JPH0252201B2 - - Google Patents

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JPH0252201B2
JPH0252201B2 JP20548583A JP20548583A JPH0252201B2 JP H0252201 B2 JPH0252201 B2 JP H0252201B2 JP 20548583 A JP20548583 A JP 20548583A JP 20548583 A JP20548583 A JP 20548583A JP H0252201 B2 JPH0252201 B2 JP H0252201B2
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JP
Japan
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JP20548583A
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JPS6097204A (ja
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Sadanobu Serizawa
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Senjo Seiki Corp
Original Assignee
Senjo Seiki Corp
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Publication date
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Publication of JPS6097204A publication Critical patent/JPS6097204A/ja
Publication of JPH0252201B2 publication Critical patent/JPH0252201B2/ja
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01BMEASURING LENGTH, THICKNESS OR SIMILAR LINEAR DIMENSIONS; MEASURING ANGLES; MEASURING AREAS; MEASURING IRREGULARITIES OF SURFACES OR CONTOURS
    • G01B11/00Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques
    • G01B11/24Measuring arrangements characterised by the use of optical techniques for measuring contours or curvatures

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、光反射型入力レベル相対出力方式を
使用した被検査体の数量のカウント出力方法に関
するものであり、重ね合せた多数の被検査体を正
確に且つ短時間の内にカウントし得るものである
が、用途はカウント用に限定されるものではな
く、例えば被検査体の表面の凹凸状態を検査する
等多目的に利用されるものである。
以下、本発明を図面に従つて説明する。
図中1はレーザー光の様な光力の強い光を照射
し得る投光器で、後記する被検査体の上方に設置
される。2はランダムに並設した多数の被検査体
であり、任意方法により一方向に移動させる過程
に於てカウントされるものである。
3は投光器1から被検査体2に照射され反射す
る反射散乱光を受光するフオトダイオード等の受
光器、4はノイズフイルター回路5を介して前記
受光器3に電気的に結線した増幅回路、6は増幅
回路4に接続したA/D変換回路であり、上記投
光器1から被検査体2に照射され反射する反射散
乱光は、受光器3により受光されて図面第3図b
に示すような電気的アナログ波形としてノイズフ
イルター回路5に入力し、更にこのノイズフイル
ター回路5及び増幅回路4により波形整形されて
図面第3図cに示すような電気的アナログ波形と
してこのA/D変換回路6に入力する。
7はマイクロプロセツサー8とROM9と
RAM10とから構成されたマイクロコンピユー
ターで、アドレスバス11とデータバス12とリ
ード信号線13とライト信号線14により前記
A/D換回路6に接続してあり、出力調整値設定
用DIPスイツチ15を接続した入力ポート16か
ら出力調整値を読み込んだり或いはA/D変換回
路6との間で入出力信号の授受を行なつたりしな
がら演算処理し、処理したデータを出力ポート1
7に出力するものであるが、以下、A/D変換回
路6に入力した上記のアナログ波形がカウント信
号として出力ポート17に出力される手順を図面
を第2図に示すフローチヤートに従つて説明す
る。
先ずステツプでDIPスイツチ15の操作によ
り第4図中に示す電圧の初期値Sを入力ポート1
6を介してRAM10に書き込んだ後、ステツプ
で予め設定した第4図中に示す出力調整値Cを
RAM10に読み込む。次にステツプでA/D
変換のスタートが指令され、ステツプでA/D
データをマイクロコンピユーター7に読み込む。
ステツプでこの読み込まれたA/D変換取入値
A(第4図のロ点値と仮定する。)とA/D変換過
去値B(第4図のイ点値)とを比較し、前者が大
きく然もこのA/D変換取入値Aが初期値Sより
も大きく、A/D変換過去値Bが初期値Sよりも
小さい場合、入力電圧は次第に増加し始め且つこ
の時点での電圧は第4図に示す初期値Sよりも大
きく、初期値Sに近いロ点値に該当し、波形が初
期値Sを越えての最低部付近であると判断される
ので、YESの条件が成立しステツプに進む。
そしてステツプでON出力値演算フラグ即ちカ
ウントパルスの正値変換認識フラグDが0である
場合にYESの条件が成立しステツプに進む。
ステツプでA/D変換取入値Aに出力調整値C
を加えた値をON出力値Fに代入し、ステツプ
で外部出力するためのデータフラグが1になるま
で再び演算されないようにするためON出力値演
算フラグDにフラグ1を立てる。ステツプで
A/D変換取入値AとA/D変換過去値Bとを比
較し、前者が小さい場合には入力電圧は次第に減
少し始めたものと判断される。つまり、波形電圧
値変化が負側になり始めることで山の最頂部を越
えた付近であると判断され、YESの条件が成立
しステツプに進む。ステツプでOFF出力値
演算フラグ即ちカウントパルスの負値変換認識フ
ラグEが0である場合にはYESの条件が成立し
ステツプに進む。ステツプでA/D変換取入
値Aから出力調整値Cを差引いた値をOFF出力
値Gに代入しステツプで外部出力データが0に
なるまで再び演算させないようにする為OFF出
力値演算フラグEにフラグ1を立てる。ステツプ
でA/D変換取入値AとON出力値Fと比較し
前者が大きい場合には被検査体2の形状が立上が
つた形状であると判断しステツプに進む。ステ
ツプで外部出力するためのデータフラグHを1
にし、ステツプでON出力値演算フラグDを0
にし、やがて入力電圧が下がり始め、外部出力デ
ータが0になり再び入力電圧が上り始めても出力
調整値以上に上らなければ外部出力データが1に
ならぬようヒステリシス特性を持たす為にON出
力値FをA/D変換取入値Aに入れ変える。ステ
ツプでA/D変換取入値AとOFF出力Gとを
比較し前者が小さい場合には被検査体2の形状が
立下がつた形状であると判断できステツプに進
む。ステツプで外部出力データを0にし、ステ
ツプでOFF出力値演算フラグEを0にし、入
力電圧に出力調整値以内の変動があつても外部出
力データに変動を与えないようにヒステリシス特
性を持たせる為にOFF出力値GをA/D変換取
入値Aに入れ替える。ステツプでA/D変換取
入値Aを過去値としてA/D変換過去値Bに代入
し、ステツプで外部出力データHの内容を出力
ポート17に出力しステツプのループの始めに
戻る。
上記のように、光力の強い光を被検査体2に照
射して、その反射散乱光を電圧変換し、更にノイ
ズフイルター回路5等を通過した電気的アナログ
波形(第3図c)のうち左側端部を拡大した第4
図aについて検討してみると、今ハ点をサンプリ
ングし、これをA/D変換した場合、この値が1
つ前のサンプリング値に出力調整軸Cを加えた値
より大きい場合、マイクロプロセツサー8は図面
に示してないI/Oに「1」を出力する。
波形に歪みXがある場合は、ホ点のA/D変換
値は1つ前の二点のサンプリング値よりも小さ
い。しかし、二点のサンプリング値から出力調整
値Cを引いた値よりも大きい場合、マイクロプロ
セツサー8はI/Oに対して何も出力しないが、
I/Oは出力ポートとしてプログラミングされて
いるときはその出力をラツチする。従つてマイク
ロプロセツサーが何も出力しなくても、カウンタ
ーに対してはその前の値、即ちこの場合「1」を
出力し続ける。
次にト点では1つ前のヘサンプリング値から出
力調整値Cを引いた値よりも小さくなる。この場
合、マイクロプロセツサー8はI/Oに対して
「0」を出力する。
リ点でのサンプリング値は1つ前のチ点値より
も大きいが、この値がチ点値に出力調整値Cを加
えた値よりも小さければ、マイクロプロセツサー
8は歪みX部の場合と同様にI/Oに対して何も
出力しない。従つてカウンターに対しては、その
前の値「0」が出力され続ける。
従つて、第4図bに示すようなデジタル信号が
I/Oに出力され、更にこの信号は第3図dに示
すような矩形波信号に変換されてI/Oから出力
ポート17へ出力されるので、第3図aに示すよ
うにランダムに並設した被検査体2…2の形状と
近似する形に再現された電気的アナログ波形(第
3図c)に歪みXがあつたとしても或いは大小の
変化の大きい波形であつたとしてもこのアナログ
波形は第3図dに示す被検査体の数量に相当する
数の矩形波信号として出力ポート17から出力さ
れるものである。尚、マイクロコンピユータ7に
変えてICなどを使用したハード的ロジツク回路
を使用し得ることは言うまでもない。
従来の方法は受光器とか増幅器を使用すること
によつて得られたアナログ波形を予め設定した一
定の絶対レベルとの比較によりデジタル信号を出
力出来る様にして被検査体のカウントをしたので
あるから、波形の感度調整を如何に行なつたとし
ても絶対レベルから外れてしまう上下の波形はデ
ジタル信号として得ることが出来ない為、正確な
被検査体の数量のカウントが出来ない欠点があつ
た。然るに本発明は上記の様に、被検査体に照射
して反射する反射散乱光の減衰及び外乱光等によ
る振幅の変動等の影響を少くする様に、レーザー
光の様な光力の強い光を使用し、この光を一方向
に移動する被検査体に照射し、その反射散乱光を
フオトダイオード等の受光器で受光して被検査体
の外形形状をアナログ電圧振幅に再現し、そのア
ナログ電圧をノイズフイルター回路及び増幅回路
等により波形整形してA/D変換回路に入力し、
次にこのA/D変換回路により入力アナログ電圧
を逐次デジタル量に変換し、これをマイクロコン
ピユーター内に数値データとして取り込み又、被
検査体の形状に対応した適切な数値であり且つヒ
ステリシス特性の幅である出力調整値を上記コン
ピユーターの外部に設けたDIPスイツチ等のデー
タ設定用のスイツチにより入力ポートを介して該
マイクロコンピユーター内に取り込んでこれ等を
このマイクロコンピユーター内に書き込まれてい
るプログラムによつて高速演算処理し、入力波形
の振幅形状が被検査体と近似しているかを判断す
ることにより相対的に被検査体の入力波形を検査
すると共にそれに伴つた数量のカウント出力を正
確に行なう様にしたものであるから、受光器等に
よつて得られたアナログ波形が振動とかノイズ等
の影響により振幅のくずれのあるものであつたり
或いは波の大小の変化の大きい波形であつたとし
ても、言い変えれば多数の被検査体が互いに不揃
いのものであつたり高さが受光器で受光し得る範
囲内で異なつていたとしても正確にその数量をカ
ウントすることが出来る効果を発揮するものであ
る。
【図面の簡単な説明】
第1図は本発明に係る方法を示すブロツクダイ
ヤグラム。第2図はマイクロコンピユーターのソ
フトウエアを示すフローチヤート。第3図は被検
査体とノイズフイルター回路に入力するアナログ
波形とA/D変換回路に入力するアナログ波形と
出力信号との相関関係を示すグラフ。第4図は
A/D変換回路に入力するアナログ波形とI/O
に出力されるデジタル信号との相関関係を示すグ
ラフである。 図中 1は投光器。2は被検査体。3は受光
器。4は増幅回路。5はノイズフイルター回路。
6はA/D変換回路。7はマイクロコンピユータ
ー。15は出力調整値設定用DIPスイツチ。16
は入力ポート。17は出力ポート。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 レーザー光の様な光力の強い光を一方向に移
    動する被検査体に照射し、その反射散乱光をフオ
    トダイオード等の受光器で受光して被検査体の外
    形形状をアナログ電圧振幅に再現し、そのアナロ
    グ電圧をノイズフイルター回路及び増幅回路等に
    より波形整理してA/D変換回路に入力し、次に
    このA/D変換回路により入力アナログ電圧を逐
    次デジタル量にA/D変換しこれをマイクロコン
    ピユーター内に数値データとして取り込み、又被
    検査体の形状に対応した適切な数値であり且つヒ
    ステリシス特性の幅でもある出力調整値を上記コ
    ンピユーターの外部に設けたDIPスイツチ等のデ
    ータ設定用のスイツチにより入力ポートを介して
    該マイクロコンピユーター内に取り込み、上記
    A/D変換した或るサンプリング値が一つ前のサ
    ンプリング値に出力調整値を加えた値より大きい
    場合にはマイクロプロセツサーは1/0に「1」
    を出力し、又A/D変換した或るサンプリング値
    が一つ前のサンプリング値から出力調整値を引い
    た値より小さい場合にはマイクロプロセツサーは
    1/0に「0」を出力し、その他の場合にはマイ
    クロプロセツサーは1/0に対して何も出力しな
    いがカウンターに対しては従前の値を出力し続け
    るようにすることによりデジタル信号を1/0に
    出力し、更にこのデジタル信号を矩形波信号に変
    換して1/0から出力ポートへ出力することによ
    り、入力波形の振幅形状が被検査体と近似してい
    るかを判断して相対的に被検査体の入力波形を検
    査すると共にそれに伴つた数量のカウント出力を
    正確に行うことを特徴とする、光反射型入力レベ
    ル相対出力方式を使用した被検査体の数量のカウ
    ント出力方法。
JP20548583A 1983-11-01 1983-11-01 光反射型入力レベル相対出力方式を使用した被検査体の数量のカウント出力方法 Granted JPS6097204A (ja)

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Application Number Priority Date Filing Date Title
JP20548583A JPS6097204A (ja) 1983-11-01 1983-11-01 光反射型入力レベル相対出力方式を使用した被検査体の数量のカウント出力方法

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JP20548583A JPS6097204A (ja) 1983-11-01 1983-11-01 光反射型入力レベル相対出力方式を使用した被検査体の数量のカウント出力方法

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JPS6097204A JPS6097204A (ja) 1985-05-31
JPH0252201B2 true JPH0252201B2 (ja) 1990-11-09

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JP20548583A Granted JPS6097204A (ja) 1983-11-01 1983-11-01 光反射型入力レベル相対出力方式を使用した被検査体の数量のカウント出力方法

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Families Citing this family (5)

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CA1240052A (en) * 1984-11-30 1988-08-02 Motoji Shiozumi Method of and apparatus for determining glossinesses of surface of body
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JPS6097204A (ja) 1985-05-31

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