JPH0245585Y2

JPH0245585Y2 -

Info

Publication number: JPH0245585Y2
Application number: JP14159486U
Authority: JP
Priority date: 1986-09-16
Filing date: 1986-09-16
Publication date: 1990-12-03
Also published as: JPS6348083U

Description

【考案の詳細な説明】（産業上の利用分野）この考案は、例えば、ウエハーに薄膜を形成す
る真空装置に用いるのに最適な真空バルブに関す
る。

（従来の技術）第３，４図に示した従来の真空バルブは、弁本
体ａに流入口１と流出口２とを形成するととも
に、これら両口１，２の流通過程にシート面３を
形成している。

このようにした弁本体ａには、ハンドル４を回
すことによつて上下に移動する駆動軸５を設けて
いる。そして、この駆動軸５の先端には弁体ｖを
設けるとともに、この弁体ｖのシート圧接面６側
には、シール溝７をエンドレスに形成している。
このシール溝７は、第４図に示すように、その開
口７ａ側の幅ｌに対して底部７ｂ側の幅Ｌを大き
くしている。

上記のようにしたシール溝７には、Ｏリング当
からなるシール部材８を挿入するが、このシール
部材８の断面の直径を、上記開口７ａ側の幅ｌよ
りもやや大きくするとともに、底部７ｂの幅Ｌよ
りも小さくしている。さらに、このシール溝７の
深さ方向の長さは、上記シール部材８の直径より
もやや小さくしている。

したがつて、このシール部材８を上記開口７ａ
から押し込めば、このシール部材８は、開口７ａ
を通過するときに変形しながら、当該シール溝７
内に装着される。この装着状態において、当該シ
ール部材８は、シール溝７の開口７ａから突出す
るとともに、その反対側を底部７ｂに圧接させ
る。

したがつて、ハンドル４を回して弁体ｖを下降
させ、シール溝７から突出しているシール部材８
をシート面３に圧接させれば、流入口１と流出口
２との連通が遮断される。

そして、上記のようにシール溝７の開口７ａ側
の幅ｌを、底部７ｂ側の幅Ｌよりも小さくしてい
るのは、シール溝７に装着したシール部材８が自
然落下しないようにするためである。

シール部材８の自然落下を防止するために、上
記のようにシール溝７の開口７ａに対して底部７
ｂの幅を狭くすると、その底部７ｂに空洞部分ｃ
が形成される。このようにして形成された空洞部
分ｃは、シール部材８によつて密閉された状態を
維持するので、真空引きをしても、この空洞部分
ｃのガス抜きが完全にできなくなる。

そこで、この空洞部分ｃのガス抜きを完全にす
るために、第５，６図に示すように、当該シール
溝８に対して、それを横切る方向の逃げ溝９を形
成することが従来から知られている。

（本考案が解決しようとする問題点）上記のようにシール溝８に対して逃げ溝９を形
成した従来の場合には、その逃げ溝９を形成した
部分のシール力が弱くなつてしまう。つまり、こ
の逃げ溝９以外の部分では、シール溝７の開口７
ａで締め付けられてシール部材８の横の広がりが
防止されるが、この逃げ溝９の部分では、その締
め付け力が弱くなるので、その分シール力も弱く
なつてしまう。

このようにシール部材８のシール力が部分的に
弱くなると、そのシール力の弱いところからスロ
ーリークが発生するという問題があつた。

この考案の目的は、シール溝にガスが篭ること
なく、それを完全に放出できるとともに、シール
部材のシール力を弱めない真空バルブを提供する
ことである。

（問題点を解決する手段）上記の目的を達成するために、この考案は、弁
体のシート圧接面にはシール溝をエンドレスに形
成し、しかも、このシール溝は、その開口部分の
幅を底部側の幅よりも広くし、当該シール溝に装
着したＯリング等のシール部材が落下するのを防
止した真空バルブにおいて、上記シール溝の底部
を、当該弁本体に形成した流入口側あるいは流出
口側のいずれか一方、又は双方に開放させる連通
孔を、弁体に形成している。

（本考案の作用）この考案は、シール溝の底部が、弁本体の流入
口あるいは流出口に連通させているので、その真
空引きの際に、このシール溝内のガスが完全に放
出される。また、このシール部材の全周がシール
溝の開口部分で押さえ付けられるので、当該シー
ル部材のシール力が全体に均一化する。

（本考案の効果）この考案の真空バルブによれば、シール溝内に
ガスを篭らせず、しかも、シール部材のシール力
も弱めることがない。

（本考案の実施例）第１図に示した第１実施例は、弁体ｖのシート
圧接面６にのシール溝７を形成し、その開口７ａ
側の幅ｌに対して、底部７ｂ側の幅Ｌを小さくし
ていること、前記従来と全く同様である。

ただし、この第１実施例では、シール溝７内に
形成される空洞部分ｃを、連通孔１０、１１を介
して流入口１側と流出口２側とに開放している点
が従来と相違する。

つまり、シール部材８の外周側に位置する空洞
部分c₁は、連通孔１０を介して流入口１側に開放
し、シール部材８の内周側に位置する空洞部分c₂
は、連通孔１１を介して流出口２側に開放してい
る。

このようにシール溝７内に形成される空洞部分
c₁，c₂を、流入口１あるいは流出口２に連通させ
たので、真空引きの際に、この空洞部分にガスが
篭るようなことがなくなる。

しかも、このシール溝７の開口７ａ部分には、
従来のような逃げ溝９が不必要ないので、部分的
にシール力が弱くなるようなこともなくなる。

第２図に示した第２実施例は、シール部材８の
内周に接触するシール溝７の側壁７ｃを、底部７
ｂに対して直角にし、シール部材８の外周に接触
するシール溝７の側壁７ｄを傾斜させ、ｌ＜Ｌの
関係を維持したものである。

つまり、上記第１実施例の場合には、シール溝
を左右対称にしたのに対して、この第２実施例で
は、シール溝７の一方の側壁７ｄ側だけを傾斜さ
せたものである。

このようにした第２実施例でも、シール部材８
の自然落下を防止できるとともに、空洞部分ｃの
ガス抜きも完全にできる。

なお、流入口側あるいは流出口側のいずれか一
方が、大気に通じているような場合は、その方の
連通孔は省略することができる。

また、シール溝の形状がｌ≧Ｌである場合で
も、本考案はその効果を発揮する。

【図面の簡単な説明】

図面第１及び２図はこの考案の第１及び第２実
施例の弁体の断面図、第３〜６図は従来の真空バ
ルブを示すもので、第３図は全体の断面図、第４
図は弁体の拡大断面図、第５図は他の従来例を示
す弁体の拡大断面図、第６図は第５図の底面図で
ある。１……流入口、２……流出口、ｖ……弁体、６
……シート圧接面、７……シール溝、７ａ……開
口、７ｂ……底部、８……シール部材、１０，１
１……連通孔。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】

弁体のシート圧接面にはシール溝をエンドレス
に形成し、当該シール溝にＯリング等のシール部
材を装着した真空バルブにおいて、上記シール溝
の底部を、当該弁本体に形成した流入口側あるい
は流出口側のいずれか一方、又は双方に開放させ
る連通孔を、弁体に形成してなる真空バルブ。