JPH0243928A - 無機多孔質膜 - Google Patents
無機多孔質膜Info
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- JPH0243928A JPH0243928A JP19249088A JP19249088A JPH0243928A JP H0243928 A JPH0243928 A JP H0243928A JP 19249088 A JP19249088 A JP 19249088A JP 19249088 A JP19249088 A JP 19249088A JP H0243928 A JPH0243928 A JP H0243928A
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- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
- Porous Artificial Stone Or Porous Ceramic Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(産業上の利用分野)
本発明は濾過、ガス分離等に使用される無機多孔質膜に
関する。
関する。
(従来技術)
無機多孔質膜の一種類として、1または複数層の多孔質
支持体の少くとも一側面に同支持体の平均細孔径より小
さい平均細孔径0.1μm以下の多孔質薄膜を担持して
なる無機多孔質膜がある。この種の多孔質膜は各種の濾
過、ガス分離用の膜として使用されるが、かかる用途に
おいては多孔質薄膜内にピンホール、クラック等が存在
しないことが肝要である。多孔質薄膜内にピンホール、
クラック等が存在していると、濾過精度、分離精度が低
下することは勿論であり、また同薄膜の目詰り等による
膜性能の低下時の再生手段である酸、アルカリ洗浄、殺
菌手段であるスチーム洗浄等によりピンホール、クラッ
ク等が増大して濾過精度、分離精度を一層低下させると
ともに、耐食性を大きく損わせることになる。
支持体の少くとも一側面に同支持体の平均細孔径より小
さい平均細孔径0.1μm以下の多孔質薄膜を担持して
なる無機多孔質膜がある。この種の多孔質膜は各種の濾
過、ガス分離用の膜として使用されるが、かかる用途に
おいては多孔質薄膜内にピンホール、クラック等が存在
しないことが肝要である。多孔質薄膜内にピンホール、
クラック等が存在していると、濾過精度、分離精度が低
下することは勿論であり、また同薄膜の目詰り等による
膜性能の低下時の再生手段である酸、アルカリ洗浄、殺
菌手段であるスチーム洗浄等によりピンホール、クラッ
ク等が増大して濾過精度、分離精度を一層低下させると
ともに、耐食性を大きく損わせることになる。
ところで、上記した複層構造の無機多孔質膜に関する技
術はすでに多数開示されており、かかる技術を開示する
刊行物の一例として特開昭60−15651θ号公報を
挙げることができる。
術はすでに多数開示されており、かかる技術を開示する
刊行物の一例として特開昭60−15651θ号公報を
挙げることができる。
同公報にはクラックの生じない無機半透過膜の製法、具
体的には焼結した無機酸化物からなる多孔質支持体に無
機膜形成コーティング材料の懸濁液(ゾル液)をコーテ
ィングして加熱することからなる製法が開示されている
。かかる製法により、多孔質支持体上にγ−アルミナか
らなる多孔質薄膜が被覆された限外濾過膜を得ている。
体的には焼結した無機酸化物からなる多孔質支持体に無
機膜形成コーティング材料の懸濁液(ゾル液)をコーテ
ィングして加熱することからなる製法が開示されている
。かかる製法により、多孔質支持体上にγ−アルミナか
らなる多孔質薄膜が被覆された限外濾過膜を得ている。
しかして、同公報には、多孔質支持体の適確性は同支持
体が有する孔寸法(平均細孔径)により定まる旨記載さ
れ、好ましい平均細孔径として0.10μm〜0.50
μmを挙げている。多孔質薄膜については膜厚が20μ
m以下である旨、またコーティングゾル液については媒
体中の分散相の濃度が0.01wt%〜25wt%であ
る旨記載されている。
体が有する孔寸法(平均細孔径)により定まる旨記載さ
れ、好ましい平均細孔径として0.10μm〜0.50
μmを挙げている。多孔質薄膜については膜厚が20μ
m以下である旨、またコーティングゾル液については媒
体中の分散相の濃度が0.01wt%〜25wt%であ
る旨記載されている。
上記した複層構造の無機多孔質膜として、1または複数
層の多孔質支持体の少くとも一側面に無機物粒子を含む
懸濁液をコーティングして薄膜を形成し、次いで乾燥、
焼成して多孔質薄膜を担持させてなる無機多孔質膜があ
り、上記公報に開示された製造方法により得られる無機
多孔質膜もかかる無機多孔質膜と基本的には同様である
。
層の多孔質支持体の少くとも一側面に無機物粒子を含む
懸濁液をコーティングして薄膜を形成し、次いで乾燥、
焼成して多孔質薄膜を担持させてなる無機多孔質膜があ
り、上記公報に開示された製造方法により得られる無機
多孔質膜もかかる無機多孔質膜と基本的には同様である
。
(発明が解決しようとする課題)
かかる無機多孔質膜において、多孔質薄膜内にピンホー
ル、クラック等が発生する原因の一つに製造工程の乾燥
、焼成時の収縮がある。本発明者はかかる無機多孔質膜
においては、多孔質薄膜の1回当りの担持膜厚と同薄膜
を形成する無機物粒子の粒子径との関係を的確に規定す
ることにより、乾燥、焼成時の収縮に起因するピンホー
ル、クラック等の発生を防止し得る旨の知見を得た。従
って、本発明はかかる無機多孔質膜において、多孔質薄
膜の1回当りの担持膜厚と無機物粒子の粒子径との関係
を規定することにより、多孔質薄膜内にピンホール、ク
ラック等の存在しない無機多孔質膜を提供することにあ
る。
ル、クラック等が発生する原因の一つに製造工程の乾燥
、焼成時の収縮がある。本発明者はかかる無機多孔質膜
においては、多孔質薄膜の1回当りの担持膜厚と同薄膜
を形成する無機物粒子の粒子径との関係を的確に規定す
ることにより、乾燥、焼成時の収縮に起因するピンホー
ル、クラック等の発生を防止し得る旨の知見を得た。従
って、本発明はかかる無機多孔質膜において、多孔質薄
膜の1回当りの担持膜厚と無機物粒子の粒子径との関係
を規定することにより、多孔質薄膜内にピンホール、ク
ラック等の存在しない無機多孔質膜を提供することにあ
る。
(課題を解決するための手段)
本発明は、1または複数層の多孔質支持体の少くとも一
側面に無機物粒子を含む懸濁液をコーティングして薄膜
を形成し、次いで乾燥、焼成して平均細孔径0.1μm
以下の多孔質薄膜を担持させてなる無機多孔質膜におい
て、前記多孔質薄膜の1回当りの担持膜厚が前記無機物
粒子における1次粒子の平均粒子径の100倍以下であ
ることを特徴とするものである。
側面に無機物粒子を含む懸濁液をコーティングして薄膜
を形成し、次いで乾燥、焼成して平均細孔径0.1μm
以下の多孔質薄膜を担持させてなる無機多孔質膜におい
て、前記多孔質薄膜の1回当りの担持膜厚が前記無機物
粒子における1次粒子の平均粒子径の100倍以下であ
ることを特徴とするものである。
本発明において、多孔質支持体はアルミニウム、ジルコ
ニウム1、チタニウム等の酸化物、炭化物、窒化物等の
セラミック、ホウケイ酸ガラス等のガラス、ニッケル等
の金属からなり、バイブ状、平板状、ハニカム状、モノ
リス我等適宜の形状の単層または複層構造のものであり
、その厚みは0.5〜2mmである。また、支持体の平
均細孔径については、支持体が単層である場合には0.
05〜3μm、複層である場合には主層0.1〜30μ
m、副層(中間層)が1μm以下であり、中間層の厚み
は10〜150μmである。
ニウム1、チタニウム等の酸化物、炭化物、窒化物等の
セラミック、ホウケイ酸ガラス等のガラス、ニッケル等
の金属からなり、バイブ状、平板状、ハニカム状、モノ
リス我等適宜の形状の単層または複層構造のものであり
、その厚みは0.5〜2mmである。また、支持体の平
均細孔径については、支持体が単層である場合には0.
05〜3μm、複層である場合には主層0.1〜30μ
m、副層(中間層)が1μm以下であり、中間層の厚み
は10〜150μmである。
本発明において、多孔質薄膜はチタン、ジルコニウム、
ハフニウム、ニオブ、タンタル、アルミニウム、ケイ素
の酸化物、炭化物、窒化物等の無機物からなり、平均細
孔径が0.1μm以下のものである。多孔質支持体が複
層構造である場合、薄膜は少くとも中間層の一側面に形
成される。なお、多孔質支持体の少くとも一側面とは、
同支持体が例えばバイブ状である場合には内周面、外周
面、内外両用面を意味し、平板状である場合には片側面
、両側面を意味し、ハニカム状およびモノリス状である
場合には外周面、多数の内孔の内周面の一部または全部
、これら内外両用面を意味する。
ハフニウム、ニオブ、タンタル、アルミニウム、ケイ素
の酸化物、炭化物、窒化物等の無機物からなり、平均細
孔径が0.1μm以下のものである。多孔質支持体が複
層構造である場合、薄膜は少くとも中間層の一側面に形
成される。なお、多孔質支持体の少くとも一側面とは、
同支持体が例えばバイブ状である場合には内周面、外周
面、内外両用面を意味し、平板状である場合には片側面
、両側面を意味し、ハニカム状およびモノリス状である
場合には外周面、多数の内孔の内周面の一部または全部
、これら内外両用面を意味する。
また、上記した薄膜とは多孔質支持体に形成された乾燥
、焼成前の薄膜を意味し、同薄膜を乾燥、焼成したもの
を多孔質薄膜と称し、多孔質薄膜の膜厚を担持膜厚と称
する。なお、1回当りの担持膜厚は例えば走査型電子顕
微鏡で測定される。
、焼成前の薄膜を意味し、同薄膜を乾燥、焼成したもの
を多孔質薄膜と称し、多孔質薄膜の膜厚を担持膜厚と称
する。なお、1回当りの担持膜厚は例えば走査型電子顕
微鏡で測定される。
本発明において、薄膜の形成に用いる懸濁液は主として
水を溶媒とするハイドロゾル液で、アルコキシド、アシ
レート、キレート等の化合物の加水分解懸濁液、金属塩
の加水分解懸濁液、金属水酸化物および微粒金属酸化物
のコロイド懸濁液等が採用される。多孔質支持体はかか
る懸濁液中に所定時間浸漬されて少くともその一側面に
薄膜が形成され、その後乾燥、焼成される。これにより
、上記薄膜は多孔質薄膜として多孔質支持体に担持され
るが、多孔質薄膜は必要により薄膜の形成を数回行い、
薄膜の形成ごとに乾燥、焼成を行って所定の担持膜厚と
することができる。本発明の無機多孔質膜においては、
1回当りの担持膜厚を懸濁液を構成する無機物粒子の平
均粒子径の100倍以下とすることが必須の条件である
。この平均粒子径は無数の粒子が互に凝集することなく
単独で存在している状態、すなわち1次粒子の状態にお
ける平均粒子径である。
水を溶媒とするハイドロゾル液で、アルコキシド、アシ
レート、キレート等の化合物の加水分解懸濁液、金属塩
の加水分解懸濁液、金属水酸化物および微粒金属酸化物
のコロイド懸濁液等が採用される。多孔質支持体はかか
る懸濁液中に所定時間浸漬されて少くともその一側面に
薄膜が形成され、その後乾燥、焼成される。これにより
、上記薄膜は多孔質薄膜として多孔質支持体に担持され
るが、多孔質薄膜は必要により薄膜の形成を数回行い、
薄膜の形成ごとに乾燥、焼成を行って所定の担持膜厚と
することができる。本発明の無機多孔質膜においては、
1回当りの担持膜厚を懸濁液を構成する無機物粒子の平
均粒子径の100倍以下とすることが必須の条件である
。この平均粒子径は無数の粒子が互に凝集することなく
単独で存在している状態、すなわち1次粒子の状態にお
ける平均粒子径である。
1回当りの担持膜厚は懸濁液の特性、多孔質支持体に対
する懸濁液のコーティング条件により調整され、懸濁液
の特性は無機物粒子の種類、粒子径、懸濁液の濃度、粘
度等により定まり、またコーティング条件としては多孔
質支持体の懸濁液中での浸漬時間、引き上げ速度が挙げ
られる。本発明の無機多孔質膜を製造する場合において
は、1回当りの担持膜厚と懸濁液の特性、コーティング
条件との関係を予じめ明確にしておき、この関係に基づ
いて1回当りの担持膜厚を調整する。
する懸濁液のコーティング条件により調整され、懸濁液
の特性は無機物粒子の種類、粒子径、懸濁液の濃度、粘
度等により定まり、またコーティング条件としては多孔
質支持体の懸濁液中での浸漬時間、引き上げ速度が挙げ
られる。本発明の無機多孔質膜を製造する場合において
は、1回当りの担持膜厚と懸濁液の特性、コーティング
条件との関係を予じめ明確にしておき、この関係に基づ
いて1回当りの担持膜厚を調整する。
(発明の作用・効果)
本発明の無機多孔質膜においては、多孔質薄膜の1回当
りの担持膜厚が無機物粒子の平均粒子径の100倍以下
と規定することにより、多孔質支持体に形成された薄膜
内には乾燥工程においても、焼成工程においてもピンホ
ール、クラック等の発生がなく、同薄膜を乾燥、焼成し
て得られる多孔質薄膜はピンホール、クラックの存在し
ないものとなる。
りの担持膜厚が無機物粒子の平均粒子径の100倍以下
と規定することにより、多孔質支持体に形成された薄膜
内には乾燥工程においても、焼成工程においてもピンホ
ール、クラック等の発生がなく、同薄膜を乾燥、焼成し
て得られる多孔質薄膜はピンホール、クラックの存在し
ないものとなる。
無機物粒子の粒子径は薄膜の乾燥、焼成時の収縮に大き
く影響するものであり、また薄膜内での収縮に起因する
ピンホール、クラックの発生を防止するには、収縮時に
おける薄膜の膜厚方向の応力を小さくすることが必要で
ある。従って、収縮率の大きい薄膜においては膜厚はで
きるだけ小さい方が好ましく、多孔質薄膜の(担持膜厚
/平均粒子径)との関係については、薄膜の膜厚方向の
収縮率が20%以下の場合には100倍以下、収縮率が
20%を超える場合には50倍以下が好ましい。
く影響するものであり、また薄膜内での収縮に起因する
ピンホール、クラックの発生を防止するには、収縮時に
おける薄膜の膜厚方向の応力を小さくすることが必要で
ある。従って、収縮率の大きい薄膜においては膜厚はで
きるだけ小さい方が好ましく、多孔質薄膜の(担持膜厚
/平均粒子径)との関係については、薄膜の膜厚方向の
収縮率が20%以下の場合には100倍以下、収縮率が
20%を超える場合には50倍以下が好ましい。
懸濁液に関しては、水を溶媒とするハイドロゾルが好ま
しく、オルガノゾルの場合には表面張力が小さくて支持
体の細孔内へ侵入し易いとともに、溶媒の蒸気圧が高く
かつ即乾性であることから好ましくない。また、懸濁液
のpHは1〜4であることが好ましく、酸性側では懸濁
粒子が直鎖状ポリマーになり易くて支持体の細孔内へ侵
入し難く、均一な膜厚の薄膜の形成が容易である。さら
にまた、懸濁液の濃度(ゾル粒子/溶媒・・・モル比)
は1/40〜1/3000であることが好ましく、かつ
粘度は1〜5cpであることが好ましい。
しく、オルガノゾルの場合には表面張力が小さくて支持
体の細孔内へ侵入し易いとともに、溶媒の蒸気圧が高く
かつ即乾性であることから好ましくない。また、懸濁液
のpHは1〜4であることが好ましく、酸性側では懸濁
粒子が直鎖状ポリマーになり易くて支持体の細孔内へ侵
入し難く、均一な膜厚の薄膜の形成が容易である。さら
にまた、懸濁液の濃度(ゾル粒子/溶媒・・・モル比)
は1/40〜1/3000であることが好ましく、かつ
粘度は1〜5cpであることが好ましい。
(実施例1)
(1)多孔質支持体
多孔質支持体としてパイプ状の主層の内周に中間層を有
する複層構造のアルミナ質の多孔質支持体を採用した。
する複層構造のアルミナ質の多孔質支持体を採用した。
この多孔質支持体を製造するに当っては、先づ粒径のそ
ろっな電融アルミナに無機バインダー有機バインダーを
添加して混合坏土を調製し、これを原料として押出成形
法にて外径10mm、内径7mm 、長さ150m+a
のパイプを形成し、乾燥後1500°Cで3時間焼成し
、平均細孔径3,0μmのパイプ状主層を得る。この主
層の内周面にα−アルミナの微粉をコーティングし、こ
れを上記と同様に乾燥、焼成して膜厚30μm、平均細
孔径0.2μmの中間層を担持させる。
ろっな電融アルミナに無機バインダー有機バインダーを
添加して混合坏土を調製し、これを原料として押出成形
法にて外径10mm、内径7mm 、長さ150m+a
のパイプを形成し、乾燥後1500°Cで3時間焼成し
、平均細孔径3,0μmのパイプ状主層を得る。この主
層の内周面にα−アルミナの微粉をコーティングし、こ
れを上記と同様に乾燥、焼成して膜厚30μm、平均細
孔径0.2μmの中間層を担持させる。
(2)多孔質薄膜
平均粒子径0.04μmのルチン(R)型酸化チタン、
有機解膠剤および消泡剤を水に添加し、各種濃度の懸濁
液である担持液を調製する。これら各担持液を多孔質支
持体の内周面にコーティングして薄膜を形成し、乾燥後
soo’cで3時間焼成して多孔質薄膜(R膜)を担持
させる。得られたR膜の平均細孔径は300Aである。
有機解膠剤および消泡剤を水に添加し、各種濃度の懸濁
液である担持液を調製する。これら各担持液を多孔質支
持体の内周面にコーティングして薄膜を形成し、乾燥後
soo’cで3時間焼成して多孔質薄膜(R膜)を担持
させる。得られたR膜の平均細孔径は300Aである。
水酸化チタンを仮焼して得た平均粒子径0.008μm
のアナターゼ(A)型酸化チタン、有機解膠剤および消
泡剤を水に添加し、各種濃度の懸濁液である担持液を調
製する。これら各担持液を多孔質支持体の内周面にコー
ティングして薄膜を形成し、乾燥後450″Cで3時間
焼成して多孔質薄膜(A膜)を担持させる。得られたA
膜の平均細孔径は♂OAである。
のアナターゼ(A)型酸化チタン、有機解膠剤および消
泡剤を水に添加し、各種濃度の懸濁液である担持液を調
製する。これら各担持液を多孔質支持体の内周面にコー
ティングして薄膜を形成し、乾燥後450″Cで3時間
焼成して多孔質薄膜(A膜)を担持させる。得られたA
膜の平均細孔径は♂OAである。
(3)考察
各多孔質薄膜の膜厚および同膜内のピンホール、クラッ
クの有無を走査型電子顕微鏡で測定し、第1表に示す結
果を得た。得られた結果から明らかなように、゛担持膜
厚が平均粒子径の100倍以下の場合(Noj 〜No
、5.No、8.No、9) 、多孔質薄膜内にピンホ
ール、クラックは存在せず、これに対して担持膜厚が平
均粒子径の100倍を超える場合(No。
クの有無を走査型電子顕微鏡で測定し、第1表に示す結
果を得た。得られた結果から明らかなように、゛担持膜
厚が平均粒子径の100倍以下の場合(Noj 〜No
、5.No、8.No、9) 、多孔質薄膜内にピンホ
ール、クラックは存在せず、これに対して担持膜厚が平
均粒子径の100倍を超える場合(No。
1、No2.No6)、多孔質薄膜内にピンホール、ク
ラックが存在する。
ラックが存在する。
No、6の多孔質薄膜においては、乾燥終了時点ではピ
ンホール、クラックの存在は確認されず、焼成によりピ
ンホール、クラックが発生していることが確認された。
ンホール、クラックの存在は確認されず、焼成によりピ
ンホール、クラックが発生していることが確認された。
平均粒子径が0.008μmと極めて小さい場合(No
、7)、担持膜厚が平均粒子径の100倍であっても一
部にピンホール、クラックが存在していることが確認さ
れる。従って、平均粒子径が極めて小さい場合には、担
持膜厚は平均粒子径の100倍未満、好ましくは50倍
以下とする。
、7)、担持膜厚が平均粒子径の100倍であっても一
部にピンホール、クラックが存在していることが確認さ
れる。従って、平均粒子径が極めて小さい場合には、担
持膜厚は平均粒子径の100倍未満、好ましくは50倍
以下とする。
なお、N011〜N0.6の場合の多孔質支持体の担持
液への浸漬時間は30秒、No、7〜No、9の場合の
浸漬時間は10秒である。また、N086の場合は担持
液が希薄であるため、薄膜の形成および乾燥を2回繰返
して行い、その後焼成している。
液への浸漬時間は30秒、No、7〜No、9の場合の
浸漬時間は10秒である。また、N086の場合は担持
液が希薄であるため、薄膜の形成および乾燥を2回繰返
して行い、その後焼成している。
(実施例2)
(1)クロスフロー濾過試験
第1表に示す各無機多孔質膜を用いて下記の条件により
タロスフロー濾過試験を行った。マーカーとしてγ−グ
ロブリン(平均分子量156 、0OQ)を1100p
p含む緩衝液を用い、流速2.5m/sec、入口圧3
kg/cm2にて多孔質膜の内側を循環させ、濾液中の
マーカー濃度を分析して阻止率を測定した。その結果を
第2表に示す。
タロスフロー濾過試験を行った。マーカーとしてγ−グ
ロブリン(平均分子量156 、0OQ)を1100p
p含む緩衝液を用い、流速2.5m/sec、入口圧3
kg/cm2にて多孔質膜の内側を循環させ、濾液中の
マーカー濃度を分析して阻止率を測定した。その結果を
第2表に示す。
(2)考察
第2表から明らかなように、多孔質薄膜内にピンホール
、クラックの存在しない無機多孔質膜(NO63〜No
、5.No、♂、No、9)はγ−グロブリンの阻止率
が95%以上の高い値を示している。なお、これらの各
多孔質膜を90℃のHCI水溶液(p)l=0)、Na
OH水溶液(pH・14)に168時間浸漬し、浸漬後
のピンホール、クラックの有無を観測したが認められな
かった。また、これらの多孔質膜を用いて上記したクロ
スフロー濾過試験を行ったが、γ−グロブリンの阻止率
の低下は認められず高耐食性であることが確認された。
、クラックの存在しない無機多孔質膜(NO63〜No
、5.No、♂、No、9)はγ−グロブリンの阻止率
が95%以上の高い値を示している。なお、これらの各
多孔質膜を90℃のHCI水溶液(p)l=0)、Na
OH水溶液(pH・14)に168時間浸漬し、浸漬後
のピンホール、クラックの有無を観測したが認められな
かった。また、これらの多孔質膜を用いて上記したクロ
スフロー濾過試験を行ったが、γ−グロブリンの阻止率
の低下は認められず高耐食性であることが確認された。
(以下余白)
Claims (1)
- 1または複数層の多孔質支持体の少くとも一側面に無
機物粒子を含む懸濁液をコーティングして薄膜を形成し
、次いで乾燥、焼成して平均細孔径0.1μm以下の多
孔質薄膜を担持させてなる無機多孔質膜において、前記
多孔質薄膜の1回当りの担持膜厚が前記無機物粒子にお
ける1次粒子の平均粒子径の100倍以下であることを
特徴とする無機多孔質膜。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19249088A JPH0243928A (ja) | 1988-08-01 | 1988-08-01 | 無機多孔質膜 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19249088A JPH0243928A (ja) | 1988-08-01 | 1988-08-01 | 無機多孔質膜 |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18376194A Division JPH07163848A (ja) | 1994-08-04 | 1994-08-04 | 無機多孔質膜の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0243928A true JPH0243928A (ja) | 1990-02-14 |
| JPH0561969B2 JPH0561969B2 (ja) | 1993-09-07 |
Family
ID=16292171
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19249088A Granted JPH0243928A (ja) | 1988-08-01 | 1988-08-01 | 無機多孔質膜 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0243928A (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04250833A (ja) * | 1991-01-08 | 1992-09-07 | Nkk Corp | フィルターエレメント |
| FR2722115A1 (fr) * | 1994-07-08 | 1996-01-12 | Centre National De La Recherche Scientifique | Element filtrant a membrane en oxyde d'hafnium, sa preparation et son utilisation. |
| EP1386895A1 (en) * | 2002-07-29 | 2004-02-04 | Litton Systems, Inc. | Leakage free ceramic films for porous surfaces |
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| JPWO2005087355A1 (ja) * | 2004-03-12 | 2008-01-24 | 日本碍子株式会社 | 炭素膜積層体及びその製造方法、並びにvoc除去装置 |
| JP2008514387A (ja) * | 2004-09-24 | 2008-05-08 | フォルシュングスツェントルム・ユーリッヒ・ゲゼルシャフト・ミット・ベシュレンクテル・ハフツング | ガス分離システム及び該システムの製造方法 |
| JP2009262103A (ja) * | 2008-04-28 | 2009-11-12 | Sumitomo Osaka Cement Co Ltd | セラミックスフィルタの製造方法 |
Citations (8)
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-
1988
- 1988-08-01 JP JP19249088A patent/JPH0243928A/ja active Granted
Patent Citations (8)
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0561969B2 (ja) | 1993-09-07 |
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