JPH0245323B2

JPH0245323B2 -

Info

Publication number: JPH0245323B2
Application number: JP55140333A
Authority: JP
Inventors: Yukio Kakizaki; Nobutoshi Abe
Original assignee: Nippon Kogaku KK
Current assignee: Nikon Corp
Priority date: 1980-10-07
Filing date: 1980-10-07
Publication date: 1990-10-09
Also published as: JPS5764929A

Description

【発明の詳細な説明】本発明は、半導体素子製造用のフオトマスク若
しくはレチクルを搬送する装置に関する。

近年、半導体素子の製造において、量産性信頼
性等の要求が高まつている。特にLSIの如く集積
度の高い素子についてはこの要求も高い。一般
に、このようなLSI等を製造するのにフオトマス
ク又はレチクル等のガラス基板が用いられる。こ
のフオトマスク（以下単にマスクと呼ぶ）又はレ
チクルには回路パターンが描かれている。

この回路パターンは、１つのLSIチツプを造る
のに通常数種類以上必要とされる。マスク又はレ
チクルは、コンタクト方式では焼付けるウエハ上
に密着させたり、プロキシミテイ方式ではウエハ
から、わずかに離してかさねたりして、焼付けを
行なうために用いる。ところが、先にも述べたよ
うに、１つのLSIチツプを造るのに数種類以上の
回路パターン、すなわち複数枚のマスク又はレチ
クルが必要であり、これを露光、焼付けのたびに
交換していくことになる。このようにマスク又は
レチクルを順次自動的に交換する装置、例えばマ
スク自動搬送装置等が提案されている。

この装置では、マスクを複数枚カートリツジに
収め、このカートリツジを上下動させて特定のマ
スクを選び、カートリツジから取り出して所定の
位置まで搬送するようにしている。尚、レチクル
の搬送に関しても同様の装置が提案されている。

ところが、マスク又はレチクルに塵や傷があつ
た場合、当然ながら回路のパターンミスとして焼
付けられてしまい、素子としての信頼性を低下さ
せるばかりでなく、最悪の場合には、回路パター
ンの断線又は短絡を招く。そこで、マスク又はレ
チクルに塵や傷が確認された場合は、速かに、そ
のマスク又はレチクルを取り出して保守する（塵
の場合はその塵を取りのぞき、傷の場合は程度に
もよるが新しい同種のものと取り換える。）作業
が必要である。ところが、従来のような搬送装置
では、この作業を全て人手によつて行なつてい
た。

このように、人手によつて直接マスク又はレチ
クルを取り扱うことは、防塵のためには、望まし
いことではない。また、マスクやレチクルを搬送
のためにカートリツジに出し入れする際、マスク
やレチクルが、その保持部材等とすれることも、
傷や塵の発生を招く点で望ましくない。このよう
に、塵や傷に対して十分な配慮が必要なのは、マ
スク、レチクルが高価なこと、またその製作に時
間がかかる等のためである。しかし、従来の装置
ではカートリツジ内にマスクやレチクルが露出し
たまま取り付けられていたので、人体からのごみ
や塵を考慮すると、カートリツジ内のマスクやレ
チクル保守のため取り換えることは容易に行なえ
ないという欠点を有していた。

そこで本発明は、マスク又はレチクル等の基板
を直接人手で扱うことなく交換可能に保管すると
ともに、必要に応じて任意の基板を高速、かつ確
実に搬送する基板の搬送装置を得ることを目的と
する。

この目的を達成するために、本発明において
は、マスク又はレチクル等の基板１０を収納し、
ほぼ水平方向にに出し入れする位置に開口部９を
形成したケース本体２，３と、該ケース本体の内
部に設けられ、前記ケース本体の下壁面３ｃ及び
上壁面２との間に所定の空〓ｔ等が形成されるよ
うに前記基板の周囲部分を保持する保持部３ａと
で構成された複数のカセツトケースを装着し、該
カセツトケース内から前記基板を取り出して搬送
する搬送装置において、前記カセツトケースを、
前記開口部を一方向に揃えて垂直方向に間隔lcで
着脱自在に装着するカートリツジと；前記カセツ
トケース内の基板の下面側空〓ｔよりも小さな厚
さｄを有し、該下面側空〓に前記開口部を介して
ほぼ水平に進入する水平搬送部材と；該水平搬送
部材を水平方向に移動させる水平移動機構と；前
記水平搬送部材を、前記複数のカセツトケースの
うちの任意の１つの前記開口部と対向させるため
に、前記カートリツジと前記水平移動機構とを垂
直方向において相対的に移動させる垂直移動機構
３０と；前記水平搬送部材の高さと、前記カート
リツジの垂直方向の端部に装着された１番目のカ
セツトケース内の下面側空〓の高さとの垂直方向
における相対距離がl₀になつたとき検知信号を出
力する第１検出手段と；該検知信号に応答してリ
セツトされると共に、該リセツト位置を原点とし
て前記垂直移動機構の垂直方向における相対移動
量に対応したパルス数を計測するカウンタと；前
記複数の各カセツトケースに垂直方向に順に番号
を付したとき、所望のカセツトケースの番号ｎを
入力する入力手段と；該入力された番号、前記相
対距離及び前記間隔に基づいて特定される前記ｎ
番目のカセツトケース内の下面側空〓の中央高さ
と、前記水平搬送部材の高さ方向における中心部
とをほぼ等しい高さにするために、前記垂直移動
機構の原点からの相対移動量Ｌを決定し、該相対
移動量に対応して前記垂直移動機構を作動させる
制御手段と；前記水平搬送部材の一部に取り付け
られ、前記水平搬送部材の前記基板を保持する保
持面の高さと、前記ｎ番目のカセツトケース内の
前記基板の下面の高さとの差がｈ＋（ｔ−ｄ）／
２（但し、ｈは定数）になつたとき、前記制御手
段に検知信号を出力する第２検出手段５０と；を
備えるようにした。

しかして、前記制御手段は、予め決定された前
記相対移動量に対応して前記垂直移動機構を粗移
動させた後、前記第２検出手段の検知信号に応答
して前記水平搬送部材の保持面と前記ｎ番目のカ
セツトケース内の基板の下面との高さ方向の差を
（ｔ−ｄ）／２に正確に位置決めし、前記水平移
動機構を作動させて前記水平搬送部材を前記ｎ番
目のカセツトケース内の下面側空〓の中央に周辺
部に接触させることなく進入させ、前記垂直移動
機構を作動させて前記水平搬送部材を前記カセツ
トケース内で相対的に上方に（ｔ−ｄ）／２より
も大きい一定量だけ移動させた後前記基板を前記
保持部から受け取るようにした。

即ち、これを具体的に述べれば、カセツトケー
スには基板を水平に出し入れするための開口部９
と、基板の周辺部分を保持する保持部（段部３
ａ）とが形成される。この保持部によつて、カセ
ツトケース内に収納された基板の上面と下面の
夫々に所定の空〓が形成される。基板下面の空〓
は水平搬送部材（搬送アーム１６）が進入しうる
ように設けられ、上面の空〓は水平搬送部材が基
板を保持部からわずかに持ち上げられるように設
けられる。これによつて搬送アーム１６が基板を
カセツトケース内から引き出すとき、基板はケー
ス内のいずれとも摺動しないように退出される。

このカセツトケースはカートリツジ１４，１５
の所定の高さ位置に装着され、カートリツジと搬
送アーム１６とは垂直移動手段３０，３２〜３７
によつて相対的に垂直方向に移動される。この
際、搬送アーム１６の方がカートリツジ１４，１
５に対して上下動してもよいし、逆にカートリツ
ジの方が搬送アームに対して上下動してもよい。

そして搬送アーム１６とカートリツジ１４，１
５即ちカセツトケースとの高さ方向の位置関係
は、第１検出手段を構成するリミツトスイツチ４
０と、パルスモータ３７の駆動パルスを計数する
カウンタとによつて一義的に求められる。この第
１検出手段は、例えば搬送アーム１６がカートリ
ツジ１４，１５に対して最も上方に位置したとき
を原点として、搬送アームのカートリツジに対す
る高さ位置を検出する。

一方、搬送アーム１６がカセツトケース内の基
板下面の空〓と所定の高さ位置になつたか否かを
検出するために、第２検出手段としてのリミツト
スイツチ５０が設けられる。さらにシーケンスを
統括制御する制御手段が設けられる。制御手段
（計算器等）は上記カウンタのみをモニターし、
その計数値が、予め与えられた所望のカセツトケ
ースの高さ位置に対応したものになるまで、垂直
移動手段３０，３２〜３７によつて搬送アーム１
６を垂直方向に駆動した後、リミツトスイツチ５
０の検出信号に応答して、さらに精密に基板下面
の空〓位置に搬送アーム１６を位置決めするよう
に垂直移動手段を作動させる。

以下、本発明の実施例を図面を参照して説明す
る。

第１図は本発明の実施例による搬送装置に装着
可能な防塵カセツトの斜視図である。通常、マス
クやレチクルの大きさは特定の寸法に統一されて
いる。また、回路パターンは、マスクやレチクル
の周囲に所定の余白を設けて描かれている。

さて、マスク又はレチクル（以下総称してガラ
ス基板とする）は、第１図中チリトリ状の底蓋３
の中に収納される。この底蓋３には、開口端面９
以外の周囲に図の如く壁が設けられている。この
壁の上部には２つの段部３ａ，３ｂが設けられて
いる。段部３ａはガラス基板の端部を保持する。
また、底蓋３には、開口端面９の反対側にヒンジ
７によつて図中矢印Ａのように開閉自在に設けら
れた上蓋２が取り付けられていて、この上蓋２
は、底蓋３の壁の段部３ｂに嵌合して、底蓋３の
上面を閉じる。さらに、上蓋２の開口端面９側に
は、扉部材１（以下、開閉部材１とする。）がヒ
ンジ６を介して図中矢印Ｂのように上蓋２に対し
て回動可能に取り付けられている。

上蓋２が回動して段部３ｂに嵌合し、開閉部材
１が開口端面９を閉成することによつて、ガラス
基板は、ほぼ密閉状態で収納されることになる。
また開閉部材１の端面部には、後述する搬送装置
と連動するため、図の如く溝８が設けられてい
る。また、このカセツトを搬送装置の所定の位置
に保持するための突出部４，５が底蓋３の壁の外
側面に設けられている。この突出部４，５の働き
についても、詳しくは後述する。

第２図は、上蓋２を閉めて開閉部材１を開けた
様子を示すカセツトの一部斜視図である。上蓋２
は前述の如く段部３ｂの上に重なつていて、ガラ
ス基板（不図示）は、段部３ａの上に載つてい
る。開閉部材１はヒンジ６により開閉自在に設け
られているので、開閉部材１が不用意に開くのを
防止するため、底蓋３の開口端面９の端に、第２
図の如く磁石１３をうめ込んでおく。そして開閉
部材１が合成樹脂のようなものであれば、この磁
石１３と対向する面、第２図では開閉部材１の裏
面に磁性体を固着しておく。この実施例では、開
閉部材１の裏面と開口端面９が密接する必要があ
るので、磁石１３、磁性体等はそれら密接する面
よりもわずかに沈めて埋設されていて、その表面
は露出していない。

第３図は、カセツトにガラス基板を収納して、
上蓋２を閉じた状態を示す一部断面図である。ガ
ラス基板１０の端部が段部３ａに載ることによつ
てガラス基板１０の上面、下面側のそれぞれに所
定の空間が形成される。すなわち、段部３ａと段
部３ｂの高さをガラス基板１０の厚さよりも大き
くすることによつて、上蓋２とガラス基板１０の
間に所定の空隙が形成でき、底蓋３の底部３ｃか
ら段部３ａまでの高さによつて、ガラス基板１０
と底部３ｃの間に所定の空隙が形成できる。ま
た、この段部３ｂの所定の位置に、上蓋２が不用
意に開かないように、図の如く磁石１２が埋設さ
れている。そして前述のように、上蓋２が合成樹
脂で形成されている場合は、この段部３ｂと密接
する磁石１２と対向する位置に磁性体１１が埋接
されている。この磁石１２と磁性体１１は、段部
３ｂの所定の位置に複数設けられている。

上述の如き、カセツトにガラス基板を収納する
には、まず第１図のように上蓋２を開いてガラス
基板を底蓋３の内壁の段部３ａの上に載せる。そ
して、上蓋２を閉じると共に開閉部材１を閉じれ
ば、ガラス基板はほぼ密閉状態で収納される。そ
して、このカセツトを搬送装置等のカートリツジ
に装着するようにすれば、ごみ、塵等によつてマ
スク又はレチクルを取り換える際、このカセツト
ごと取り換えられるので、直接マスク、又はレチ
クルを取り換えるよりも塵が付着しにくいという
利点がある。

次に、このカセツトを複数装着してカセツト内
のガラス基板を取り出し、搬送する装置について
説明する。

第４図は、このカセツトを複数保持するカート
リツジ部とガラス基板を取り出す搬送アーム、及
びその駆動機構を示した斜視図である。固定ベー
ス１８の上には、カートリツジ１５及び複数のカ
ートリツジ１４を図のように一列に固定する支柱
４３が平行に設けられている。カートリツジ１
４，１５にはそれぞれ対向する側に溝が形成され
ていて、この溝に前述のようなカセツトの突出部
４，５が嵌入する。先にも述べたように、突出部
４，５はカセツトの所定の位置に設けられている
ので、突出部４，５がカートリツジ１４，１５の
溝に嵌入すると、全てのカセツトの位置が揃うこ
とになる。尚カートリツジ１４は、各カセツトの
厚さに応じて複数設けられているが、詳しくは後
述する。

コ字形の垂直移動部材３０は、カートリツジ１
５の高さ方向に設けられた不図示のガイドレール
に沿つて上下にのみ自在に動くように、カートリ
ツジ１５の側壁に取り付けられている。カートリ
ツジ１５には、カセツトを装着する溝の裏側にプ
ーリ３２，３３を介してベルト３４が設けられて
いる。プーリ３２はカートリツジ１５の上部に、
プーリ３３は下部に設けられるが、プーリ３３の
回転はウオームギヤー３６、ウオームホイル３５
を介して、モーター３７の回転によつて行なわれ
る。そして、プーリ３３の回転がベルト３４によ
つてプーリ３２に伝えられる。尚、各プーリとベ
ルト３４がすべらないように、ベルト３４の内側
及びプーリの外周面にはそれぞれ噛合するような
凹凸が設けられている。また、垂直移動部材３０
はその内側でベルト３４と連結していて、ベルト
３４の送り、すなわちモータ３７の回転によつて
上下に移動する。

そして、垂直移動部材３０には、カートリツジ
１５の高さ方向と直交する方向に延びた水平案内
部材３１が固定されている。この水平案内部材３
１にもコの字状の水平移動部材４１が設けられて
いて、水平案内部材３１に設けられた不図示のガ
イドレールに沿つて水平にのみ移動可能である。
尚、第４図では示していないが、水平案内部材３
１の内側３１ａにもベルトとプーリが設けられ
て、垂直移動部材３０に取りつけられた不図示の
モータによつて前述のように水平移動部材４１を
移動する。そして、水平移動部材４１には、支持
部材４２を介してガラス基板を載せる搬送アーム
１６がカセツトに対向するように設けられる。搬
送アーム１６は第４図の如くフオーク形状を成
し、そのフオーク部１６ａ，１６ｂがカセツトの
開閉部材１の方へ向いている。また、フオーク部
１６ａ，１６ｂの上側には、ガラス基板の裏面を
真空で吸着するための吸気孔１７が設けられ、か
つフオーク部１６ａ，１６ｂの間隔はガラス基板
上のパターン描画領域よりも広くなるように形成
されている。尚、前述した垂直移動部材３０によ
る上下動を以後、Ｚ方向の移動とし、また、水平
移動部材４１による水平移動をＸ方向の移動とす
る。

以上のように構成することによつて、搬送アー
ム１６は、Ｚ方向及びＸ方向に各モータの制御に
よつて自在に移動することができる。

尚、カートリツジ１５のプーリ３２側とプーリ
３３側には垂直移動部材３０の移動制限のための
２つのリミツトスイツチが、又、水平案内部材３
１にも水平移動部材４１の移動制限のための２つ
のリミツトスイツチがそれぞれ設けられている。

先にも述べたように、各カセツトの開閉部材１
の側面部には溝８が設けられている。この溝８
は、開閉部材１を開閉するための開閉装置と係合
するものである。この開閉装置は、第４図に示し
た開閉機構部２６、及び開閉の駆動力を与えるエ
アシリンダ２７から成る。開閉機構部２６は垂直
移動部材３０に取り付けられていて、一体にＺ方
向の移動を行なう。

第５図は開閉機構部２６を側面からみた一部断
面図である。この図は、モーター３７によつて垂
直移動部材３０を任意のカセツトに対応した所定
位置まで移動させた状態を示す。エアシリンダ２
７のピストン２５には、下部にＵの字状の切り欠
き２４ａを有するスライド部材２４が固定されて
いる。この切り欠き２４ａには、軸１９によつて
軸支されたレバー２２の先端部に形成されたボー
ル２２ａが嵌入する。この軸１９は支持部材２３
に回転自在に設けられている。さらに軸１９の反
対側にはレバー２１が固定され、レバー２１の先
端にはカセツトの溝８と係合可能な開閉ピン２０
が設けられている。この開閉ピン２０は、図のよ
うに開閉部材１が閉成している時は、溝８の内部
に接触しないようにその長さ、直径が定められて
いる。このレバー２２、軸１９、レバー２１等の
状態は第６図の斜視図のようになつており、レバ
ー２２が軸１９を中心に時計回りに回転すると、
開閉ピン２０も時計回りに回転する。そこで第５
図においてエアーシリンダ２７が作動して、スラ
イド部材２４が図の位置から右方へ移動すると、
ボール２２ａは切り欠き２４ａに嵌入したまま右
方へ動くと共に、レバー２２が時計方向に回わつ
て開閉ピン２０も時計方向に回わる。

また、垂直移動部材３０と搬送アーム１６はい
つしよにＺ方向の移動を行なうので、搬送アーム
１６の固定ベース１８からの高さと軸１９の固定
ベース１８からの高さとの差は常に一定である。
実施例においては不図示であるが、第５図のよう
に開閉ピン２０が溝８に係合した状態で、搬送ア
ーム１６のフオーク部１６ａ，１６ｂはほぼ第３
図に示したガラス基板１０と底蓋３の底部３ｃの
間に成る如く、カセツトに対向するようにあらか
じめ配置されている。尚、溝８は開閉部材１の端
部を貫通して設けられているので、第５図のよう
な状態で開閉ピン２０はどのカセツトの所へも移
動可能である。

そこで、エアシリンダ２７が作動して、ボール
２２ａが第５図中右方へ移動すると、開閉ピン２
０の時計方向の回転により、カセツトの開閉部材
１は第５図の位置から約90°まで開成する。

以上の如く開閉部材１が開くと、第４図に示し
た水平移動部材４１が図の位置からカセツトの方
へ移動して、搬送アーム１６のフオーク部１６
ａ，１６ｂがカセツトの内部へ挿入される。前述
したように、エアシリンダ２７が作動してカセツ
トの開閉部材１が開く時、フオーク部１６ａ，１
６ｂの固定ベース１８からの高さは、そのカセツ
トのガラス基板の下側の空隙におけるほぼ中心に
位置する。従つて、フオーク部１６ａ，１６ｂ
は、カセツト内のガラス基板の下側の空間部に挿
入される。この様子を第７図に示す。第７図はガ
ラス基板１０を収納したカセツトを上から見た略
図であり、上蓋２、開閉部材１等は省略してあ
る。ガラス基板１０は前述の如く段部３ａによつ
て端部で保持されている。またガラス基板１０は
その周囲に所定の余白を残して、回路パターン１
０ａが描かれている。従つてフオーク部１６ａ，
１６ｂは、この余白に相当する面に接触可能なよ
うに挿入される。また、第７図からも明らかなよ
うに、フオーク部１６ａ，１６ｂはガラス基板１
０の下側、すなわち、第３図に示したガラス基板
１０と底蓋３の底部３ｃとの空間部に挿入され
る。従つて、第３図で示した段部３ａと底部３ｃ
の面の高さは、搬送アーム１６のフオーク部１６
ａ，１６ｂの厚さよりも大きくなるように定めら
れている。これは、フオーク部１６ａ，１６ｂが
ガラス基板１０の下側に挿入される時、ガラス基
板１０の底蓋３をこすらないようにするためであ
る。

このようにフオーク部１６ａ，１６ｂがカセツ
ト内に所定の位置まで挿入されると、搬送アーム
１６はモーター３７の駆動によつて上方に移動す
る。すると、フオーク部１６ａ，１６ｂはガラス
基板１０の裏面の余白部に接触するが、この時同
時に吸気孔１７によつて真空吸着も行なう。搬送
アーム１６は、さらに上方にわずかに移動して停
止する。これは、ガラス基板１０を段部３ａから
わずかに持ち上げるために必要な動作である。従
つて、第３図に示したガラス基板１０と上蓋２の
間の空隙は、少なくともこの持ち上げる量に応じ
て定められる。このようにして持ち上げられたガ
ラス基板１０は、搬送アーム１６をカセツトから
引き出す方向に移動することによつて、カセツト
外に搬送される。その後、再びエアシリンダ２７
が作動して、開閉部材１を閉成する。そして、ガ
ラス基板１０は焼き付けのための露光装置やマス
クやレチクルの検査装置に送られる。こうして、
処理の終つたガラス基板１０は、先の取り出し動
作と逆の動作によつて再びカセツト内に収納され
る。

以上のように、ガラス基板の上面及び下面に所
定の空間が形成されるようなカセツトにすること
及び実施例に示したような搬送動作を行なうこと
によつて、ガラス基板を摺動して挿脱することが
防げる。

尚、第４図に示したような搬送アーム１６はＸ
方向及びＺ方向の移動しか行なわない。従つてガ
ラス基板は、カセツトから取り出された後上下に
しか搬送できない。そこで、露光装置や検査装置
へ搬送するには、通常ガラス基板をＺ方向、Ｘ方
向のそれぞれに直交する方向へ移動させる必要が
ある。この直交する方向をＹ方向として、その搬
送装置をローダー機構とする。ローダー機構につ
いては、詳しくは後述するが、第４図に示した装
置の上部に設けられる。

先にも述べたように、垂直移動部材３０が上下
動して任意のカセツトの位置で停止すると、カセ
ツトの開閉部材１は開閉ピン２０によつて開けら
れ、その後搬送アーム１６のフオーク部１６ａ，
１６ｂがカセツト内に挿入される。この時、フオ
ーク部１６ａ，１６ｂがカセツト内のガラス基板
の下側の空間部に摺動なく挿入されればよいが、
例えば垂直移動部材３０を駆動するベルト３４の
延び縮み等によつて生じる移動量の誤差のために
フオーク部１６ａ，１６ｂが挿入される時、ガラ
ス基板の裏面を摺動することも考えられる。そこ
で、実施例の装置では、フオーク部１６ａ，１６
ｂが確実にガラス基板の下側の空間部に摺動なく
挿入されるように、搬送アームのガラス基板に対
する高さを検出する機構を設けてある。

この検出機構を第８図によつて説明する。第８
図は、搬送アーム１６とカセツトの位置との関係
を示した一部断面図である。カセツトの上蓋２に
設けられた開閉部材１は開いた状態にあるが、図
では省略してある。搬送アーム１６は、前述のよ
うに水平移動部材４１がカセツトの方へ移動する
と、支持部材４２によつて第８図の如き位置まで
移動する。すなわち、フオーク部１６ｂの先端が
カセツトの開口端面９よりもわずかに挿入された
位置まで移動して停止する。

搬送アーム１６は支持部材４２にヒンジ５１を
介して取り付けられ、ヒンジ５１を中心に回転自
在に設けられる。また、ストツパ部材５２は、搬
送アーム１６が図の位置から時計方向に回わるの
を係止すると共に、カセツト内のガラス基板とほ
ぼ平行になるように搬送アーム１６の水平度を定
める働きをする。第８図の状態では、搬送アーム
１６はその自重でストツパ部材５２に当接してい
る。またリミツトスイツチ５０は搬送アーム１６
の反時計方向の回転を検出するものである。前述
のように、フオーク部１６ｂの先端はカセツトの
内部にわずかに挿入されて一度停止するが、この
先端部の挿入量は、ガラス基板１０の側端面と開
口端面９までの長さよりも短いことが望ましい。
このようにしておけば、搬送アーム１６の上下動
における位置決めは、カセツトの上蓋２の内面と
底蓋３の底部３ｃとの間であればよく、位置決め
の精度はそれほど必要でなくなる。

次に第８図の状態から正確な位置（ガラス基板
１０と底部３ｃとの間）を決める動作について説
明する。この状態で、まず第１に垂直移動部材３
０を下方へわずかに移動させる。すると、支持部
材４２も共に下方へ移動するが、この時、フオー
ク部１６ｂの先端部はカセツトの底部３ｃに引つ
かかる。さらに支持部材４２を下方へ移動する
と、ストツパ部材５２から搬送アーム１６が離れ
ると共に、リミツトスイツチ５０が開成又は閉成
して、搬送アーム１６が図中矢印の如く反時計方
向にわずかに回転したことを検出する。この検出
は、リミツトスイツチ５０の状態変化を検出する
不図示の検出回路によつて行なわれる。次に、こ
の検出回路の出力に応じて搬送アーム１６の下方
への移動を停止する。

この時の状態を第９図に示す。図のように、フ
オーク部１６ｂはカセツトの底部３ｃに引つかか
つて若干傾斜する。この時の傾斜量は、リミツト
スイツチ５０の搬送アーム１６に対する取り付け
位置によつて常に一定値に定められている。従つ
て、ストツパ部材５２の先端とカセツトの底部３
ｃとの高さの差分ｈは常に所定値になる。すなわ
ち、リミツトスイツチ５０はこの差分ｈを検出し
て、搬送アーム１６の下方への移動を停止するよ
うに働く。このして差分ｈを検出すると、搬送ア
ーム１６は上方へ移動する。この移動量はあらか
じめ定められた量である。すなわち、第９図の如
くフオーク部１６ｂ（１６ａも同様）の厚さをｄ、
ガラス基板１０と底部３ｃとの間隔をｔとする
と、先にも述べたようにｔ＞ｄと定めたから、搬
送アーム１６の第９図の位置から上方への移動量
をほぼｈ＋（ｔ−ｄ）／２とすれば、フオーク部
１６ｂ，１６ａは、ガラス基板１０と底部３ｃの
空間のほぼ中心に位置することになる。上式で差
分ｈ、厚さｄ、間隔ｔのいずれも所定の一定値で
ある。従つて、第９図のような状態から、フオー
ク部１６ｂ，１６ａのカセツトに対する高さを正
確に定めるには、前記式による一定量だけ搬送ア
ーム１６を上方へ移動するようにすればよい。

こうして、搬送アーム１６の高さが定まると、
後は前述のようにしてフオーク部１６ａ，１６ｂ
をカセツト内へ挿入して、ガラス基板１０を取り
出す動作が行なわれる。尚、底部３ｃの開口端面
９側は、この位置決めのためにガラス基板の裏面
から間隔ｔだけ離れた、基準位置を定める働きを
する。

ところで、先にも述べたように、カセツトを保
持するには、カセツトの側面に設けられた突出部
４，５が嵌合する溝を有するカートリツジ１４，
１５が必要である。しかし、ただ単に溝を設けた
だけの支柱形状のカートリツジだと、第４図のよ
うに積み重ねた場合、特定のカセツトだけをカー
トリツジから抜き取ることは困難である。そこ
で、実施例ではカートリツジ１４の方をカセツト
単体に対応して、第４図の如く分割してある。そ
して、この分割された各カートリツジは、ヒンジ
とバネ部材等によつて構成されるロツク部材を有
している。この様子を第１０図に示す。第１０図
は、１つのカセツトをカートリツジ１４，１５に
取り付け、又は抜き取る状態を簡単に示した図で
ある。各カセツトを積み合わせたとき、第４図の
如くカセツトとカセツトが接触しないである一定
の間隔を保つように、カセツトの突出部４，５を
載せるための板部材１４ａ，１５ａがカートリツ
ジ１４，１５の溝に一定の間隔で複数設けられて
いる。カートリツジ１４には図のようなロツク部
材１４ｃが設けられている。このロツク部材１４
ｃはヒンジ１４ｂを中心に回転可能であり、矢印
の方向に不図示のバネ等で付勢されている。従つ
て第１０図のようにロツク部材１４ｃを開いてカ
セツトの突出部４をカートリツジ１５の溝に係合
するようにして、カセツト本体をその係合部分が
中心になるようにして回転させれば、カセツトは
単体で取り付け、抜き取りができる。この際、そ
のカセツトの開閉部材１の溝８に開閉ピン２０が
係合していても、カセツトは図のようにカートリ
ツジ１５と突出部４の係合部分を中心に回転する
ので、この開閉ピン２０も溝８からはずれる。

以上のようなカセツトにマスク又はレチクルを
単体で収納することによつて、カートリツジへの
取り付け又は抜き取りは人手によつて容易に可能
である。すなわち、傷、塵等によつて使用できな
くなつたマスク又はレチクルは、その場でただち
に、カセツトごと変換できるので、従来のように
直接マスクやレチクルに触れることなく作業がで
き、塵の付着を防止する効果はきわめて大きい。

次に、前記したローダ機構について述べる。第
１１図は、第４図に示した装置の上方に配置した
ローダ機構の斜視図である。

前述のように、搬送アーム１６はガラス基板１
０を載せて、水平移動部材４１の駆動によつてカ
セツト外に取り出す。その後、開閉機構部２６が
動作して、開閉部材１を閉成する。第４図はその
ときの状態を示すものである。ローダ機構は、カ
ートリツジ１５の上部と支柱４３を連結するよう
に配置されたローダ案内部材６０、このローダ案
内部材６０の長手方向に設けられた不図示のガイ
ドレールに沿つて移動可能な、ローダ移動部材６
１、及びローダ移動部材６１の先端側で搬送アー
ム１６の上方に位置するロータ部６２等から構成
されている。ローダ案内部材６０の内部６０ａに
は、前述のカートリツジ１５の裏側に設けられた
プーリ３２，３３及びベルト３４と同様の駆動系
が収納され、モーターによつてベルトを送る。
（不図示）ローダ移動部材６１は、このローダ案内部材６
０にコの字状の部材６１ａを介して設けられ、部
材６１ａには前記した不図示のガイドレールに沿
つて、第１１図中矢印の方向にのみ移動できるよ
うに複数のローラが設けられている。また、ロー
ダ部６２はローダ移動部材６１の先端側に設けら
れるが、ローダ部６２は図のように箱状を成し、
その位置はローダ案内部材６０から所定の距離に
なるように配置されている。すなわち、搬送アー
ム１６がガラス基板１０を載せてカセツトから取
り出した位置のほぼ真上に配置される。

ローダ部６２の内部には、ガラス基板１０とほ
ぼ相似形を成す支持板６３が懸架されている。そ
して、支持板６３の４辺に対応する位置に、各辺
と平行な軸（不図示）によつて揺動可能に軸支さ
れた４つの爪部材６５ａ，６５ｂ，６５ｃ，６５
ｄがそれぞれ設けられている。尚、単に爪部材６
５とする場合は、爪部材６５ａ，６５ｂ，６５
ｃ，６５ｄの４つを総称するものとする。また、
爪部材６５の支持板６３の上に出た部分には、そ
れぞれ、４つのエアシリンダ６７のピストンが係
合して爪部材６５の揺動を行なう。さらに、爪部
材６５の支持板６３の下方に出た部分には、それ
ぞれローラ６９が回転自在に設けられている。こ
のローラ６９は、図中爪部材６５ａに示すよう
に、その回転軸が支持板６３の各辺部と平行にな
るように設けられる。この爪部材６５の動作につ
いて詳しくは後述するが、このローラ６９の円周
面の部分はガラス基板１０の周囲を４方向からは
さむ時に当接するので、ローラ６９はガラス基板
１０の端面部を傷付けないような合成樹脂で形成
される。

尚、爪部材６５は、不図示のバネ部材によつ
て、ローラ６９の部分が外側に開くように、常時
付勢されている。また、４つのエアシリンダ６７
は共通のエアチユーブ（不図示）からのエアで作
動され、エアシリンダ６７の作動は同時に行なわ
れる。さらに、爪部材６５ａ，６５ｂは、エアシ
リンダ６７の作動によつてローラ６９の部分が内
側に閉じるのをストツパ６６ａ，６６ｂによつて
制限される。爪６５ｃ，６５ｄは、そのような制
限を受けない。

このように爪６５、エアシリンダ６７等が設け
られた支持板６３の下方には、ガラス基板１０と
ほぼ同じ大きさの吸着板６４が不図示のバネ部材
を介して支持板６３に懸架されている。従つて吸
着板６４は支持板６３に対して弾性変位可能に設
けられている。この吸着板６４の裏面には、ガラ
ス基板１０の上面が接触する真空吸着のための吸
気孔が周囲に設けられている。吸気孔の位置はガ
ラス基板１０のパターン描画・領域外の余白部に
なるように設けられが、実施例では図の如く吸気
孔の位置に対応した４つの吸気管６８が、支持板
６３を貫通して吸気板６４に固定されている。各
吸気管６８は不図示のパイプで相互に接続され、
ガラス基板１０の真空吸着動作は同時に行なわれ
る。

次に、搬送アーム１６に載つたガラス基板１０
をローダ部６２に受け渡す動作を第１２図〜第１
６図に従つて説明する。任意のカセツトから所望
のガラス基板１０を取り出した搬送アーム１６
は、水平方向に所定量だけ移動して、第１１図の
ような位置に停止する。同時に開閉機構部２６が
作動して、カセツトの開閉部材１を閉成する。こ
の水平方向の所定の移動量は、搬送アーム１６に
載つたガラス基板１０がローダ部６２の吸着板６
４のほぼ直下になるように定められる。

その後搬送アーム１６を上昇させる。この時、
搬送アーム１６は、第１３図のように吸着板６４
のわずか下方で停止する。またこの時、搬送アー
ム１６側の真空吸着を中止する。次に第１４図に
示すようにエアシリンダ６７を作動して、爪６５
のローラ６９の部分を内側に閉じる。すると、ロ
ーラ６９はガラス基板１０の端面部に当接する
が、この時同時にガラス基板１０のローダ部６２
に対する位置決めを行う。この位置決めは、前述
したストツパ６６ａ，６６ｂによつて定められ
る。すなわち、エアシリンダ６７が作動しても、
爪部材６５ａ，６５ｂの支持板６３の上方部分は
ストツパ６６ａ，６６ｂによつて係止されるの
で、爪部材６５ａ，６５ｂのローラ６９の部分は
所定値以上に内側に閉じることはない。そこで、
この爪部材６５ａ，６５ｂに設けられたローラ６
９の円周面によつてガラス基板１０の基準位置が
定まる。また、爪部材６５ａ，６５ｂはそれぞれ
支持板６３の互いに直交する周辺部に設けられて
いるので、ガラス基板１０の互いに直交する端面
部が爪部材６５ａ，６５ｂのローラ６９に当接す
ることによつて、ガラス基板１０の水平方向の位
置決めが可能となる。さらに爪部材６５ｃ，６５
ｄは、エアシリンダ６７のピストンのストローク
が許す限りローラ６９の部分が内側に閉じるの
で、ガラス基板１０は爪部材６５ａ，６５ｂのそ
れぞれのローラ６９に付勢され、チヤツキングさ
れる。

尚、この際、ローラ６９とガラス基板１０の端
面部との当接位置は、第１４図に示すようにロー
ラ６９の軸６９ａとガラス基板１０が略水平にな
るようにする。従つて、爪６５がガラス基板１０
の端面部をくわえた時、第１４図のような状態に
なるように爪６５の支持板６３の下方の長さを定
めておけばよい。また、第１１図中にも示した
が、爪６５のローラ６９の下方にある突起７０
は、第１４図のようにローラ６９の周面よりも内
側（ガラス基板１０側）に出ている。この突起７
０は、ガラス基板１０がローラ６５の当接からは
ずれた時に、脱落することを防止するためのもの
である。

以上のようにして、位置決め及びチヤツキング
が終わると、第１５図に示すように前述の吸着板
６４とガラス基板１０のわずかな間隙分だけ搬送
アーム１６を上昇する。この時、ガラス基板１０
は吸着板６４に当接するが、前述のように吸着板
６３は板バネ７１を介して、支持板６３に取りつ
けられているので、吸着板６４はわずかに上方へ
動き、ガラス基板１０には大きな係止力は作用し
ない。尚、第１５図に示すように、ローラ６９は
ガラス基板１０の端面部をチヤツクしているの
で、ガラス基板１０のわずかな上昇によつて、ロ
ーラ６９は、わずかに回転する。また、同時に吸
着板６４の裏面、すなわちガラス基板１０との接
触面に前述のように設けられた吸気孔によつて真
空吸着が行なわれる。尚、第１５図では、ガラス
基板１０と吸着板６４とは密着しているように示
してあるが、実際には、搬送アーム１６に設けら
れた吸気孔１７のように吸着板６４の吸気孔部分
がわずかに隆起していて、その部分がガラス基板
１０と密着している。従つてパターン描画領域に
は、吸着板６４は接触しない。

また、先にも述べたように、搬送アーム１６を
上下動する垂直移動部材３０がカートリツジ１５
の最上部に達した時、それを検出するリミツトス
イツチ４０がカートリツジ１５の上部に設けられ
ている。このリミツトスイツチ４０は、第４図、
第１１図に示したような配置で、第１５図に示し
た状態、すなわちガラス基板１０が吸着板６４に
当接してさらにわずかに上昇した時に作動するよ
うに設けられている。従つて、リミツトスイツチ
４０の作動によつて搬送アーム１６の上昇を停止
するようにすればよい、次に、第１６図に示すよ
うに搬送アーム１６を一定量だけ降下させて停止
する。これは、ローダ部６２が第１６図中紙面と
垂直方向に移動した時に、搬送アーム１６がぶつ
からないようにするためである。

以上のようにして、搬送アーム１６に載つたガ
ラス基板１０はローダ部６２へ受け渡される。受
け渡しが終わると、ローダ部６２に第１７図に示
すように矢印の方向へ移動する。ローダ案内部材
６０の内側６０ａにはモーターによつて駆動され
る不図示のベルトがあり、ローダ移動部材６１は
ベルトの送りに従つて焼き付け装置や、ゴミ、傷
等の検査装置へ搬送される。尚、ローダ部６２が
移動して、再びガラス基板１０をチヤツクしても
どつてくるまで搬送アーム１６は第１７図のよう
な位置で停止している。

以上、本発明の実施例による搬送装置の構成及
び動作の説明をしたが、搬送アーム１６及びロー
ダ部６２の移動を行なう各モーターは、位置決め
等の精度を向上させるためパルスモータにすると
よい。そこで、搬送アーム１６を上昇、降下させ
るモータ３７（第４図に図示）をＺモータ、搬送
アーム１６を水平に移動させるためのモーターを
Ｘモータ、また、ローダ部６２を移動させるモー
タをＹモータとして、各モータはパルス数によつ
て回転量を制御されるものとする。また、前述し
たリミツトスイツチ４０及びリミツトスイツチ５
０の作動を検出すると共に、各エアシリンダの動
作、及びモータの駆動等の順番は小型計算器のプ
ログラムに従つてシーケンスがとられる。そこ
で、次にこのプログラムの主要部の最も簡単なフ
ローチヤートを第１８図、第１９図に示す。第１
８図は、ガラス基板をカセツトから取り出す時の
フローチヤート２００であり、第１９図はガラス
基板をカセツトへ収納する時のフローチヤート３
００である。

そこで、搬送アーム１６が第４図のような位置
から動作する場合を考えてみる。第１８図で、搬
送アーム１６はアーム上昇動作を行なう。すなわ
ち、Ｚモータに計算器からパルス信号を印加し
て、搬送アーム１６を上昇させる。この際、その
パルス信号のパルスとパルスの間でアーム１６の
移動上限を制限するリミツトスイツチ４０の状態
を計算器が読み込むようにする。そして、アーム
１６が最も上昇してリミツトスイツチ４０が閉成
すると、計算器はＺモータへのパルス信号出力を
中止する。この時のアーム１６の上下方向での位
置を原点とする。この時、計算器中のカウンタを
リセツトする。このカウンタはＺモータへのパル
ス信号のパルス数を計数する例えばアツプダウン
カウンタであり、そのパルス数はアーム１６の上
昇、降下量に比例した値になる。次に計算器は入
力装置から、カセツトの番地、すなわち、必要と
するカセツトが積み重ねたカセツトの上から何番
目であるかを入力する。この入力装置は、操作者
が任意にその番地を指定したり、又は自動的に順
次番地を指定したりすることができる。計算器
は、この番地に従つて、アーム１６の原点からそ
のカセツトまでの距離を演算する。そして、演算
結果に基づいたパルス数の信号をＺモータに印加
する。このとき、Ｚモータは前述とは逆方向に回
転される。こうしてアーム１６は降下して、所定
のカセツトの前で停止する。尚、この降下量Ｌの
おおよその値は以下の式によつて計算される。

Ｌ＝lc（ｎ−１）＋lc ｎ：必要とするカセツトの番地（上から順に、ｎ
＝１、２…） lc：カセツトとカセツトの間隔 lo：原点から番地１のカセツト内のガラス基板裏
面までの距離従つて、計算器は算出した値Ｌに比例したパル
ス数だけＺモータに出力する。このパルス数と値
Ｌの関係は、モーターの１パルスに対する回転
量、ウオームギヤとホイルの比等によつてあらか
じめ定められた比である。

こうしてアーム１６が所定のカセツトの前に位
置すると、次にカセツトの開閉部材１を開成する
カセツトオープン動作を行なう。この動作は、前
述のように、エアシリンダによつて開閉部材１を
閉成状態から約90°の開成状態にする。

次に、アーム１６がカセツトの方へ移動して、
第８図、９図で示したようなアームの高さを適正
量にするアーム位置決め動作が行なわれる。この
時、計算器はＸモーターに所定のパルス数を出力
して、第８図に示したような位置までアーム１６
を移動する。すると、前述のようにアーム１６を
わずかに降下させるため、計算器はＺモーターに
アーム１６を降下する方向のパルス信号を出力し
つつリミツトスイツチ５０の状態を逐次入力す
る。そして、リミツトスイツチ５０の状態変化
（例えば閉成から開成）の瞬間に、計算器は降下
する方向のパルス信号の出力を中止し、その直後
先にも述べたようにアーム１６はわずかな上昇を
する。このわずかな上昇は、ほぼｈ＋（ｔ−
ｄ）／２で表わされる一定量であり、計算器はア
ーム１６が上昇する方向のパルス信号をＺモータ
ーへ出力する。そのパルス信号のパルス数は、も
ちろん、ｈ＋（ｔ−ｄ）／２に比例する。

その後、計算器はアーム１６がカセツトの方へ
移動するパルス信号をＸモーターへ出力する。こ
の時のパルス数もあらかじめ定められた一定数で
ある。そして、アーム１６のフオーク部がガラス
基板の下方に位置すると、計算器はさらにアーム
１６がガラス基板をわずかに持ち上げるように一
定のパルス数をＺモーターに出力する。このよう
にしてアーム１６の高さが定まると、計算器は前
述のカウンタの計数値を記憶する。そして、次に
計算器はアーム１６をカセツト外へ移動するため
に所定のパルス信号をＸモーターに出力し、ガラ
ス基板の取り出し動作が行なわれる。さらに、カ
セツトの開閉部材１を閉成するカセツトクローズ
動作が行なわれた後、計算器はアーム１６を再び
原点に向つて上昇させるためのパルス信号をＺモ
ーターに出力する。以上のようにしてカセツト外
へ取り出されたガラス基板は前述したようにロー
ダ部６２へ受け渡される。また、受け渡しが終了
すると、アーム１６はわずかに降下した位置で待
機している。

次に第１９図によつて、ガラス基板をカセツト
に収納する動作を説明する。

ローダ部６２が待機しているアーム１６の真上
にくると、計算器はアーム１６を上昇するための
パルス信号をＺモーターに出力する。この時計算
器は同時にリミツトスイツチ４０の状態変化も入
力する。そして、リミツトスイツチ４０の状態が
変化した時に、計算器はＺモーターへのパルス信
号出力を中止すると共にカウンタはリセツトされ
る。そして次に、ローダ部６２からガラス基板を
アーム１６へ渡す受け取り動作が行なわれる。こ
れは前述のローダ部６２の真空吸着を中止し、エ
アシリンダの作動を中止して４つの爪を開くとこ
とによつて行なわれる。

受け取り動作が終了すると、アーム１６はガラ
ス基板の真空吸着を始める。そしてアーム１６
は、ガラス基板を取り出したカセツトの所まで降
下する。この時、計算器はアーム１６を降下させ
るためのパルス信号をＺモーターに出力するが、
同時にそのパルス信号のパルス数と先程記憶した
アームの高さに比例した記憶値を比較する。そし
てその２つが一致した時にパルス信号の出力を中
止する。その後、カセツトの閉開部材１を開成す
るカセツトオープン動作が行なわれる。さらに、
計算器は、アーム１６をカセツトの方向へ移動さ
せるための所定のパルス信号をＸモーターへ出力
した後、アーム１６をわずかだけ降下させるパル
ス信号をＺモーターへ出力する。こうして、ガラ
ス基板はカセツト内の段部によつて保持され、ア
ーム１６は前述のアーム位置決め動作によつて定
められた適正な高さに設置される。その後、アー
ム１６はカセツト外に引き出されてガラス基板の
収納動作が完了し、つづいてカセツトクローズ動
作が行なわれて一連の行程が終了する。

以上、本発明の実施例を説明したが、搬送アー
ムの位置決め機構、カセツトの形状等は各種の変
更が可能である。そこで次に、それら変更につい
て簡単に述べる。

実施例では搬送アームを上下動して必要とする
カセツトからガラス基板を取り出しているが、こ
れはもちろんカセツトを装着したカートリツジの
方を上下動させてもよい。さらに、従来のように
複数のガラス基板をそのまま保持するカートリツ
ジにおいても、実施例で示した搬送装置はそのま
ま適用できる。その際、第２０図に示すように、
カートリツジ１００の内壁に設けられた段部１０
１，１０２はガラス基板１０の端部だけが載るよ
うにわずかに内側に突出させておき、搬送アーム
がガラス基板１０の下側に進入できるようにして
おく。また段部１０１，１０２の厚さも搬送アー
ムの厚さよりも大きくしておく。さらに、搬送ア
ームが高さの位置決めを行なうとき、フオーク部
の先端を引つかけて基準位置とするための突起１
０３，１０４を段部１０１，１０２の開口面側に
設けておけばよい。第２０図では、１か所の段に
しか設けられていないが、各段ごとに突起１０
３，１０４が設けられている。

尚ガラス基板とガラス基板の間隔がそれほど狭
くなく、段部１０１，１０２の厚さを搬送アーム
の厚さよりもかなり大きくした場合などは、突起
１０３，１０４はどちらか１つだけで事足りる。
また、搬送アームの高さを位置決めするのに、搬
送アームが上方に揺動したことをリミツトスイツ
チで検出しているが、この検出に真空検出器（バ
キユームセンサ）を用いることもできる。その場
合、第２１図に示すように、リミツトスイツチが
位置していた所に小さなブロツク１０５を設け、
ブロツク１０５の上端面部１０５ａが搬送アーム
１６の裏面に密接するようにする。さらに、ブロ
ツク１０５の内部に気密室１０５ｂを形成して、
チユーブ１０６によつて気密室１０５ｂの気圧を
下げておく。そして搬送アーム１６が軸５１を中
心に揺動してブロツク１０５の上端面部１０５ａ
から離れた瞬間に、気密室１０５ｂの圧力はほぼ
大気圧まで上がる。そこでチユーブ１０６の先端
にバキユームセンサーを設けておき、この圧力変
化を検出することによつて、搬送アームの位置決
めが可能となる。尚、この時搬送アームはブロツ
ク１０５に真空吸着されていることになり、搬送
アームが不用意に揺動することを防止する利点も
ある。

また、実施例では、カセツトの開閉部材を開閉
する駆動力はエアシリンダで行なわれているが、
ソレノイドでもよい。また開閉部材と開閉ピンは
溝によつて係合しているが、これは開閉機構に応
じて、溝以外、例えば突出部にしてもよい。さら
に、開閉ピンのかわりに電磁石を設けておき、開
閉部材の端部には磁性体を設け、必要とするカセ
ツトの所で電磁石を作動させ、磁性体を吸着して
開閉部材を開くこともできる。

また、カセツトの開閉部材を開いたり閉じたり
するタイミングは、実施例で説明したシーケンス
では、必要とするカセツトの前まで搬送アームが
上昇、又は降下した後で搬送アームをカセツトの
方へ水平移動させる直前であるが、水平移動中で
あつても搬送アームのフオーク部の先端がカセツ
ト内からわずかに出た所で開閉可能なのは言うま
でもない。

以上のように本発明においては、基板を収納し
たカセツトケースが装着されるカートリツジと水
平搬送部材との相対的な高さ位置を、搬送装置内
の原点を基準として検出する。そのため、水平搬
送部材を所望のカセツトケースの開口部の前に対
向させるための垂直運動が高速に行なわれるとと
もに、水平搬送部材を基板の下面空隙内に精密に
位置決めするための微動量も極めて少なくて済む
効果がある。勿論、水平搬送部材がカセツトケー
ス内に進入する際、基板を傷つけることもない。
また任意の基板に交換する際、カセツトケースご
とカートリツジから着脱を行なえばよいため、カ
ートリツジに他のケースが装着されている場合、
他のカセツトケース内の基板には一切触れること
がなく、良好な防塵状態が維持できる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例による搬送装置に装着
可能な防塵カセツトの斜視図、第２図はその要部
拡大図、第３図はカセツトにガラス基板を収納し
て上蓋を閉じた状態を示す一部断面図、第４図は
搬送アーム及びその駆動機構を示す斜視図、第５
図は開閉機構部の一部断面図、第６図はその要部
拡大図、第７図はフオーク部をガラス基板の下に
挿入した状態を示す平面図、第８図は検出機構の
正面図、第９図はその作動説明図、第１０図はロ
ツク部材の説明図、第１１図はローダ機構の斜視
図、第１２図〜第１６図はそれぞれガラス基板を
ローダ部に受け渡す動作の説明図、第１７図はガ
ラス基板をチヤツクした状態のローダ機構を示す
斜視図、第１８図はガラス基板をカセツトから取
り出す時のフローチヤート、第１９図はガラス基
板をカセツトへ収納する時のフローチヤート、第
２０図は複数のガラス基板を保持するカートリツ
ジの斜視図、第２１図は真空検出器を用いた場合
の搬送アームを示す図である。〔主要部分の符号の説明〕、１０……ガラス基
板、１４，１５……カートリツジ、１６……搬送
アーム、３０……垂直移動部材、４１……水平移
動部材、４０，５０……リミツトスイツチ。

Claims

【特許請求の範囲】１マスク又はレチクル等の基板を収容し、ほぼ
水平方向に出し入れする位置に開口部を形成した
ケース本体と、該ケース本体の内部に設けられ、
前記ケース本体の下壁面及び上壁面との間に所定
の空〓が形成されるように前記基板の周囲部分を
保持する保持部とで構成された複数のカセツトケ
ースを装着して、該カセツトケース内から前記基
板を取り出して搬送する搬送装置において、前記カセツトケースを、前記開口部を一方向に
揃えて垂直方向に所定間隔で着脱自在に装着する
カートリツジと；前記カセツトケース内の基板の下面側空〓より
も小さな厚さを有し、該下面側空〓に前記開口部
を介してほぼ水平に進入する水平搬送部材と；該水平搬送部材を水平方向に移動させる水平移
動機構と；前記水平搬送部材を、前記複数のカセツトケー
スのうちの任意の１つの前記開口部と対向させる
ために、前記カートリツジと前記水平移動機構と
を垂直方向において相対的に移動させる垂直移動
機構と；前記水平搬送部材の高さと、前記カートリツジ
の垂直方向の端部に装着された１番目のカセツト
ケース内の下面側空〓の高さとの垂直方向におけ
る相対距離が所定値になつたとき検知信号を出力
する第１検出手段と；該検知信号に応答してリセツトされるととも
に、該リセツト位置を原点として前記垂直移動機
構の垂直方向における相対移動量に対応したパル
ス数を計測するカウンタと；前記複数の各カセツトケースに垂直方向に順に
番号を付したとき、所望のカセツトケースの番号
ｎを入力する入力手段と；該入力された番号、前記相対距離及び前記間隔
に基づいて特定される前記ｎ番目のカセツトケー
ス内の下面側空〓の中央高さと、前記水平搬送部
材の高さ方向における中心部とをほぼ等しい高さ
にするために、前記垂直移動機構の原点からの相
対移動量を決定し、該相対移動量に対応して前記
垂直移動機構を作動させる制御手段と；前記水平搬送部材の一部に取り付けられ、前記
水平搬送部材の前記基板を保持する保持面の高さ
と、前記ｎ番目のカセツトケース内の前記基板の
下面の高さとの差がｈ＋（ｔ−ｄ）／２（但し、ｈ
は定数、ｔはカセツトケース内の基板の下面側空
〓の大きさ、ｄは水平搬送部材の厚さ）になつた
とき、前記制御手段に検知信号を出力する第２検
出手段と；を備え、前記制御手段は、予め決定された前記相対移動
量に対応して前記垂直移動機構を粗移動させた
後、前記第２検出手段の検知信号に応答して前記
水平搬送部材の保持面と前記ｎ番目のカセツトケ
ース内の基板の下面との高さ方向の差を（ｔ−
ｄ）／２に正確に位置決めし、前記水平移動機構
を作動させて前記水平搬送部材を前記ｎ番目のカ
セツトケース内の下面側空〓の中央に周辺部に接
触させることなく進入させ、前記垂直移動機構を
作動させて前記水平搬送部材を前記カセツトケー
ス内で相対的に上方に（ｔ−ｄ）／２よりも大き
い一定量だけ移動させた後前記基板を前記保持部
から受け取ることを特徴とする基板の搬送装置。２前記垂直移動機構は、前記カートリツジを固
定するベース部材と一体に垂直方向に伸びたガイ
ドレールに沿つて上下動可能に設けられ、前記水
平移動機構は前記垂直移動機構に設けられた水平
案内部材と、該水平案内部材に沿つて水平移動す
る水平移動部材とを有し、該水平移動部材に前記
水平搬送部材が取り付けられている特許請求の範
囲第１項記載の搬送装置。