JPH0249090A - Bn(c,h)からなる螢光体 - Google Patents
Bn(c,h)からなる螢光体Info
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- JPH0249090A JPH0249090A JP20099688A JP20099688A JPH0249090A JP H0249090 A JPH0249090 A JP H0249090A JP 20099688 A JP20099688 A JP 20099688A JP 20099688 A JP20099688 A JP 20099688A JP H0249090 A JPH0249090 A JP H0249090A
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Landscapes
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
[産業上の利用分野]
本発明はホウ素、炭素、窒素および水素からなる螢光体
、特に高温においても使用でき、高効率でかつ減衰の速
い螢光体に関するものである。
、特に高温においても使用でき、高効率でかつ減衰の速
い螢光体に関するものである。
[従来技術]
光を吸収して可視部付近の別の波長の光を発する螢光体
は古くから知られており、用途に応じて種々の螢光体が
使用されている。螢光体には硫化物や酸化物等の各種母
体結晶に付活剤を添加したものと、遷移金属イオンを含
んだ絶縁体やアントラセン、ターフェニル等の共役した
π電子を有する有機化合物のような物質自体で螢光を発
するもの等がある。しかしこれらはいずれも螢光体それ
自体が耐熱性に乏しいか、あるいは高温では螢光を発し
ないものがほとんどであり、高温で使用できる螢光体と
して優れたものがないのが現状である。一方、耐熱性に
優れた材料である窒化ホウ素−(h−BN)に物理的に
カーボンをドープしたものが螢光を発し、高温でも発光
することが報告[江良皓:窒化はう素に関する研究 第
7章、無機材質研究所研究報告書27号(1981)]
されている、このものはカーボン発熱体の炉内でh−B
Nを焼成して得るものであるが、炭素のh−BN結晶格
子間への混入の程度をコントロールすることが困難であ
る。また、h−BNとカーボンを混合して焼成して炭素
量を制御したものを得ることも可能であるが、この場合
にはトータル炭素の制御は可能であるものの、h−BN
結晶格子間に混入した炭素の量の制御はできないもので
あり、螢光体としての物性を自由にコントロールするこ
とは困難である。また、フリーの炭素の存在は光を吸収
するため螢光体としての光利用効率が低下する等の問題
点がある。
は古くから知られており、用途に応じて種々の螢光体が
使用されている。螢光体には硫化物や酸化物等の各種母
体結晶に付活剤を添加したものと、遷移金属イオンを含
んだ絶縁体やアントラセン、ターフェニル等の共役した
π電子を有する有機化合物のような物質自体で螢光を発
するもの等がある。しかしこれらはいずれも螢光体それ
自体が耐熱性に乏しいか、あるいは高温では螢光を発し
ないものがほとんどであり、高温で使用できる螢光体と
して優れたものがないのが現状である。一方、耐熱性に
優れた材料である窒化ホウ素−(h−BN)に物理的に
カーボンをドープしたものが螢光を発し、高温でも発光
することが報告[江良皓:窒化はう素に関する研究 第
7章、無機材質研究所研究報告書27号(1981)]
されている、このものはカーボン発熱体の炉内でh−B
Nを焼成して得るものであるが、炭素のh−BN結晶格
子間への混入の程度をコントロールすることが困難であ
る。また、h−BNとカーボンを混合して焼成して炭素
量を制御したものを得ることも可能であるが、この場合
にはトータル炭素の制御は可能であるものの、h−BN
結晶格子間に混入した炭素の量の制御はできないもので
あり、螢光体としての物性を自由にコントロールするこ
とは困難である。また、フリーの炭素の存在は光を吸収
するため螢光体としての光利用効率が低下する等の問題
点がある。
E問題点を解決するための具体的手段]本発明者らはか
かる問題点に鑑み鋭意検討の結果、三塩化ホウ素、アン
モニア、アセチレン等のガスを用いて化学気相析出法(
以下CVD法という)によりホウ素、炭素、窒素および
水素からなる均一な物質[以下BN (C,H)と記す
]が特異な螢光特性を有することを見いだし本発明に到
達したものである。すなわち本発明は270 nmの励
起光により340nm、355nmの位置に、また31
3nmの励起光により408nm、433nmの位置に
それぞれ螢光ピークを有することを特徴とするBN (
C,H)からなる螢光体である。
かる問題点に鑑み鋭意検討の結果、三塩化ホウ素、アン
モニア、アセチレン等のガスを用いて化学気相析出法(
以下CVD法という)によりホウ素、炭素、窒素および
水素からなる均一な物質[以下BN (C,H)と記す
]が特異な螢光特性を有することを見いだし本発明に到
達したものである。すなわち本発明は270 nmの励
起光により340nm、355nmの位置に、また31
3nmの励起光により408nm、433nmの位置に
それぞれ螢光ピークを有することを特徴とするBN (
C,H)からなる螢光体である。
本発明の螢光体は励起光が興なる(主として270nm
、313nmの2点)発光群が存在するものである。こ
の理由はBN (C,H)の電子構造にいくつかの不純
物準位が存在するためと考えられる。
、313nmの2点)発光群が存在するものである。こ
の理由はBN (C,H)の電子構造にいくつかの不純
物準位が存在するためと考えられる。
本発明の螢光体と組成的には類似の螢光体であるh−B
Nに物理的にカーボンをドープしたもの(先に示した江
良晧:窒化はう素に関する研究)は300nmの励起光
による320.337.355.372nmに螢光ピー
クを有し、本発明の螢光体とは異なった螢光特性であり
、両者は明確に区別できるものである。
Nに物理的にカーボンをドープしたもの(先に示した江
良晧:窒化はう素に関する研究)は300nmの励起光
による320.337.355.372nmに螢光ピー
クを有し、本発明の螢光体とは異なった螢光特性であり
、両者は明確に区別できるものである。
本発明の螢光体は励起光と放射光の波長差が大であり、
可視光領域にも螢光が得られるため幅広い用途に使用で
きるとともに効率のよい螢光体となるものである。さら
に本発明の螢光体はそれ自体耐熱性に優れるものである
が、高温(700℃近辺)においても優れた螢光特性を
有している。
可視光領域にも螢光が得られるため幅広い用途に使用で
きるとともに効率のよい螢光体となるものである。さら
に本発明の螢光体はそれ自体耐熱性に優れるものである
が、高温(700℃近辺)においても優れた螢光特性を
有している。
螢光とはその発光時間が約0.1秒までのものを言い、
これ以上発光が持続するものをリン光と言うが、本発明
の螢光体は螢光のほかリン光も発するものである0例え
ば、Ci 0.6%、H: 1.5%を含むBN (C
,H)は260〜310 n m (特に270 nm
)の励起光で380〜420 n m (特に395〜
400nm)のリン光(この波長のリン光は青紫)を減
衰時間24秒で発する。また、270〜340nm(特
に313nm)の励起光で500〜550(特に510
〜530nm)のリン光(この波長のリン光は緑〜黄緑
)を減衰時間24秒で発するものであり、これら全体と
してのリン光は緑色である。
これ以上発光が持続するものをリン光と言うが、本発明
の螢光体は螢光のほかリン光も発するものである0例え
ば、Ci 0.6%、H: 1.5%を含むBN (C
,H)は260〜310 n m (特に270 nm
)の励起光で380〜420 n m (特に395〜
400nm)のリン光(この波長のリン光は青紫)を減
衰時間24秒で発する。また、270〜340nm(特
に313nm)の励起光で500〜550(特に510
〜530nm)のリン光(この波長のリン光は緑〜黄緑
)を減衰時間24秒で発するものであり、これら全体と
してのリン光は緑色である。
本発明の螢光体は、本質的にホウ素、炭素、窒素および
水素からなり、CuKα線によるX線回折測定による2
θが20〜30@の範囲に回折ピークを有することを特
徴とする。また、その製造法は、ホウ素源ガス、炭素源
ガス、窒素源ガスおよびキャリヤーガスからなる混合ガ
スをCVD法により反応させる方法である。
水素からなり、CuKα線によるX線回折測定による2
θが20〜30@の範囲に回折ピークを有することを特
徴とする。また、その製造法は、ホウ素源ガス、炭素源
ガス、窒素源ガスおよびキャリヤーガスからなる混合ガ
スをCVD法により反応させる方法である。
この方法による場合ホウ素、窒素の比は原子比でほぼ1
:1であり、残部が炭素と水素である。
:1であり、残部が炭素と水素である。
水素は原料の組成に関係なく0〜3重量%の範囲となる
。炭素は原料ガスの炭素量に依存し、広い範囲にわたり
存在し得るが、本発明が目的とする螢光体としては、0
.01〜5重量%、より好ましくは0.3〜lli量%
の範囲である。炭素がこれ以下では螢光を全く発しない
か、または極めて弱く、これより多い場合にも螢光が非
常に弱(なる。
。炭素は原料ガスの炭素量に依存し、広い範囲にわたり
存在し得るが、本発明が目的とする螢光体としては、0
.01〜5重量%、より好ましくは0.3〜lli量%
の範囲である。炭素がこれ以下では螢光を全く発しない
か、または極めて弱く、これより多い場合にも螢光が非
常に弱(なる。
本発明の螢光体を製造するためのCVD法ガス原料とし
ては、特に限定されないが、ホウ素源としては、BCl
3等のハロゲン化ホウ素、窒素源としてはNH3等の反
応性の高いガスが好ましく、炭素源としては、炭化水素
、特に不飽和結合を有するガスが好ましく、反応性等か
らアセチレンが最も好ましい、また、均質な螢光体を再
現性よく得るためには、これら原料ガスに加えてキャリ
ヤーガスの使用が好ましく、水素ガス、アルゴン等を用
いることができる。
ては、特に限定されないが、ホウ素源としては、BCl
3等のハロゲン化ホウ素、窒素源としてはNH3等の反
応性の高いガスが好ましく、炭素源としては、炭化水素
、特に不飽和結合を有するガスが好ましく、反応性等か
らアセチレンが最も好ましい、また、均質な螢光体を再
現性よく得るためには、これら原料ガスに加えてキャリ
ヤーガスの使用が好ましく、水素ガス、アルゴン等を用
いることができる。
これら原料ガスの量的関係については特に制限されない
が、ホウ素源ガスと窒素源ガスは少なくとも原子比で、
1:2以上が好ましい、これ以下ではホウ素源ガスとし
てBCl3を用いた場合、生成物中にCIが残る等の不
都合がある。
が、ホウ素源ガスと窒素源ガスは少なくとも原子比で、
1:2以上が好ましい、これ以下ではホウ素源ガスとし
てBCl3を用いた場合、生成物中にCIが残る等の不
都合がある。
このようにして得られる螢光体は、反応条件により基板
に被着した形の膜、これが厚み方向に成長した塊状体、
あるいは粉体等積々の形態があるが、これらいずれの形
態においても螢光特性を有するものである。
に被着した形の膜、これが厚み方向に成長した塊状体、
あるいは粉体等積々の形態があるが、これらいずれの形
態においても螢光特性を有するものである。
反応温度は特に限定的ではないが、600 ”C以上が
好ましい、これ以下では反応速度が極端に小さくなる1
反応速度の面からは反応温度は高い方が好ましいが、当
然基体の耐熱温度に依存する。
好ましい、これ以下では反応速度が極端に小さくなる1
反応速度の面からは反応温度は高い方が好ましいが、当
然基体の耐熱温度に依存する。
また、反応温度が高いほど生成物の水素量は少なくなる
。
。
本発明のBN (C,H)が螢光を発する理由は必ずし
も定かではないが、5.2eVの広いバンドギャップを
有するh−BNの格子点がCあるいはHにより置換され
、不純物準位を形成し、その準位間の遷移が光の吸収、
発光を生じるためと推定される。
も定かではないが、5.2eVの広いバンドギャップを
有するh−BNの格子点がCあるいはHにより置換され
、不純物準位を形成し、その準位間の遷移が光の吸収、
発光を生じるためと推定される。
本発明の螢光体は種々の用途に供することができ、例え
ば放射線シンチレータ、高速応答ブラウン管等が挙げら
れる。
ば放射線シンチレータ、高速応答ブラウン管等が挙げら
れる。
以下、実施例により本発明をより具体的に説明する。
実施例1
内径40露園長さ1000m鳳の石英管からなる熱CV
D1itの中央に500m5+ X 20mmX 3
amのニッケル基板を設置し、BC13、C2Hzおよ
びN H3を原料とし、H2をキャリヤーガスとして、
反応管中央を800℃に加熱した炉内に導入した。それ
ぞれのガス流量は次のとおりである。
D1itの中央に500m5+ X 20mmX 3
amのニッケル基板を設置し、BC13、C2Hzおよ
びN H3を原料とし、H2をキャリヤーガスとして、
反応管中央を800℃に加熱した炉内に導入した。それ
ぞれのガス流量は次のとおりである。
B CI 3 15cc/win
N H330cc/5in
C2H28cc/ −1n
H2144cc/ sin
炉内圧力は大気圧でおこなった。
以上の条件で6時間反応をおこなったのち、ガス導入と
基板加熱をやめ、炉内を真空排気、冷却した。基板上に
は、全幅(20mm)にわたり、ガス導入側より約50
mm、の範囲で膜が形成された。
基板加熱をやめ、炉内を真空排気、冷却した。基板上に
は、全幅(20mm)にわたり、ガス導入側より約50
mm、の範囲で膜が形成された。
冷却により基板上の膜は簡単に剥離し、得られた膜は茶
色半透明であり、厚さ約120.crmの膜であり、自
由に取り扱える程度の強度を有していた。
色半透明であり、厚さ約120.crmの膜であり、自
由に取り扱える程度の強度を有していた。
このWA(生成膜)を窒素ガス中1600℃で1時間熱
処理して白色不透明の膜(焼成膜)とした、このものの
元素分析をおこなったところ炭素0.6重量%、水素1
.5 jI量%であった。
処理して白色不透明の膜(焼成膜)とした、このものの
元素分析をおこなったところ炭素0.6重量%、水素1
.5 jI量%であった。
生成膜と焼成膜とをCuKα線によるX線回折測定をお
こない、この回折パターンを第1図(生成膜)、第2図
(焼成膜)に示した。第1図において、2θが20〜3
0℃においてブロードなピークを有し、無定形BNと無
定形Cの002の回折ピークが重なりあったものである
。この生成膜は、結晶化度が低く、ブロードなパターン
となることが特徴であり、窒化ホウ素、炭素の粉末由来
のものと明確に区別できる。生成膜を焼成して得た膜は
第2図に示したとおり、2θが26°においてBNとC
の002の回折ピークが重なりあったピークとなるが、
これはh−B N、 h−Cの002の回折ピーク(2
θが26.5@’)よりも低角度であることが特徴であ
り、焼成によっても回折ピークが顕著には鋭くならない
ものである。
こない、この回折パターンを第1図(生成膜)、第2図
(焼成膜)に示した。第1図において、2θが20〜3
0℃においてブロードなピークを有し、無定形BNと無
定形Cの002の回折ピークが重なりあったものである
。この生成膜は、結晶化度が低く、ブロードなパターン
となることが特徴であり、窒化ホウ素、炭素の粉末由来
のものと明確に区別できる。生成膜を焼成して得た膜は
第2図に示したとおり、2θが26°においてBNとC
の002の回折ピークが重なりあったピークとなるが、
これはh−B N、 h−Cの002の回折ピーク(2
θが26.5@’)よりも低角度であることが特徴であ
り、焼成によっても回折ピークが顕著には鋭くならない
ものである。
焼成膜を■日立製作新製650−10型分光螢光光度計
によりその螢光スペクトルを測定し、第3図および第4
図に示した* 340 n mおよび355nmの螢光
(放射光)は270nmの励起光により効率よく励起さ
れ、非常に鋭いピークを示した(第3図)、一方、40
8nmおよび433nmの螢光は313nmの励起光に
よって効率よく励起された(第、4図)、各々の代表的
な放射光を一定にして励起光を操作させたときのスペク
トルを第5図((&)、(b))に示した。
によりその螢光スペクトルを測定し、第3図および第4
図に示した* 340 n mおよび355nmの螢光
(放射光)は270nmの励起光により効率よく励起さ
れ、非常に鋭いピークを示した(第3図)、一方、40
8nmおよび433nmの螢光は313nmの励起光に
よって効率よく励起された(第、4図)、各々の代表的
な放射光を一定にして励起光を操作させたときのスペク
トルを第5図((&)、(b))に示した。
また、同一装置により励起光を300nmとする以外は
同一条件で測定した焼成前の化11i膜の螢光スペクト
ルを第6図に示した。この膜は茶色半透明であり、35
0nmに螢光を発したが、焼成膜に比べてブロードであ
り、また励起光も明確に決めることができない、この膜
のX@回折図(第1図参照)にはブロードな回折線が観
察され、結晶状態がアモルファスに近いことがわかる。
同一条件で測定した焼成前の化11i膜の螢光スペクト
ルを第6図に示した。この膜は茶色半透明であり、35
0nmに螢光を発したが、焼成膜に比べてブロードであ
り、また励起光も明確に決めることができない、この膜
のX@回折図(第1図参照)にはブロードな回折線が観
察され、結晶状態がアモルファスに近いことがわかる。
螢光のピークがブロードであるのはこの結晶状態の低さ
に起因するものと考えられる。
に起因するものと考えられる。
実施例2〜7
実施例1と同じ装置を用いてガス組成、反応条件を種々
変えて反応をおこない、生成物はすべて窒素気流中16
00℃で1時間熱処理をおこなった。
変えて反応をおこない、生成物はすべて窒素気流中16
00℃で1時間熱処理をおこなった。
反応条件および焼成物の組成、螢光特性を実施例1の結
果とともに第1表に示した。
果とともに第1表に示した。
比較例1
市販のBN粉(電気化学工業■製)を黒鉛加熱炉に入れ
窒素気流中2000°Cで熱処理をおこなった。
窒素気流中2000°Cで熱処理をおこなった。
この粉の炭素および水素含有量は0.7重量%および0
.8重量%であった。この粉の螢光スペクトル(励起光
を300nmとする以外は実施例1と同一の条件で測定
)を第7図に示す、ここに観察された全螢光(320,
337,355,372)はすべて300nmの光によ
って効率よく励起された(第8図(al)、なお、参考
のため412nmの弱い放射光に対する励起スペクトル
を測定したところ363nmにピークを有していた(第
8図山))、これらの螢光特性は実施例1〜7のCVD
法によるBN (C,H)と全く異なっている。
.8重量%であった。この粉の螢光スペクトル(励起光
を300nmとする以外は実施例1と同一の条件で測定
)を第7図に示す、ここに観察された全螢光(320,
337,355,372)はすべて300nmの光によ
って効率よく励起された(第8図(al)、なお、参考
のため412nmの弱い放射光に対する励起スペクトル
を測定したところ363nmにピークを有していた(第
8図山))、これらの螢光特性は実施例1〜7のCVD
法によるBN (C,H)と全く異なっている。
[発明の効果]
本発明の螢光体は、耐熱性、化学的安定性、耐熱衝撃性
等に優れた螢光体であり、高温においても良好な螢光特
性を有するとともに励起光と放射光の波長差が大であり
、可視光領域にも螢光が得られ、幅広い用途に適用でき
る効率のよい螢光体である。また、本発明の螢光体はC
VD法により容易にかつ再現性よく得られるものである
。
等に優れた螢光体であり、高温においても良好な螢光特
性を有するとともに励起光と放射光の波長差が大であり
、可視光領域にも螢光が得られ、幅広い用途に適用でき
る効率のよい螢光体である。また、本発明の螢光体はC
VD法により容易にかつ再現性よく得られるものである
。
第1図は実施例1の生成膜のX線回折パターン、第2図
は実施例1の焼成膜のX線回折パターンを示す、第3図
および第4図は実施例1の焼成膜の螢光スペクトル、第
5図((at、(b))は実施例1の焼成膜の励起スペ
クトルを示す、第6図は実施例1の生成膜の螢光スペク
トルを示す、第7図は比較例1の螢光スペクトルを示す
、第8図((h)、伽))は比較例1の励起スペクトル
を示す。 第5図 (α) R’H光; 34Chtm (b、) 放飼光; 40871罹 波 長/xm 放射%;320請 )皮 長 lTL机 図 (b) 波 長 / 孔′m、
は実施例1の焼成膜のX線回折パターンを示す、第3図
および第4図は実施例1の焼成膜の螢光スペクトル、第
5図((at、(b))は実施例1の焼成膜の励起スペ
クトルを示す、第6図は実施例1の生成膜の螢光スペク
トルを示す、第7図は比較例1の螢光スペクトルを示す
、第8図((h)、伽))は比較例1の励起スペクトル
を示す。 第5図 (α) R’H光; 34Chtm (b、) 放飼光; 40871罹 波 長/xm 放射%;320請 )皮 長 lTL机 図 (b) 波 長 / 孔′m、
Claims (1)
- 270nmの励起光により340nm,355nmの
位置に、また313nmの励起光により408nm、4
33nmの位置にそれぞれ螢光ピークを有することを特
徴とするBN(C,H)からなる螢光体。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20099688A JPH0249090A (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 | Bn(c,h)からなる螢光体 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20099688A JPH0249090A (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 | Bn(c,h)からなる螢光体 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0249090A true JPH0249090A (ja) | 1990-02-19 |
Family
ID=16433773
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20099688A Pending JPH0249090A (ja) | 1988-08-11 | 1988-08-11 | Bn(c,h)からなる螢光体 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0249090A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0411688A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-16 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | Bn(c,h)からなる粒子線用螢光体 |
| JP2005097022A (ja) * | 2003-09-22 | 2005-04-14 | Japan Science & Technology Agency | Iiib族窒化物の合成方法 |
| WO2006001194A1 (ja) * | 2004-06-24 | 2006-01-05 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | 蛍光体及びその製法並びにそれを用いた粒子分散型elデバイス |
| JP2006312672A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | National Institute For Materials Science | 希土類等の付活剤を添加した蛍光発光特性を有する窒化ホウ素結晶とその製造方法及び窒化ホウ素蛍光体 |
| JP2018087278A (ja) * | 2016-11-28 | 2018-06-07 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 蛍光体、その製造方法、その発光器具およびその紫外線利用装置 |
| JP2018086108A (ja) * | 2016-11-28 | 2018-06-07 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 光線治療器 |
-
1988
- 1988-08-11 JP JP20099688A patent/JPH0249090A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0411688A (ja) * | 1990-04-27 | 1992-01-16 | Natl Inst For Res In Inorg Mater | Bn(c,h)からなる粒子線用螢光体 |
| JP2005097022A (ja) * | 2003-09-22 | 2005-04-14 | Japan Science & Technology Agency | Iiib族窒化物の合成方法 |
| WO2006001194A1 (ja) * | 2004-06-24 | 2006-01-05 | Sumitomo Electric Industries, Ltd. | 蛍光体及びその製法並びにそれを用いた粒子分散型elデバイス |
| JP2006312672A (ja) * | 2005-05-09 | 2006-11-16 | National Institute For Materials Science | 希土類等の付活剤を添加した蛍光発光特性を有する窒化ホウ素結晶とその製造方法及び窒化ホウ素蛍光体 |
| JP2018087278A (ja) * | 2016-11-28 | 2018-06-07 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 蛍光体、その製造方法、その発光器具およびその紫外線利用装置 |
| JP2018086108A (ja) * | 2016-11-28 | 2018-06-07 | 国立研究開発法人物質・材料研究機構 | 光線治療器 |
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