JPH0247652U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0247652U JPH0247652U JP12587188U JP12587188U JPH0247652U JP H0247652 U JPH0247652 U JP H0247652U JP 12587188 U JP12587188 U JP 12587188U JP 12587188 U JP12587188 U JP 12587188U JP H0247652 U JPH0247652 U JP H0247652U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- motor
- rotation
- spin chuck
- vibration
- speed rotation
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims 1
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims 1
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 description 1
Description
第１図は本考案の一実施例の縦断面図、第２図
は本考案の他の実施例の縦断面図である。 １……第１モーター、２……第２モーター、３
……ブラケツト、４……スピンチヤツク、５……
小径プーリー、６……大径プーリー、７……ベル
ト、８……ワンウエイクラツチ、９……スラスト
ベアリング、１０……ウエハー、１１……第１モ
ーター、１２……第２モーター、１３……ブラケ
ツト、１４……伝達体、１５……ワンウエイクラ
ツチ、１６……スピンチヤツク、１７……ウエハ
ー。
は本考案の他の実施例の縦断面図である。 １……第１モーター、２……第２モーター、３
……ブラケツト、４……スピンチヤツク、５……
小径プーリー、６……大径プーリー、７……ベル
ト、８……ワンウエイクラツチ、９……スラスト
ベアリング、１０……ウエハー、１１……第１モ
ーター、１２……第２モーター、１３……ブラケ
ツト、１４……伝達体、１５……ワンウエイクラ
ツチ、１６……スピンチヤツク、１７……ウエハ
ー。
Claims (1)
- 露光済みの感光性樹脂層を有するウエハーを載
置し回転するスピンチヤツクとスピンチヤツクに
高速回転を与える第１モーターと、スピンチヤツ
クに振動及び低速回転を与える第２モーターと、
第１モーターの回転と第２モーターの回転とを切
離すワンウエイクラツチ２モーターと、第１モー
ターの回転と第２糧とを有し、現像処理時に回転
するスピンチヤツクに振動を与える事を特徴とす
る回転現像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12587188U JPH0247652U (ja) | 1988-09-26 | 1988-09-26 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12587188U JPH0247652U (ja) | 1988-09-26 | 1988-09-26 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0247652U true JPH0247652U (ja) | 1990-03-30 |
Family
ID=31376860
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12587188U Pending JPH0247652U (ja) | 1988-09-26 | 1988-09-26 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0247652U (ja) |
-
1988
- 1988-09-26 JP JP12587188U patent/JPH0247652U/ja active Pending
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