジグザグ配列した吐出口7を含むノズルブロツ
クを作成し、更に各溝列毎に吐出口7とは反対側
の後方に共通の液室(不図示)を設け、また各電
極リード3a,3bを所定のリード基板に接続さ
せた。このようにして製作した記録ヘツドを、吐
出口7の並んだ列方向に対して直角方向に記録ヘ
ツドが走引されるように記録装置のキヤリツジに
取り付け、インクを供給しながら画像記録試験を
行なつた。実験条件として、各発熱素子2に加え
る電気条件を(印加パルス巾、10μsec;パルス周
波数、10KHz)として、記録ヘツドの2列の吐出
口7列のうち、ヘツドの走引方向側を第1列、も
う一方を第2列とすると第1列の吐出口7に対応
する発熱素子2に与える信号電圧パルスは、第2
列のそれに対して320μsecだけタイミングを遅ら
せて駆動させた。走引速度は、約63cm/secとし
て画像記録したところ、従来は、記録ヘツドの製
造技術から非常に困難とされていた16ドツト/mm
のち密で鮮明なインクドツト像を高速で記録する
ことができた。
としてガラス板(厚さ0.2mm)を用いそのガラス
板の片面に複数本の溝5(巾80μm深さ70μm)
をマイクロカツターを用いて切削形成する。その
基板4の溝5が形成されているのと反対側の表面
に、基板1の場合と同様にして発熱素子2及びそ
の電極リード3a,3bを複数個、基板1のそれ
と等間隔に形成した。このとき、発熱素子2およ
び電極リード3a,3bの溝方向の中心線は基板
4の他面に形成した2つの溝の中央に位置するよ
うにした。このようにして作成した溝つきの基板
4を基板1の上に、基板1の上の発熱素子2と基
板4の溝5との位置合せをした上で接合する。更
に、別の基板6としてガラス板(厚さ0.2mm)に
基板4の場合と同様に複数本の溝5を基板4上の
発熱素子2と同じ間隔で形成し、基板4の上に位
置合わせをして接合する。このようにして、2列
にジグザグ配列した吐出口7を含むノズルブロツ
クを作成し、更に各溝列毎に吐出口7とは反対側
の後方に共通の液室(不図示)を設け、また各電
極リード3a,3bを所定のリード基板に接続さ
せた。このようにして製作した記録ヘツドを、吐
出口7の並んだ列方向に対して直角方向に記録ヘ
ツドが走引されるように記録装置のキヤリツジに
取り付け、インクを供給しながら画像記録試験を
行なつた。実験条件として、各発熱素子2に加え
る電気条件を(印加パルス巾、10μsec;パルス周
波数、10KHz)として、記録ヘツドの2列の吐出
口7列のうち、ヘツドの走引方向側を第1列、も
う一方を第2列とすると第1列の吐出口7に対応
する発熱素子2に与える信号電圧パルスは、第2
列のそれに対して320μsecだけタイミングを遅ら
せて駆動させた。走引速度は、約63cm/secとし
て画像記録したところ、従来は、記録ヘツドの製
造技術から非常に困難とされていた16ドツト/mm
のち密で鮮明なインクドツト像を高速で記録する
ことができた。
尚、図示されていないが、叙上の実施例の途中
に於て、基板4と同様の基板を所望に応じて複
数、積層する様にすれば、3列以上の吐出口列を
備えた記録ヘツドを作成することもできる。
に於て、基板4と同様の基板を所望に応じて複
数、積層する様にすれば、3列以上の吐出口列を
備えた記録ヘツドを作成することもできる。
又、本発明により得られる記録ヘツドとして
は、実施例の様に吐出口がジグザグ配列したもの
だけに限られず、各吐出口列に於て吐出口の設定
位置及びピツチが合致している構成のものとする
こともできる。
は、実施例の様に吐出口がジグザグ配列したもの
だけに限られず、各吐出口列に於て吐出口の設定
位置及びピツチが合致している構成のものとする
こともできる。
更に、上記実施例で用いた各基板の素材として
は、ガラスのみに限る必要はなく、その他、セラ
ミツク、シリコン、金属、プラスチツクであつて
も良い。但し、透明なガラスは目視観察による上
下の発熱素子および溝の位置合せを行なうのに都
合がよい。
は、ガラスのみに限る必要はなく、その他、セラ
ミツク、シリコン、金属、プラスチツクであつて
も良い。但し、透明なガラスは目視観察による上
下の発熱素子および溝の位置合せを行なうのに都
合がよい。
発熱抵抗層、電極層および保護層は、蒸着ある
いはスパツタ等による薄膜形成とフオト・エツチ
ングによる形状パターニングによつて製造する
か、または、厚膜印刷、焼成のくり返しによつて
も製造される。
いはスパツタ等による薄膜形成とフオト・エツチ
ングによる形状パターニングによつて製造する
か、または、厚膜印刷、焼成のくり返しによつて
も製造される。
前記試験は、ち密なインクドツト像を鮮明に高
速で記録することに、本発明により得た記録ヘツ
ドを適用したものであるが、本発明による2列以
上の吐出口列を有する記録ヘツドに就いては以下
のような用途例も挙げられる。即ち、2列に並ん
だマルチ配列の吐出口のうち、1列目と2列目を
交互に、あるいは間欠的に取り換えて使用するこ
ともできる。この場合は、発熱素子の寿命を2倍
或いはそれ以上に伸ばすことができる。また当
初、1列目の吐出口列のみを使用していて、発熱
素子の劣化或いは、吐出口の目詰りなどの不都合
が生じた時に、2列目を使用するという用途も可
能である。
速で記録することに、本発明により得た記録ヘツ
ドを適用したものであるが、本発明による2列以
上の吐出口列を有する記録ヘツドに就いては以下
のような用途例も挙げられる。即ち、2列に並ん
だマルチ配列の吐出口のうち、1列目と2列目を
交互に、あるいは間欠的に取り換えて使用するこ
ともできる。この場合は、発熱素子の寿命を2倍
或いはそれ以上に伸ばすことができる。また当
初、1列目の吐出口列のみを使用していて、発熱
素子の劣化或いは、吐出口の目詰りなどの不都合
が生じた時に、2列目を使用するという用途も可
能である。
また他の応用例として、2色以上のインクによ
る多色記録に用いる例がある。即ち、吐出口列を
複数段に重ねた本発明による記録ヘツドに、それ
ぞれの吐出口列に異なつた色の記録インクを注入
し、同時に或いは、逐次それぞれの吐出口より異
色のインクを吐出させることにより多色の画像を
記録することができる。
る多色記録に用いる例がある。即ち、吐出口列を
複数段に重ねた本発明による記録ヘツドに、それ
ぞれの吐出口列に異なつた色の記録インクを注入
し、同時に或いは、逐次それぞれの吐出口より異
色のインクを吐出させることにより多色の画像を
記録することができる。
他の応用例として、いわゆるマトリツクス印字
による記録に応用することにより、一時に一文字
を記録できる高速記録ヘツドとして用いることが
できる。例えば、5×7ドツトのマトリツクスを
持つ印字を行なう為の記録ヘツドは、7セグメン
トの吐出口を持つ基板を5層に重ねて一体化して
得られる。この場合、各層間の吐出口中心の距離
が、目的とするマトリツクスのドツト間隔と正確
に等しく製作されていることが望まれ、その為に
は、各層基板の厚さを精密に製作することが必要
である。
による記録に応用することにより、一時に一文字
を記録できる高速記録ヘツドとして用いることが
できる。例えば、5×7ドツトのマトリツクスを
持つ印字を行なう為の記録ヘツドは、7セグメン
トの吐出口を持つ基板を5層に重ねて一体化して
得られる。この場合、各層間の吐出口中心の距離
が、目的とするマトリツクスのドツト間隔と正確
に等しく製作されていることが望まれ、その為に
は、各層基板の厚さを精密に製作することが必要
である。
以上の実施例に記述したように、本発明によ
り、多段マルチ配列した複数の吐出口を有する液
体噴射式記録ヘツドが容易に提供され、そのヘツ
ドにより、高速で高品質な画像記録を可能にする
と共に、記録ヘツドの耐久寿命が延長し、多色画
像記録や高速マトリツクス印字が容易に実施でき
る等の諸効果が得られるものである。特に本発明
によれば、従来の様な単なる複数のヘツドの組み
合わせでは避けられなかつた、構造の複雑さによ
る各ヘツド間の間隙等から生じる精度上の不都合
を取り除くことができるので、緻密で良品位の像
を高速で記録することができる記録ヘツドを得る
ことができる。
り、多段マルチ配列した複数の吐出口を有する液
体噴射式記録ヘツドが容易に提供され、そのヘツ
ドにより、高速で高品質な画像記録を可能にする
と共に、記録ヘツドの耐久寿命が延長し、多色画
像記録や高速マトリツクス印字が容易に実施でき
る等の諸効果が得られるものである。特に本発明
によれば、従来の様な単なる複数のヘツドの組み
合わせでは避けられなかつた、構造の複雑さによ
る各ヘツド間の間隙等から生じる精度上の不都合
を取り除くことができるので、緻密で良品位の像
を高速で記録することができる記録ヘツドを得る
ことができる。
第1図、第2図は夫々、本発明の一実施例の説
明図である。 図に於て、1,4,6は基板、2は発熱素子、
3a,3bは電極リード、5は溝、7は吐出口で
ある。
明図である。 図に於て、1,4,6は基板、2は発熱素子、
3a,3bは電極リード、5は溝、7は吐出口で
ある。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 複数の発熱素子を有する第1の基板と、複数
の溝を一方の面に有し複数の発熱素子を他方の面
に有する第2の基板と、複数の溝を有する第3の
基板と、を有し、前記第1の基板の複数の発熱素
子の夫々と前記第2の基板の複数の溝の夫々とが
対応する様に前記第1の基板と前記第2の基板と
が接合され前記第2の基板の複数の溝によつて第
1の通路群が形成されており、前記第2の基板の
複数の発熱素子の夫々と前記第3の基板の複数の
溝の夫々とが対応する様に前記第2の基板と前記
第3の基板とが接合され前記第3の基板の複数の
溝によつて第2の通路群が形成されていることを
特徴とする記録ヘツド。 2 前記発熱素子は、インクの液滴を形成するた
めに利用される熱エネルギーを発生するものであ
る、特許請求の範囲第1項に記載の記録ヘツド。 3 前記第1の通路群に注入され得るインクの色
調と前記第2の通路群に注入され得るインクの色
調とが異なる、特許請求の範囲第1項に記載の記
録ヘツド。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10872181A JPS5811168A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 記録ヘッド |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10872181A JPS5811168A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 記録ヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5811168A JPS5811168A (ja) | 1983-01-21 |
| JPH0242671B2 true JPH0242671B2 (ja) | 1990-09-25 |
Family
ID=14491869
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10872181A Granted JPS5811168A (ja) | 1981-07-10 | 1981-07-10 | 記録ヘッド |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5811168A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4528577A (en) * | 1982-11-23 | 1985-07-09 | Hewlett-Packard Co. | Ink jet orifice plate having integral separators |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5459936A (en) * | 1977-10-03 | 1979-05-15 | Canon Inc | Recording method and device therefor |
| JPS55129472A (en) * | 1979-03-29 | 1980-10-07 | Canon Inc | Method of adhesion |
| JPS55135673A (en) * | 1979-04-11 | 1980-10-22 | Canon Inc | Recording device |
| JPS55150376A (en) * | 1979-05-14 | 1980-11-22 | Canon Inc | Liquid ejection recording head |
-
1981
- 1981-07-10 JP JP10872181A patent/JPS5811168A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5811168A (ja) | 1983-01-21 |
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