JPH0247324Y2 - - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 （産業上の利用分野） 本考案は真空配管経路の開閉を行うためのゲー
トバルブ、更に詳しくはコンダクタンス調整機能
をも兼備してなるゲートバルブに関する。

（従来の技術） 従来、この種ゲートバルブとしては例えば第４
図に示す如く、バルブ本体９ａを弁座面４ａと離
反させた非接触状態で昇降せしめて、該バルブ本
体９ａが最下端位置に存する場合に該バルブ本体
９ａの背面側を例えばエアシリンダ等にて押圧し
てその完全なバルブ閉塞を行わせるものが存在
し、この手段によればバルブ本体９ａの昇降時に
於けるシール用パツキン１５等の摩耗防止、バル
ブ操作のスムース化等が図れる等、幾多の利点が
得られるのである。

（考案が解決しようとする問題点） 然して、一方この種ゲートバルブを用いる真空
排気系の配管経路に於いては、そのコンダクタン
スを調整して真空度や排気速度等を調整する必要
が多々生じている。

しかしながら、前記従来に於いてはバルブ全閉
状態以外の状態時では常にバルブ本体９ａと弁座
面４ａとの両者を離反状態にしてなるものである
ために、例えばバルブ本体９ａの昇降停止位置を
適宜変更してバルブのゲート２の開口面積を種々
変更させようとしても、該バルブ本体９ａと弁座
面４ａとの間の周囲全般に生じる大きな間隙１６
の存在により、実際上そのコンダクタンス調整を
正確に制御できなかつたのである。

従つて、従来に於いては、この種ゲートバルブ
は配管経路の全開、全閉用に使用されるだけで、
コンダクタンス調整にはそれ専用の特殊なバルブ
が別途使用されており、その結果装置が大型化し
てその装置設置面に於いて難点を生じるばかり
か、バルブの個数の増加により装置のコストが非
常に高価となるような問題点を有していたのであ
る。

尚、上記の如き難点を解消する手段としては、
バルブ本体９ａと弁座面４ａとの間１６の寸法を
例えば10分の数mm程度の非常に微小なものとすべ
く設定するようなことが考えられるが、この場合
に於いては先ずバルブ本体９ａをそれだけの高精
度で昇降動作させること自体が困難であるばかり
か、該バルブ本体９と弁座面４ａとのいずれかに
設けられるパツキンの取付け状態が該パツキンの
使用時の摩耗等によつて直ちに前記以上の大きな
寸法誤差が生じ、よつてその実施は実際上は全く
不可能なものとなつていたのである。

本考案は上記の如き従来の問題点に鑑みて考案
されたもので、その目的とするところは、ゲート
バルブにコンダクタンス調整機能を兼備させて、
コンダクタンス調整用のバルブを不要にさせる点
にある。

（問題点を解決するための手段） 本考案はバルブの操作性の悪化や弁座面等のシ
ール面の摩耗等の難点を生じさせることなく、ゲ
ートを一部開口させた際に於いてバルブ本体と弁
座面との間の間隙の発生を防止する手段を開発す
ることにより、上記従来の問題点を解決せんとし
て構成されたものである。

すなわち、本考案の構成の要旨は、ゲート２に
筒状の補助シール体５を摺動可能に嵌入せしめる
と共に、該補助シール体５てにバルブ本体９と弁
座面４との両者間の間隙を遮断シール又は微小と
すべく該補助シール体５を押圧してバルブ本体９
の前面に当接又は接近させるための押圧手段８を
別途設けてなる点にある。

（作用） 従つて、上記構成を特徴とするゲートバルブに
於いては、バルブ本体９にてゲート２を一部開口
させた際に補助シール体５を押圧手段８にて押圧
させてバルブ本体９と弁座面４との両者間の間隙
を遮断シール又は微小化することができるため
に、ゲート２の有効開口面積の算出に際しては前
記バルブ本体９と弁座面４との両者間の間隙寸法
等を考慮する必要がなくなり、バルブ本体９の位
置設定のみによつて非常に正確なコンダクタンス
調整が行えることとなるのである。尚、前記補助
シール体５はゲート２に摺動自在に嵌入されてな
るために、該補助シール体５はゲート２の閉塞時
やバルブ本体９の往復動作時等に於いてはバルブ
本体９の押圧等により自在に後退してそのバルブ
閉塞操作等の支障となるようなことがない。

（実施例） 以下、本考案の実施態様について図面に示した
一実施例に従つて説明する。

第１図に於いて、１は流体流通用のゲート２を
形成してなるバルブケーシングを示し、該ケーシ
ング１のゲート周縁の内面にはパツキン３を装着
してなる弁座面４が設けられている。５は後端部
に鍔状の段部６を有する略リング状の補助シール
体を示し、該補助シール体５はその先端部が弁座
面４の位置よりもケーシング１内に突出可能とな
るべくゲート２内に摺動自在な状態で嵌入されて
なり、また前記ゲート２の内周壁には該補助シー
ル体５の後部の段部６と係合可能な係合用段部７
が形成されている。８は前記補助シール体５をケ
ーシング１の内方側へ押圧付勢させるためのスプ
リングを示す。

９は昇降自在の弁軸１０等に支持されてバルブ
ケーシング１内に設けられたバルブ本体を示し、
該バルブ本体９はケーシング１の内側壁に沿つて
上下方向に設けられたガイド溝１４内に嵌入され
て転動自在なガイドローラ１１，１１を上下両端
に有してなる板バネ１２の前面にボルト１３…等
にて適宜取着されている。また、該バルブ本体９
の背面側には前記バルブ本体９を弁座面４と対面
する前方側に押圧させるためのエアシリンダ（図
示せず）が別途設けられている。１７，１７はバ
ルブ本体９の幅方向のガイドを行うためのローラ
を夫々示す。

本実施例は以上の構成からなり、次にその使用
法並びに作用について説明する。

先ず、ゲート２の完全な閉塞を行う場合には、
第１図に示す如くバルブ本体９を最下端に位置さ
せた状態で、第２図の如くその背面をエアシリン
ダ等にて板バネ１２を介して弁座面４側（矢印イ
方向）に押圧せしめる。従つて、該板バネ１２は
その押圧力によつて同図の如く前方に撓みを生じ
てバルブ本体９が弁座面４に強固に密接し、これ
によつてゲート２の完全な真空封鎖が行え、スト
ツプバルブとしての機能が充分に発揮できること
となる。尚、その際補助シール体５はバルブ本体
９に押動されて後退した状態にある。

次に、ゲート２を開放してそのコンダクタンス
調整を行う場合には、先ず前記バルブ本体９への
押圧を停止、解除せしめて、バルブ本体９を板バ
ネ１２の弾性復元力により元の第１図に示す状態
に復帰せしめ、その後バルブ本体９を第３図の如
く適宜寸法上昇させて、ゲート２の開口面積を
種々変更設定するのである。

然して、同図に示す状態に於いては、補助シー
ル体５がスプリング８の弾発力によつて前方に付
勢されてバルブ本体９の前面に当接するために、
該バルブ本体９と弁座面４との両者間１６は前記
補助シール体５によつて遮断シールされた状態を
保持する。よつて、前記ゲート２を通過するエア
は前記バルブ本体９と弁座面４との間を通過する
ようなことがなく、ゲート２の実質上の開口有効
面積はバルブ本体９の昇降調整によつて正確に調
整でき、これによつて高精度のコンダクタンス調
整が行えるのである。また、前記バルブ本体９の
昇降動作中に於いても補助シール体５はスプリン
グ８の押圧力によつてバルブ本体９に当接した状
態となるが、該補助シール体５のバルブ本体９に
対する当接力は非常に弱いものでよいために、バ
ルブ操作面に何ら悪影響を与えないばかりか、バ
ルブ本体９を不当に摩耗させようなこともない。
また、前記補助シール体５を軟質の樹脂製等のも
のにすれば、バルブ本体９の摩耗が一層防止で
き、更には補助シール体５が仮に摩耗を生じても
バルブ本体９と弁座面４とのシール機能を何ら悪
化させるようなこともないのである。

尚、上記実施例に於いては、補助シール体５の
先端部をバルブ本体９の前面に当接させてなる
が、本考案は決してこれに限定されず、例えば該
補助シール体５の先端部をバルブ本体９の前面に
当接させずに単に該バルブ本体９と弁座面４との
間の間隙寸法を微小にならしめるだけでもよく、
この場合に於いても本考案の目的が達成できるの
である。

また、上記実施例に於いては、補助シール体５
の後部にゲート２の内周面の係合用段部７と係合
可能な段部６を設けてなるために、該段部６の形
成位置や寸法等の設定により補助シール体５の突
出寸法等を適宜変更できることは勿論のこと、バ
ルブ本体９が弁座面４と全く対面しない上方位置
に上昇した際（ゲート全開時）等に該補助シール
体５がスプリング８にて押圧されてゲート２から
不当に離脱するようなことも好適に防止できるの
であるが、本考案はこのような手段は必須要件で
はなく、補助シール体５の具体的な形状はゲート
２の形状等に応じて任意に変更自在であり、また
その具体的な材質等も問うものではない。要はバ
ルブ本体９に当接又は接近した際にバルブ本体９
と弁座面４との両者間の間隙を遮断シール又は微
小化可能な筒状形状を有して、ゲート２に摺動自
在に嵌入されておればよいのである。

更に、上記実施例に於いては、補助シール体５
をスプリング８にて押圧させることにより、バル
ブ全閉時には該補助シール体５が自動的にバルブ
本体９に押圧されて後退され、またゲート２のコ
ンダクタンス調整時には補助シール体５が適当に
バルブ本体９に当接することとなつて、バルブ組
立後に於いては何ら補助シール体５を触る必要が
ないという利点を得てなるが、本考案は決してこ
れに限定されず、例えばスプリング等を用いずに
別途レバー操作時によつて必要に応じて補助シー
ル体５をバルブ本体９に対して当接、離反させる
ようにしても何ら構わないのである。要は前記押
圧手段８は補助シール体５を押圧してバルブ本体
９の前面に当接又は接近可能な手段であればよ
い。但し、実用上は前記実施例の如くスプリング
にすることが好ましい。

更に、本考案はバルブ本体９の構成に関しても
決して上記実施例の如く限定されず、その具体的
な形状や往復動作手段、並びにバルブ全閉時に弁
座面への圧接を行うための背面側からの押圧手段
等は問うものではなく、公知の手段等を適宜使用
すればよい。

その他、本考案の対象とするゲートバルブはあ
く迄もバルブ本体９が弁座面４と離反した状態で
該弁座面４に沿う方向に往復動自在に設けられた
ものであり、バルブ各部の具体的構成は必要に応
じて任意に設計変更自在である。

（考案の効果） 叙上のように、本考案はゲートに嵌入せしめて
設けた補助シール体を押圧してバルブ本体の前面
に当接又は接近させることにより、該バルブ本体
と弁座面との両者間の間隙を遮断シール又は微小
可能にしてなるために、前記バルブ本体の位置調
整によつてゲート開口面積を種々設定変更させん
する際に何ら従来の如くバルブ本体と弁座面との
間に大きな間隙を生じさせることがなく、その結
果ゲートの開口面積の調整が正確に行えてコンダ
クタンス調整を好適に行えることができるという
好ましい効果を得るに至つた。

従つて、本考案に係るゲートバルブの使用によ
れば、従来の如くゲートバルブ以外に別途コンダ
クタンス調整用バルブを使用するような必要がな
くなり、その装置の小型軽量化、コスト低減化が
図れる他、その装置設置時の省スペース化も実現
できるという大なる実益を得るに至つた。

しかも、本考案は補助シール体をゲートに摺動
自在なものとしてなるために、バルブ閉塞時等に
於いて該補助シール体を後退させる等の手段によ
り、何らバルブの操作性や気密性能の本来のこの
種バルブの利点を損なうことがなく、その実用的
な価値は多大なものである。

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るバルブの一実施例を示す
一部省略断面図。第２図及び第３図は使用状態を
示し、第２図はバルブ全閉時の要部断面図、第３
図はコンダクタンス調整時の要部断面図。第４図
は従来例を示す説明図。 ２……ゲート、４……弁座面、５……補助シー
ル体、８……スプリング（押圧手段）、９……バ
ルブ本体。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ バルブ本体９がゲート２の周縁に設けられた
   弁座面４と離反した状態で該弁座面４に沿う方
   向に往復動自在に設けられてなるゲートバルブ
   に於いて、前記ゲート２に筒状の補助シール体
   ５が摺動可能に嵌入されてなり、且つ該補助シ
   ール体５にてバルブ本体９と弁座面４との両者
   間の間隙を遮断シール又は微小とすべく該補助
   シール体５を押圧してバルブ本体９の前面に当
   接又は接近させるための押圧手段８が別途設け
   られてなることを特徴とするコンダクタンス調
   整機能付ゲートバルブ。 ２ 前記押圧手段８が補助シール体５の後方に設
   けられたスプリングである実用新案登録請求の
   範囲第１項記載のコンダクタンス調整機能付ゲ
   ートバルブ。