JPH0247503A - 線幅測定器 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は半導体装置製造用の線幅測定器に関し、特に、
光学的なコントラストの差異を光検知器で検出し試料の
線幅を測定する線幅測定器に関する。

〔従来の技術〕

従来、この種の線幅測定器は第３図に示すように、基本
的には試料台４上の試料５の像を、対物レンズ３、接眼
レンズ２を用いて光検知器１に結像させており、その際
の焦点合わせは駆動装置６ｂにて試料台４を上下させ試
料５と対物レンズ３の間の距離を変化させて行っていた
。

〔発明が解決しようとする課題〕

前述した従来の線幅測定器は、試料台４を機械的に人力
又はモーターによって、歯車等の組み合わせで上下させ
ていたが、試料台４は微細な半導体装置の線幅を測定す
るなめに高精度な平坦度傾き精度１位置精度が要求され
、かなりの重量が必要であった。そのため、歯車等の摩
耗が激しく、その位置精度を低下させていた。この位置
精度の低下は、測定時の光学系の焦点ズレをひきおこし
、測定精度を低下させ、製品の歩留り及びその品質を低
下させるという重大な問題があった。

本発明の目的は前記課題を解決した線幅測定器を提供す
ることにある。

〔発明の従来技術に対する相違点〕

前述した従来の線幅測定器に対し、本発明は光検知器と
の間の光学的距離を変化させて焦点合わせを行うという
相違点を有する。

〔課題を解決するための手段〕

前記目的を達成するため、本発明は試料の光学的なコン
トラストの差異により試料の線幅を測定する線幅測定器
において、試料の像を光検知器上に結像させるレンズ又
はミラーと、該レンズ又はミラーと光検知器との間の光
路長を変化させて焦点合わせを行う機構とを有するもの
である。

〔実施例〕

以下、本発明の実施例を図により説明する。

（実施例１） 第１図は本発明の実施例１を示す構成図である。

図において、接眼レンズ２、対物レンズ３を介して試料
台４上の試料５の像を光検知器１に結像させる構成は従
来と同じである。

本発明は接眼レンズ２（又は対物レンズ３）を光検知器
１に対して移動させ、その光路長を変化させることによ
り焦点合わせを行う駆動装置６ａを装備したものである
。

実施例において、焦点合わせの際は接眼レンズ２（又は
対物レンズ３）を移動させて焦点合わせを行う。

本発明では移動する部分が試料台４と比べて軽量のレン
ズ２，３であり、試料台４の重量に起因する歯車等の摩
耗が少ない。

（実施例２） 第２図は本発明の実施例２を示す構成図である。

本実施例は凹状ミラー７．８を光学系として使用した場
合であり、第１図と同様に駆動装置６ａは接眼ミラー７
又は対物ミラー８につけられており、焦点合わせは接眼
ミラー７又は対物ミラー８を移動させて行う。

この実施例では光学系として鏡を使用するため、色収差
の影響を受けないという利点かある。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明は焦点合わせの際の移動部を
重い試料台から軽いレンズ又はミラーにすることにより
、駆動部分の摩耗を防ぎ、測定精度を向上させる効果が
ある４又、モーター等で自動的に焦点を合わせる場合に
も移動部が軽いため、焦点合わせのための時間を短縮で
き、位置決め精度の向上を図ることができる効果を有す
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の実施例１を示す構成図、第２図は本発
明の実施例２を示す構成図、第３図は従来例を示す構成
図である。 １・・・光検知器　　　　　２・・・対物レンズ３・・
接眼レンズ　　　　４・・・試料台５・・・試料　　　
　　　　６ａ・・・駆動装置７・・・接眼ミラー　　　
　８・・・対物ミラーそど柊 ５ｒ：、：、ｑ） を姑ツ 第１図 第２図 〜２０− 第３図

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）試料の光学的なコントラストの差異により試料の
   線幅を測定する線幅測定器において、試料の像を光検知
   器上に結像させるレンズ又はミラーと、該レンズ又はミ
   ラーと光検知器との間の光路長を変化させて焦点合わせ
   を行う機構とを有することを特徴とする線幅測定器。