JPH0252989A - 熱交換器 - Google Patents
熱交換器Info
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- JPH0252989A JPH0252989A JP20197288A JP20197288A JPH0252989A JP H0252989 A JPH0252989 A JP H0252989A JP 20197288 A JP20197288 A JP 20197288A JP 20197288 A JP20197288 A JP 20197288A JP H0252989 A JPH0252989 A JP H0252989A
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Classifications
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F28—HEAT EXCHANGE IN GENERAL
- F28D—HEAT-EXCHANGE APPARATUS, NOT PROVIDED FOR IN ANOTHER SUBCLASS, IN WHICH THE HEAT-EXCHANGE MEDIA DO NOT COME INTO DIRECT CONTACT
- F28D7/00—Heat-exchange apparatus having stationary tubular conduit assemblies for both heat-exchange media, the media being in contact with different sides of a conduit wall
- F28D7/02—Heat-exchange apparatus having stationary tubular conduit assemblies for both heat-exchange media, the media being in contact with different sides of a conduit wall the conduits being helically coiled
- F28D7/024—Heat-exchange apparatus having stationary tubular conduit assemblies for both heat-exchange media, the media being in contact with different sides of a conduit wall the conduits being helically coiled the conduits of only one medium being helically coiled tubes, the coils having a cylindrical configuration
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- Thermal Sciences (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- General Engineering & Computer Science (AREA)
- Heat-Exchange Devices With Radiators And Conduit Assemblies (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、メツキ液、有機、無機、薬液、溶剤。
食品用液などケミカルプロセスに用いられる液体を、伝
熱管を置いて温度差のある二流体間例えば高温流体と低
温流体との間に熱の授受を行わせて熱回収若しくは放熱
などに用いられる熱交換器に関するものである。
熱管を置いて温度差のある二流体間例えば高温流体と低
温流体との間に熱の授受を行わせて熱回収若しくは放熱
などに用いられる熱交換器に関するものである。
従来の熱交換器では、チューブ状の伝熱管が多管式に端
板にそれぞれ接合されて各管壁を経て温度差のある二流
体間に熱を伝熱させて、熱交換さ廿うる熱媒体の流路が
伝熱管の内外に構成されている。
板にそれぞれ接合されて各管壁を経て温度差のある二流
体間に熱を伝熱させて、熱交換さ廿うる熱媒体の流路が
伝熱管の内外に構成されている。
ところが、この熱交換器では伝熱管を経て熱伝達させて
熱交換させるだけとなり、無電解メツキなどのプロセス
液では含有される気泡(酸素)によって活性劣化するば
かりか、ケミカルプロセス又は超純水などの液中に約0
.1μ位の気泡が混入しても液中パーチクルカウンタ等
では計測しずらくなって制御系に支障を来すなど問題が
あった。
熱交換させるだけとなり、無電解メツキなどのプロセス
液では含有される気泡(酸素)によって活性劣化するば
かりか、ケミカルプロセス又は超純水などの液中に約0
.1μ位の気泡が混入しても液中パーチクルカウンタ等
では計測しずらくなって制御系に支障を来すなど問題が
あった。
本発明では、これら従来の欠点を排除しようとするもの
で熱交換機能と脱気機能とを兼ね備え、ケミカルプロセ
スの処理を安全でかつ効果的に行いうる熱交換器を構成
簡単で安価な形態で提供しようとすることを目的とした
ものである。
で熱交換機能と脱気機能とを兼ね備え、ケミカルプロセ
スの処理を安全でかつ効果的に行いうる熱交換器を構成
簡単で安価な形態で提供しようとすることを目的とした
ものである。
本発明は、温度差のある二流体間で熱の授受を行わせる
チューブ状の伝熱管をチューブプレート或いはチューブ
ヘッダに備えた熱交換器において、前記伝熱管が通気性
で可撓性のチューブであって、該チューブを介して脱気
用の真空チャンバーと加熱冷却用チャンバーとを備えた
ことを特徴とする熱交換器である。
チューブ状の伝熱管をチューブプレート或いはチューブ
ヘッダに備えた熱交換器において、前記伝熱管が通気性
で可撓性のチューブであって、該チューブを介して脱気
用の真空チャンバーと加熱冷却用チャンバーとを備えた
ことを特徴とする熱交換器である。
本発明の熱交換器では、真空チャンバー3が真空ポンプ
などの真空tA31で負圧として伝熱管lに添って流過
するプロセス流体通路6中にプロセス液から内側伝熱管
1の高分子膜管壁を経て気泡を真空チャンバー3へ吸引
回収し脱気する。−労咳伝熱管1の外周側にあるプロセ
ス流体通路6の高分子膜の外側伝熱管1の管壁を経て該
管壁に添って流れる冷水又は温水とで熱交換させ、プロ
セス液の冷却或いは加温しつつ、さらに脱気処理されて
安全に用いられるものである。
などの真空tA31で負圧として伝熱管lに添って流過
するプロセス流体通路6中にプロセス液から内側伝熱管
1の高分子膜管壁を経て気泡を真空チャンバー3へ吸引
回収し脱気する。−労咳伝熱管1の外周側にあるプロセ
ス流体通路6の高分子膜の外側伝熱管1の管壁を経て該
管壁に添って流れる冷水又は温水とで熱交換させ、プロ
セス液の冷却或いは加温しつつ、さらに脱気処理されて
安全に用いられるものである。
本発明を実施例につき第1図乃至第4図例で説明すると
、プロセス流体を流入又は流過させうるチューブ状の伝
熱管1.11が、その一端を取付端部としてチューブプ
レート4あるいはチューブ。
、プロセス流体を流入又は流過させうるチューブ状の伝
熱管1.11が、その一端を取付端部としてチューブプ
レート4あるいはチューブ。
ヘッダに接合させ、温度差のある二流体間で熱の授受を
行わせるように加熱冷却用チャンバー5を区画してケー
ス2に備えた熱交換器において、前記伝熱管l、11が
通気性で可IQ性のチ二−プであって、該チューブを介
して脱気用の真空チャンバー3と加熱冷却用チャンバー
5とを備えて熱交換器としである。
行わせるように加熱冷却用チャンバー5を区画してケー
ス2に備えた熱交換器において、前記伝熱管l、11が
通気性で可IQ性のチ二−プであって、該チューブを介
して脱気用の真空チャンバー3と加熱冷却用チャンバー
5とを備えて熱交換器としである。
この場合、前記伝熱管1にはプロセス液流入口11及び
流出口12とを備え、加熱・冷却用水流入口21及び流
出口22のあるケース2との間に加熱冷却用チャンバー
5を区画形成すると共に、高分子膜の伝熱管りで前記プ
ロセス流体通路6の中に前記真空チャンバー3を区画配
備して構成され、該真空チャンバー3は真空ポンプの真
空源3、に連絡されている。また、伝熱管1の端末はフ
ランジ部を介して端板7で締結し、シール部材13.1
4で密封構造にしである(第2図)。さらに前記プロセ
ス流体通路6はプロセス液タンク9からポンプ10で流
入口11に連絡して給液したとき、脱気用の伝熱管l、
の表面積0.18mとその効率は流量に対して第4図の
如くなる。
流出口12とを備え、加熱・冷却用水流入口21及び流
出口22のあるケース2との間に加熱冷却用チャンバー
5を区画形成すると共に、高分子膜の伝熱管りで前記プ
ロセス流体通路6の中に前記真空チャンバー3を区画配
備して構成され、該真空チャンバー3は真空ポンプの真
空源3、に連絡されている。また、伝熱管1の端末はフ
ランジ部を介して端板7で締結し、シール部材13.1
4で密封構造にしである(第2図)。さらに前記プロセ
ス流体通路6はプロセス液タンク9からポンプ10で流
入口11に連絡して給液したとき、脱気用の伝熱管l、
の表面積0.18mとその効率は流量に対して第4図の
如くなる。
即ち、前記伝熱管1.l、が、脱気熱交換可能の高分子
膜、例えば熱を管壁に経て伝達でき、かつ空気が過もで
きるテフロン(商標)、ポリカーボネート、ポリプロピ
レン、ポリエステル、シリコーンなどの高分子のプラス
チ、り製チューブを用いであるが、第5〜7図のように
政商分子膜チューブを多数平行に配列し、チューブプレ
ートに集束したハニカム構造としてもよい。
膜、例えば熱を管壁に経て伝達でき、かつ空気が過もで
きるテフロン(商標)、ポリカーボネート、ポリプロピ
レン、ポリエステル、シリコーンなどの高分子のプラス
チ、り製チューブを用いであるが、第5〜7図のように
政商分子膜チューブを多数平行に配列し、チューブプレ
ートに集束したハニカム構造としてもよい。
なお、前記伝熱管のプラスチック製チューブでは加熱・
加圧によって高分子膜チューブ端末とスリーブとの一体
成形が行われ、該チューブの管壁内外に温水、冷水を流
過させて熱交換させると同時に水中の気泡を該チューブ
の管壁を通して真空チャンバー3へ脱気するもので、前
記熱交換用の伝熱管1が、蛇腹形態で伝熱面積を大きく
して管状ケース内に配備され、該伝熱管1中に真空源3
に連絡した脱気用高分子膜チューブの伝熱管1を内装し
て内外三重管構造としであるが、第8図例のように、同
心円状の伝熱管1.1+をケース2内に装備したり、第
9図例のように伝熱管1の内部に加熱冷却用の流体を通
過させて真空チャンバー3を最外周側に形成し、両者間
にプロセス流体通路を形成してもよいし、第10r2の
ように、前記伝熱管が、高分子膜チューブで内部にプロ
セス液を流過させるものであって、熱交換ゾーンとなる
加熱冷却用チャンバー5と真空脱気ゾーンとなるプロセ
ス流体通路6とに仕切壁8で区画されたケース2中に配
備させた熱交換器と、してもよい。
加圧によって高分子膜チューブ端末とスリーブとの一体
成形が行われ、該チューブの管壁内外に温水、冷水を流
過させて熱交換させると同時に水中の気泡を該チューブ
の管壁を通して真空チャンバー3へ脱気するもので、前
記熱交換用の伝熱管1が、蛇腹形態で伝熱面積を大きく
して管状ケース内に配備され、該伝熱管1中に真空源3
に連絡した脱気用高分子膜チューブの伝熱管1を内装し
て内外三重管構造としであるが、第8図例のように、同
心円状の伝熱管1.1+をケース2内に装備したり、第
9図例のように伝熱管1の内部に加熱冷却用の流体を通
過させて真空チャンバー3を最外周側に形成し、両者間
にプロセス流体通路を形成してもよいし、第10r2の
ように、前記伝熱管が、高分子膜チューブで内部にプロ
セス液を流過させるものであって、熱交換ゾーンとなる
加熱冷却用チャンバー5と真空脱気ゾーンとなるプロセ
ス流体通路6とに仕切壁8で区画されたケース2中に配
備させた熱交換器と、してもよい。
なお、前記加熱冷却用チャンバー5に流入させる加熱流
体としては、蒸気、温水、A風が用いられ、また冷却媒
体としては水道水冷媒などが選んで用いられる。
体としては、蒸気、温水、A風が用いられ、また冷却媒
体としては水道水冷媒などが選んで用いられる。
本発明は、伝熱管が通気性で可撓性のチューブであって
、該チューブを介して脱気用の真空チャンバーと加熱冷
却用チャンバーとを備えたことにより、ケミカルプロセ
ス液の温度調整が容易で、かつ液中に含有される気泡の
排除をも適確に行え、プロセス液の劣化防止に役立つと
ともに、制御系の計測誤差による支障もなく、安全な運
転処理が可能であって、熱交換器として性能をも著しく
向上できるほか、保安管理面もらくで、常時熱交換率も
良好に保つことが容易に可能で保守も闇便であるなどの
実用上の効果がある。
、該チューブを介して脱気用の真空チャンバーと加熱冷
却用チャンバーとを備えたことにより、ケミカルプロセ
ス液の温度調整が容易で、かつ液中に含有される気泡の
排除をも適確に行え、プロセス液の劣化防止に役立つと
ともに、制御系の計測誤差による支障もなく、安全な運
転処理が可能であって、熱交換器として性能をも著しく
向上できるほか、保安管理面もらくで、常時熱交換率も
良好に保つことが容易に可能で保守も闇便であるなどの
実用上の効果がある。
図面は、本発明の実施例を示し、第1図は縦断面図、第
2図は一部の拡大切断側面図、第3図は系統説明図、第
4図は効率と流量との関係線間、第5図は他の実施例の
斜視図、第6図は他の実施例一部切欠側面図、第7図は
一部切欠正面図、第8図乃至第10図はそれぞれ他の実
施例の一部切欠側面図である。 1.1.・・・伝熱管、2・・・ケース、3・・・真空
チャンバー、3I・・・真空源、4・・・チューブプレ
ート、5・・・加熱冷却用チャンバー、6・・・プロセ
ス流体通路、7・・・端板、11・・・流入口、12・
・・流出口。 第1因 第2図 汎i <CC7’m in )
2図は一部の拡大切断側面図、第3図は系統説明図、第
4図は効率と流量との関係線間、第5図は他の実施例の
斜視図、第6図は他の実施例一部切欠側面図、第7図は
一部切欠正面図、第8図乃至第10図はそれぞれ他の実
施例の一部切欠側面図である。 1.1.・・・伝熱管、2・・・ケース、3・・・真空
チャンバー、3I・・・真空源、4・・・チューブプレ
ート、5・・・加熱冷却用チャンバー、6・・・プロセ
ス流体通路、7・・・端板、11・・・流入口、12・
・・流出口。 第1因 第2図 汎i <CC7’m in )
Claims (5)
- (1)温度差のある二流体間で熱の授受を行わせるチュ
ーブ状の伝熱管をチューブプレート或いはチューブヘッ
ダに備えた熱交換器において、前記伝熱管が通気性で可
撓性のチューブであって、該チューブを介して脱気用の
真空チャンバーと加熱冷却用チャンバーとを備えたこと
を特徴とする熱交換器。 - (2)前記伝熱管が、脱気熱交換可能の高分子膜からな
り、該高分子膜チューブを多数平行に配列し、チューブ
プレートに集束したハニカム構造となっていることを特
徴とする熱交換器。 - (3)前記伝熱管が、プラスチック製チューブで加熱・
加圧によって高分子膜チューブ端末とスリーブとの一体
成形が行われ、該チューブの管壁内外に温水、冷水を流
過させて熱交換させると同時に水中の気泡を該チューブ
の管壁を通して真空チャンバーへ脱気するものである請
求項第1又は第2記載の熱交換器。 - (4)前記熱交換用の伝熱管が、蛇腹形態で管状圧力ケ
ース内に配備され、該伝熱管中に真空部に連絡した脱気
用高分子膜チューブを内装して内外三重管構造とした請
求項第2又は第3記載の熱交換器。 - (5)前記伝熱管が、高分子膜チューブで内部にプロセ
ス液を流過させるものであって、熱交換ゾーンと真空脱
気ゾーンとに区画されたケース中に配備されていること
を特徴とする熱交換器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20197288A JPH0252989A (ja) | 1988-08-15 | 1988-08-15 | 熱交換器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20197288A JPH0252989A (ja) | 1988-08-15 | 1988-08-15 | 熱交換器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0252989A true JPH0252989A (ja) | 1990-02-22 |
Family
ID=16449814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20197288A Pending JPH0252989A (ja) | 1988-08-15 | 1988-08-15 | 熱交換器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0252989A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001070366A1 (fr) * | 2000-03-22 | 2001-09-27 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Dégazeur et procédé de dégazage |
| JP2013069949A (ja) * | 2011-09-26 | 2013-04-18 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置 |
-
1988
- 1988-08-15 JP JP20197288A patent/JPH0252989A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2001070366A1 (fr) * | 2000-03-22 | 2001-09-27 | L'air Liquide, Societe Anonyme Pour L'etude Et L'exploitation Des Procedes Georges Claude | Dégazeur et procédé de dégazage |
| JP2013069949A (ja) * | 2011-09-26 | 2013-04-18 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置 |
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