JPH0251262U - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0251262U JPH0251262U JP12941488U JP12941488U JPH0251262U JP H0251262 U JPH0251262 U JP H0251262U JP 12941488 U JP12941488 U JP 12941488U JP 12941488 U JP12941488 U JP 12941488U JP H0251262 U JPH0251262 U JP H0251262U
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- JP
- Japan
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- etching apparatus
- nozzles
- etching
- etched
- equal intervals
- Prior art date
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- Pending
Links
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 7
- 239000007921 spray Substances 0.000 claims description 3
- 238000013459 approach Methods 0.000 claims 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims 1
- 238000005507 spraying Methods 0.000 claims 1
Landscapes
- ing And Chemical Polishing (AREA)
Description
第１図は本考案のエツチング装置における上部
スプレー配管及びノズル配置の底面図、第２図は
従来の底面図を示す。 １……直管、２……スプレーノズル。
スプレー配管及びノズル配置の底面図、第２図は
従来の底面図を示す。 １……直管、２……スプレーノズル。
Claims (1)
- 【実用新案登録請求の範囲】 １ 被エツチング板のエツチング液を吹付けるべ
き上面に対する吹付けノズル装備の配管において
、ノズル配置を中央部において密とし周辺部にお
いて粗とすることを特徴とするエツチング装置。 ２ 水平面内にあつて相互に等間隔平行にある直
管を被エツチング板の移動方向とほぼ平行に固定
し、各直管に等間隔で設けた直下方向ノズルの間
隔を中央部で小さく両端に近いほど大きくして成
る請求項１記載のエツチング装置。 ３ 隣接する直管のノズルを互い違いとして成る
請求項２記載のエツチング装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12941488U JPH0251262U (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12941488U JPH0251262U (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0251262U true JPH0251262U (ja) | 1990-04-10 |
Family
ID=31383668
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12941488U Pending JPH0251262U (ja) | 1988-09-30 | 1988-09-30 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0251262U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5993881A (ja) * | 1982-11-17 | 1984-05-30 | Hitachi Chem Co Ltd | エツチング装置 |
| JPS62202087A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | エツチング方法 |
-
1988
- 1988-09-30 JP JP12941488U patent/JPH0251262U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5993881A (ja) * | 1982-11-17 | 1984-05-30 | Hitachi Chem Co Ltd | エツチング装置 |
| JPS62202087A (ja) * | 1986-02-28 | 1987-09-05 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | エツチング方法 |