JPH0242778A - レーザ共振装置 - Google Patents

レーザ共振装置

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JPH0242778A
JPH0242778A JP1081318A JP8131889A JPH0242778A JP H0242778 A JPH0242778 A JP H0242778A JP 1081318 A JP1081318 A JP 1081318A JP 8131889 A JP8131889 A JP 8131889A JP H0242778 A JPH0242778 A JP H0242778A
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radiation
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Dirk J Kuizenga
ダーク・ジェイ・クイゼンガ
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 [発明の目的] 〈産業上の利用分野〉 本発明は、キャビティ内光学手段を用いてレーザ放射の
非線形光学製品の効率的な製造に関する。
〈従来の技術〉 結晶または他の類似手段等の非線形媒体を用いた光学的
二次高調波発生(rsHGJ )によって、レーザまた
は他の高輝度発生源によって放射される電磁放射の周波
数を2倍にし、または−船釣にN次高調波の電磁放射を
発生させるための方法が提供される。非線形媒体に於け
る他の交互作用によれば、和及び差の周波数発生、パラ
メータ増幅、または誘導ラマン散乱のような関連現象に
よって新しい波長の光を発生させることができる。波長
が概ね3470人の光を発生するルビーレーザを用いた
二次高調波発生については、1961年発行のフィズ・
レブ・レターズ(Phys、 Rev、 LeLLer
s)7118に於てフランケン(Franken)、ヒ
ル(11311) 、ピーターズ(Peters)及び
ウニインレイク(Weinrelch )によって最初
の報告が行なわれた。キャビティ内SHGの理論につい
ては、1970年発行の1. E、 E、  E、ジャ
ーナル・オブ・クラオンタム・エレクトリシティ (J
our、 ofQuan Lum旧ectr、) Q 
E −6に於てアール・ジー・スミス(R,G、 Sm
1Lh)及びその他多くによって論議されている。19
63年発行のリブ・モダン・フィジックス(Rev、 
Mod、 Phys、)に於て、フランケン(Pran
ken )及びワルド(Ward)が、最低次非線形偏
光項 P(2)=Σ1.j−t d’jE+ Ej(E
i =放射源電界のi次成分)に於て二次偏光テンソル
alJが0にならないように結晶媒体が反転対称性を持
たない場合のみ、該結晶媒体によって入射する放射の周
波数の二次高調波を発生させることができることを述べ
ている。結晶媒体が反転対称性を有する場合には、最低
次非線形偏光によって電界の強さが三次になり、かつこ
の結晶媒体によって初期周波数の三次高調波またはそれ
以上の高調波のみが発生する。高調波のビームまたはパ
ラメータ発生はLI Nb 03 、Ba2Na(Nb
O3)5 、Ll 03 、KDP、KTI 0PO4
及びKx Rb1−xTI 0PO4のような結晶に於
て実証された。SHGの実証に使用されたレーザ線には
波長λ=0.946μm、1.064μm及び1゜3+
318tzm(Nd   、YAG)及びλ=0.69
4μm(ルビー)が含まれる。
〈発明が解決しようとする課題〉 本発明の目的は、アクティブレーザ媒体を収容する光共
振器内に配置された非線形結晶または他の変換手段を用
いて、アクティブレーザ媒体によって放射される放射が
像に関して変換手段の隣接面またはアクティブ空間内部
に中継されるように構成することによって、光学波長の
光または放射を発生させるキャビティ内手段を提供する
ことにある。
本発明の他の目的及び利点は、以下の説明及び添付図面
から明らかである。
[発明の構成] 〈課題を解決するための手段〉 上述の目的を達成するために、本発明による実施例は、
光共振器と、該共振器内に互いに隣接して配置されたア
クティブレーザ媒体及び非線形SHG結晶または他の変
換手段と、前記光共振器からSHG放射の除去を容易に
する波長選択型接続手段と、前記光共振器内に配置され
て前記アクティブレーザ媒体によって放射される電磁放
射を実質的に前記変換手段に指向させる光学的結像手段
とを備える。
〈実施例〉 以下に添付の図面を参照して本考案を特定の実施例につ
いて詳細に説明する。
第1図に概略図示されるように、高出力レーザのための
一般的な共振装置はキャビティ内SHG結晶NLC,2
個または3個のミラーMl 、M2(及びM3)、アク
ティブレーザ媒体LM、及び光共振器から二次高調波放
射を除去するための除去手段RMを備える。第1図に於
て、前記共振装置は結晶NLCを通過して両方向に進行
する高調波ビームによって共振状態を実現するために、
出力ミラーM2の位置で運転角度θ(0くθ〈π)でL
字形に折り返されている。また、このような構成によっ
て、通常高調波波長で吸収する高調波ビームがレーザ媒
体を通過することが防止される。
第1図には、共振器NLCをQスイッチするためのスイ
ッチ手段QS (任意)が更に図示されている。
一般的な高出力レーザ媒体には、光学的利得を与えると
いう役割に加えて非励振レンズ要素として機能するNd
:YAG (ネオジウム:イツトリウム・アルミニウム
・ガーネット)がある。Nd:YAGの有効焦点距離は
ロッド内に熱的に引き起こされた歪みの空間分布により
決定され、かっこの歪みはアーク灯から吸収される出力
によって決定される。この出力吸収を変更させるアーク
灯のハウジングの反射率や寿命のような全ゆる要因によ
ってレーザロッドの有効焦点距離を変化させることがで
きる。別の実施例では、焦点調節のためでなく光学モー
ドの制御に使用するために、共振装置がレーザロッド内
に熱的に発生した陰レンズに加えて陽レンズを備えてい
る。このような共振装置が第2図に示されている。
共振装置内の様々な面に於けるスポットサイズは通常の
技術によって計算することができる。SHG結晶上のマ
ルチモードスポットサイズは各ミラー及びレンズの関連
する全ての距離及び光学的出力によって決定されること
がわかる。スポットサイズがロッドの有効焦点距離に従
属することは、それが共振器が「安定」状態で機能する
ためのアーク灯から人力する出力の許容範囲を決定する
ので特に重要である。これに関連する安定性とは、技術
的な意味に於て共振装置を通過する光線が一周した後に
再び同じ光路を辿るということである。
この安定性を実証するための方法に、有効焦点距離対マ
ルチモードスポットサイズをプロットすることがあり、
この曲線が第3図の下側に示されている。第3図の上側
の曲線は、共振装置に於て機能するより高次モードの数
を示している。スポットサイズが意味のある変化をしな
い有効焦点距離の範囲内で共振装置の「品質」が測られ
る。安定範囲の端付近の有効焦点距離の値についてはス
ポットサイズがより小さくなり得ることに注意すべきで
ある。このような小さいスポットサイズで共振装置を動
作させた場合には、直径の2乗に反比例して出力密度が
増加するので、キャビティ内SHG結晶を損傷する可能
性が非常に高くなる。この型式の共振装置は、ビームウ
ェイストの寸法及び位置の双方が有効焦点距離の変化と
共に変化する。従って、出力密度の制御はせいぜい制限
された範囲内でしか行なうことができない。
Nd:YAGのようなレーザ媒体が受は入れられると、
次に以下のような過程で進めることが好ましい。レーザ
電力供給源を結晶に接続し、かつ電流の出力を変化させ
て該結晶からの二次高調波出力成分、より一般的にはN
1高調波出力成分を最大にするようにポンピングランプ
電流値を決定する。よく使用されるNd:Y A Gロ
ッドは直径が4mmで長さが7911II11であり、
かつ原子百分率1.1のネオジウム(Nd )が添加さ
れている。このようなレーザロッドの場合、ランプに人
力される2゜6〜3.6kWの電力に対応して26〜3
6Aの電流によって通常最大SHG出力成分が得られる
この電流値の両側では第26図に示すように、SHG出
力が減少する。この最適電流を選択した場合、Nd:Y
AGロッドの有効焦点距離は通常18〜21cmであり
、ランプ電流を増大させると通常逆に有効焦点距離が短
くなる。しかしながら、第3図に示すように、有効焦点
距離が約18cm以下に減少すると、マルチモードスポ
ットサイズ即ちビーム半径が急激に減少する。実際は、
Nd:YAGロッドの寸法を上述したように設定するの
で、有効焦点距離は概ね18〜36cmの範囲内にある
ことが好ましい。これらの数値(任意のランプ電流、有
効焦点距離の好ましい範囲)は結晶を製造するために使
用される材料及び寸法によって変化する。しかし、品質
上の効果は上述の従来技術で言及した希土ドープ結晶や
様々な結晶のような他のレーザ結晶と同様である。
本発明の中心は、SHG結晶におけるスポットサイズを
ロッドの有効焦点距離によって変化しない固定された幾
何学的要素に関連づけるように共振装置内部の結像装置
またはリレー装置を使用できることにある。例えば、レ
ーザロッドとSHG結晶とを倍率mで結像装置の共役平
面上に配置した場合、結晶に於けるマルチモードスポッ
トサイズがNd:YAGロッドの有効口径に対して1/
N倍小さい値で実質的に一定となるように共振装置を設
計することができる。
最も簡単な結像装置は、第4図に示すように、周知のレ
ンズ方程式 %式% によって共役平面が郭定される1個のレンズしてある。
ここで、fは焦点距離であり、かつdl及びd2はレン
ズLから軸上の光源及び像までの距離である。この装置
の共役平面間に於けるABCDマトリックスまたは光線
マトリックスはである。0以外のオフダイヤゴナル要素
の存在によって、この簡単な結像装置による変形では位
相が維持されないと思われる。実際、光分布の大きさの
みが共役平面間で倍率mで中継される。実際に単一のレ
ンズからなる結像装置を用いて設計した場合には、共振
装置の安定領域がNd:YAGの有効焦点距離の比較的
短い範囲のみについて存在し、かつこのようなレーザを
光フアイバ通信システムに接続することを困難にする非
常に高次のモードが存在しないならば、マルチモードス
ポットサイズが全く一定であることがわかる。
別の結像装置またはリレー装置は、第5図に示されるよ
うに軸線方向に向けられた2個のレンズからなるケプラ
ー型ビーム拡大器であり、このリレー装置を用いた共振
装置が第6図に示されている。このリレー装置は、入力
端共役平面に於ける全ゆる光分布の大きさ及び位相の双
方を倍率mで出力側共役平面に中継するという興味ある
特性を有する。完全な光線マトリックスの分析について
は、参考文献として1985年発行のホルト(ll。
IL)、ラインハルト(Rlnehart)及びウィン
ストン(WInsLon)によるエイ・ヤリブ、オプテ
ィカルφエレクトロニクス(A、 Yarlv、 0p
Lical EIecLronlcs )の第3版第1
7〜22頁に記載された分析を参照すべきである。第5
図の構成を光線マトリックスで表わすと、第5図に於け
る一方の平面P1に於ける光線の光線記述子r1及びu
l=(dr/dz)Lと、共役平面P2に於ける。光線
の光線記述子r2及びu2 = (d r/dz)2と
の関係に於て となる。
次の場合にのみオフダイアゴナル類及びCが0になりか
つ位相を維持することができる。即ち、fl 2/ (
fl  −di ) +f22/ (f2−d2)=0
           ・・・(2)または mdi +d2 /m=fl +f2   − (2°
)m=f2 /fl            −= (
3°)であり、ダイアゴナル類は、 A= −f 2 / f l = −m       
−(4)D=−fl /f2 =1/A=−1/m−(
5)となる。量m = f 2 / f lは装置の倍
率を表わし、かつ式(1)の2個のダイアゴナル類に於
ける負の記号は像が反転していることを表わす。
実際の装置に於ける一般的な数値は、f1=10cmS
f 2 = 25cm、及びm=f2/fl=2゜5で
ある。有効直径3.6mmのNd:YAGロッドについ
てSHG結晶のスポット直径は3. 6mm/2.5=
1.44mmである。
この2レンズリレー装置を用いて実際に設計すると、単
一のレンズからなるリレー装置と比較して安定な動作に
ついてより良いロッドの有効焦点距離範囲が得られる。
典型的な安定性のグラフが第7図に示されている。共振
装置を完全に分析することによって、」二連した一定の
マルチモードスポットサイズに関する理論が確認され、
かっこのような一定のスポット特性を有する共振装置に
よって、概ね不安定な動作の結果によりスポットサイズ
が非常に小さくなりかつ出力密度が高くなる虞れが排除
される。一般に、リレー装置の共役平面の一方にSHG
結晶を配置すると、それは共振装置のビームウェイスト
とは一致しないことに注意すべきである。
2個のレンズを用いて構成するためには透過光学を使用
する必要がなく、反射光学を使用することができ、かつ
このような共振装置の1構成例が第8図に示されている
また、2レンズリレー装置は適用の仕方によって決定さ
れる最後のスポット位置に一定のスポットサイズのビー
ムをレーザから運ぶために有効に利用することができる
。このような適用の仕方としては、レーザ発生高調波の
光ファイバへのラウンチングがある。このような装置が
第9図に概略的に図示されている。ここで、リレー設計
の概念は、Nd:YAGの端部と等価の平面が出力ビー
ム内に存在することを理解することから始まる。この等
価平面はレンズL2から距離d2をもって離隔され、か
つ波長選択型ビームスプリッタによって折り返されてい
る。等価平面に於けるマルチモードスポットサイズ゛は
YAG自体のスポットサイズと同一である。
この実質的に一定のスポットサイズを空間的に与えるこ
とによって、2レンズリレー装置の同じリレー特性を使
用してスポットの拡大版または縮小版を空間的に関連す
る位置に、即ち光アアイバの人口端部に移すことができ
る。第9図は、このような出力接続リレー装置を示して
おり、共役平面がレーザ媒体等価平面及び光ファイバの
人力部と一致するように配置されたレンズL3及びL4
を備える。また第9図は光共振器から二次高調波成分を
除去するために使用される除去手段RMを示している。
この除去手段RMは、波長λの光を透過しかつ波長λ/
2の光を反射する二色性ミラーとすることができる。
再び、第9図に示される両リレー装置の共役平面は、一
般にリレー装置に於けるガウスのビームウェイストと一
致する必要がないことに注意すべきである。特定の位置
に於ける平坦な波面が特別な実施例にとって重要な場合
には、波面の曲率を修正するために追加のレンズが必要
な場合を除いて同じ設計の原則が適用される。追加のレ
ンズは反射光学を使用する場合に必要である。送られた
ビームは球面状基板の光学的出力によって変形されるが
、いずれの場合にも以下のリレーの原則がそのまま設計
の原則に適用されている。
光共振器内に於ける光学リレーまたは/及び除去手段R
Mの相対的位置は置き換えることができ、かつ別の実施
例では第2ミラーまたは第3ミラーを除去手段として使
用することができる。通常線形である光共振器が3個の
ミラーではなく2個のミラーによって郭定される場合、
少なくとも4つの位置の異なる組合せを使用することが
できる。
第10図では、位置の順序が第1ミラーMl、レーザ媒
体LM、除去手段RM、非線形結晶または他の波長変換
手段NLC及び第2ミラーN2となっている。ここで、
除去手段RMは簡単化のために部分的に透過しかつ部分
的に反射するミラーとして図示されているが、他の型式
の除去手段RMを使用することができる。光学リレー手
段ORは簡単化のために1個のレンズとして図示されて
いるが、当然ながらより一般的な光学リレー手段ORを
使用することができる。第11図に示される二次線形の
実施例では、順序が第1ミラーM1、レーザ媒体LM、
光学リレー手段OR,除去手段RM、非線形結晶NLC
及び第2ミラーM2である。第12図に示される三次線
形の実施例では、順序が第1ミラーMl、レーザ媒体L
M、光学リレー手段OR1非線形結晶NLC,除去手段
RM及び第2ミラーM2である。第3図は第2図の実施
例と実質的に同じ構成であるが、除去手段及び第2ミラ
ーが一体化されてN2/RMと表示されている。第10
図乃至第13図の4つの実施例では、第2ミラーは平面
であるよりも球面状または曲線形状であることが好まし
い。
3個のミラーMl 、N2 、N3を用いて光共振器を
郭定する場合には、第14図乃至第25図に示されるよ
うに少なくとも12個の実施例が存在する。第14図に
於ける順序は第1ミラーM1、レーザ媒体LM、除去手
段RM、光学リレー手段OR,第2ミラーM2、非線形
結晶NLC及び第3ミラーM3である。第15図では、
順序が第1ミラーMl、レーザ媒体LM、除去手段RM
、第2ミラーM2、光学リレー手段OR1非線形結晶N
LC及び第3ミラーM3である。第16図は第4図の実
施例と実質的に同じであるが、除去手段RMと光学リレ
ー手段ORとの相対的位置が置き換えられている。第1
7図及び第18図は実質的に第14図及び第15図の実
施例と同じであるが、除去手段RM及び第3ミラーM3
が一体化されてN3 /RMとして表示されている。第
19図に於ける順序は、第1ミラーMl、レーザ媒体L
M、光学リレー手段OR,第2ミラーM2、除去手段R
M、非線形結晶NLC及び第3ミラーM3である。第2
0図に於ける順序は、第1ミラーM1、レーザ媒体LM
、第2ミラーM2、光学リレー手段OR1除去手段RM
、非線形結晶NLC及び第3ミラーM3である。第22
図に於ける順序は、第1ミラーMl、レーザ媒体LM、
光学リレー手段OR1第2ミラーM2、非線形結晶NL
C,除去手段RM及び第3ミラーM3である。第23図
に於ける順序は、第1ミラーMl 、レーザ媒体LM、
第2ミラーM2、光学リレー手段OR1非線形結晶NL
C1除去手段RM及び第3ミラーM3である。第24図
及び第25図に於ては、除去手段RMと第2ミラーM2
が一体化されてM2/RMで表示されている。第24図
に於ける順序は第1ミラーM1、レーザ媒体LM、光学
すレー手段OR1第2ミラー兼除去手段M2/RM、非
線形結晶NLC及び第3ミラーM3である。第25図に
於ける順序は、第1ミラーMl、レーザ媒体LM。
第2ミラー兼除去手段M2/RM、光学リレー手段OR
1非線形結晶NLC及び第3ミラーM3である。
第6図に関して、軸線AAに沿って光共振器内を第1ミ
ラーから光学リレー装置に向けて伝搬する波は平坦な波
面でない場合がある。このような波が光学リレー装置に
到達する前に他の光学要素を通過した場合に、該光学要
素の屈折力は該波に関連する全ての光線について同一で
はなく、前記光線が横切る光学要素の軸線上の面の位置
からの距離が変化する。この波が光学リレー手段に到達
する前に、(1)光学要素の間に介入させることによっ
て屈折率を変化させ、かつ(2)波面を平坦化させるよ
うに修正すべきである。
以上、本発明の好適実施例について図面を用いて説明し
たが、本発明の技術的範囲内に於て様々な変形・変更を
行なうことができる。特に、上述の説明では二次高調波
の発生について考察したが、同じ原理を三次またはそれ
以上の一般的にN次高調波を発生する結晶についても適
用することができる。例えば、反転中心を有するcdH
g(SCN)4のような結晶の場合には最低次非線形成
分として三次高調波光が発生する。
【図面の簡単な説明】
第1図は、光共振器内に光学モード制御用のレンズを有
しないL字形に折り返されたレーザ装置を示す概略図で
ある。 第2図は、光共振器内に光学モード制御用のレンズを有
するL字形に折り返されたレーザ装置を示す概略図であ
る。 第3図は、第1図に示されるような共振装置のマルチモ
ードスポットサイズ即ちビーム半径をNd:YAGロッ
ドであるレーザ媒体の有効焦点距離の関数として表わす
線図である。 第4図は、1個の薄いレンズLの理想的な焦点特性を示
す概略図である。 第5図は、光ビームに使用される2レンズリレー装置の
焦点調節特性を示す概略図である。 第6図は、2レンズ光学リレー装置を備えるレーザ共振
装置に於て該光学リレー装置のノ、(役平面を示す概略
図である。 第7図は、第5図に示すような2レンズ光学リレー装置
についてマルチモードスポットサイズを有効焦点距離の
関数として示す線図である。 第8図は、光学リレー装置に関する第1及び第2レンズ
として負の曲率を有する2個の湾曲中間ミラーM3 、
M4を用いた折返しレーザ共振装置を示す概略図である
。 第9図は、光共振器からの二次高調波成分を除去するた
めに使用される除去手段RM(二色性ミラーまたは類似
の手段)の位置の向う側に配置された2個のレンズを用
いた2レンズ光学リレー装置を有する本発明の線形レー
ザ共振装置を示す概略図である。 第10図乃至第13図は、それぞれ光学リレー装置OR
1除去手段RM及び線形結晶NLCの配列が異なる本発
明の線形光学共振装置を示す概略図である。 第14図乃至第25図は、それぞれ光学リレー装置OR
,除去手段RM及び非線形結晶NLCの配置が異なる本
発明による折返し光学共振装置を示す概略図である。 第26図は、本実施例に於てNd:YAGロッドである
レーザ媒体をボンピングするために供給されるランプ電
流の変化に対してKTl 0PO4(rKTPJ )の
ような代表二次高調波結晶からの二次高調波出力成分の
変化を示す線図である。 L、LL〜L4・・・レンズ LM・・・レーザ媒体  M1〜M3・・・ミラーNL
C・・・非線形結晶 OR・・・光学リレー装置QS・
・・スイッチ手段 RM・・・除去手段

Claims (23)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)所定の第1波長λ1の電磁放射について共振する
    光共振器と、 前記光共振器内に配置されて実質的に波長λ1の電磁放
    射ビームを発生するレーザ媒体と、前記光共振器内に前
    記アクティブレーザ媒体から所定の距離をもって離隔し
    て、前記アクティブレーザ媒体によって発生する実質的
    に波長λ1の放射を直接または間接に受けるようにかつ
    Nを所定の2以上の整数として実質的に波長λ1/Nの
    放射ビームを発生するように配置された非線形結晶また
    は他の波長変換手段と、 前記光共振器内の前記アクティブレーザ媒体と前記非線
    形結晶との間に配置されて、前記アクティブレーザ媒体
    からの所定の第1直径d1の放射ビームを受け、かつこ
    の放射を所定の第2直径d2のビームとして前記非線形
    結晶に中継するリレー手段と、 前記非線形結晶から実質的に波長λ1/Nの放射を直接
    または間接に受けるようにかつ少なくともこの放射の一
    部が前記光共振器から出るように、前記光共振器内に配
    置されまたはその一部を形成する除去手段とを備えるこ
    とを特徴とするレーザ共振装置。
  2. (2)前記光共振器が、前記波長λ1で強く反射する第
    1ミラーと、 0以外の所定の入射角θ2で前記第1ミラーから直接ま
    たは間接に放射を受けるようにかつこの放射を別の方向
    へ反射するように配置され、入射角θ2で入射する光を
    前記波長λ1で強く反射する第2ミラーと、 前記波長λ1及び前記波長λ1/Nに於ける放射を強く
    反射し、かつ前記第1ミラーから前記第2ミラーにより
    受けて反射される概ね垂直入射の放射を受けて反射する
    ように配置された第3ミラーとからなることを特徴とす
    る特許請求の範囲第1項に記載のレーザ共振装置。
  3. (3)前記レーザ媒体が前記波長λ1の放射に対して実
    質的に透過性を有し、かつ所定の割合で希土イオンをド
    ープした固体結晶であることを特徴とする特許請求の範
    囲第1項に記載のレーザ共振装置。
  4. (4)前記波長変換手段が、LiNbO3、Ba2Na
    (NbO3)5、LiO3、KDP、KTiOPO4及
    びKxRb1−xTiOPO4からなる群から選択され
    た結晶であることを特徴とする特許請求の範囲第1項に
    記載のレーザ共振装置。
  5. (5)前記除去手段が、前記レーザビームの光路に関し
    て所定の角度をなす向きに配置された二色性ミラーであ
    ることを特徴とする特許請求の範囲第2項に記載のレー
    ザ共振装置。
  6. (6)前記除去手段が前記第3ミラーとの間に前記第2
    ミラーが位置するように配置され、かつ前記第2ミラー
    が前記入射角θ2で入射する放射を前記波長λ1/Nで
    強く反射することを特徴とする特許請求の範囲第2項に
    記載のレーザ共振装置。
  7. (7)前記リレー手段が前記除去手段と前記第2ミラー
    との間に配置されていることを特徴とする特許請求の範
    囲第6項に記載のレーザ共振装置。
  8. (8)前記リレー手段が前記第2ミラーと前記波長変換
    手段との間に配置されていることを特徴とする特許請求
    の範囲第6項に記載のレーザ共振装置。
  9. (9)前記リレー手段が、前記第2ミラーとの間に前記
    除去手段が位置するように配置されていることを特徴と
    する特許請求の範囲第6項に記載のレーザ共振装置。
  10. (10)前記除去手段が前記第2ミラーと前記第3ミラ
    ーとの間に配置されていることを特徴とする特許請求の
    範囲第2項に記載のレーザ共振装置。
  11. (11)前記リレー手段が前記第1ミラーと前記第2ミ
    ラーとの間に配置されていることを特徴とする特許請求
    の範囲第10項に記載のレーザ共振装置。
  12. (12)前記除去手段が前記第2ミラーと前記波長変換
    手段との間に配置されていることを特徴とする特許請求
    の範囲第11項に記載のレーザ共振装置。
  13. (13)前記除去手段が前記波長変換手段と前記第3ミ
    ラーとの間に配置されていることを特徴とする特許請求
    の範囲第11項に記載のレーザ共振装置。
  14. (14)前記リレー手段が前記第2ミラーと前記波長変
    換手段との間に配置されていることを特徴とする特許請
    求の範囲第10項に記載のレーザ共振装置。
  15. (15)前記除去手段が前記波長変換手段と前記第3ミ
    ラーとの間に配置されていることを特徴とする特許請求
    の範囲第14項に記載のレーザ共振装置。
  16. (16)前記リレー手段が前記除去手段と前記波長変換
    手段との間に配置されていることを特徴とする特許請求
    の範囲第10項に記載のレーザ共振装置。
  17. (17)前記光共振器が、前記波長λ1で強く反射する
    第1ミラーと、 前記第1ミラーから直接または間接に概ね垂直入射の放
    射を受けて反射するように配置され、かつ前記波長λ1
    及び前記波長λ1/Nの放射を強く反射する第2ミラー
    とを備え、かつ 前記除去手段が、前記第1ミラーからの放射を0以外の
    所定の入射角θ2で直接または間接に受けるようにかつ
    この放射を別の方向へ反射するように配置され、前記入
    射角θ2で前記第3ミラーに入射する放射を前記波長λ
    1で強く反射しかつ前記波長λ1/Nで透過させる第3
    ミラーを備えることを特徴とする特許請求の範囲第1項
    に記載のレーザ共振装置。
  18. (18)前記光共振器が、前記波長λ1で強く反射する
    第1ミラーと、 前記第1ミラーから概ね垂直入射の放射を直接または間
    接に受け、かつ前記波長λ1で強く反射する第2ミラー
    とを備えることを特徴とする特許請求の範囲第1項に記
    載のレーザ共振装置。
  19. (19)前記除去手段が前記アクティブレーザ媒体と前
    記リレー手段との間に配置され、かつ前記リレー手段が
    前記除去手段と前記波長変換手段との間に配置されてい
    ることを特徴とする特許請求の範囲第18項に記載のレ
    ーザ共振装置。
  20. (20)前記リレー手段が前記アクティブレーザ媒体と
    前記除去手段との間に配置され、かつ前記除去手段が前
    記リレー手段と前記波長変換手段との間に配置されてい
    ることを特徴とする特許請求の範囲第18項に記載のレ
    ーザ共振装置。
  21. (21)前記リレー手段が前記アクティブレーザ媒体と
    前記波長変換手段との間に配置され、かつ前記除去手段
    が前記波長変換手段と前記第2ミラーとの間に配置され
    ていることを特徴とする特許請求の範囲第18項に記載
    のレーザ共振装置。
  22. (22)前記リレー手段が、所定の焦点距離f1を有し
    かつ前記アクティブレーザ媒体から所定の距離d1をも
    って及び前記波長変換手段から所定の距離d2をもって
    離隔されたレンズであり、かつこれらの間に実質的に1
    /f1=1/d1+1/d2の関係があることを特徴と
    する特許請求の範囲第1項に記載のレーザ共振装置。
  23. (23)前記リレー手段が所定の焦点距離f1の第1レ
    ンズと所定の焦点距離f2の第2レンズとからなり、前
    記第1レンズが前記第2レンズと前記リレー手段との間
    に配置され、前記第2レンズが前記第1レンズと波長変
    換手段との間に配置され、前記第1レンズ及び前記第2
    レンズが概ね距離f1+f2をもって離隔され、前記第
    1レンズが前記アクティブレーザ媒体から所定の距離d
    1をもって離隔され、かつ前記第2レンズが前記波長変
    換手段から所定のd2をもって離隔されると共に、これ
    らの間に前記リレー手段の倍率をm=f2/f1として
    m・d1+d2/m=f1+f2の関係があることを特
    徴とする特許請求の範囲第1項に記載のレーザ共振装置
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