JPH0246316A - 真空室用回転運動伝達装置 - Google Patents
真空室用回転運動伝達装置Info
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- JPH0246316A JPH0246316A JP63192202A JP19220288A JPH0246316A JP H0246316 A JPH0246316 A JP H0246316A JP 63192202 A JP63192202 A JP 63192202A JP 19220288 A JP19220288 A JP 19220288A JP H0246316 A JPH0246316 A JP H0246316A
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- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title 1
- 238000012856 packing Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000004033 plastic Substances 0.000 claims abstract description 5
- 238000007789 sealing Methods 0.000 claims description 11
- -1 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 5
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 claims description 5
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 claims description 5
- 229920001971 elastomer Polymers 0.000 claims description 4
- 239000000806 elastomer Substances 0.000 claims description 4
- 238000005192 partition Methods 0.000 abstract description 4
- 239000000314 lubricant Substances 0.000 description 5
- 239000003566 sealing material Substances 0.000 description 4
- 239000010687 lubricating oil Substances 0.000 description 3
- 239000000463 material Substances 0.000 description 3
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 3
- 238000005461 lubrication Methods 0.000 description 2
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 239000004519 grease Substances 0.000 description 1
- 230000002427 irreversible effect Effects 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 1
- CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N molybdenum disulfide Chemical compound S=[Mo]=S CWQXQMHSOZUFJS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052982 molybdenum disulfide Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000003466 welding Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F16—ENGINEERING ELEMENTS AND UNITS; GENERAL MEASURES FOR PRODUCING AND MAINTAINING EFFECTIVE FUNCTIONING OF MACHINES OR INSTALLATIONS; THERMAL INSULATION IN GENERAL
- F16J—PISTONS; CYLINDERS; SEALINGS
- F16J15/00—Sealings
- F16J15/54—Other sealings for rotating shafts
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
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- Y10S277/00—Seal for a joint or juncture
- Y10S277/913—Seal for fluid pressure below atmospheric, e.g. vacuum
-
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- Y10S277/944—Elastomer or plastic
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Sealing Devices (AREA)
- Sealing With Elastic Sealing Lips (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は真空室における回転運動を伝達する装置であっ
て、真空室隔壁の孔を通して回転運動を伝達する軸と、
形孔の内壁と該軸との間の真空密閉に対する漏止め用パ
ツキンリングとをｄミえる装置に関する。
て、真空室隔壁の孔を通して回転運動を伝達する軸と、
形孔の内壁と該軸との間の真空密閉に対する漏止め用パ
ツキンリングとをｄミえる装置に関する。
現在まで用いられた通常型のパツキン（例えば唇状パツ
キン）を有する回転ダクトには、すべり面の潤滑が絶対
に必要である。当該潤滑材には先ず第一に、軸のすべり
面とパツキンリングとの間に潤滑油膜を形成し、すべり
面の反対側の押上げ圧力を、常に十分な潤滑油膜が形成
できるように配分しなければならないという課題がある
。最ム右利な場合には、これによって約０．０５の摩擦
係数を達成することができる。然しこのような潤滑油膜
は、膜でぬれる表面に沿って常に漏れるという望ましく
ない性質があり、このために油膜が真空室内部に達して
真空室を汚染する可能性がある。
キン）を有する回転ダクトには、すべり面の潤滑が絶対
に必要である。当該潤滑材には先ず第一に、軸のすべり
面とパツキンリングとの間に潤滑油膜を形成し、すべり
面の反対側の押上げ圧力を、常に十分な潤滑油膜が形成
できるように配分しなければならないという課題がある
。最ム右利な場合には、これによって約０．０５の摩擦
係数を達成することができる。然しこのような潤滑油膜
は、膜でぬれる表面に沿って常に漏れるという望ましく
ない性質があり、このために油膜が真空室内部に達して
真空室を汚染する可能性がある。
例えば、軸とパツキンリングどの間の押上げ圧力を高く
し、若しくは高粘性の潤滑）＋Ｉ＋又はグリースを用い
ることによって、潤滑剤の補給を少なくしようとする試
みは、望ましくない１１１！擦係数の工賃のみならず、
しばしば運動中のすべり面か乾燥状態になり、且つ密閉
材料の臨界運動特性が悪いために、しばしば修復不能な
損傷、いわゆる「侵蝕」を招き、結果どしで漏れにつな
がる。現在迄、強い荷重がある時にも、金属表面に対し
十分にしっかりした臨界運動特性を有する密閉材料は発
見されていなかった。潤滑剤として二硫化モリブテンを
用いることによって、確かに乾燥状態の運動に対しても
摩擦係数を比較的低くすることはできるが、それでもこ
の問題は解決しない。このような１ＩＩｌ滑油膜の唯一
回の損傷もいわば完全に治ることはなく、むしろ拡大す
ると共に臨界運動特性が完全に喪失することになる。そ
の上Ｉ！？！擦係数（大体０−１μに等しい）は依然と
して比較的に高いので荷重が強くなり、■つ各密閉材料
の熱伝導が小ざくなるために、パツキンの熱的過大応力
が発生する可能性がある。
し、若しくは高粘性の潤滑）＋Ｉ＋又はグリースを用い
ることによって、潤滑剤の補給を少なくしようとする試
みは、望ましくない１１１！擦係数の工賃のみならず、
しばしば運動中のすべり面か乾燥状態になり、且つ密閉
材料の臨界運動特性が悪いために、しばしば修復不能な
損傷、いわゆる「侵蝕」を招き、結果どしで漏れにつな
がる。現在迄、強い荷重がある時にも、金属表面に対し
十分にしっかりした臨界運動特性を有する密閉材料は発
見されていなかった。潤滑剤として二硫化モリブテンを
用いることによって、確かに乾燥状態の運動に対しても
摩擦係数を比較的低くすることはできるが、それでもこ
の問題は解決しない。このような１ＩＩｌ滑油膜の唯一
回の損傷もいわば完全に治ることはなく、むしろ拡大す
ると共に臨界運動特性が完全に喪失することになる。そ
の上Ｉ！？！擦係数（大体０−１μに等しい）は依然と
して比較的に高いので荷重が強くなり、■つ各密閉材料
の熱伝導が小ざくなるために、パツキンの熱的過大応力
が発生する可能性がある。
本発明は、従来のパツキンのこのような欠陥を緩和させ
ると共に、いか−なる潤滑材も必要とけず、可能な限り
損耗が少なく寿命も艮い、真空装置用の回転ダクトを提
供する課題を扱う。
ると共に、いか−なる潤滑材も必要とけず、可能な限り
損耗が少なく寿命も艮い、真空装置用の回転ダクトを提
供する課題を扱う。
本課題は、真空室隔壁の孔を通して回転運動を伝達する
軸と、孔の内壁と軸との間の真空密閉に対Ｊ”る漏止め
用パツキンリングとを８有する、真空室の隔壁を通して
回転運動を伝′ＩＩする本発明の装置により、孔の内壁
を摩擦の小さいプラスチック製スリーブで覆い、且つ孔
の内壁と軸とに対しスリーブ自体をパツキンリングで密
閉づることによって解決できる。
軸と、孔の内壁と軸との間の真空密閉に対Ｊ”る漏止め
用パツキンリングとを８有する、真空室の隔壁を通して
回転運動を伝′ＩＩする本発明の装置により、孔の内壁
を摩擦の小さいプラスチック製スリーブで覆い、且つ孔
の内壁と軸とに対しスリーブ自体をパツキンリングで密
閉づることによって解決できる。
本発明の好ましい構成としては、とりわＣノスリーブを
ポリテトラフルオルエチレン（ＰＴＩ”［、商品名テフ
ロン）で、パツキンリングをエラストマで作ることを意
図している。即Ｉう、特にこのような一対の材料によっ
て、−様な最低の１￥擦と、余分な潤滑材のいらないし
っかりしたパツキンリングとを備えた回転ダクトが得ら
れることは明らかである。本発明による回転ダクトは、
寸法を小さくすることが可能で、密閉能力は大回転数く
例えば１０万）後も尚完全に保たれ、簡単に製造できる
単一の回転部材で組み立てられる。真空密閉回転ダクト
に対ししばしばなされる、しっかりした真空密閉の漏止
めの外に、同時に、十分な臨界運動特性を与えなければ
ならないという要求は、本発明の好ましい実施態様を選
択することによっ石同時に満たすことができる。すなわ
ち密閉の使命を果たすためには、−・方ではパツキンリ
ングの弾性と塑性とが十分大きく、他方ではよく知られ
ている様に、非常に小さな８擦係数（μ＝ ０．０２
）のみならず（例えばブリテラシュ・ジャーナル・オブ
・アプライド・フィジックス１９９６年第１７巻、１５
２１頁２載参照）、先に述べた一対の材料が滑るときｂ
いに１！？擦し合う部分が、最も高い荷重においても同
様に互いに溶接しないという特別な特性が、ポリテトラ
フルオルエチレンにより提供される。これに対してよく
知られている他の材料はすべて、Ｉ！！擦抵抗抵抗る一
定の値に達するやいなや溶接する。
ポリテトラフルオルエチレン（ＰＴＩ”［、商品名テフ
ロン）で、パツキンリングをエラストマで作ることを意
図している。即Ｉう、特にこのような一対の材料によっ
て、−様な最低の１￥擦と、余分な潤滑材のいらないし
っかりしたパツキンリングとを備えた回転ダクトが得ら
れることは明らかである。本発明による回転ダクトは、
寸法を小さくすることが可能で、密閉能力は大回転数く
例えば１０万）後も尚完全に保たれ、簡単に製造できる
単一の回転部材で組み立てられる。真空密閉回転ダクト
に対ししばしばなされる、しっかりした真空密閉の漏止
めの外に、同時に、十分な臨界運動特性を与えなければ
ならないという要求は、本発明の好ましい実施態様を選
択することによっ石同時に満たすことができる。すなわ
ち密閉の使命を果たすためには、−・方ではパツキンリ
ングの弾性と塑性とが十分大きく、他方ではよく知られ
ている様に、非常に小さな８擦係数（μ＝ ０．０２
）のみならず（例えばブリテラシュ・ジャーナル・オブ
・アプライド・フィジックス１９９６年第１７巻、１５
２１頁２載参照）、先に述べた一対の材料が滑るときｂ
いに１！？擦し合う部分が、最も高い荷重においても同
様に互いに溶接しないという特別な特性が、ポリテトラ
フルオルエチレンにより提供される。これに対してよく
知られている他の材料はすべて、Ｉ！！擦抵抗抵抗る一
定の値に達するやいなや溶接する。
傑出した臨界運動特性を持つ回転ダクトを得るためには
、それに適したＩ ｎを６２計しなければならない。即
ち、全く避けることができない、ありうべき非可逆的塑
性変形にも拘らず、すべり面の反対側の押上げ圧力を一
定に保たなければならない。第１ｍ求項で提案されてい
る、本発明の構造によりこの目的も同様に達成できる。
、それに適したＩ ｎを６２計しなければならない。即
ち、全く避けることができない、ありうべき非可逆的塑
性変形にも拘らず、すべり面の反対側の押上げ圧力を一
定に保たなければならない。第１ｍ求項で提案されてい
る、本発明の構造によりこの目的も同様に達成できる。
以下実施例に基づきさらに詳しく説明する。
第１図は真空室の床を横切る真空回転ダク１〜の断面を
示ず。
示ず。
例えば、厚さ１３ｍＭの床（１）は、内径１０＃の孔を
有し、孔の内壁（２）にはブシュ又はスリーブ（３）形
状のポリテトラフルオルエチレンのライニングを施す。
有し、孔の内壁（２）にはブシュ又はスリーブ（３）形
状のポリテトラフルオルエチレンのライニングを施す。
スリーブ（３）の外側は、図から分かるように、孔の内
壁（２）に密接づ゛ると共にリングナツト（４）にはめ
込んだパツキンリング（５）により密閉する。
壁（２）に密接づ゛ると共にリングナツト（４）にはめ
込んだパツキンリング（５）により密閉する。
例の場合では、このパツキンリングは例えば通常の真空
密閉材料、特にエラストマで作る。回転を伝達する軸（
６）は、スリーブ（３）を頁通し、スリーブを軸上に固
定させるために、隔壁の一方側で（図では上部）軸の直
径を増大させ、他方側では、ねじ（８）で環状円板（７
）と結合させて＠（６）に固定できる。このような構造
により、軸方向における１抛の位置を固定ηると同時に
、スリーブ（３）のポリテトラフルオルエチレンを時間
の経過につれて変形ないし流出できないようにしている
。
密閉材料、特にエラストマで作る。回転を伝達する軸（
６）は、スリーブ（３）を頁通し、スリーブを軸上に固
定させるために、隔壁の一方側で（図では上部）軸の直
径を増大させ、他方側では、ねじ（８）で環状円板（７
）と結合させて＠（６）に固定できる。このような構造
により、軸方向における１抛の位置を固定ηると同時に
、スリーブ（３）のポリテトラフルオルエチレンを時間
の経過につれて変形ないし流出できないようにしている
。
スリーブ内壁に対して軸（６）を密閉するために、スリ
ーブには肩部（１０）を設け、９部にも同様に特にエラ
ストマから成る一層広いパツキンリング（１１）をはめ
込む。上記装置の使用に際し、スリーブ（３）内の軸が
回転するとき、パラ４−シリング（１１）は軸と共に動
き、リングのｈム同様にＦ？擦の小さい肩部（１０）の
ポリテトラフルオル１ヂレン表面上のみを滑る。これに
対して、孔の内壁（２）に関してスリーブ（３）を密閉
するパツキンリング（５）は固定しである。
ーブには肩部（１０）を設け、９部にも同様に特にエラ
ストマから成る一層広いパツキンリング（１１）をはめ
込む。上記装置の使用に際し、スリーブ（３）内の軸が
回転するとき、パラ４−シリング（１１）は軸と共に動
き、リングのｈム同様にＦ？擦の小さい肩部（１０）の
ポリテトラフルオル１ヂレン表面上のみを滑る。これに
対して、孔の内壁（２）に関してスリーブ（３）を密閉
するパツキンリング（５）は固定しである。
多くの応用例において、さらに−層重要な発明の利点は
、非常に小さな直径の軸を持つ回転ダクトを構成するこ
とがでさることである。つまりこれ迄市販されている典
型的な回転ダクトのリング形唇状パツキンは、せいぜい
直径約４ＩｎＭ迄である一方、本発明で適用できるよう
な、例えば直径が２ｍに過ぎない小さなものに対りるオ
イルシール６ある。適用上の必要性から、真空室を通し
て所望のトルクを伝達するために、−Ｆ記と同様に粗い
軸で十分な場合には、このような小直径でＧＪ Ｉ’？
６が一層小さくなるので、低馬力の安いモータを取り
付けられるという利点もある。図で明らかなように、図
示の配「１では、パツキンリング（５，１１）のみなら
ずスリーブ（３）は、他の部材間で密閉されているので
、機能を損なう塑性変形に負けることもなく、且つ操作
時に何等かの力で機能上適合した位置から押し出される
こともありｉｑない。
、非常に小さな直径の軸を持つ回転ダクトを構成するこ
とがでさることである。つまりこれ迄市販されている典
型的な回転ダクトのリング形唇状パツキンは、せいぜい
直径約４ＩｎＭ迄である一方、本発明で適用できるよう
な、例えば直径が２ｍに過ぎない小さなものに対りるオ
イルシール６ある。適用上の必要性から、真空室を通し
て所望のトルクを伝達するために、−Ｆ記と同様に粗い
軸で十分な場合には、このような小直径でＧＪ Ｉ’？
６が一層小さくなるので、低馬力の安いモータを取り
付けられるという利点もある。図で明らかなように、図
示の配「１では、パツキンリング（５，１１）のみなら
ずスリーブ（３）は、他の部材間で密閉されているので
、機能を損なう塑性変形に負けることもなく、且つ操作
時に何等かの力で機能上適合した位置から押し出される
こともありｉｑない。
図で示した、真空室の床を横切る回転ダクトは、勿論相
応の手段により、真空室の任なの間隔を横切る回転ダク
トとしても使用できる。
応の手段により、真空室の任なの間隔を横切る回転ダク
トとしても使用できる。
第１図は本発明による装置の断面図である。
Claims (3)
- （１）真空室の隔壁に設けた孔を通して回転運動を伝達
する軸と、前記孔の内壁と前記軸との間の真空密閉に対
する漏止め用パッキンリングとを含有する、真空室の隔
壁を通して回転運動を伝達する装置であつて、該孔の内
壁（２）を摩擦の小さいプラスチック製スリーブ（３）
で覆い、且つ該孔の内壁と該軸（６）とに対し該スリー
ブ自体をパッキンリング（５、１１）で密閉することを
特徴とする装置。 - （２）請求項１に記載の装置にして、前記スリーブ（３
）がポリテトラフルオルエチレンから成ることを特徴と
する装置。 - （３）請求項１に記載の装置にして、前記パッキンリン
グ（５、１１）がエラストマから成ることを特徴とする
装置。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CH03171/87-8 | 1987-08-18 | ||
| CH317187 | 1987-08-18 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0246316A true JPH0246316A (ja) | 1990-02-15 |
Family
ID=4250157
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP63192202A Pending JPH0246316A (ja) | 1987-08-18 | 1988-08-02 | 真空室用回転運動伝達装置 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4828273A (ja) |
| EP (1) | EP0303769A3 (ja) |
| JP (1) | JPH0246316A (ja) |
Families Citing this family (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6536777B2 (en) * | 1999-03-31 | 2003-03-25 | Lam Research Corporation | Sealing techniques suitable for different geometries and constrained spaces |
| GB0027471D0 (en) * | 2000-11-08 | 2000-12-27 | Smithkline Beecham Plc | Processes |
| US20030047879A1 (en) * | 2001-09-10 | 2003-03-13 | Bowen Willard L. | Rotary sealing device |
| WO2008109097A1 (en) * | 2007-03-06 | 2008-09-12 | Advanced Vacuum Company, Inc. | Seal cartridge for vacuum pumps |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CH392179A (de) * | 1962-04-24 | 1965-05-15 | Burckhardt Ag Maschf | Selbsttätige Abdichtung eines Zylinders gegen hohen Innendruck |
| US3331609A (en) * | 1965-04-07 | 1967-07-18 | Edwin W Plumb | Rotary fluid seal |
| US3526407A (en) * | 1968-03-11 | 1970-09-01 | Goodrich Co B F | Rotary seal |
| US3494677A (en) * | 1968-04-15 | 1970-02-10 | Acme Machine Works Inc | Means to journal and seal a rotary shaft |
| DE2163095A1 (de) * | 1971-12-18 | 1973-06-20 | Dorma Baubeschlag | Selbsttaetiger tuerschliesser |
| US4020910A (en) * | 1976-05-19 | 1977-05-03 | Rapidex, Inc. | Sealing between relatively rotating members in boring apparatus |
| IT8504780U1 (it) * | 1985-02-22 | 1986-08-22 | Selvatici Franco | Dispositivo di tenuta radiali, in acciaio per gruppi volventi. |
-
1988
- 1988-04-23 EP EP88106545A patent/EP0303769A3/de not_active Withdrawn
- 1988-06-22 US US07/209,867 patent/US4828273A/en not_active Expired - Fee Related
- 1988-08-02 JP JP63192202A patent/JPH0246316A/ja active Pending
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4828273A (en) | 1989-05-09 |
| EP0303769A2 (de) | 1989-02-22 |
| EP0303769A3 (de) | 1989-10-25 |
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