JPH0249206A - Magnetic head - Google Patents
Magnetic headInfo
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- JPH0249206A JPH0249206A JP19802588A JP19802588A JPH0249206A JP H0249206 A JPH0249206 A JP H0249206A JP 19802588 A JP19802588 A JP 19802588A JP 19802588 A JP19802588 A JP 19802588A JP H0249206 A JPH0249206 A JP H0249206A
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Abstract
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、VTR用磁気ヘッド、70ツピーデイスクド
ライブ用磁気ヘツドあるいはコンピュータ用ハードディ
スクに用いられる磁気ヘッド等、高い信頼性が要求され
る磁気ヘッドに関するものである。DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION [Field of Industrial Application] The present invention is applicable to magnetic heads that require high reliability, such as magnetic heads for VTRs, magnetic heads for 70-speed disk drives, and magnetic heads used for computer hard disks. It is related to.
VTR70ツピーデイスクドライブあるいはコンピュー
タ用ハードディスクドライブのため1こ使用される磁気
ヘッドは、その記録周波数が高く、高分解能が要求され
る。そのため、その製造工程においては厳しい加工精度
が必要とされおり、特にギャップ長は厳しい仕様を満足
しなければならない。Magnetic heads used for VTR70 disk drives or computer hard disk drives have a high recording frequency and are required to have high resolution. Therefore, strict processing accuracy is required in the manufacturing process, and in particular, the gap length must satisfy strict specifications.
しかして、ギャップを形成するには、従来よりモールド
法、流入法等種々の方法が実施されているが、最近では
一般にスパッタ法が利用されている。To form the gap, various methods such as a molding method and an inflow method have been conventionally used, but recently a sputtering method has generally been used.
すなわち、第1図(a) 、(b)に示すように、7ヱ
ライト等の磁性体からなる巻線溝1aを有するCコア1
と巻線溝のないIコア2とを対向させ、ギャップ対向面
にてギャップ形成用ガラスにより前記Cコア1と■コア
2とを接着するに当たり、ギャップ対向面にスパッタ法
により5in2膜3を付着させた後、さらにその上にギ
ャップ形成用ガラス4を同じくスパッタ法で付着させ、
ギャップ対向面を突き合わせ、巻線溝1a内に棒状の補
強用プラス5を挿入して加熱し、ギャップ形成用ガラス
4を溶融してギャップ対向面を接着しギャップGを形成
するとともに、第2図(a)に示すように、補強用プラ
ス5を溶融して巻#a溝1a内のギヤツブG近傍に充填
したものが、VTR用磁気ヘッドのみならず、その他の
磁気ヘッドの主流になっている。That is, as shown in FIGS. 1(a) and 1(b), the C core 1 has a winding groove 1a made of a magnetic material such as 7-Elite.
and I core 2 without a winding groove, and when adhering the C core 1 and core 2 using gap forming glass on the gap-opposing surface, a 5in2 film 3 is attached by sputtering on the gap-opposing surface. After that, a gap forming glass 4 is further deposited thereon by the same sputtering method.
The surfaces facing the gap are butted against each other, and a reinforcing rod 5 is inserted into the winding groove 1a and heated to melt the gap forming glass 4 and bond the surfaces facing the gap to form the gap G, as shown in FIG. As shown in (a), reinforcing plus 5 melted and filled in the vicinity of the gear knob G in the winding #a groove 1a is the mainstream not only for VTR magnetic heads but also for other magnetic heads. .
スパッタ法を利用したギャップ形成法によると、高精度
のギヤツブ艮のギャップを形成することができて、磁気
ヘッドに対する近年の要求を満足することができる。According to the gap forming method using the sputtering method, it is possible to form a highly accurate gap in the gear ring, and it is possible to satisfy the recent demands for magnetic heads.
スパッタ法を利用してギャップを形成すると、前述のよ
うに、高精度のギヤツブ艮を有する磁気ヘッドを得るこ
とができるが、スパッタ法による被膜形成処理はArf
fス雰囲気中で行なわれるため、SiO□膜および形成
ガラス膜中にAr7yスが吸蔵される。If the gap is formed using the sputtering method, a magnetic head having a highly accurate gear ring can be obtained as described above, but the film forming process using the sputtering method is
Since the process is carried out in a f gas atmosphere, Ar7y gas is occluded in the SiO□ film and the formed glass film.
この吸蔵されたAr、fスは被膜形成後接着する前に一
旦加熱処理を施しても外部に放出されず、CコアとIコ
アとの接着および補強のためのギャップ形成用ガラス4
および補強用ガラス5を溶融させるため加熱すると、そ
のとき放出されて溶融したガラス4または5内において
膨張したり集合したりして体積が増大し、第2図(a)
、(b)に示すように気泡6となって補強用ガラス5
内お上りギヤツブG内に存在する。These occluded Ar and fs will not be released to the outside even if heat treatment is applied once after the coating is formed and before bonding, and the gap forming glass 4 for bonding and reinforcing the C core and I core
When the reinforcing glass 5 is heated to melt it, the ejected glass expands and aggregates within the molten glass 4 or 5, increasing its volume, as shown in FIG. 2(a).
, as shown in (b), bubbles 6 form and the reinforcing glass 5
It exists in the inner upward gear G.
これらの気泡6のうち、ギヤツブG内に存在するものは
、磁気ディスク等の磁気記録媒体(以下媒体という)対
向面をラップ仕上げしたとき等に媒体対向面に開口し、
媒体との摺接によって生じた磁性粉末が入って埋め込ま
れ、ヘッド特性を劣化させて信頼性を低下せしめる6ま
た、補強用ガラス5中に存在する気泡6は、ヘッド特性
劣化の要因となるほか、接着後のコアのスライス加工等
の加工時にクラック発生の起点となる。Among these bubbles 6, those existing in the gear G open on the surface facing the medium when the surface facing the magnetic recording medium (hereinafter referred to as the medium) such as a magnetic disk is lapped.
Magnetic powder generated by sliding contact with the medium enters and becomes embedded, deteriorating the head characteristics and lowering reliability 6 In addition, air bubbles 6 existing in the reinforcing glass 5 cause deterioration of the head characteristics. This becomes the starting point for cracks during processing such as slicing of the core after adhesion.
このように、磁気ヘッドのギャップあるいはプラス中に
存在する気泡は、磁気ヘッドの製造時における歩留まり
向上に対して問題であるとともに、ヘッド特性劣化を防
止し、信頼性を向上させる上で大きな問題点となってい
るものである。As described above, air bubbles existing in the gap or positive region of a magnetic head are a problem in improving yield during the manufacturing of magnetic heads, and are also a major problem in preventing deterioration of head characteristics and improving reliability. This is the result.
本発明は、上記問題点に鑑み、この問題点を解消して、
磁気特性に優れて信頼性の高い磁気ヘッドを提供するこ
とを目的とするものである。In view of the above problems, the present invention solves the problems, and
The object is to provide a magnetic head with excellent magnetic properties and high reliability.
本発明は、上記目的を達成するためになされたものであ
って、磁性体からなる、巻線溝を有するコア(Cコア)
と巻線溝のないコア(エコア)とを対向させ、ギャップ
対向面にてSiO□4O−50u+o1%、 A 12
O * 6−8 mol%、Na、0 12−15
mol%、 B2O,27〜42 mol%からなる
ギャップ形成用ガラスにより接着してギャップを形成し
たものであり、また、上記ギャップ形成用ガラスのほか
に下地(第1層)として5in2膜を、ギャップ対向面
の少なくとも一方の面に形成したものである。The present invention has been made to achieve the above object, and includes a core (C core) made of a magnetic material and having a winding groove.
and a core without a winding groove (ecore), and SiO□4O-50u+o1% on the gap facing surface, A 12
O*6-8 mol%, Na, 0 12-15
A gap was formed by adhering a gap-forming glass consisting of 27 to 42 mol% of B2O, and in addition to the above-mentioned gap-forming glass, a 5in2 film was used as a base (first layer) to form a gap. It is formed on at least one of the opposing surfaces.
ギャップ形成用ガラスとしての前記組成のものは、Ar
1fス雰囲気中でのスパッタ処理の際のAr、fスの吸
蔵が少なく、また熱処理によるArffスの放出が良好
であり、さらには下地のS i O2膜中に吸蔵したA
r、f又もよく通過させることができるものである。The glass having the above composition as a gap forming glass is Ar
There is little occlusion of Ar and f during sputtering in a 1f gas atmosphere, and good release of Arff during heat treatment.
r, f can also be easily passed through.
従って、このギャップ形成用ガラスを用いてギャップの
形成と補強を打なった磁気ヘッドは、ギャップおよび補
強部分に気泡の存在が少ない。Therefore, in a magnetic head whose gap is formed and reinforced using this gap-forming glass, there are fewer bubbles in the gap and the reinforced portion.
前記ギャップ形成用ガラスの組成において、5iOz
50 IIol’%および AltOz 8 II
o1%を超えろと軟化点(Ts )が680℃以上とな
って接着が不十分となり、5in240 mol%およ
びA2□0,6IIIo1%未満ではArffスを吸蔵
し易くなるので、5in240−50 mol%、A
12O36−8 mol%とじた。In the composition of the gap forming glass, 5iOz
50 IIol'% and AltOz 8 II
If it exceeds 1%, the softening point (Ts) will be 680°C or higher, resulting in insufficient adhesion, and if it is less than 5in240 mol% and A2□0,6IIIo1%, Arff gas will be easily occluded, so 5in240-50 mol%, A
12O36-8 mol% was closed.
また、Na2Oは15mol%を超えるとガラスの耐食
性が悪くなって変色が生じ、12m。Moreover, if Na2O exceeds 15 mol%, the corrosion resistance of the glass will deteriorate and discoloration will occur.
%未満では熱膨張係数aが小で膜はがれが生じるので、
Na、Oは12−15moN%とじた。If it is less than %, the thermal expansion coefficient a will be small and the film will peel off.
Na and O were set at 12-15 moN%.
B2O3は、調整用の残部組成として 27〜421I
io1%とした。B2O3 is the balance composition for adjustment 27-421I
io1%.
第1表に示す組成のギャップ形成用ガラス(以下ガラス
という)を用い、Ar、fス雰囲気中にてスパッタ法に
よりギャップ対向面にガラスまくを形成した後加熱しで
Arffスの放出状況を調べた。Using a gap-forming glass (hereinafter referred to as glass) having the composition shown in Table 1, a glass coating was formed on the surface facing the gap by sputtering in an Ar and F gas atmosphere, and then heated to examine the release of Arff gas. Ta.
第1表中の「従来ガラス」は従来一般に使用されている
ガラスであり、「開発ガラス」は本発明の磁気ヘッドに
用いるため新規に開発したガラスであり、「比較ガラス
」は比較のため開発ガラスに近い組成としたガラスであ
る。7R査の結果を第3図および第4図に示す。"Conventional glass" in Table 1 is glass that has been commonly used in the past, "developed glass" is glass that was newly developed for use in the magnetic head of the present invention, and "comparison glass" is glass that was developed for comparison. It is a glass with a composition close to that of glass. The results of the 7R inspection are shown in Figures 3 and 4.
(実施例1 )
第3図はプラス膜のみを形成した場合の図である。この
図かられかるように、従来ガラスおよび比較ガラスは多
くのArガスを放出している (特に従来ガラスは80
0℃まで加熱しても放出しきれない)が、開発ガラス(
1)は殆ど放出がなく、また開発ガラス(2)は僅かし
か放出していない。これにより、開発ガラスにはArf
fスの吸蔵が極めて微量であることがわかる。(Example 1) FIG. 3 is a diagram when only a positive film is formed. As can be seen from this figure, the conventional glass and comparative glass emit a large amount of Ar gas (especially the conventional glass
The newly developed glass (
1) has almost no emission, and the developed glass (2) has only a small amount of emission. As a result, the developed glass has Arf
It can be seen that the amount of occlusion of f-s is extremely small.
(実施例2 )
第4図は、下地としてSrO2膜を スパッタ法により
形成した後、その上にガラス膜を形成したものについて
の図である。(Example 2) FIG. 4 is a diagram in which a SrO2 film is formed as a base by sputtering, and then a glass film is formed thereon.
この図かられかるように、従来ガラスおよび比較ガラス
は相当高温(700〜800℃)に加熱しなければAr
ffスの放出が困難であり、コアの材料である7ヱライ
トの特性を保ち得る加熱限度である800℃に加熱して
も放出しきれない状態にある。As can be seen from this figure, conventional glass and comparative glass cannot be exposed to Ar without being heated to a considerably high temperature (700 to 800°C).
It is difficult to release ffs, and even if heated to 800° C., which is the heating limit for maintaining the properties of 7-Elite, which is the core material, it cannot be completely released.
一方、開発プラス (1)、(2)は500〜600℃
付近の比較的低温域で多量のAr、fスを放出し、65
0〜750℃では殆ど放出し尽くしている。On the other hand, development plus (1) and (2) are heated at 500 to 600℃.
A large amount of Ar and F gas are released in the relatively low temperature area nearby, and 65
Almost all of it is released between 0 and 750°C.
この実施例2において放出されるArffスは、各ガラ
ス中に吸蔵されたものと、下地として形成した5iO2
11Rに吸蔵されたものとの合計量である。The Arff gas released in this Example 2 consists of the one absorbed in each glass and the 5iO2 formed as a base.
This is the total amount including that stored in 11R.
しかして、開発ガラス (1)、(2)は、前記実施例
1かられかるようにグラス自体にはArガスを殆ど吸蔵
していないので、第4図に見られるように、SiO2膜
に吸蔵され加熱により放出されようとするArffスを
よく通過させて外部に多量に放出することができるもの
である。As can be seen from Example 1, the developed glasses (1) and (2) have almost no occlusion of Ar gas in the glass itself, so as shown in FIG. This allows Arff gas, which is to be released by heating, to pass through well and can be released in large quantities to the outside.
しかし、従来プラスと比較ガラスはガラス自体に多くの
Ar、fスを吸蔵しており、しかも、5iO2tlから
放出するArffスを十分通過させることができないの
である。However, conventional plus and comparative glasses store large amounts of Ar and F in the glass itself, and moreover, cannot sufficiently pass Arff released from 5iO2tl.
上述のように、本発明による磁気ヘッドは、前記組成の
ガラスによりギャップを形成しだらのであるから、Ar
ffスによる気泡の存在が極めて少なく、気泡によるヘ
ッド特性の劣化を防止して、M穎性の高いものとなし得
たらのである。As mentioned above, since the magnetic head according to the present invention has a gap formed by the glass having the above composition, Ar
It would be desirable to have extremely few air bubbles due to ff gas, to prevent deterioration of head characteristics due to air bubbles, and to achieve high M stability.
第1図(a)はCコアと■コアとを対向させて加熱する
前の状態を示す斜視図、第1図(b)は同図(a)中の
AH拡大正面図、第2図(a)1 二〇コア、
1a :巻線溝、2 : Iコア、 3:
SiO2膜、4 : ギャップ形成用7yラス
5 :補強用〃ラス 6 :気泡、G :ギ
ヤラフFig. 1(a) is a perspective view showing the state before heating the C core and the ■core facing each other, Fig. 1(b) is an enlarged front view of AH in Fig. 1(a), and Fig. 2 ( a) 1 20 cores,
1a: Winding groove, 2: I core, 3:
SiO2 film, 4: 7y lath for gap formation 5: Reinforcement lath 6: Air bubble, G: Gear rough
Claims (2)
ないコアとを対向させ、ギャップ対向面にてSiO_2
40〜50mol%、Al_2O_36〜8.0、%、
Na_2O12〜15mol%、B_2O_327〜4
2mol%からなるギャップ形成用ガラスにより接着し
てギャップを形成したことを特徴とする磁気ヘッド。(1) A core made of a magnetic material with a winding groove and a core without a winding groove are made to face each other, and the gap facing surface is made of SiO_2
40-50 mol%, Al_2O_36-8.0,%,
Na_2O12-15 mol%, B_2O_327-4
A magnetic head characterized in that a gap is formed by bonding with a gap-forming glass made of 2 mol %.
2膜を有する請求項1記載の磁気ヘッド。(2) SiO_ on at least one surface facing the gap
2. The magnetic head according to claim 1, comprising two films.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19802588A JPH0249206A (en) | 1988-08-10 | 1988-08-10 | Magnetic head |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19802588A JPH0249206A (en) | 1988-08-10 | 1988-08-10 | Magnetic head |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0249206A true JPH0249206A (en) | 1990-02-19 |
Family
ID=16384272
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19802588A Pending JPH0249206A (en) | 1988-08-10 | 1988-08-10 | Magnetic head |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0249206A (en) |
-
1988
- 1988-08-10 JP JP19802588A patent/JPH0249206A/en active Pending
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