JPH0245154A - インクジェット記録装置 - Google Patents
インクジェット記録装置Info
- Publication number
- JPH0245154A JPH0245154A JP19630788A JP19630788A JPH0245154A JP H0245154 A JPH0245154 A JP H0245154A JP 19630788 A JP19630788 A JP 19630788A JP 19630788 A JP19630788 A JP 19630788A JP H0245154 A JPH0245154 A JP H0245154A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ink
- electrode
- pulse application
- pulse
- recording apparatus
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/06—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by electric or magnetic field
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/005—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by bringing liquid or particles selectively into contact with a printing material
- B41J2/01—Ink jet
- B41J2/015—Ink jet characterised by the jet generation process
- B41J2/04—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand
- B41J2/06—Ink jet characterised by the jet generation process generating single droplets or particles on demand by electric or magnetic field
- B41J2002/061—Ejection by electric field of ink or of toner particles contained in ink
Landscapes
- Particle Formation And Scattering Control In Inkjet Printers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
抜帆分裏
本発明は、インクジェット記録装置、より詳細には、イ
ンクジェット記録装置のヘッド部に関する。
ンクジェット記録装置のヘッド部に関する。
従ＪＯ創匪
第３図及び４図は、それぞれ従来のインクジェット記録
装置の要部構成図で、第３図の例は、ノズル１がインク
室２に連結され、インク３が常に前記ノズル１に補給さ
れ、ノズル１の先端と一定のギャップを保って配設され
た回転ドラム４の表面には記録紙５が巻きつけられ、該
回転ドラム４とノズル１との間に高圧直流電源６により
バイアス電圧及び高圧アンプ７によって信号パルスが直
列に加えられ、前記ノズル１内のインク３を信号に応答
して飛翔させ、記録紙５上に記録を行なわせるものであ
るが（特公昭４８−６１３１号公報を参照）、このもの
は、ノズルが必要であり、該ノズルの外径が０．１〜０
．８Ｉ程度であるため、目詰りが生じ易い欠点があった
。また、第４図の例は、インク室１１の前面にスリット
状のオリフィス１２を多段に設け、その中に複数の針電
極１３を配設し１毛細管現象により各針電極１３の先端
をそれぞれインク１４で濡らし、各針電極１３に対応し
て記録紙１５の裏側に配設した電極１６に前記針電極１
３とは逆極性の電圧を印加することにより、針電極１３
先端部分のインク１４に電気的吸引力を作用させて記録
紙１５上にドツト印写を行なわせるものであるが（特開
昭５５−１５４１７０号公報を参照）、このものは、針
電極１３を並べるときの位置精度が悪く、また、スリッ
トの面積が大きくオリフィスの溝も深いため、振動等で
インク液面がゆれて画質が悪くなる欠点があった。
装置の要部構成図で、第３図の例は、ノズル１がインク
室２に連結され、インク３が常に前記ノズル１に補給さ
れ、ノズル１の先端と一定のギャップを保って配設され
た回転ドラム４の表面には記録紙５が巻きつけられ、該
回転ドラム４とノズル１との間に高圧直流電源６により
バイアス電圧及び高圧アンプ７によって信号パルスが直
列に加えられ、前記ノズル１内のインク３を信号に応答
して飛翔させ、記録紙５上に記録を行なわせるものであ
るが（特公昭４８−６１３１号公報を参照）、このもの
は、ノズルが必要であり、該ノズルの外径が０．１〜０
．８Ｉ程度であるため、目詰りが生じ易い欠点があった
。また、第４図の例は、インク室１１の前面にスリット
状のオリフィス１２を多段に設け、その中に複数の針電
極１３を配設し１毛細管現象により各針電極１３の先端
をそれぞれインク１４で濡らし、各針電極１３に対応し
て記録紙１５の裏側に配設した電極１６に前記針電極１
３とは逆極性の電圧を印加することにより、針電極１３
先端部分のインク１４に電気的吸引力を作用させて記録
紙１５上にドツト印写を行なわせるものであるが（特開
昭５５−１５４１７０号公報を参照）、このものは、針
電極１３を並べるときの位置精度が悪く、また、スリッ
トの面積が大きくオリフィスの溝も深いため、振動等で
インク液面がゆれて画質が悪くなる欠点があった。
■−−五
本発明は、上述のごとき実情に鑑みてなされたもので、
特に、加工が容易で位置精度の良い静電吸引型インクジ
ェット記録装置を提供することを目的としてなされたも
のである。
特に、加工が容易で位置精度の良い静電吸引型インクジ
ェット記録装置を提供することを目的としてなされたも
のである。
構 成
本発明は、上記目的を達成するために、パルス印加電極
と、該パルス印加電極と記録媒体をはさんで対向する位
置に設けられた背面電極と、前記パルス印加電極が形成
された液室とを有し、前記パルス印加電極は該液室内の
液面下に配置されたことを特徴としたものである。以下
１本発明の実施例に基づいて説明する。
と、該パルス印加電極と記録媒体をはさんで対向する位
置に設けられた背面電極と、前記パルス印加電極が形成
された液室とを有し、前記パルス印加電極は該液室内の
液面下に配置されたことを特徴としたものである。以下
１本発明の実施例に基づいて説明する。
第１図は１本発明によるインクジェット記録装置の一実
施例を説明するための要部断面図、第２図（ａ）〜（ｅ
）は、第１図に示したインクジェット記録装置のヘッド
を製造するための各工程を示す図で、図中、２０はシリ
コン（Ｓｉ）又は酸化シリコン（Ｓ ｉ Ｏ２）で形成
されたインクジェットヘッド基板、２１はインク、２２
はヘッド基板に形成された浅いインク液室、２３は該イ
ンク液室２２にインクを補給するインク供給口、２４は
前記インク液室２２の液面下に配置された柱上あるいは
錐状の突起で、該突起２４の先端部にはパルス印加電極
２５が配設されてシする。このとき、前記突起先端部は
、インクの表面張力によりインクで覆われている。前記
ヘッド基板２０に対向して印字紙等の記録体２６が配置
され、該記録体２６の裏面には背面電極２７が配設され
る。該背面電極２７は、常にインクがヘッドより飛翔し
ない程度、すなわち、１〜３ｋＶの電圧が印加されてお
り、前記突起部２４上に配設されたパルス印加電極２５
に一５００Ｖ程度のパルス波が印加されると、静電力に
より該電極２５上のインクが飛翔し記録体２６上に印写
される。
施例を説明するための要部断面図、第２図（ａ）〜（ｅ
）は、第１図に示したインクジェット記録装置のヘッド
を製造するための各工程を示す図で、図中、２０はシリ
コン（Ｓｉ）又は酸化シリコン（Ｓ ｉ Ｏ２）で形成
されたインクジェットヘッド基板、２１はインク、２２
はヘッド基板に形成された浅いインク液室、２３は該イ
ンク液室２２にインクを補給するインク供給口、２４は
前記インク液室２２の液面下に配置された柱上あるいは
錐状の突起で、該突起２４の先端部にはパルス印加電極
２５が配設されてシする。このとき、前記突起先端部は
、インクの表面張力によりインクで覆われている。前記
ヘッド基板２０に対向して印字紙等の記録体２６が配置
され、該記録体２６の裏面には背面電極２７が配設され
る。該背面電極２７は、常にインクがヘッドより飛翔し
ない程度、すなわち、１〜３ｋＶの電圧が印加されてお
り、前記突起部２４上に配設されたパルス印加電極２５
に一５００Ｖ程度のパルス波が印加されると、静電力に
より該電極２５上のインクが飛翔し記録体２６上に印写
される。
次に、第２図を参照しながら前記インクジェットヘッド
の製造工程を説明する。シリコン（Ｓｉ）又は酸化シリ
コン（Ｓ ｉ Ｏ２）よりなるヘッド基板２０に、フォ
トレジストが塗布され、プリベーキングのあと、フォト
マスクを用いて１ｇ光、現像、リンス、ポストベーキン
グすることにより、第２図（ａ）に示す如く、感光した
レジスト２８のパターンが形成される。次に、該基板２
０にエツチングを施すと、感光したレジスト２８に保護
されていない部分のみが腐食液中で四角錐台状に腐食さ
れて、第２図（ｂ）に示す如く、インクの供給口２３が
形成される１次に、第２図（ｃ）に示す如く、ヘッド基
板２０の、前記インク供給口２３が形成された側と反対
側にも前記と同様にフォトレジストを塗布してプリベー
クし、露光し、感光したレジスト２８のパターンを形成
し、エツチングを施すと、第２図（ｄ）に示す如く前記
感光したレジスト２８に保護されていない部分のみが、
腐食液中で侵食されて浅いインク液室２２が形成され、
四角錐台の突起２４が残る。エツチング加工後、レジス
ト２８を除去し、第２図（ｓ）に示す如く突起２４上の
電極２５と引出線２９をレジスト、露光により露出し、
スパッタリング等で導電膜を付着させ、最後にヘッド基
板２０全体を保護絶縁膜３０で被覆する。
の製造工程を説明する。シリコン（Ｓｉ）又は酸化シリ
コン（Ｓ ｉ Ｏ２）よりなるヘッド基板２０に、フォ
トレジストが塗布され、プリベーキングのあと、フォト
マスクを用いて１ｇ光、現像、リンス、ポストベーキン
グすることにより、第２図（ａ）に示す如く、感光した
レジスト２８のパターンが形成される。次に、該基板２
０にエツチングを施すと、感光したレジスト２８に保護
されていない部分のみが腐食液中で四角錐台状に腐食さ
れて、第２図（ｂ）に示す如く、インクの供給口２３が
形成される１次に、第２図（ｃ）に示す如く、ヘッド基
板２０の、前記インク供給口２３が形成された側と反対
側にも前記と同様にフォトレジストを塗布してプリベー
クし、露光し、感光したレジスト２８のパターンを形成
し、エツチングを施すと、第２図（ｄ）に示す如く前記
感光したレジスト２８に保護されていない部分のみが、
腐食液中で侵食されて浅いインク液室２２が形成され、
四角錐台の突起２４が残る。エツチング加工後、レジス
ト２８を除去し、第２図（ｓ）に示す如く突起２４上の
電極２５と引出線２９をレジスト、露光により露出し、
スパッタリング等で導電膜を付着させ、最後にヘッド基
板２０全体を保護絶縁膜３０で被覆する。
効 果
以上の説明から明らかなように、本発明によると、シリ
コンで形成されたヘッド基板にフォトエツチングにより
インク液室と突起部が形成されるため、位置、高さ共、
精度の良い突起が正確かつ安価に得られ、また、従来の
ノズルプレートのように目詰りを生ずることなく確実に
印写を行なわせることができるとともに、インク液室を
浅くすることにより、インクに表面張力を生じさせてヘ
ッドの振動等による液面の揺れ、漏れ等を減少させ１画
質を安定化させることができる。
コンで形成されたヘッド基板にフォトエツチングにより
インク液室と突起部が形成されるため、位置、高さ共、
精度の良い突起が正確かつ安価に得られ、また、従来の
ノズルプレートのように目詰りを生ずることなく確実に
印写を行なわせることができるとともに、インク液室を
浅くすることにより、インクに表面張力を生じさせてヘ
ッドの振動等による液面の揺れ、漏れ等を減少させ１画
質を安定化させることができる。
第１図は、本発明によるインクジェット記録装置の一実
施例を説明するための要部断面図、第２図（ａ）〜（ｅ
）は、第１図に示したインクジェット記録装置のヘッド
を製造するための各工程を示す図、第３図及び４図は、
それぞれ従来のインクジェット記録装置の要部構成図で
ある。 ２０・・・インクジェットヘッド基板、２１・・・イン
ク、２２・・・インク液室、２３・・・インク供給口、
２４・・・突起部、２５・・・パルス印加電極、２６・
・・記録体、２７・・・背面電極、２８・・・フォトレ
ジスト、２９・・・引出線、３０・・・保護絶縁膜。
施例を説明するための要部断面図、第２図（ａ）〜（ｅ
）は、第１図に示したインクジェット記録装置のヘッド
を製造するための各工程を示す図、第３図及び４図は、
それぞれ従来のインクジェット記録装置の要部構成図で
ある。 ２０・・・インクジェットヘッド基板、２１・・・イン
ク、２２・・・インク液室、２３・・・インク供給口、
２４・・・突起部、２５・・・パルス印加電極、２６・
・・記録体、２７・・・背面電極、２８・・・フォトレ
ジスト、２９・・・引出線、３０・・・保護絶縁膜。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、パルス印加電極と、該パルス印加電極と記録媒体を
はさんで対向する位置に設けられた背面電極と、前記パ
ルス印加電極が形成された液室とを有し、前記パルス印
加電極は該液室内の液面下に配置されたことを特徴とす
るインクジェット記録装置。 ２、シリコンプレートのエッチングにより、前記液室お
よびパルス印加電極の電極パターンを形成したことを特
徴とする請求項第１項に記載のインクジェット記録装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19630788A JPH0245154A (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 | インクジェット記録装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19630788A JPH0245154A (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 | インクジェット記録装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0245154A true JPH0245154A (ja) | 1990-02-15 |
Family
ID=16355631
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19630788A Pending JPH0245154A (ja) | 1988-08-05 | 1988-08-05 | インクジェット記録装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0245154A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001230077A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-08-24 | Dainippon Printing Co Ltd | エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
| EP1253626A4 (en) * | 2000-07-21 | 2005-08-10 | Dainippon Printing Co Ltd | METHOD TO DRAW FINE PATTERN |
-
1988
- 1988-08-05 JP JP19630788A patent/JPH0245154A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001230077A (ja) * | 2000-02-18 | 2001-08-24 | Dainippon Printing Co Ltd | エレクトロルミネッセンス素子の製造方法 |
| EP1253626A4 (en) * | 2000-07-21 | 2005-08-10 | Dainippon Printing Co Ltd | METHOD TO DRAW FINE PATTERN |
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