JPH0244891B2 - - Google Patents
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- JPH0244891B2 JPH0244891B2 JP61079149A JP7914986A JPH0244891B2 JP H0244891 B2 JPH0244891 B2 JP H0244891B2 JP 61079149 A JP61079149 A JP 61079149A JP 7914986 A JP7914986 A JP 7914986A JP H0244891 B2 JPH0244891 B2 JP H0244891B2
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- Japan
- Prior art keywords
- cold rolling
- wafer
- strength
- stainless steel
- austenitic stainless
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- Heat Treatment Of Steel (AREA)
- Heat Treatment Of Sheet Steel (AREA)
Description
〔産業上の利用分野〕
本発明は、高強度でかつ強度の面内異方性が小
さいウエハスライサ用極薄オーステナイト系ステ
ンレス鋼板、特にSiウエハスライサ用素材に適し
たステンレス鋼板の製造方法に関するものであ
る。 〔従来の技術〕 Siウエハスライサ用素材としては、高強度かつ
高耐銹性の点から準安定オーステナイト系ステン
レス鋼の極薄板が使用されている。Siウエハスラ
イサは、第１図に示すように固定ボルト１によつ
て固定されバネのついた張り上げボルト２によつ
て張力を加え張り上げられ、ステンレス鋼板３の
内側に粒状のダイヤモンドを接着した内周刃４で
Siインゴツト５をスライスしてウエハにする（以
下、これをウエハ切断と言う）。このウエハスラ
イサは強度が低いとウエハ切断中に内周刃が変形
しウエハにそりを生じさせる。また、強度の面内
異方性が大きいと張り上げ時に平坦度が悪くな
り、精度の高いウエハ切断が行えない。そのため
高強度でかつ強度の面内異方性が小さいSiウエハ
スライサ用素材の開発が強く要望されていた。 従来の準安定オーステナイト系ステンレス鋼板
を高強度化する方法としては、焼鈍板に調質圧延
等の冷間加工を施して加工硬化させるとともに加
工誘起マルテンサイトを生成させる方法〔例え
ば、鉄と鋼67（1981）S619〕、調質圧延後に更に
マルテンサイトが消滅しない低温（例えば、200
℃から550℃）で熱処理して時刻硬化させる方法
〔例えば、日本金属学会誌21（1957）583〕が知ら
れている。しかし、これらの方法はいずれも高強
度化後の強度の面内異方性については考慮されて
いない。 〔発明が解決しようとする問題点〕 準安定オーステナイト系ステンレス鋼の焼鈍板
を調質圧延により強化し、または、調質圧延後更
に時刻硬化させると高強度は得られるが、これを
Si等のウエハスライサとして用いると強度の面内
異方性が大きい場合には、張り上げ時の平坦度が
悪くなるため、精度の高いウエハ切断が行えない
という問題があつた。 本発明者は、以上の問題点を解決した高強度で
かつ強度の面内異方性が小さいスライサ用極薄オ
ーステナイト系ステンレス鋼板の製造方法を提供
することを目的とする。 〔問題点を解決するための手段および作用〕 本発明は、この目的のために製造条件を種々検
討した結果、冷延および焼鈍回数、最終焼鈍前の
２回の冷延における圧下配分と調質圧延条件を適
切に組み合わせることによりこれを達成した。 本発明の要旨は、重量％にて、Ｃ；0.01〜0.2
％、Si；0.1〜２％、Mn：0.1〜４％、Ni；５〜
11％、Cr；15〜20％、Mo；0.05〜2.5％、Ｎ；
0.01〜0.3％を含有し残部Feおよび不可避的不純
物からなり、かつ(1)式に示すMd30が０〜＋80℃
の範囲の組成にある準安定オーステナイト系ステ
ンレス鋼の熱延板または熱延焼鈍板に冷延および
焼鈍を２回以上繰り返して施し、最終焼鈍前の２
回の冷延における冷延率の比Ｒ（１回目冷延率／
２回目冷延率）を0.8以上とし、ついで冷延率が
40％以上の調質圧延を行うことを特徴とするウエ
ハスライサ用極薄オーステナイト系ステンレス鋼
板の製造方法である。 Md30＝551−462（Ｃ％＋Ｎ％）−9.2Si％−8.1Mn％−29
Ni％−13.7Cr％−18.5Mo％……(1) 以下、本発明の構成要件の限定理由について説
明する。尚、本発明において鋼板とはストリツプ
とシートの双方を意味する。 Ｃは、準安定オーステナイト系ステンレス鋼板
において加工により誘起されたマルテンサイトの
強力な固溶硬化元素であるが、この効果は0.01％
未満では十分でなく、また0.2％を超えるとオー
ステナイトが安定化しすぎるため加工誘起マルテ
ンサイトが十分生成されない。従つて、Ｃを0.01
〜0.2％とした。 Siは、0.1％未満では脱酸が不十分であり、２
％を超えるとフエライト量が増加し熱間加工性を
劣化させる。従つて、Siを0.1〜２％とした。 Mnは、0.1％未満では脱酸が不十分であり、４
％を超えるとオーステナイトが安定化しすぎるた
め加工誘起マルテンサイトが十分生成されない。
従つて、Mnを0.1〜４％とした。 Niは、有力なオーステナイト安定化元素であ
り、５％未満では焼鈍後に完全なオーステナイト
組織が得られず、11％を超えるとオーステナイト
が安定化しすぎるため加工誘起マルテンサイトが
十分生成されない。従つて、Niを５〜11％とし、
望ましくは６〜８％未満とした。 Crは、ステンレス鋼としてその耐銹性の点か
ら15％未満では不十分であり、また20％を超える
とフエライト量が増加し熱間加工性を劣化させ
る。従つて、Crを15〜20％とした。 Moは、耐銹性を向上させる元素であるが、そ
の効果は0.05％未満では不十分である。また、
Moは高価な元素であり多量に添加するとコスト
が高くなる。従つて、Moを0.05〜2.5％とした。 Ｎは、準安定オーステナイト系ステンレス鋼板
において加工により誘起されたマルテンサイトの
強力な固溶硬化元素であるが、この効果は0.01％
未満では十分でなく、また0.3％を超えると溶鋼
中のブローホールが多くなり製造上困難をきた
す。従つて、Ｎを0.01〜0.3％とした。 Md30は、本発明法の対象とするオーステナイ
ト系ステンレス鋼板のオーステナイト安定度を示
す指標となり、本ステンレス鋼板が加工誘起マル
テンサイトを利用して高強度を得るための重要な
因子である。Md30が０℃未満ではオーステナイ
トが安定化しすぎるため加工によるマルテンサイ
ト組織が得難く高強度が得られない。また、
Md30が＋80℃を超えるとオーステナイトが不安
定化しすぎるため加工によるマルテンサイトが過
度に発生し急激に硬化するため目的の硬さと板厚
を保持した状態で精度の高い圧延加工が行えな
い。従つて、Md30の範囲を０〜＋80℃とし、望
ましくは＋15〜＋60℃とした。 熱延板の冷延は、熱延ままあるいは焼鈍した後
に行う。 調質圧延前の冷延と焼鈍回数は、１回だけに比
べ２回以上の方が集合組織がランダム化し機械的
性質の面内異方性が小さくなるが、本発明者は更
に最終焼鈍前の２回の冷延における冷延率の比Ｒ
（１回目冷延率／２回目冷延率）を0.8以上とする
ことにより集合組織がいつそう顕著にランダム化
し面内異方性が小さくなり、その結果調質圧延後
の強度の面内異方性が著しく小さい鋼板が得られ
ることを見出した。従つて、冷延の圧下配分をこ
のように限定した。 調質圧延率は、40％未満ではウエハスライサに
要求される130Kg／mm2以上の引張強度が得られず、
ウエハ切断中に内周刃が変形しウエハにそりを生
じさせる。従つて、調質圧延率を40％以上とし
た。尚、調質圧延後の板厚は、0.1mm未満では高
強度であつてもウエハ切断中に内周刃が変形しウ
エハにそりを生じさせ易い。0.3mmを超えるとウ
エハ切断でスライサ自体による切断代が多く歩留
が悪い。従つて、調質圧延後の板厚は0.1〜0.3mm
が望ましい。 かくして、上記のような条件で準安定オーステ
ナイト系ステンレス鋼板を製造すれば、高強度で
かつ強度の面内異方性の著しく小さいウエハスラ
イサ用極薄オーステナイト系ステンレス鋼板が得
られる。 〔実施例〕 第１表に示すようなオーステナイト系ステンレ
ス鋼を電気炉で溶製しAOD炉で精錬し、連続鋳
造によつてスラブとした後、熱間圧延により板厚
３mmの熱延コイルとした。ついで、熱延板の酸洗
または熱延板の焼鈍・酸洗を行つた後、冷延およ
び焼鈍を１〜３回繰り返し、1050〜1100℃の最終
焼鈍を施し、続いて調質圧延を行い、ウエハスラ
イサ用素材とした。 本発明法および比較法による製造条件と引張強
さ、および強度の面内異方性を第２表に示す。引
張強さは、圧延方向と平行な方向より引張試験片
を採取し、JISZ2241に従い測定した。強度の面
内異方性は、圧延方向に対して平行・45゜・直角
方向より引張試験片を採取し、各試験片の0.2％
耐力をJISZ2241に従い測定した後、これらの３
方向の内、0.2％耐力の最も大きい値から最も小
さい値を引いた値として評価した。 第２表より、本発明法は比較法に比べ高強度で
かつ強度の面内異方性が小さくウエハスライサ用
素材として非常に優れていることがわかる。
さいウエハスライサ用極薄オーステナイト系ステ
ンレス鋼板、特にSiウエハスライサ用素材に適し
たステンレス鋼板の製造方法に関するものであ
る。 〔従来の技術〕 Siウエハスライサ用素材としては、高強度かつ
高耐銹性の点から準安定オーステナイト系ステン
レス鋼の極薄板が使用されている。Siウエハスラ
イサは、第１図に示すように固定ボルト１によつ
て固定されバネのついた張り上げボルト２によつ
て張力を加え張り上げられ、ステンレス鋼板３の
内側に粒状のダイヤモンドを接着した内周刃４で
Siインゴツト５をスライスしてウエハにする（以
下、これをウエハ切断と言う）。このウエハスラ
イサは強度が低いとウエハ切断中に内周刃が変形
しウエハにそりを生じさせる。また、強度の面内
異方性が大きいと張り上げ時に平坦度が悪くな
り、精度の高いウエハ切断が行えない。そのため
高強度でかつ強度の面内異方性が小さいSiウエハ
スライサ用素材の開発が強く要望されていた。 従来の準安定オーステナイト系ステンレス鋼板
を高強度化する方法としては、焼鈍板に調質圧延
等の冷間加工を施して加工硬化させるとともに加
工誘起マルテンサイトを生成させる方法〔例え
ば、鉄と鋼67（1981）S619〕、調質圧延後に更に
マルテンサイトが消滅しない低温（例えば、200
℃から550℃）で熱処理して時刻硬化させる方法
〔例えば、日本金属学会誌21（1957）583〕が知ら
れている。しかし、これらの方法はいずれも高強
度化後の強度の面内異方性については考慮されて
いない。 〔発明が解決しようとする問題点〕 準安定オーステナイト系ステンレス鋼の焼鈍板
を調質圧延により強化し、または、調質圧延後更
に時刻硬化させると高強度は得られるが、これを
Si等のウエハスライサとして用いると強度の面内
異方性が大きい場合には、張り上げ時の平坦度が
悪くなるため、精度の高いウエハ切断が行えない
という問題があつた。 本発明者は、以上の問題点を解決した高強度で
かつ強度の面内異方性が小さいスライサ用極薄オ
ーステナイト系ステンレス鋼板の製造方法を提供
することを目的とする。 〔問題点を解決するための手段および作用〕 本発明は、この目的のために製造条件を種々検
討した結果、冷延および焼鈍回数、最終焼鈍前の
２回の冷延における圧下配分と調質圧延条件を適
切に組み合わせることによりこれを達成した。 本発明の要旨は、重量％にて、Ｃ；0.01〜0.2
％、Si；0.1〜２％、Mn：0.1〜４％、Ni；５〜
11％、Cr；15〜20％、Mo；0.05〜2.5％、Ｎ；
0.01〜0.3％を含有し残部Feおよび不可避的不純
物からなり、かつ(1)式に示すMd30が０〜＋80℃
の範囲の組成にある準安定オーステナイト系ステ
ンレス鋼の熱延板または熱延焼鈍板に冷延および
焼鈍を２回以上繰り返して施し、最終焼鈍前の２
回の冷延における冷延率の比Ｒ（１回目冷延率／
２回目冷延率）を0.8以上とし、ついで冷延率が
40％以上の調質圧延を行うことを特徴とするウエ
ハスライサ用極薄オーステナイト系ステンレス鋼
板の製造方法である。 Md30＝551−462（Ｃ％＋Ｎ％）−9.2Si％−8.1Mn％−29
Ni％−13.7Cr％−18.5Mo％……(1) 以下、本発明の構成要件の限定理由について説
明する。尚、本発明において鋼板とはストリツプ
とシートの双方を意味する。 Ｃは、準安定オーステナイト系ステンレス鋼板
において加工により誘起されたマルテンサイトの
強力な固溶硬化元素であるが、この効果は0.01％
未満では十分でなく、また0.2％を超えるとオー
ステナイトが安定化しすぎるため加工誘起マルテ
ンサイトが十分生成されない。従つて、Ｃを0.01
〜0.2％とした。 Siは、0.1％未満では脱酸が不十分であり、２
％を超えるとフエライト量が増加し熱間加工性を
劣化させる。従つて、Siを0.1〜２％とした。 Mnは、0.1％未満では脱酸が不十分であり、４
％を超えるとオーステナイトが安定化しすぎるた
め加工誘起マルテンサイトが十分生成されない。
従つて、Mnを0.1〜４％とした。 Niは、有力なオーステナイト安定化元素であ
り、５％未満では焼鈍後に完全なオーステナイト
組織が得られず、11％を超えるとオーステナイト
が安定化しすぎるため加工誘起マルテンサイトが
十分生成されない。従つて、Niを５〜11％とし、
望ましくは６〜８％未満とした。 Crは、ステンレス鋼としてその耐銹性の点か
ら15％未満では不十分であり、また20％を超える
とフエライト量が増加し熱間加工性を劣化させ
る。従つて、Crを15〜20％とした。 Moは、耐銹性を向上させる元素であるが、そ
の効果は0.05％未満では不十分である。また、
Moは高価な元素であり多量に添加するとコスト
が高くなる。従つて、Moを0.05〜2.5％とした。 Ｎは、準安定オーステナイト系ステンレス鋼板
において加工により誘起されたマルテンサイトの
強力な固溶硬化元素であるが、この効果は0.01％
未満では十分でなく、また0.3％を超えると溶鋼
中のブローホールが多くなり製造上困難をきた
す。従つて、Ｎを0.01〜0.3％とした。 Md30は、本発明法の対象とするオーステナイ
ト系ステンレス鋼板のオーステナイト安定度を示
す指標となり、本ステンレス鋼板が加工誘起マル
テンサイトを利用して高強度を得るための重要な
因子である。Md30が０℃未満ではオーステナイ
トが安定化しすぎるため加工によるマルテンサイ
ト組織が得難く高強度が得られない。また、
Md30が＋80℃を超えるとオーステナイトが不安
定化しすぎるため加工によるマルテンサイトが過
度に発生し急激に硬化するため目的の硬さと板厚
を保持した状態で精度の高い圧延加工が行えな
い。従つて、Md30の範囲を０〜＋80℃とし、望
ましくは＋15〜＋60℃とした。 熱延板の冷延は、熱延ままあるいは焼鈍した後
に行う。 調質圧延前の冷延と焼鈍回数は、１回だけに比
べ２回以上の方が集合組織がランダム化し機械的
性質の面内異方性が小さくなるが、本発明者は更
に最終焼鈍前の２回の冷延における冷延率の比Ｒ
（１回目冷延率／２回目冷延率）を0.8以上とする
ことにより集合組織がいつそう顕著にランダム化
し面内異方性が小さくなり、その結果調質圧延後
の強度の面内異方性が著しく小さい鋼板が得られ
ることを見出した。従つて、冷延の圧下配分をこ
のように限定した。 調質圧延率は、40％未満ではウエハスライサに
要求される130Kg／mm2以上の引張強度が得られず、
ウエハ切断中に内周刃が変形しウエハにそりを生
じさせる。従つて、調質圧延率を40％以上とし
た。尚、調質圧延後の板厚は、0.1mm未満では高
強度であつてもウエハ切断中に内周刃が変形しウ
エハにそりを生じさせ易い。0.3mmを超えるとウ
エハ切断でスライサ自体による切断代が多く歩留
が悪い。従つて、調質圧延後の板厚は0.1〜0.3mm
が望ましい。 かくして、上記のような条件で準安定オーステ
ナイト系ステンレス鋼板を製造すれば、高強度で
かつ強度の面内異方性の著しく小さいウエハスラ
イサ用極薄オーステナイト系ステンレス鋼板が得
られる。 〔実施例〕 第１表に示すようなオーステナイト系ステンレ
ス鋼を電気炉で溶製しAOD炉で精錬し、連続鋳
造によつてスラブとした後、熱間圧延により板厚
３mmの熱延コイルとした。ついで、熱延板の酸洗
または熱延板の焼鈍・酸洗を行つた後、冷延およ
び焼鈍を１〜３回繰り返し、1050〜1100℃の最終
焼鈍を施し、続いて調質圧延を行い、ウエハスラ
イサ用素材とした。 本発明法および比較法による製造条件と引張強
さ、および強度の面内異方性を第２表に示す。引
張強さは、圧延方向と平行な方向より引張試験片
を採取し、JISZ2241に従い測定した。強度の面
内異方性は、圧延方向に対して平行・45゜・直角
方向より引張試験片を採取し、各試験片の0.2％
耐力をJISZ2241に従い測定した後、これらの３
方向の内、0.2％耐力の最も大きい値から最も小
さい値を引いた値として評価した。 第２表より、本発明法は比較法に比べ高強度で
かつ強度の面内異方性が小さくウエハスライサ用
素材として非常に優れていることがわかる。
【表】
以上のことから明らかな如く、本発明法により
極薄オーステナイト系ステンレス鋼板を製造すれ
ば、高強度でかつ強度の面内異方性が小さく、ウ
エハスライサに張力を加えて張り上げても平坦度
が非常に優れたウエハスライサ用素材が得られ
る。従つて、SiやGaAsインゴツトの精度の高い
ウエハ切断が可能となり、ウエハの歩留が著しく
改善され生産性も飛躍的に向上する。
極薄オーステナイト系ステンレス鋼板を製造すれ
ば、高強度でかつ強度の面内異方性が小さく、ウ
エハスライサに張力を加えて張り上げても平坦度
が非常に優れたウエハスライサ用素材が得られ
る。従つて、SiやGaAsインゴツトの精度の高い
ウエハ切断が可能となり、ウエハの歩留が著しく
改善され生産性も飛躍的に向上する。
第１図はウエハスライサの構造および使用の説
明図である。
明図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 重量％にて、Ｃ；0.01〜0.2％、Si；0.1〜２
％、Mn：0.1〜４％、Ni；５〜11％、Cr；15〜
20％、Mo；0.05〜2.5％、Ｎ；0.01〜0.3％を含有
し残部Feおよび不可避的不純物からなり、かつ
(1)式に示すMd30が０〜＋80℃の範囲の組成にあ
る準安定オーステナイト系ステンレス鋼の熱延板
または熱延焼鈍板に冷延および焼鈍を２回以上繰
り返して施し、最終焼鈍前の２回の冷延における
冷延率の比Ｒ（１回目冷延率／２回目冷延率）を
0.8以上とし、ついで冷延率が40％以上の調質圧
延を行うことを特徴とするウエハスライサ用極薄
オーステナイト系ステンレス鋼板の製造方法。 Md30＝551−462（Ｃ％＋Ｎ％）−9.2Si％−8.1Mn％−29
Ni％−13.7Cr％−18.5Mo％……(1)
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7914986A JPS62238333A (ja) | 1986-04-08 | 1986-04-08 | ウエハスライサ用極薄オ−ステナイト系ステンレス鋼板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7914986A JPS62238333A (ja) | 1986-04-08 | 1986-04-08 | ウエハスライサ用極薄オ−ステナイト系ステンレス鋼板の製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS62238333A JPS62238333A (ja) | 1987-10-19 |
| JPH0244891B2 true JPH0244891B2 (ja) | 1990-10-05 |
Family
ID=13681899
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7914986A Granted JPS62238333A (ja) | 1986-04-08 | 1986-04-08 | ウエハスライサ用極薄オ−ステナイト系ステンレス鋼板の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS62238333A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5314549A (en) * | 1993-03-08 | 1994-05-24 | Nkk Corporation | High strength and high toughness stainless steel sheet and method for producing thereof |
| DE4406040A1 (de) * | 1993-11-30 | 1995-06-01 | Nippon Kokan Kk | Rostfreies Stahlblech und Verfahren zu dessen Herstellung |
| JPH1066362A (ja) * | 1996-06-11 | 1998-03-06 | Samsung Electron Co Ltd | 圧電形の加圧部材を備える振動波モータ |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2508869B2 (ja) * | 1990-02-16 | 1996-06-19 | 住友金属工業株式会社 | 硬質高延性ステンレス鋼 |
| KR20120132691A (ko) * | 2010-04-29 | 2012-12-07 | 오또꿈뿌 오와이제이 | 높은 성형성을 구비하는 페라이트-오스테나이트계 스테인리스 강의 제조 및 사용 방법 |
Family Cites Families (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5811489B2 (ja) * | 1976-03-01 | 1983-03-03 | 川崎製鉄株式会社 | 塑性歪比の面内異方性の小さいオ−ステナイト系ステンレス鋼帯板の製造方法 |
| JPS5346421A (en) * | 1976-10-08 | 1978-04-26 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Seawater resistant stainless steel |
| JPS5418648A (en) * | 1977-07-13 | 1979-02-10 | Hitachi Denshi Ltd | Digital differential analyzer |
| JPS55115927A (en) * | 1979-02-28 | 1980-09-06 | Nippon Steel Corp | Production of austenite-base stainless steel plate which does not cause earing |
| JPS5728740A (en) * | 1980-07-19 | 1982-02-16 | Hiroshi Inaba | Foaming polystyrene vessel |
-
1986
- 1986-04-08 JP JP7914986A patent/JPS62238333A/ja active Granted
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5314549A (en) * | 1993-03-08 | 1994-05-24 | Nkk Corporation | High strength and high toughness stainless steel sheet and method for producing thereof |
| DE4329305A1 (de) * | 1993-03-08 | 1994-09-15 | Nippon Kokan Kk | Hochfestes und hochzähes rostfreies Stahlblech und Verfahren zur Herstellung desselben |
| DE4329305C2 (de) * | 1993-03-08 | 1998-12-17 | Nippon Kokan Kk | Hochfestes und hochzähes rostfreies Stahlblech und Verfahren zur Herstellung desselben |
| DE4406040A1 (de) * | 1993-11-30 | 1995-06-01 | Nippon Kokan Kk | Rostfreies Stahlblech und Verfahren zu dessen Herstellung |
| DE4406052A1 (de) * | 1993-11-30 | 1995-06-01 | Nippon Kokan Kk | Rostfreies Stahlblech und Verfahren zu dessen Herstellung |
| JPH1066362A (ja) * | 1996-06-11 | 1998-03-06 | Samsung Electron Co Ltd | 圧電形の加圧部材を備える振動波モータ |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS62238333A (ja) | 1987-10-19 |
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