JPH0249158A - 超音波断層検出用センサ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は超音波断層検出センサに係り、特に構造物内部
の非破壊検査に適用でき、溶接ナゲツトの良否判定に利
用するのに好適な超音波断層検出センサに関する。

〔従来の技術〕

一般に、構造物の内部を非破壊的に検査する手段が知ら
れており、溶接強度の良否や内部の傷、ピンホール等の
発見に超音波センサを利用した検査装置がある。例えば
、スポット溶接部の強度をナゲツトから判定することが
行われており、これはスポット溶接部の強度がナゲツト
径に依存しているという観点から構成されている。この
種の方法では超音波パルスに透過波を利用するものと、
反射波を利用する方法がある。前者はセンサの直径に比
べてナゲツト径が小さいと透過波が少な（なることから
判定するようにしたもので、後者は超音波のエコーを捉
えて判定するようにしたものである。

しかしながら、前者の透過波を利用する方法では、被溶
接部材の両面に超音波センサの送受信手段を配置しなけ
ればならず、しかも同期的に移動させなければならない
ため、操作性に問題があり、通常では片側測定のできる
反射波を利用する超音波センサを用いた方法が多く用い
られている。

ところで、性質上ナゲツトは電極チップの中心線に対し
ほぼ同心円状に広がり、溶接が正常であれば形成される
ナゲツトの径は電極チップによる窪み径と同等以上にな
る。一方、溶接が不良であればナゲツト径は小さく、窪
み中心部では溶着が起こっていない。

従来行われてきた超音波検査の方法をスポット溶接部の
強度検査に適用する場合、プローブから発射される超音
波パルスの強度が中央に最大値をもち、プローブの受信
感度も中心で高いため、ナゲツトの中央部の信号が他の
信号を卓越してしまい、周辺部の情報を得ることが困難
となっていた。

このようなことから、ナゲツトの外周部に限定して超音
波パルスの送受波を行う試みが従来なされている。これ
は、超音波センサのプローブの先端の振動子に接して中
央に超音波吸収材を設けるとともにこの吸収材の径をナ
ゲツトの基準径よりやや小さく設定し、その周囲にはウ
ェーブガイドを設けた構成としている。ウェーブガイド
の先端は円環状となっており、超音波を効率良くナゲツ
トの外周に導くようにしたもので、ナゲツトが充分な大
きさである場合には超音波エコーがナゲツトによって生
し、等しい厚さの溶接板材を用いればその厚さもの二倍
の周期２ｔで振動する。しかし、溶接不良であれば、溶
接板材の接合面にエコーを生じ、受信波形はｔで振動す
る。この結果、溶接の良否の判定ができるのである。

〔発明が解決しようとする課題〕

ところが、上記従来の超音波断層検出センサでは、超音
波吸収材の径をナゲツトの径よりやや小さく設定する必
要があり、ナゲツト基準径が常に一定であれば問題がな
いが、実際上は溶接対象部材の種類等によってナゲツト
径が異なり、この径が異なる毎に吸収材の径を変更しな
ければならない不都合がある。また、ナゲツトの中心と
超音波吸収材の中心を確実に一致させなければ実際には
基準に合うナゲツトでも不良と判定されてしまうので、
実作業現場での使用が非常に困難となってしまう問題が
ある。さらに、ナゲツトの中央に溶接欠陥がある場合に
は、超音波吸収材がこれを隠蔽状態にしてしまうので、
検査結果は良好でも実際には不良の場合を検出すること
ができず、検査の信顛性に欠ける問題もある。しかも、
従来の超音波センサでは検査部位を静的に探査すること
ができるのみで、断層状態をライン上に沿って検出した
り立体的に検出する等の動的検出ができない問題を有し
ていた。また、超音波センサのプローブは単体で手動操
作する場合でも一定以上の先端径を持たせた構造であっ
たため、被検出部材の表面形状に凹凸があれば先端が離
反したりする等の検査不能状態を生じることがあり、特
に機械的に連続して断層検査を行うときに検査の困難を
伴っていた。更に超音波センサ先端径が大きいと狭幅な
部位の検査が出来なくなる問題もあった。また、従来で
は単に超音波センサは被検出部材に当接するだけであり
、得られた検査結果は超音波センサの操作者自身には判
定できず、別に置かれた判定装置によって間接的に、あ
るいはデータのみの抽出だけの作業となっており、リア
ルタイムで判定することができない欠点があった。

本発明は、上記従来の問題点に着目し、被検出部材の表
面上を走査移動させることで溶接ナゲツト等の構造物内
部の断層データを検出することができ、信鎖性と作業性
に優れた超音波断層検出センサを提供することを目的と
する。より具体的には、本発明の第一の目的は超音波セ
ンサによる断層データと同時に超音波センサの走査位置
データとを検出し、走査ラインに沿った動的断層検査の
可能な超音波断層検出センサを提供することにあり、第
二には被検出部材の表面形状に追随して超音波センサの
走査時に離反することがなく、連続的な検査が可能な超
音波断層検出センサを提供することである。また、第三
には被検出部材の狭幅箇所の検査に支障がなくスペース
上の制限を受は難い超音波断層検出センサを提供するこ
と、および、第四には超音波断層検出センサの作業者が
手元でリアルタイムに判定結果を理解できるような超音
波断層検出センサを提供することにある。

〔課題を解決するための手段〕

上記目的を達成するために、本発明の第一の構成に係る
超音波断層検出センサは、被検出部材にペンシルビーム
型超音波信号を照射してその反射波を検出する超音波セ
ンサと前記超音波センサの走査距離を検出する位置検出
センサを一体的に併設して手持ちケーシングに取り付け
、センサ走査方向に沿う断層情報を演算する制御手段に
対し単位走査距離毎の断層データを出力可能ならしめた
構成とした。また、第二には、前記超音波センサはケー
シング内に伸縮動可能に取り付けられ、被検出部材の形
状に倣って伸縮しつつ接触移動可能にした。更に、第三
には、前記位置検出センサと超音波センサとをセンサ走
査方向に縦列配置した構成とした。また第四の構成とし
て、前記ケーシングには前記制御手段により判定された
結果を視覚的あるいは聴覚的に表示する表示手段を設け
たものである。

〔作用〕

上記構成によれば、被検出部材に照射されたペンシル型
超音波信号の反射波を超音波センサによって受け、絞ら
れた範囲の被検出部材の断層情報を受けることができる
。そして、超音波センサを被検出部材の表面上で走査さ
せることで、位置検出センサは超音波センサの走査に伴
ってその走査距離を検出し、超音波センサからの断層情
報とともに、距離情報を制御手段に出力する。したがっ
て、当該超音波断層検出センサでは超音波センサによる
断層情報と位置情報とを同時に検出することができ、制
御手段に送出して断層画像情報を演算させて出力させる
ことができる。したがって、これをスポット溶接部のナ
ゲツト検査に適用した場合、ナゲツトの直径線上あるい
はマトリックスに分割した走査線上に沿って超音波セン
サを走査させると、走査位置毎の断層情報を検出するこ
とができ、各走査線上の断層面を表示することができる
。

特に、超音波センサを伸縮可能にしているので、超音波
断層検出センサを走査すると被検出部材の表面に倣って
超音波センサが伸縮することができる。このため被検出
部材の表面に凹凸が存在しても超音波センサが離反する
ことがなくなり、検査不能となることを防止できる。ま
た、超音波センサと位置検出センサとを走査方法に縦列
配置することで超音波断層検出センサに走査部位を狭小
化することができ、かかる場合には例えば縦壁に挾まれ
た狭い領域の検査が可能になる。更に、表示手段をケー
シングに付帯することで検査部位が判定基準に達しない
場合には即座に表示され、作業者は現在検査部位の異常
を即座に知ることができ、異常部位にマーキングを施す
等の後処理を迅速に行うことができる。

〔実施例］ 以下に、本発明に係る超音波断層検出センサを利用した
超音波断層検出装置の実施例を、スポット溶接部のナゲ
ツト検査に適用した場合について、図面を参照しつつ詳
細に説明する。

実施例に係る超音波断層検出センサを用いた超音波断層
検出装置の全体構成は、まず第４図に示すように、被検
出部材を走査する超音波センサ１０と、この超音波セン
サ１０の走査距離を検出する位置検出センサ１２とを有
しており、前記超音波センサ１０による検出信号は超音
波計測装置１４に出力され、パラレルインターフェース
１６を経て制御手段たるコンピュータ（制御手段）１８
に出力するようにしている。また、位置検出センサ１２
による検出信号はパルス出力コントローラ２０を経て、
やはりコンピュータ１８に出力するようになっている。

更に、前記超音波センサ１０と位置検出センサ１２によ
る検出信号から後述する信号処理を施し、検査ナゲツト
の判定結果を点灯表示するための発光ダイオードが判定
表示部２２としてパラレルインターフェース１６に接続
されている。

このような主要構成をもつ超音波断層検出装置の実構成
例を第５図に示す。すなわち、この装置は被検出部材２
４を走査するための実施例に係る超音波断層検出センサ
２６を備え、この超音波断層検出センサ２６には前記超
音波センサ１０と、位置検出センサ１２およびパルス出
力コントローラ２０とが内蔵されて、ハンディタイプの
センサとしている。この超音波断層検出センサ２６内の
超音波センサ１０は超音波計測装置１４を介して、また
、超音波断層検出センサ２６内の位置検出センサ１２は
直接的にコンピュータ１８に接続されている。この場合
、パルス出力コントローラ２０はエンコーダ４４からの
出力信号を受けて内蔵発振器により走査距離に応じたパ
ルス信号をコンピュータ１８に送出し、また、超音波計
測装置１４は超音波センサ１０から発射される超音波信
号の被検出部材２４の表面で反射するエコーと被検出部
材２４の裏面で反射するエコー間の時間を検出し、予め
セットされた被検出部材２４内の音速値に基礎にして同
一材質間の厚さを演算し、これを二値化信号としてパラ
レルインターフェース１６を介してコンピュータ１８に
出力するようにしている。これらの信号を受けるコンピ
ュータ１８は本体３０、画像表示装置（ＣＲＴ）３２、
およびキーボード３４から構成され、本体３０は入力さ
れた信号に基づいて演算し、走査距離と断層厚さの座標
上に画像情報として画像表示装置（ＣＲＴ）３２に出力
表示するようにしている。

ここで、実施例に係る超音波断層検出センサ２６の具体
的構造を第１図および第２図に示す。この超音波断層検
出センサ２６は手でもつことのできる手持ちケーシング
３６内に超音波センサ１０、位置検出センサ１２５、パ
ルス出力コントローラ２０、および判定表示部（ＬＥＤ
）２２を取り付けている。すなわち、ケーシング３６は
箱型容器となっており、その下面から超音波センサ１０
を伸縮動作可能に突出された状態で内蔵されている。

超音波センサ１０は円柱形状とされ、先端側に超音波の
送受信をなすトランスデユーサを内蔵している。そして
、トランスデユーサに接して、その先端側には円錐状の
超音波ガイドを設け、先端径の小さい超音波センサ１０
として超音波信号がペンシルビームとして発射されるよ
うにしている。

このような超音波センサ１０は柱状部をケーシング３６
内のブラケット３日に貫通装着させるとともに、スプリ
ング４０を介して弾性的に伸縮動作できるように取り付
けられている。これにより、超音波センサ１０の先端は
ケーシング３６の下面からスプリング４０の作用で出入
り伸縮可能となっている。

またケーシング３６には超音波センサ１０と並んで位置
検出センサ１２が設けられており、これはケーシング３
６の下面から一部突出して回転可能に取り付けられたロ
ーラ４２と、このローラ４２に連結されたエンコーダ４
４から構成されている。このため、ローラ４２の一定回
転量毎にエンコーダ４４からＯＮ・ＯＦＦ信号が出力さ
れる。

この信号はケーシング３６の内部上方位置に取り付けら
れ、パルス発振器を有するパルス出力コントローラ２０
への入力信号とされ、エンコーダ４４からの信号を受け
てローラ４２の回転距離、ひいては超音波センサ１０の
走査移動距離に応じたパルス信号を出力するようになっ
ている。

また、ケーシング３６にはその側面にＯＮ・ＯＦＦスイ
ッチ４６と判定表示部（ＬＥＤ）２２とが設けられ、測
定開始と終了のスイッチングを行わせ、また判定結果を
発光表示させるようにしている。また、超音波センサ１
０の超音波照射先端は直接被検出部材に当接されて走査
移動される力（照射が確実に行われるように空気と遮断
する必要があり、このため、第３図に示されるように、
ケーシング３６の上端部にベローズタンク４８を取り付
け、これに超音波センサ１０の先端部に導くチューブ５
０を接続しており、超音波断層検出センサ２６の走査中
に超音波センサ１０の先端と被検出部材との間に油また
は水などの超音波伝達剤を供給するようにしている。ま
たこの場合、ベローズタンクの代わりにスポイトを用い
て超音波伝達剤を供給するようにしてもよい。

なお、上記例では位置検出センサエ２を構成しているロ
ーラ４２は超音波センサ１０の走査方向に平行な方向に
転勤するように配置構成されている。したがって、第１
図の二本の矢印のように超音波センサ１０と位置検出セ
ンサ１２とは平行な走査線上を移動する。かかる例では
両センサが同一走査線上を移動しないため、超音波セン
サｌＯの走査ライン上を位置検出センサ１２が走査する
ようにすることができる。これは第２図において、ロー
ラ４２の向きを９０度転回配置してケーシング３６に取
り付け、直列配置にすることにより容易に実現できる。

このようにすれば、共通の走査線上を走査できるので被
検出部材に凹凸があった場合でも同一のラインであるた
め計測誤差の問題が改善される。また、位置検出センサ
にはロータリエンコーダを用いたが、これは光または音
による位置検出を行わせるように構成することも可能で
ある。

このような超音波断層検出センサを用いた超音波断層検
出装置によるセンサ検出信号の処理は次のように行われ
る。

第６図は実施例に係る超音波断層検出センサにより検出
されたデータを利用したナゲツト圧着判定のためのフロ
ーチャートである。予め初期処理と、圧着範囲の判定値
の入力処理が行われる（ステップ１００）。圧着範囲の
判定値は対象としている溶接板材のナゲツト径の基準値
とすればよく、この基準値との大小判別によりナゲツト
の適否を判定するようにしている。その後、超音波断層
検出センサ２６に付帯したスイッチ４６のボタン入力（
あるいはキーボード３４のキースイッチ入力）がなされ
たか否かの判定をなしくステップ１１０）、入力がなけ
ればステップ１００に戻り（ステップ１２０）、入力が
確認されれば無限ループに入る（ステップ１３０）、無
限ループでは手持ちセンサ２６のスイッチ４６のスイッ
チボタンが押し下げられたか否かを判定しくステップ１
４０）、押し下げの１認後に手持ちセンサ２６からの測
定値の取り込みを行う（ステップ１５０）。

この測定値の取り込みは超音波断層検出センサ２６を被
検出部材２４の表面を走査させることで行われ、これは
超音波断層検出センサ２６を手で持ち、第８図に示すよ
うに被検出部材２４の配置状態に合わせて走査移動させ
るようにすればよい。

走査に先だってスイッチ４６をＯＮＬ、超音波センサ１
０を一定量押し込んで位置検出センサ１２のローラ４２
と同一高さにした状態で所定の方向に走査する。この処
理によって制御手段たるコンピュータ１８に計測データ
が取り込まれる。

この測定値の取り込みは位置検出センサ１２による測定
パルス信号を超音波センサ１０による超音波パルス信号
に１：１に対応関係を付けて行われる。このため、位置
検出センサ１２からの位置パルス信号に対応して、超音
波計測装置１４にて演算された厚さデータが出力され、
各走査位置毎の被検出部材２４の板厚値がコンピュータ
１８に出力されることになる。これらの取り込まれたデ
ータはバッファに格納され（ステップ１６０）るととも
に、特に位置検出センサ１２に基づくデータにより手持
ちセンサ２６の走査移動距離を画像表示装置（ＣＲＴ）
３２にライン表示するように本体３０から画像信号とし
て出力するようにしている（第７図の直線ラインＡ）、
そして、バッファに取り込まれたデータのダミーデイレ
イ処理が行われるようになっており（ステップ１８０）
、容量の小さいバッファの時間遅延を図ってデータのオ
ーバフローを防止するようにしている。このようにして
手持ちセンサ２６の走査中には検出信号の取り込みが行
われるが、手持ちセンサ２６の走査が終了することによ
り走査する作業者は走査完了をしたとしてスイッチ４６
をＯＦＦ操作する。

これによりステップ１４０の判定でボタンＯＦＦの検知
をなし、無限ループを完了して取り込みデータの解析処
理に移行する（ステップ２００）。

ステシブ２００におけるデータの解析処理ルーチンは、
最初に超音波計測装置１４から得られた計測全データか
らその平均値を算出するようにしている（ステップ２１
０）、これは基本的には二枚の溶接板材をスポット溶接
したことを前提としており、ナゲツト深さが一枚の溶接
板材の厚さより大きければ溶着が行われていると判断で
きるので、−律に平均値を溶着深さの判定基準値とした
ものである。したがって、検査対象たる被検出部材２４
が二枚の板材のスポット溶接でない場合には、このステ
ップ２１０では平均値ではな（、設計上与えられる基準
厚さを設定値として入力し、これを判断基準値として設
定処理するようにすればよい。この処理後、板厚データ
を画面表示する（ステップ２２０）。この画像表示は、
前記位置検出センサ１２からの位置データと超音波計測
装置１４からの板厚データが１＝１に対応しているため
、二次元座標上に転写することができ、横軸に手持ちセ
ンサ２６の走査距離をとり、縦軸に被検出部材２４の厚
さをとり、各位置毎の板厚値をコンピュータアルゴリズ
ムによりグラフ表示するようにしている。そしてステッ
プ２１０で演算された平均値を基準にして当該平均値以
上と未満とに分別し、色分は表示を行わせる（ステップ
２４０．２５０）、このような画像表示の結果は、第７
図のようになり、走査距離と厚さの二次元座標上に棒グ
ラフの集合として表され、測定開始位置Ｓから終了位置
Ｅまでの間に平均値Ｍを越えた部分が赤表示され（実線
ハツチング）、平均値より下位の部分が緑表示される（
破線ハツチング）。

このように計測値に基づいた画像表示処理の後は、被検
出部材２４のナゲツトが基準径を持っているか否かの判
定処理を行う（ステップ２６０）。

この処理では平均値Ｍを超過した範囲の計算が行われる
ようになっている。これは具体的には、第８図に示すよ
うに、最初に平均値Ｍを超過した位置ｌ＋から次に平均
値Ｍ以下となった位置ｌ！までの距離Ｉ、を圧着範囲と
して求めるのである。

この演算処理によって得られた演算値はステップ１００
で入力された判定値と比較される（ステップ２７０）、
判定値は検査対象のスポット溶接部が所定の強度をもつ
場合のナゲツト径としており、この判定値との大小判別
によって結果を画像表示出力としてｒＯＫＪあるいはｒ
ＮＧＪとして表示する。また、この結果は同時にパラレ
ルインターフェース１６を通じて超音波断層検出センサ
２６に設けである判定表示部（ＬＥＤ）２２に判定結果
に対応した信号を送出し、検査作業者の手元で視覚的に
表示させるように出力する（ステップ２８０）。これら
の一連の処理が終了すればステップ２９０により最初の
スタートに戻り、次の検査開始を待つのである。

このように構成された実施例によれば、超音波センサ１
０と位置検出センサ１２とを一体に有する超音波断層検
出センサ２６により被検出部材２４のナゲツト部分を走
査するだけでよく、ペンシルビーム型の超音波信号を発
する超音波センサ１０により一様な材質部分の走査方向
に沿う厚さのデータを各走査距離毎に逐次制御手段に送
出することができる。したがって、これらの計測値を走
査位置と厚さの座標上に表示することによって被検出部
材２４の断層状態を画像表示することが可能となり、か
つ走査方向に沿う圧着範囲も明確に表示しつつ、適性ナ
ゲツト径に相当する判定値との比較を行わせることによ
りナゲツト状態の適否判別を自動的に行わせることがで
きる。

したがって、この実施例によれば、単に超音波断層検出
センサ２６をナゲツト部分の直径方向に沿って走査させ
ることにより誰でも簡単にナゲツト検査を行うことがで
き、従来方法の如きナゲツトの中心にセンサの中心を位
置決めするような煩雑な作業がなく、ナゲツトの種類毎
に超音波吸収材または超音波ガイドを変更するような困
難性が全くない超音波断層検出用センサとすることがで
きる。しかも、第７図に示したようにナゲツトの中心部
に溶着不良部分があった場合でも、実施例の超音波断層
検出センサはペンシルビーム型超音波信号をナゲツト径
方向に走査移動させるので、各走査位置に対応する断層
データを確実に検出でき、中心部欠陥を見逃すような検
査漏れを生じることがないので検査精度を向上させるこ
とができる。

上記実施例では、ナゲツト部分を超音波断層検出センサ
２６で単一直線上を走査する場合について説明したが、
これはマトリックス状の走査を行い被検出部材２４のナ
ゲツト全体像を画像表示することもできる。この場合の
走査手段としては超音波断層検出センサ２６をＸ−Ｙ走
査装置に取り付けて直接超音波断層検出センサ２６を自
動走査させるようにしてもよく、あるいは、被検出部材
２４を一定方向にライン移動させ、これと直交方向に超
音波断層検出センサ２６を駆動するようにしてもよい、
そして、同一点の計測値は上書きして最新測定値を取り
込むようにする。このようにして得られたデータは各走
査線毎に分別表示してもよく、あるいは鳥敞図的に仰角
・方位角を本体３０に入力し、コンピュータアルゴリズ
ムによって三次元立体表示することもできる。

なお、上記実施例において超音波断層検出センサ２６に
判定表示部（ＬＥＤ）２２を設け、判定結果を視覚的に
手元表示させるようにしている力（これに加えてブザー
等の音声表示を行わせるようにすることも可能である。

すなわち、判定結果がＮＧの場合に視覚的にも聴覚的に
も作業者が理解できるようにすればよく、これはパラレ
ルインターフェース１６から判定表示部（ＬＥＤ）２２
への出力ラインに音声表示手段を接続することで簡単に
対処することができる。

更に、上記実施例ではナゲツトの検査例につき説明した
が、これは超音波センサを利用して行われる各種の非破
壊断層検査に適用することができるのはいうまでもない
、したがって、探傷装置や構造物の内部検査等への応用
にも充分利用することができる。

〔発明の効果〕

以上説明したように、本発明の第一の構成に係る超音波
断層検出センサによれば、被検出部材にペンシルビーム
型超・音波信号を照射しつつこれを走査させ、同時に位
置検出センサから走査距離を取り込み、各走査位置に対
する断層データを得、これを制御手段に送出することか
できるようにしたので、単に被検出部材上を走査させる
という作業で簡易かつ迅速に走査位置毎の断層データを
計測して高精度断層計測を行わせることができる効果が
得られる。また、第二の構成によれば、被検出部材の走
査面に凹凸があっても超音波センサは追従変位して被検
出部材から離反することがなく、計測漏れを生じない、
第三の構成によれば、超音波断層検出センサの先端部の
幅寸法を小さくして被検出部材の狭幅部位の検査も簡単
に行うことができる効果が得られる。さらに第四の構成
によれば、超音波断層検出センサを持つ作業者の手元で
現在計測している部位の異常判定が表示され、リアルタ
イムに判定結果を被検出部材にマーキングする等の行為
を迅速に行うことができる効果が得られる。

【図面の簡単な説明】

第１図は実施例に係る超音波断層検出センサの斜視図、
第２図は同断面図、第３図は超音波センサ先端への超音
波伝達剤の供給手段の構成を示す側面図、第４図は実施
例センサを備えた超音波断層検出装置の主要構成ブロッ
ク図、第５図はその実機構成斜視図、第６回は計測方法
のフローチャート、第７図は計測例の画像表示状態の説
明図、第８図は超音波断層検出センサの使用状態の斜視
図である。 １０・・・・・・超音波センサ、１２・・・・・・位置
検出センサ、１４・・・・・・超音波計測装置、１８・
・・・・・コンピュータ（制御手段）、２０・・・・・
・パルス出力コントローラ、２２・・・・・・判定表示
部（ＬＥＤ）、２４・・・・・・被検出部材、２６・・
・・・・超音波断層検出センサ。

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. （１）、被検出部材にペンシルビーム型超音波信号を照
   射してその反射波を検出する超音波センサと前記超音波
   センサの走査距離を検出する位置検出センサを一体的に
   併設して手持ちケーシングに取り付け、センサ走査方向
   に沿う断層情報を演算する制御手段に対し単位走査距離
   毎の断層データを出力可能としたことを特徴とする超音
   波断層検出センサ。
2. （２）、前記超音波センサはケーシング内に伸縮動可能
   に取り付けられ、被検出部材の形状に倣って伸縮しつつ
   接触移動可能としていることを特徴とする請求項１に記
   載の超音波断層検出用センサ。
3. （３）、前記位置検出センサと超音波センサとをセンサ
   走査方向に縦列配置したことを特徴とする請求項１に記
   載の超音波断層検出センサ。
4. （４）、前記ケーシングには前記制御手段により判定さ
   れた結果を視覚的あるいは聴覚的に表示する表示手段を
   設けたことを特徴とする請求項１に記載の超音波断層検
   出センサ。