JPH0245715A - 流体の速度を測定する方法 - Google Patents
流体の速度を測定する方法Info
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- JPH0245715A JPH0245715A JP1158469A JP15846989A JPH0245715A JP H0245715 A JPH0245715 A JP H0245715A JP 1158469 A JP1158469 A JP 1158469A JP 15846989 A JP15846989 A JP 15846989A JP H0245715 A JPH0245715 A JP H0245715A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
産業上の利用分野
本発明は、一般に５流体流量を測定する装置に関し、そ
して特に、熱流体流量計（ｔｈｅｒｍａ１口ｕｉｄｆ
ｌｏｗｍｅｔｅｒ）に関する。
して特に、熱流体流量計（ｔｈｅｒｍａ１口ｕｉｄｆ
ｌｏｗｍｅｔｅｒ）に関する。
本発明を要約すれば、流れる流体の速度を測定する質量
流量計は温度センサーを使用する。電力を供給されたと
き、センサーは熱を発生する。ヒートシンクが、流れる
流体に直角に、センサーの真向いに流体の流れ中に位置
する。電力がセンサーに供給され、センサーからヒート
シンクに流れる熱束（ｔｈｅｓａｌ ｆｌｕｘ）を生じ
せしめる。流れる流体はこの束を変調（ｍｏｄｕｌａｔ
ｅ）させる。回路がセンサーの温度を測定し、そしてそ
の測定値から流れる流体の速度を計算する。
流量計は温度センサーを使用する。電力を供給されたと
き、センサーは熱を発生する。ヒートシンクが、流れる
流体に直角に、センサーの真向いに流体の流れ中に位置
する。電力がセンサーに供給され、センサーからヒート
シンクに流れる熱束（ｔｈｅｓａｌ ｆｌｕｘ）を生じ
せしめる。流れる流体はこの束を変調（ｍｏｄｕｌａｔ
ｅ）させる。回路がセンサーの温度を測定し、そしてそ
の測定値から流れる流体の速度を計算する。
の び が ゛ しようと る問流体の速度を測
定するために、多数の異なる形式の流量計がある０本明
細書において使用する用語［流体Ｊは、液体とガスの流
れの両方を意味する。流量計の１つの範晴は「熱」流量
計として公知である。２つの一般形式の熱流量計がある
。
定するために、多数の異なる形式の流量計がある０本明
細書において使用する用語［流体Ｊは、液体とガスの流
れの両方を意味する。流量計の１つの範晴は「熱」流量
計として公知である。２つの一般形式の熱流量計がある
。
一方の形式においては、流量管が、測定すべき流体の流
れのための通路と共に使用される。１つ以上の電気加熱
器を、流量管又は検出管内に位置させる。加熱器は、流
体が検出管中を流れるとき、流体に熱を与える。検出管
の異なる２点で温度を測定する。上流点と下流点との間
の温度の差を速度と相関させることができる。
れのための通路と共に使用される。１つ以上の電気加熱
器を、流量管又は検出管内に位置させる。加熱器は、流
体が検出管中を流れるとき、流体に熱を与える。検出管
の異なる２点で温度を測定する。上流点と下流点との間
の温度の差を速度と相関させることができる。
熱ＭＷ流域計の第２の範晴においては、加熱器／温度セ
ンサーはブームに位置付けられ、そして流れる流体の流
れの中に沈められる。回路は、買被流体流量の関数とし
て、センサーの温度応答を感知する。
ンサーはブームに位置付けられ、そして流れる流体の流
れの中に沈められる。回路は、買被流体流量の関数とし
て、センサーの温度応答を感知する。
これらの熱流量計の各々は、センサーから流体への熱の
流れる割合が流体の買置流量に正比例するという事実を
共通に有する。これらの従来の熱質量流量計の精度は、
比較的狭い範囲の流れ速度に制限される。低速度におい
ては、精度は、対流と環境への熱の漏れによる擬似的な
熱損失によって制限される。高速度に対しては、精度は
、１つ又は複数のセンサー要素の有限の熱抵抗によって
制限される。
流れる割合が流体の買置流量に正比例するという事実を
共通に有する。これらの従来の熱質量流量計の精度は、
比較的狭い範囲の流れ速度に制限される。低速度におい
ては、精度は、対流と環境への熱の漏れによる擬似的な
熱損失によって制限される。高速度に対しては、精度は
、１つ又は複数のセンサー要素の有限の熱抵抗によって
制限される。
広い速度範囲の制限を回避するために、一般的な技術は
、層流要素を含んだ主管を使用することである。これら
の層流要素は、測定すべき所望の速度範囲に対して、あ
る圧力降下を生ずるように配置される０層流要素の上流
と下流の圧力差は測定すべき流体の容積流量に比例する
。
、層流要素を含んだ主管を使用することである。これら
の層流要素は、測定すべき所望の速度範囲に対して、あ
る圧力降下を生ずるように配置される０層流要素の上流
と下流の圧力差は測定すべき流体の容積流量に比例する
。
検出管は主管から分岐しそして下流にて再入する。検出
管は加熱要素とセンサーを支持する。主管よりもずっと
少ない流体の流れが検出管を通って流れる。検出管にお
ける流れの速度が測定され、それは、主管を通って流れ
る主速度に比例する。
管は加熱要素とセンサーを支持する。主管よりもずっと
少ない流体の流れが検出管を通って流れる。検出管にお
ける流れの速度が測定され、それは、主管を通って流れ
る主速度に比例する。
これは実行できるにしても、設計範囲外の流量は、層流
要素を修正することなしに、正確に測定することができ
ない。
要素を修正することなしに、正確に測定することができ
ない。
ワチ他による米国特許箱４，５１７．８３８号（１９８
５年５月２１日）において、熱伝達の事例が示される。
５年５月２１日）において、熱伝達の事例が示される。
この事例においては、検出管内に細い溝が設けられてい
る。流体流量を測定するために、加熱手段が細い講に取
付けられている。そのような細い講によって必要とされ
る検出管の小さな寸法は、流量計の高い流体速度測定能
力をさらに制限する。
る。流体流量を測定するために、加熱手段が細い講に取
付けられている。そのような細い講によって必要とされ
る検出管の小さな寸法は、流量計の高い流体速度測定能
力をさらに制限する。
を るための
本発明においては、センサーは流体の主たる流れの中に
置かれる。電力を供給するときセンサーは熱を発生する
ことができる。ヒートシンクが、流体の流れの方向と直
角に、センサーの真向いに流れる流体中に置かれる。
置かれる。電力を供給するときセンサーは熱を発生する
ことができる。ヒートシンクが、流体の流れの方向と直
角に、センサーの真向いに流れる流体中に置かれる。
センサーに供給する電力は、センサーから、熱を吸収す
る熱シンクへと流れる熱束を生じさせる。
る熱シンクへと流れる熱束を生じさせる。
熱束は流れる流体によって変調される０回路は、センサ
ーの温度上昇を測定し、そして流れる流体の速度を測定
値から計算する。
ーの温度上昇を測定し、そして流れる流体の速度を測定
値から計算する。
第１図を参照すると、熱源と温度センサーを組み合わせ
た箔片１１が示される。センサー１１は、断熱材１３上
に取付けられる。センサー１１は、好ましくは、温度を
記録するために通常使用される従来形式のものである。
た箔片１１が示される。センサー１１は、断熱材１３上
に取付けられる。センサー１１は、好ましくは、温度を
記録するために通常使用される従来形式のものである。
第４図に示すように、それは、カプトン（Ｋａｐｔｏｎ
）のような材料の薄い絶縁層又は基板１５を有する。基
板１５は導電性金属層１７で被覆又は積層されている。
）のような材料の薄い絶縁層又は基板１５を有する。基
板１５は導電性金属層１７で被覆又は積層されている。
金属層は波状コイル・パターン１９にエツチングされる
。コイル１９を生成するために、微細な非常に細い線が
金属層１７に入れられる。コイル１９と基板１５は平坦
な表面である。この一般的な形式のセンサーは従来から
入手可能である。
。コイル１９を生成するために、微細な非常に細い線が
金属層１７に入れられる。コイル１９と基板１５は平坦
な表面である。この一般的な形式のセンサーは従来から
入手可能である。
本発明において、センサー１１のコイル１９は、第１図
に示すように、センサー１１から熱を放射するために電
源２１に接続される。電源２１はセンサー１１のコイル
１９（第４図）を流れる直流電力を提供する。センサー
１１のコイル１９は熱を発生し、熱はセンサーから放射
される。測定回路２３は供給された電力を測定し、こう
して温度の指示を得る。
に示すように、センサー１１から熱を放射するために電
源２１に接続される。電源２１はセンサー１１のコイル
１９（第４図）を流れる直流電力を提供する。センサー
１１のコイル１９は熱を発生し、熱はセンサーから放射
される。測定回路２３は供給された電力を測定し、こう
して温度の指示を得る。
ヒートシンク２５はセンサー１１の真向いに取付けられ
る。ヒートシンク２５は金属製であり、熱を容易に伝達
し、こうしてセンサー１１で発生した熱を引き付けそし
て吸収する。ヒートシンク２５の表面は平坦でありそし
てセンサー１１に平行である。流体の流れは、センサー
１１とヒートシンク２５の垂線に垂直である。
る。ヒートシンク２５は金属製であり、熱を容易に伝達
し、こうしてセンサー１１で発生した熱を引き付けそし
て吸収する。ヒートシンク２５の表面は平坦でありそし
てセンサー１１に平行である。流体の流れは、センサー
１１とヒートシンク２５の垂線に垂直である。
挙動を分析しそして記載する目的のために、センサー１
１とヒートシンク２５の間の有効容′ＨＩ２８内に位置
する、流体の増分容積２７が示される。
１とヒートシンク２５の間の有効容′ＨＩ２８内に位置
する、流体の増分容積２７が示される。
以下の定義を設ける。
２ ＝センサー１１と増分容積２７との間の距離
ｄｚ＝増分容積２７の厚さ
Ａ ＝増分容積２７の面積
Ｔ、＝センサー１１の温度
Ｔ１−ヒートシンクと流量計を流れる流体の雰囲気温度
Ｔ ＝増分容積２７内の流体の温度
Ｑ ＝熱量
Ｃ＝流体の熱容量又は比熱（ＢＴｔｌ ／ ｌｂ、 Ｆ
）Ｄ −＋流体の密度（ｌｂ ／ ｃｕ、 １ｎ）Ｋ
＝流体の熱伝導率（ＢＴＵ ｉｎ ／ ｈｒ、 ｓｑ、
ｆｔ。
）Ｄ −＋流体の密度（ｌｂ ／ ｃｕ、 １ｎ）Ｋ
＝流体の熱伝導率（ＢＴＵ ｉｎ ／ ｈｒ、 ｓｑ、
ｆｔ。
Ｆ）
ｄ ＝微分演算子
ｔ ＝時間
■ ＝センサー１１を通過して流れる流体の１背当たり
のフィートを単位とした平 均分子速度（ｆｐ輸） Ｗ ＝センサー１１によって流体に供給されたワットを
単位とした電力 一定の流体速度プロファイルが、センサー１１とヒート
シンク２５の間のギャップを横切っていると仮定する。
のフィートを単位とした平 均分子速度（ｆｐ輸） Ｗ ＝センサー１１によって流体に供給されたワットを
単位とした電力 一定の流体速度プロファイルが、センサー１１とヒート
シンク２５の間のギャップを横切っていると仮定する。
増分容ｆｉ１２７に包含された熱ｊｔＱ１は、流体の熱
容量Ｃと、流体の質量（ＤＡｄｚ＞と、温度Ｔに下式の
ように比例する。
容量Ｃと、流体の質量（ＤＡｄｚ＞と、温度Ｔに下式の
ように比例する。
Ｑ１＝ＣＤＴＡｄｚ
増分容積２７における蓄熱率は、ｄＱＬ／Ｄｔから、速
度■で流れる流体によって熱が要素から除去される率を
引いた値であり、下式で表せる。
度■で流れる流体によって熱が要素から除去される率を
引いた値であり、下式で表せる。
ｄＱ１／ｄｔ
＝ＣＤＡｄｚ （ｄＴ’／ｄｔ）
−ＣＤＡｄｚ （Ｔ−Ｔ、）Ｖ
＝ＣＤＡｄｚ ［ｄＴ／ｄｔ−（Ｔ−Ｔ、）Ｖ］センサ
ー１１から増分容積２７への熱流量又は熱束の率は、表
向Ａの面積と、流体の熱伝導率にと、温度の外側への嬌
１σグラジェントｄ Ｔ ／ ｄ ｚに比例し、下式で
表せる。
ー１１から増分容積２７への熱流量又は熱束の率は、表
向Ａの面積と、流体の熱伝導率にと、温度の外側への嬌
１σグラジェントｄ Ｔ ／ ｄ ｚに比例し、下式で
表せる。
（Ｉ Ｑ ２ ／ ｄ ｔ ＝ −Ｋ Ａ ｄ Ｔ ／
ｄ ｚ増分容Ｍ２７から流出する熱流量の率は、下式
％式％ 熱の保存により、 ｄ Ｑ ２ ／ ｄ ｔ−ｄ Ｑ ３ ／ ｄ ｔ ＝
ｄ Ｑ ］ ／ ｄ を従って、 Ｋ Ａ ｄ Ｔ ／ ｄ ｚ ＋ Ｋ Ａ ｄ ’１’
／ ｄ ｚ ＋ ｄ ／ ｄ ｚ（ＫＡｄＴ／ｄｚ）
ｄｚ ＝ＣＤＡｄｚ ［ｄ’Ｔ”／ｄｔ−（Ｔ’−′Ｔ’、）
Ｖｌ故に、 ｄ２Ｔ／ｄｚ２＝ＣＤ／Ｋ ［ｄＴ／ｄｔ−（Ｔ−Ｔ、
）Ｖ］ 定常状態においては、ｄＴ／ｄｔ＝０なので、ｄ ２Ｔ
／ ｄ ｚ ２＝ ＣＤ Ｖ ／ Ｋ （−Ｔ ＋
Ｔ 、 ）この微分方程式は、次の境界条件と共に、セ
ンサー１１とヒートシンク２５の閏の有効容８２Ｂ内の
熱環境を一意的に記述する。
ｄ ｚ増分容Ｍ２７から流出する熱流量の率は、下式
％式％ 熱の保存により、 ｄ Ｑ ２ ／ ｄ ｔ−ｄ Ｑ ３ ／ ｄ ｔ ＝
ｄ Ｑ ］ ／ ｄ を従って、 Ｋ Ａ ｄ Ｔ ／ ｄ ｚ ＋ Ｋ Ａ ｄ ’１’
／ ｄ ｚ ＋ ｄ ／ ｄ ｚ（ＫＡｄＴ／ｄｚ）
ｄｚ ＝ＣＤＡｄｚ ［ｄ’Ｔ”／ｄｔ−（Ｔ’−′Ｔ’、）
Ｖｌ故に、 ｄ２Ｔ／ｄｚ２＝ＣＤ／Ｋ ［ｄＴ／ｄｔ−（Ｔ−Ｔ、
）Ｖ］ 定常状態においては、ｄＴ／ｄｔ＝０なので、ｄ ２Ｔ
／ ｄ ｚ ２＝ ＣＤ Ｖ ／ Ｋ （−Ｔ ＋
Ｔ 、 ）この微分方程式は、次の境界条件と共に、セ
ンサー１１とヒートシンク２５の閏の有効容８２Ｂ内の
熱環境を一意的に記述する。
（］） ｚ ＝０（センサー１１）において、（ａ）
ｄＴ／ｄｚ＝−（１／ＫＡ）（センサー１１に供給
された電力） ＝−Ｗ／ＫＡ （ｂ） Ｔ＝Ｔ。
ｄＴ／ｄｚ＝−（１／ＫＡ）（センサー１１に供給
された電力） ＝−Ｗ／ＫＡ （ｂ） Ｔ＝Ｔ。
（２＞ ｚ＝Ｇ（ヒートシンク２５表面）において、
Ｔ＝Ｔ。
Ｔ＝Ｔ。
こうして、有効容積２８内の任意の位９ｚに対する温度
を記述する定常状態方程式は、Ｔ＝Ｔ、＋［（Ｇ−ｚ）
Ｗ／ＫＡＩＥＸＰＣ（Ｇｚ＞Ｆσｖｙ７玉−〕 ｚ＝０におけるセンサーの温度を記述する定常状態方程
式は、 ｉ”ｏ＝”Ｉ”−ト［ＧＷ／ＫＡＥＥＸＰ［（Ｇ ）、
ｒで−Ｗ乙［］ このため、雰囲気を超えるセンサー１１の温度上昇１’
Ｒ＝ Ｔ 、 −Ｔ、は、次のように表現される。
を記述する定常状態方程式は、Ｔ＝Ｔ、＋［（Ｇ−ｚ）
Ｗ／ＫＡＩＥＸＰＣ（Ｇｚ＞Ｆσｖｙ７玉−〕 ｚ＝０におけるセンサーの温度を記述する定常状態方程
式は、 ｉ”ｏ＝”Ｉ”−ト［ＧＷ／ＫＡＥＥＸＰ［（Ｇ ）、
ｒで−Ｗ乙［］ このため、雰囲気を超えるセンサー１１の温度上昇１’
Ｒ＝ Ｔ 、 −Ｔ、は、次のように表現される。
１’ Ｒ−（定数１ ＊Ｑ＊Ｗ／Ａ）＊ＥＸＰ［−Ｇ＊
Ｊ−π■）＝−Ｖ−］ この場合定数１と定数２は、流体の特性のみによって決
定される。この分析において選ばれた測定値のユニット
に対して、 定数１＝４８２．４／Ｋ、 定数２＝１０３，０００ ＜ＣＤ／Ｉ（）である。
Ｊ−π■）＝−Ｖ−］ この場合定数１と定数２は、流体の特性のみによって決
定される。この分析において選ばれた測定値のユニット
に対して、 定数１＝４８２．４／Ｋ、 定数２＝１０３，０００ ＜ＣＤ／Ｉ（）である。
この方程式は、流体速度に対する′ＦＲ（′ａ、れる流
体の雰囲気温度を超えるセンサー１１の温度上昇）の全
体変動と感度が、単にギャップの寸法Ｇを指定すること
により、所望の流体のタイプ又は速度範囲に対して指定
することができるという顕著な特性を有する。
体の雰囲気温度を超えるセンサー１１の温度上昇）の全
体変動と感度が、単にギャップの寸法Ｇを指定すること
により、所望の流体のタイプ又は速度範囲に対して指定
することができるという顕著な特性を有する。
上記の好ましいエツチングされたセンサー１１ではなく
、以下に記載する例においては、プロトタイプのセンサ
ーを使用した。それは、２つの真ちゅう円板の間に挟ま
れた直径０．００１８インチ（約０−．０４６ｍｍ）の
アニールした銅線を６０回巻いたコイルを有する。
、以下に記載する例においては、プロトタイプのセンサ
ーを使用した。それは、２つの真ちゅう円板の間に挟ま
れた直径０．００１８インチ（約０−．０４６ｍｍ）の
アニールした銅線を６０回巻いたコイルを有する。
実施例１：
Ｐ＝０．４ワツト
Ｇ＝０．０２５インチ（約０．６３５ｍｍ）Ａ＝０．３
平方インチ（約１．９４ｃｍ”）流体のタイプ−標準温
度及び圧力の空気に対して、 Ｖ＝ｏｆｐｍ （Ｏｍ／分）におけるＴＲは、１００．
５” Ｆ （約５５．８３℃）ｖ＝２ｏｆｐｍ（約６．
１ｍ／分）におけるＴＲは、７４．５＠Ｆ （約４１゜
４℃）Ｖ＝５０００ｆｐｍ （約１５２４ｍ／分）にお
けるＴＲは、０．８’ Ｆ （約０．４４℃）である。
平方インチ（約１．９４ｃｍ”）流体のタイプ−標準温
度及び圧力の空気に対して、 Ｖ＝ｏｆｐｍ （Ｏｍ／分）におけるＴＲは、１００．
５” Ｆ （約５５．８３℃）ｖ＝２ｏｆｐｍ（約６．
１ｍ／分）におけるＴＲは、７４．５＠Ｆ （約４１゜
４℃）Ｖ＝５０００ｆｐｍ （約１５２４ｍ／分）にお
けるＴＲは、０．８’ Ｆ （約０．４４℃）である。
実施例２：
Ｐ＝２ワット
Ｇ＝０．０４インチ（約１．０２ｍｍ）Ａ＝０．３平方
インチ（約１．９４ｃｍ”）流体のタイプ−水 に対して、 Ｖ＝Ｏｆｐｍ （Ｏｎ／分）におけるＴＲは、３０．９
９°Ｆ（約１７．２２℃） Ｖ＝０．１ ｆ ｐｍ （約３．０５ｃｍ／分）におけ
るＴＲは、２１．２３°Ｆ（約１１．７９℃） Ｖ＝２Ｏｆｐｍ（約６．１ｍ／分）におけるＴＲは、０
．７°Ｆ（約０．３９℃）である。
インチ（約１．９４ｃｍ”）流体のタイプ−水 に対して、 Ｖ＝Ｏｆｐｍ （Ｏｎ／分）におけるＴＲは、３０．９
９°Ｆ（約１７．２２℃） Ｖ＝０．１ ｆ ｐｍ （約３．０５ｃｍ／分）におけ
るＴＲは、２１．２３°Ｆ（約１１．７９℃） Ｖ＝２Ｏｆｐｍ（約６．１ｍ／分）におけるＴＲは、０
．７°Ｆ（約０．３９℃）である。
これらの両実施例は、本発明の使用により、空気と水の
両方に対して低い流量における利用可能な高い分解能と
共に、高い流量における測定データを獲得する能力を示
す、速度ゼロにおける本発明の有効容積における流体の
平均温度上昇は従来の熱流量計に比較して非常に小さい
ために、姿勢（ｐｏｓｔｕｒｅ）及び対流の誤差は無視
できる。
両方に対して低い流量における利用可能な高い分解能と
共に、高い流量における測定データを獲得する能力を示
す、速度ゼロにおける本発明の有効容積における流体の
平均温度上昇は従来の熱流量計に比較して非常に小さい
ために、姿勢（ｐｏｓｔｕｒｅ）及び対流の誤差は無視
できる。
第２５！Ｕの第２の実施態様は、第１図の断熱付表ｔｈ
ｉ１３による擬似的な熱損失を鰻小にする方法を示す、
第２図において、センサー２９は、第１図のセンサー１
１と同一であるが、２つのヒートシンク３１．３３の間
に等距緋に吊される。流体はセンサー２９の両側を流れ
る。ヒートシンクの表面３１．３３は、流れる流体の温
度と同じ雰囲気温度である。センサー２９の両面又は側
面の面積は、温度／流体速度の関係を計算する際に使用
される。センサー２９の基板の厚さのために、実質的に
等しい熱量がセンサー２９から両方向に流れる。
ｉ１３による擬似的な熱損失を鰻小にする方法を示す、
第２図において、センサー２９は、第１図のセンサー１
１と同一であるが、２つのヒートシンク３１．３３の間
に等距緋に吊される。流体はセンサー２９の両側を流れ
る。ヒートシンクの表面３１．３３は、流れる流体の温
度と同じ雰囲気温度である。センサー２９の両面又は側
面の面積は、温度／流体速度の関係を計算する際に使用
される。センサー２９の基板の厚さのために、実質的に
等しい熱量がセンサー２９から両方向に流れる。
第３閏は第３の実施態様を示す、この実施態様において
は、熱束流体流量計に入る流体の変化する温度を補償す
ることができる。この実施態様において、センサー３５
は、第１図又は第２図のセンサー１１又はセンサー２９
に類似する測定又は活動センサーである。センサー３５
は、２つのヒートシンク３９と４１との間に等距離に位
置する。
は、熱束流体流量計に入る流体の変化する温度を補償す
ることができる。この実施態様において、センサー３５
は、第１図又は第２図のセンサー１１又はセンサー２９
に類似する測定又は活動センサーである。センサー３５
は、２つのヒートシンク３９と４１との間に等距離に位
置する。
第２のセンサー３７が、ヒートシンク４１と別のヒート
シンク４３との間に等距離に間隔をあけて配置される。
シンク４３との間に等距離に間隔をあけて配置される。
センサー３７はセンサー３５と同一構造であるが、それ
は基準センサーである。基準センサー３７は活動センサ
ー３５と同一の熱特性を有するが、基準センサー３７の
温度測定を行う際に使用される電力は、活動センサー３
５において使用される電力の百分の−よりも小さく設定
される。この場合、ＤＴは、活動センサー３５の温度か
ら基準センサー３７の温度を引いた値である。
は基準センサーである。基準センサー３７は活動センサ
ー３５と同一の熱特性を有するが、基準センサー３７の
温度測定を行う際に使用される電力は、活動センサー３
５において使用される電力の百分の−よりも小さく設定
される。この場合、ＤＴは、活動センサー３５の温度か
ら基準センサー３７の温度を引いた値である。
第３図を更に参照すると、バッテリー４５又は直流電源
は、センサー３５．３７のコイルの一方の側に接続され
た正のリード線を有する。活動センサー３５は、コイル
の他方の端部を抵抗器４７に接続される。１つの実施態
様において、抵抗器４７は１０オームの抵抗器である。
は、センサー３５．３７のコイルの一方の側に接続され
た正のリード線を有する。活動センサー３５は、コイル
の他方の端部を抵抗器４７に接続される。１つの実施態
様において、抵抗器４７は１０オームの抵抗器である。
基準センサー３７は、他方の側を抵抗器４９に接続され
る。１つの実施態様において、抵抗器４９は２００オー
ムの抵抗器である。
る。１つの実施態様において、抵抗器４９は２００オー
ムの抵抗器である。
抵抗器４７．４９の反対側は、電源４５の負の側に接続
される。電源４５の負の側は又、従来のアナログ対デジ
タル電圧データ取得システム又はコンバーター５１の端
子Ｃ１に接続される。Ａ／Ｄコンバーター５１の端子Ｃ
２は、抵抗器４７と活動センサー３５の間に接続される
。端子Ｃ３はバッテリー４５の正の側に接続される。端
子ｃ４は抵抗器４９と基準センサー３７との間に接続さ
れる。Ａ／Ｄコンバーター５１は、従来のコンピュータ
５３に接続される。Ａ／Ｄコンバータ５１は、端子Ｃ１
、Ｃ２、Ｃ３及びＣ４においてアナログ電圧を収集し、
そして速度を計算するためにデジタル・データをコンピ
ュータ５３に供給する。
される。電源４５の負の側は又、従来のアナログ対デジ
タル電圧データ取得システム又はコンバーター５１の端
子Ｃ１に接続される。Ａ／Ｄコンバーター５１の端子Ｃ
２は、抵抗器４７と活動センサー３５の間に接続される
。端子Ｃ３はバッテリー４５の正の側に接続される。端
子ｃ４は抵抗器４９と基準センサー３７との間に接続さ
れる。Ａ／Ｄコンバーター５１は、従来のコンピュータ
５３に接続される。Ａ／Ｄコンバータ５１は、端子Ｃ１
、Ｃ２、Ｃ３及びＣ４においてアナログ電圧を収集し、
そして速度を計算するためにデジタル・データをコンピ
ュータ５３に供給する。
第３図の実施態様において、ヒートシンク３９と４１と
の間、及びヒートシンク４１と４３との間のギャップは
、０．０２５インチ（約０．６３５ｍｍ）となるように
選択される。抵抗器４７．４９の値は、活動センサー３
５に対して約０．４ワツト、基準センサー３７に対して
その値の約百分の−を生じさせる。次の方程式は、所望
の量を生み出すために、コンピュータ５３にプログラム
される。
の間、及びヒートシンク４１と４３との間のギャップは
、０．０２５インチ（約０．６３５ｍｍ）となるように
選択される。抵抗器４７．４９の値は、活動センサー３
５に対して約０．４ワツト、基準センサー３７に対して
その値の約百分の−を生じさせる。次の方程式は、所望
の量を生み出すために、コンピュータ５３にプログラム
される。
活動センサー３５の抵抗値：
Ｒ，＝１０ （Ｃ３−Ｃ２＞／（Ｃ２−ＣＩ）［オーム
］ 活動センサー３５に送り出される電カニＷ＝ （Ｃ３
−Ｃ２） （Ｃ２−Ｃ１）／１０［ワット］ 基準センサー３７の抵抗値： Ｒ，＝２００ （Ｃ３−Ｃ４）／（Ｃ４−ＣＩ）［オー
ム］ 活動センサー３５の雰囲気温度より上の温度：ＤＴ、＝
４５８．０１ （電力を供給されたときのＲ１−雰囲気
温度におけるＲ、） ／〈雰囲気温度におけるＲ、）［” Ｆ］基準センサー
３７の雰囲気温度より上の温度＝ＤＴ、＝４５８．０１
＜電力を供給されたときのＲ，−雰囲気温度における
Ｒ、） ／（雰囲気温度におけるＲ、） じＦ］温度上昇： ＴＲ＝ＤＴ、−ｒ）Ｔ、 ［”Ｆ］ 一般に、見掛けの流体速度に対する式は、Ｖ＝ （Ｋ／
１０３０００ＣＤ＞［ＬＯＧ ＜４８２．４ｇｗ／ＡＫ
ＴＲ）／Ｇ］ ” で表される。
］ 活動センサー３５に送り出される電カニＷ＝ （Ｃ３
−Ｃ２） （Ｃ２−Ｃ１）／１０［ワット］ 基準センサー３７の抵抗値： Ｒ，＝２００ （Ｃ３−Ｃ４）／（Ｃ４−ＣＩ）［オー
ム］ 活動センサー３５の雰囲気温度より上の温度：ＤＴ、＝
４５８．０１ （電力を供給されたときのＲ１−雰囲気
温度におけるＲ、） ／〈雰囲気温度におけるＲ、）［” Ｆ］基準センサー
３７の雰囲気温度より上の温度＝ＤＴ、＝４５８．０１
＜電力を供給されたときのＲ，−雰囲気温度における
Ｒ、） ／（雰囲気温度におけるＲ、） じＦ］温度上昇： ＴＲ＝ＤＴ、−ｒ）Ｔ、 ［”Ｆ］ 一般に、見掛けの流体速度に対する式は、Ｖ＝ （Ｋ／
１０３０００ＣＤ＞［ＬＯＧ ＜４８２．４ｇｗ／ＡＫ
ＴＲ）／Ｇ］ ” で表される。
７０°Ｆ（約２１．１℃）及び１気圧における空気の熱
特性に対して次の値を使用する。
特性に対して次の値を使用する。
Ｃ＝０．２４ＢＴＬＪ／Ｉ ｂＦ
Ｄ＝０．００００４６４１ｂ／ｃｕ １ｎＫ−０，１
６ＢＴＵ ｉｎ／ｈｒ ｓｑ ｆｔそして流体速
度計として本発明の実現のために選ばれた設計定数は、 Ａ＝０．４ ｓｑ、ｉｎ（約２ 、５８ ｃ ｍ”）
Ｇ＝０．０２５ｉｎ （約０．６３５ｍｍ）プログ
ラムされた特定の見掛けの流体速度方程式は、 Ｖ＝２２３０ ［ＬＯＧ （１８８Ｗ／ＴＲ）
コ ２である。
６ＢＴＵ ｉｎ／ｈｒ ｓｑ ｆｔそして流体速
度計として本発明の実現のために選ばれた設計定数は、 Ａ＝０．４ ｓｑ、ｉｎ（約２ 、５８ ｃ ｍ”）
Ｇ＝０．０２５ｉｎ （約０．６３５ｍｍ）プログ
ラムされた特定の見掛けの流体速度方程式は、 Ｖ＝２２３０ ［ＬＯＧ （１８８Ｗ／ＴＲ）
コ ２である。
結果として得られる出力速度は、毎分２フイートく約０
．６１ｍ／分）から毎分２０００フイートく約６１０ｎ
／分）の範囲にわたる入力に対して５パ一セント以内で
直線的であり、そして本発明のこの実施態様に対するゼ
ロ安定性と姿勢誤差は、７０〜１１０°Ｆ（約２１．１
〜４３．３℃）の雰囲気温度範囲にわたってプラス又は
マイナス０．５ｆｐｍ（約０．１５２／分）よりも小さ
い。
．６１ｍ／分）から毎分２０００フイートく約６１０ｎ
／分）の範囲にわたる入力に対して５パ一セント以内で
直線的であり、そして本発明のこの実施態様に対するゼ
ロ安定性と姿勢誤差は、７０〜１１０°Ｆ（約２１．１
〜４３．３℃）の雰囲気温度範囲にわたってプラス又は
マイナス０．５ｆｐｍ（約０．１５２／分）よりも小さ
い。
さらに良い直線性は、粘性又は他の因子による流体の仮
定された一定速度プロファイルからの偏向と共に活動セ
ンサー３５の測定可能な直列及び分路熱インピーダンス
のような因子を修正するように、前述のアルゴリズムを
一層洗練することによって得ることが＝Ｔ能である。
定された一定速度プロファイルからの偏向と共に活動セ
ンサー３５の測定可能な直列及び分路熱インピーダンス
のような因子を修正するように、前述のアルゴリズムを
一層洗練することによって得ることが＝Ｔ能である。
本発明は重要な利点を有する１本発明の熱￥ｉ量流量計
は、広範囲の流体のタイプと速度の適応を可能にするユ
ニークな熱束変調技術を使用することによって、従来の
質量流量計の高い及び低い速度制限を改良する。
は、広範囲の流体のタイプと速度の適応を可能にするユ
ニークな熱束変調技術を使用することによって、従来の
質量流量計の高い及び低い速度制限を改良する。
本発明を３つの形式にて示したが、本発明はそれらに制
限されず、本発明の範囲を逸脱することなしに多様な変
形が可能であることが本技術分野における熟練者には明
らかであろう。
限されず、本発明の範囲を逸脱することなしに多様な変
形が可能であることが本技術分野における熟練者には明
らかであろう。
本発明の主なる特徴及び態様は以下のとおりである。
１、流れる流体の速度を測定するＭ量流破計であって、
流れる流体に置かれるのに適し、電力を供給されたとき
熱を発生することができるセンサーと、流れる流体に実
質的に直角の方向に、センサーからの選択された距離に
て流れる流体に置かれるのに適したヒートシンクと、 センサーからヒートシンクへと流れそして流れる流体に
よって変調させられる熱束を生じさせるために、電力を
センサーに供給する手段と、流れる流体の雰囲気温度を
超えるセンサーの温度増加を測定し、そしてその測定値
から流れる流体の速度を計算する手段との組み合わせを
具備する質鰻流員計。
熱を発生することができるセンサーと、流れる流体に実
質的に直角の方向に、センサーからの選択された距離に
て流れる流体に置かれるのに適したヒートシンクと、 センサーからヒートシンクへと流れそして流れる流体に
よって変調させられる熱束を生じさせるために、電力を
センサーに供給する手段と、流れる流体の雰囲気温度を
超えるセンサーの温度増加を測定し、そしてその測定値
から流れる流体の速度を計算する手段との組み合わせを
具備する質鰻流員計。
２、センサーとヒートシンクは、流れる流体に位置付け
られたとき、互いに平行な対向する表面を有する上記１
に記載の流量針。
られたとき、互いに平行な対向する表面を有する上記１
に記載の流量針。
３、センサーとヒートシンクは、流れる流体に位置付け
られたとき、互いに平行な対向する平坦な表面を有する
上記１に記載の流量計。
られたとき、互いに平行な対向する平坦な表面を有する
上記１に記載の流量計。
４、センサーはコイルを具備し、センサーは、流れる流
体に位置付けられたとき、ヒートシンクに面する平坦な
表面を更に有する上記１に記載の流量計。
体に位置付けられたとき、ヒートシンクに面する平坦な
表面を更に有する上記１に記載の流量計。
５、センサーは、コイルを提供するためにエツチングさ
れた金属層を有する基板積層板から成り、コイルは、流
れる流体に位置付けられたとき、ヒートシンクに面する
平坦な表面を有する上記１に記載の流量計。
れた金属層を有する基板積層板から成り、コイルは、流
れる流体に位置付けられたとき、ヒートシンクに面する
平坦な表面を有する上記１に記載の流量計。
６、流れる体の速度を測定する質量流量計であって、
流量計に取付けられ、そして流れる流体に実質的に直角
方向に位置付けられるのに適した一対の金属製のヒート
シンクと、 ヒートシンクの間で等距離に流量計によって保持され、
ヒートシンクに向かって対向する方向に熱を放射するた
めに各側に放射表面を有し、電力を供給されたとき、放
射表面において熱を発生することができるセンサーと、 センサーの放射表面からヒートシンクに流れそして流れ
る流体によって変調させられる熱束を生じさせるために
、センサーに電力を供給する手段と、 流れる流体の雰囲気湯度を超えるセンサーの放射表面の
温度増加を測定し、そしてその温度測定値に基づいて流
れる流体の速度を計算する手段との組み合わせを具備す
る質量流量計。
方向に位置付けられるのに適した一対の金属製のヒート
シンクと、 ヒートシンクの間で等距離に流量計によって保持され、
ヒートシンクに向かって対向する方向に熱を放射するた
めに各側に放射表面を有し、電力を供給されたとき、放
射表面において熱を発生することができるセンサーと、 センサーの放射表面からヒートシンクに流れそして流れ
る流体によって変調させられる熱束を生じさせるために
、センサーに電力を供給する手段と、 流れる流体の雰囲気湯度を超えるセンサーの放射表面の
温度増加を測定し、そしてその温度測定値に基づいて流
れる流体の速度を計算する手段との組み合わせを具備す
る質量流量計。
７、放射表面は平坦であり、そしてヒートシンクは放射
表面に平行な平坦な表面を有する上記６に記載の流量計
。
表面に平行な平坦な表面を有する上記６に記載の流量計
。
８、センサーは、コイルを形成するためにエツチングさ
れた金ｍ肩で被覆された基板から成る上記６に記載の流
量計。
れた金ｍ肩で被覆された基板から成る上記６に記載の流
量計。
９、流れる体の速度を測定する質量流量計であって、
基準センサー及び活動センサーと、
ここで、各センサーは流れる流体に置かれるのに適し、
各センサーは、対向する方向に熱を放射するために各側
において平坦な放射表面を有し、センサーは、電力を供
給されたとき、放射表面において熱を発生することがで
き、センサーは、流れる流体に実質的に直角な方向に互
いに間隔をあけられ、放射表面は互いに平行であり、 センサーを支持する３つの金属ヒートシンクと、ここで
、ヒートシンクの１つは２つのセンサーの間に位置付け
られ、別のヒートシンクは暴挙センサーの反対側に位置
付けられ、そして更に別のヒートシンクは活動センサー
の反対側に位置付けられ、ヒートシンクはすべて平行で
あり、そして流れる流体の方向に直角な方向に放射表面
の一方から同一距離間隔をあけられ、 活動センサーの放射表面から活動センサーの各側のヒー
トシンクへと流れそして流れる流体によって変調させら
れる熱束を生じさせるために、活動センサーに電力を供
給する手段と、 活動センサーに供給される電力よりも実質的に低いレベ
ルにおいて、基準センサーに電力を供給する手段と、 活動センサーの放射表面と基準センサーの放射表面の温
度を測定し、活動センサーの温度から基準センサーの温
度を引き算し、そして温度差に基づいて流れる流体の速
度を計算する手段との組み合わせを具備する質嶽流員計
。
各センサーは、対向する方向に熱を放射するために各側
において平坦な放射表面を有し、センサーは、電力を供
給されたとき、放射表面において熱を発生することがで
き、センサーは、流れる流体に実質的に直角な方向に互
いに間隔をあけられ、放射表面は互いに平行であり、 センサーを支持する３つの金属ヒートシンクと、ここで
、ヒートシンクの１つは２つのセンサーの間に位置付け
られ、別のヒートシンクは暴挙センサーの反対側に位置
付けられ、そして更に別のヒートシンクは活動センサー
の反対側に位置付けられ、ヒートシンクはすべて平行で
あり、そして流れる流体の方向に直角な方向に放射表面
の一方から同一距離間隔をあけられ、 活動センサーの放射表面から活動センサーの各側のヒー
トシンクへと流れそして流れる流体によって変調させら
れる熱束を生じさせるために、活動センサーに電力を供
給する手段と、 活動センサーに供給される電力よりも実質的に低いレベ
ルにおいて、基準センサーに電力を供給する手段と、 活動センサーの放射表面と基準センサーの放射表面の温
度を測定し、活動センサーの温度から基準センサーの温
度を引き算し、そして温度差に基づいて流れる流体の速
度を計算する手段との組み合わせを具備する質嶽流員計
。
１０、流れる流体の速度を測定する方法であって、
電力を供給されたとき熱を発生することができるセンサ
ーを流れる流体に配置し、 流れる流体に実質的に直角な方向に、センサーから選択
された距離にてヒートシンクを配置し、センサーからヒ
ートシンクへと流れそして流れる流体によって変調させ
られる熱束を生じさせるために、センサーに電力を供給
し、 流れる流体の雰囲気温度を超えるセンサーの温度上昇を
測定し、そして測定された温度から流れる流体の速度を
計算することから成る方法。
ーを流れる流体に配置し、 流れる流体に実質的に直角な方向に、センサーから選択
された距離にてヒートシンクを配置し、センサーからヒ
ートシンクへと流れそして流れる流体によって変調させ
られる熱束を生じさせるために、センサーに電力を供給
し、 流れる流体の雰囲気温度を超えるセンサーの温度上昇を
測定し、そして測定された温度から流れる流体の速度を
計算することから成る方法。
１１、前記センサーの前記第１のヒートシンクとは反対
側であって等距離の位置の、流れる流体に第２のヒート
シンクを配置することを更に含む上記１０に記載の方法
。
側であって等距離の位置の、流れる流体に第２のヒート
シンクを配置することを更に含む上記１０に記載の方法
。
１２、前記第２のヒートシンクの前記第１のセンサーと
は反対側の同一距離の位置の、流れる流体に第２のセン
サーを配置し、 第２のセンサーの第２ヒートシンクとは反対側の同一距
離の位置の５流れる流体に第３のヒートシンクを配置し
、 第１のセンサーに供給される電力よりもずっと低い率に
て第２のセンサーの電力を供給し、第２のセンサーの温
度を測定し、第１のセンサーの温度の測定値からその測
定値を引き算し、そしてその差を使用して流れる流体の
速度を計算することを更に含む上記１１に記載の方法。
は反対側の同一距離の位置の、流れる流体に第２のセン
サーを配置し、 第２のセンサーの第２ヒートシンクとは反対側の同一距
離の位置の５流れる流体に第３のヒートシンクを配置し
、 第１のセンサーに供給される電力よりもずっと低い率に
て第２のセンサーの電力を供給し、第２のセンサーの温
度を測定し、第１のセンサーの温度の測定値からその測
定値を引き算し、そしてその差を使用して流れる流体の
速度を計算することを更に含む上記１１に記載の方法。
第１図は、本発明の第１の実施態様の概略図。
第２図は、本発明の第２の実施態様の概略図。
第３図は、本発明の第３の実施態様の概略図。
第４図は、本発明のセンサーの１つを分解形式において
示す概略図。 １１．２９・・・センサー １３・・・断熱材 １５・・・基板 １７・・・金属層 １９・・・コイル ２１・・・電源 ２３・・・測定回路 ２５．３１．３３・・・ヒートシンク ２７・・・増分体積 ２８・・・有効体積 ３５・・・活動センサー ３７・・・基準センサー ４５・・・電源 ４７．４９・・・抵抗器 ５１・・・Ａ／Ｄコンバーター ５３・・・コンピューター 特許出願人 ブライアン・イー・ミツクラ−α；：＝に
６し２９ １佼２
示す概略図。 １１．２９・・・センサー １３・・・断熱材 １５・・・基板 １７・・・金属層 １９・・・コイル ２１・・・電源 ２３・・・測定回路 ２５．３１．３３・・・ヒートシンク ２７・・・増分体積 ２８・・・有効体積 ３５・・・活動センサー ３７・・・基準センサー ４５・・・電源 ４７．４９・・・抵抗器 ５１・・・Ａ／Ｄコンバーター ５３・・・コンピューター 特許出願人 ブライアン・イー・ミツクラ−α；：＝に
６し２９ １佼２
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、流れる流体の速度を測定する質量流量計であつて、 流れる流体に置かれるのに適し、電力を供給されたとき
熱を発生することができるセンサーと、流れる流体に実
質的に直角の方向に、センサーからの選択された距離に
て流れる流体に置かれるのに適したヒートシンクと、 センサーからヒートシンクへと流れそして流れる流体に
よって変調させられる熱束を生じさせるために、電力を
センサーに供給する手段と、流れる流体の雰囲気温度を
超えるセンサーの温度増加を測定し、そしてその測定値
から流れる流体の速度を計算する手段との組み合わせを
具備する質量流量計。 ２、流れる体の速度を測定する質量流量計であって、 流量計に取付けられ、そして流れる流体に実質的に直角
方向に位置付けられるのに適した一対の金属製のヒート
シンクと、 ヒートシンクの間で等距離に流量計によって保持され、
ヒートシンクに向かって対向する方向に熱を放射するた
めに各側に放射表面を有し、電力を供給されたとき、放
射表面において熱を発生することができるセンサーと、 センサーの放射表面からヒートシンクに流れそして流れ
る流体によって変調させられる熱束を生じさせるために
、センサーに電力を供給する手段と、 流れる流体の雰囲気温度を超えるセンサーの放射表面の
温度増加を測定し、そしてその温度測定値に基づいて流
れる流体の速度を計算する手段との組み合わせを具備す
る質量流量計。 ３、流れる体の速度を測定する質量流量計であって、 基準センサー及び活動センサーと、 ここで、各センサーは流れる流体に置かれるのに適し、
各センサーは、対向する方向に熱を放射するために各側
において平坦な放射表面を有し、センサーは、電力を供
給されたとき、放射表面において熱を発生することがで
き、センサーは、流れる流体に実質的に直角な方向に互
いに間隔をあけられ、放射表面は互いに平行であり、 センサーを支持する３つの金属ヒートシンクと、ここで
、ヒートシンクの１つは２つのセンサーの間に位置付け
られ、別のヒートシンクは基準センサーの反対側に位置
付けられ、そして更に別のヒートシンクは活動センサー
の反対側に位置付けられ、ヒートシンクはすべて平行で
あり、そして流れる流体の方向に直角な方向に放射表面
の一方から同一距離間隔をあけられ、 活動センサーの放射表面から活動センサーの各側のヒー
トシンクへと流れそして流れる流体によって変調させら
れる熱束を生じさせるために、活動センサーに電力を供
給する手段と、 活動センサーに供給される電力よりも実質的に低いレベ
ルにおいて、基準センサーに電力を供給する手段と、 活動センサーの放射表面と基準センサーの放射表面の温
度を測定し、活動センサーの温度から基準センサーの温
度を引き算し、そして温度差に基づいて流れる流体の速
度を計算する手段との組み合わせを具備する質量流量計
。 ４、流れる流体の速度を測定する方法であって、電力を
供給されたとき熱を発生することができるセンサーを流
れる流体に配置し、 流れる流体に実質的に直角な方向に、センサーから選択
された距離にてヒートシンクを配置し、センサーからヒ
ートシンクへと流れそして流れる流体によって変調させ
られる熱束を生じさせるために、センサーに電力を供給
し、 流れる流体の雰囲気温度を超えるセンサーの温度上昇を
測定し、そして測定された温度から流れる流体の速度を
計算することから成る方法。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| US07/211,891 US4876887A (en) | 1988-06-27 | 1988-06-27 | Thermal flux mass flowmeter |
| US211891 | 1988-06-27 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0245715A true JPH0245715A (ja) | 1990-02-15 |
| JPH0778439B2 JPH0778439B2 (ja) | 1995-08-23 |
Family
ID=22788714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1158469A Expired - Lifetime JPH0778439B2 (ja) | 1988-06-27 | 1989-06-22 | 流体の速度を測定する方法 |
Country Status (16)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4876887A (ja) |
| EP (1) | EP0349174B1 (ja) |
| JP (1) | JPH0778439B2 (ja) |
| KR (1) | KR0151723B1 (ja) |
| AT (1) | ATE99412T1 (ja) |
| AU (1) | AU608716B2 (ja) |
| CA (1) | CA1326557C (ja) |
| DE (1) | DE68911767T2 (ja) |
| ES (1) | ES2049817T3 (ja) |
| IL (1) | IL90692A0 (ja) |
| LT (1) | LT3493B (ja) |
| LV (1) | LV10981B (ja) |
| MD (1) | MD1014G2 (ja) |
| RU (1) | RU2087870C1 (ja) |
| UA (1) | UA25921A1 (ja) |
| ZA (1) | ZA894318B (ja) |
Families Citing this family (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5780736A (en) * | 1996-11-27 | 1998-07-14 | Sierra Instruments, Inc. | Axial thermal mass flowmeter |
| US6257354B1 (en) | 1998-11-20 | 2001-07-10 | Baker Hughes Incorporated | Drilling fluid flow monitoring system |
| US6776817B2 (en) * | 2001-11-26 | 2004-08-17 | Honeywell International Inc. | Airflow sensor, system and method for detecting airflow within an air handling system |
| US7874208B2 (en) * | 2007-10-10 | 2011-01-25 | Brooks Instrument, Llc | System for and method of providing a wide-range flow controller |
| US9134186B2 (en) * | 2011-02-03 | 2015-09-15 | Kla-Tencor Corporation | Process condition measuring device (PCMD) and method for measuring process conditions in a workpiece processing tool configured to process production workpieces |
| US9243943B2 (en) * | 2013-04-10 | 2016-01-26 | International Business Machines Corporation | Air-flow sensor for adapter slots in a data processing system |
| GB2533936B (en) | 2015-01-07 | 2017-10-25 | Homeserve Plc | Flow detection device |
| GB201501935D0 (en) | 2015-02-05 | 2015-03-25 | Tooms Moore Consulting Ltd And Trow Consulting Ltd | Water flow analysis |
| CA3103598A1 (fr) | 2020-12-21 | 2022-06-21 | Federico Torriano | Debitmetre electronique a bilan thermique |
Family Cites Families (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| FR2451022A2 (fr) * | 1979-03-08 | 1980-10-03 | Onera (Off Nat Aerospatiale) | Perfectionnements aux procedes et dispositifs de mesure de debit de fluide |
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