JPH0253231B2 - - Google Patents
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- Publication number
- JPH0253231B2 JPH0253231B2 JP56022395A JP2239581A JPH0253231B2 JP H0253231 B2 JPH0253231 B2 JP H0253231B2 JP 56022395 A JP56022395 A JP 56022395A JP 2239581 A JP2239581 A JP 2239581A JP H0253231 B2 JPH0253231 B2 JP H0253231B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- glaze layer
- thermal head
- wafer
- glaze
- thermal
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Lifetime
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Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B41—PRINTING; LINING MACHINES; TYPEWRITERS; STAMPS
- B41J—TYPEWRITERS; SELECTIVE PRINTING MECHANISMS, i.e. MECHANISMS PRINTING OTHERWISE THAN FROM A FORME; CORRECTION OF TYPOGRAPHICAL ERRORS
- B41J2/00—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed
- B41J2/315—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material
- B41J2/32—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads
- B41J2/345—Typewriters or selective printing mechanisms characterised by the printing or marking process for which they are designed characterised by selective application of heat to a heat sensitive printing or impression-transfer material using thermal heads characterised by the arrangement of resistors or conductors
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、シリアルサーマルヘツドの製法に関
し、特に、耐摩耗性のすぐれたサーマルヘツドを
一枚のウエハーから複数個取り出すためのシリア
ルサーマルヘツドの製法に関する。
し、特に、耐摩耗性のすぐれたサーマルヘツドを
一枚のウエハーから複数個取り出すためのシリア
ルサーマルヘツドの製法に関する。
まず、第1〜3図に基づき、従来のシリアルサ
ーマルヘツドの製法について説明する。
ーマルヘツドの製法について説明する。
第1図から明らかなように、一枚のウエハー1
上にはサーマルヘツドが互いに対向するように配
設され、グレーズ層6の上面部に発熱体5が形成
されており、このグレーズ層6を形成する場合は
第2図に示される開口部12を有するスクリーン
マスク11を用いてウエハー1にグレーズ層用の
ガラスペイントを印刷し、その後に熱処理を行う
と開口部12に対応したグレーズ層6が形成され
る。これに、発熱体5、電極4を形成し、第3図
に示した開口部14を有するマスク13でウエハ
ーを覆い保護膜をその形成領域3に形成する。こ
の場合、このグレーズ層は第1図に示されるよう
に2個分のサーマルヘツドチツプにおける各グレ
ーズ層6が一体となつて形成されることになり、
最終的には第1図のA−A線で切断して2個のサ
ーマルヘツドチツプが出来上がる。このように、
一枚のウエハー1には多数のサーマルヘツドチツ
プ2が同時に形成されているため、A−A線の切
断によつて多数のサーマルヘツドチツプ2が同時
に得られるものである。
上にはサーマルヘツドが互いに対向するように配
設され、グレーズ層6の上面部に発熱体5が形成
されており、このグレーズ層6を形成する場合は
第2図に示される開口部12を有するスクリーン
マスク11を用いてウエハー1にグレーズ層用の
ガラスペイントを印刷し、その後に熱処理を行う
と開口部12に対応したグレーズ層6が形成され
る。これに、発熱体5、電極4を形成し、第3図
に示した開口部14を有するマスク13でウエハ
ーを覆い保護膜をその形成領域3に形成する。こ
の場合、このグレーズ層は第1図に示されるよう
に2個分のサーマルヘツドチツプにおける各グレ
ーズ層6が一体となつて形成されることになり、
最終的には第1図のA−A線で切断して2個のサ
ーマルヘツドチツプが出来上がる。このように、
一枚のウエハー1には多数のサーマルヘツドチツ
プ2が同時に形成されているため、A−A線の切
断によつて多数のサーマルヘツドチツプ2が同時
に得られるものである。
従来におけるサーマルヘツドチツプ2は以上の
ような製法によつて作られるため、このウエハー
をA−A線において切断すると、各サーマルヘツ
ドチツプのグレーズ層6の一端は、第4図におい
て示されるようにその端部7には直角の角部7a
およびグレーズ層6のチツピングによる凹凸部8
が形成される。
ような製法によつて作られるため、このウエハー
をA−A線において切断すると、各サーマルヘツ
ドチツプのグレーズ層6の一端は、第4図におい
て示されるようにその端部7には直角の角部7a
およびグレーズ層6のチツピングによる凹凸部8
が形成される。
第5図は、このようにして製造されたサーマル
ヘツドがシリアルサーマルプリンタに組み込まれ
た使用例を示すもので、第6図a,bはそのとき
のサーマルヘツドの正面図および側面図である。
ヘツドがシリアルサーマルプリンタに組み込まれ
た使用例を示すもので、第6図a,bはそのとき
のサーマルヘツドの正面図および側面図である。
この種シリアルサーマルプリンタは、基板16
上にグレーズ層6、発熱体5等が形成されたサー
マルヘツド15が、感熱紙17を介してプラテン
18に圧接されて配置され、発熱体5に電力を供
給して発熱させて感熱紙17上を摺動しながらそ
の感熱紙17に所望の情報を記録している。
上にグレーズ層6、発熱体5等が形成されたサー
マルヘツド15が、感熱紙17を介してプラテン
18に圧接されて配置され、発熱体5に電力を供
給して発熱させて感熱紙17上を摺動しながらそ
の感熱紙17に所望の情報を記録している。
したがつて、従来の製法により作られたサーマ
ルヘツドのグレーズ層6には、その端部に凹凸部
8が形成されているので、サーマルヘツドが感熱
紙上を摺動する場合、紙がサーマルヘツドの角部
7aで損傷したり、紙かすが出たりしてサーマル
ヘツド自体の寿命を著しく縮めるという欠点を有
する。
ルヘツドのグレーズ層6には、その端部に凹凸部
8が形成されているので、サーマルヘツドが感熱
紙上を摺動する場合、紙がサーマルヘツドの角部
7aで損傷したり、紙かすが出たりしてサーマル
ヘツド自体の寿命を著しく縮めるという欠点を有
する。
本発明は、以上のような欠点のないサーマルヘ
ツドの製法を提供することを目的としている。
ツドの製法を提供することを目的としている。
以下、図面を用いて本発明によるシリアルサー
マルヘツドの製法について説明する。
マルヘツドの製法について説明する。
第7〜10図は、本発明によるシリアルサーマ
ルヘツドの製法の1実施例である。
ルヘツドの製法の1実施例である。
第7図に示すように、一枚のウエハー1に複数
のサーマルヘツドチツプ2を互いに対向させて配
列形成する。6はグレーズ層、3はサーマルヘツ
ドチツプ表面の帯状の領域に形成された保護膜形
成領域、4は保護膜で被覆されていないリード電
極、5は発熱体であり、以下に説明する工程を経
て形成される。
のサーマルヘツドチツプ2を互いに対向させて配
列形成する。6はグレーズ層、3はサーマルヘツ
ドチツプ表面の帯状の領域に形成された保護膜形
成領域、4は保護膜で被覆されていないリード電
極、5は発熱体であり、以下に説明する工程を経
て形成される。
まず、ウエハー1の上面に、第8図に示す細長
い開口部20,21を複数有するスクリーンマス
ク19を用いてガラスペイントを印刷し焼成して
複数のグレーズ層6を得る。
い開口部20,21を複数有するスクリーンマス
ク19を用いてガラスペイントを印刷し焼成して
複数のグレーズ層6を得る。
このとき、第8図のスクリーンマスク19の対
向する開口部20,21の間には、マスキングさ
れガラスペイントが印刷できない部分22があつ
て、この部分が第7図におけるウエハーの分割部
Cに合うように位置合わせをする。
向する開口部20,21の間には、マスキングさ
れガラスペイントが印刷できない部分22があつ
て、この部分が第7図におけるウエハーの分割部
Cに合うように位置合わせをする。
つぎに、発熱体5や、電極4を形成した後、第
3図に示すような開口部14を有するマスク13
を上記ウエハー上にセツトして、五酸化タンタル
や二酸化硅素からなる5〜8μの厚さをもつ保護
膜を、第7図の保護膜形成領域3に形成する。そ
の後、第7図のB,Cの線に沿つてウエハーを分
割して、シリアルサーマルヘツドを得る。
3図に示すような開口部14を有するマスク13
を上記ウエハー上にセツトして、五酸化タンタル
や二酸化硅素からなる5〜8μの厚さをもつ保護
膜を、第7図の保護膜形成領域3に形成する。そ
の後、第7図のB,Cの線に沿つてウエハーを分
割して、シリアルサーマルヘツドを得る。
上述の工程によつて得られるシリアルサーマル
ヘツドは、グレーズ層6を各サーマルヘツドチツ
プにおいて独立したパターンで印刷焼成し、この
グレーズ層から僅かに離れた箇所Cでウエハーの
分割を行うため、分割して得られたサーマルヘツ
ドのグレーズ層は、少なくともこれの稜線部にお
いて鋭利な部分を持たない。
ヘツドは、グレーズ層6を各サーマルヘツドチツ
プにおいて独立したパターンで印刷焼成し、この
グレーズ層から僅かに離れた箇所Cでウエハーの
分割を行うため、分割して得られたサーマルヘツ
ドのグレーズ層は、少なくともこれの稜線部にお
いて鋭利な部分を持たない。
第9図、第10a,bは本発明の製法によるシ
リアルサーマルヘツドの完成状態を示し、基板1
6上には短手方向の断面が円弧状の細長い形状の
凸状のグレーズ層6が形成され、このグレーズの
上面の長手方向稜線9に沿つて発熱体5が複数形
成されている。上記基板16の一端には、外部に
接続するための複数のリード電極4が形成され、
図面には示していないが、上記各発熱体5と上記
リード電極4とは互いに接続されている。上記グ
レーズ層6の長手方向の端部7は、第9図の斜視
図、第10図bの断面図に示すように、グレーズ
層の焼成溶融によつて表面が滑らかでしかも上記
グレーズ層の稜線9から基板の表面に向かつてな
だらかな勾配を持つている面が形成され、従つ
て、第10図bに示す感熱紙17には、上記グレ
ーズ層6の滑らかで連続した表面となる稜線部周
辺が接する構成である。
リアルサーマルヘツドの完成状態を示し、基板1
6上には短手方向の断面が円弧状の細長い形状の
凸状のグレーズ層6が形成され、このグレーズの
上面の長手方向稜線9に沿つて発熱体5が複数形
成されている。上記基板16の一端には、外部に
接続するための複数のリード電極4が形成され、
図面には示していないが、上記各発熱体5と上記
リード電極4とは互いに接続されている。上記グ
レーズ層6の長手方向の端部7は、第9図の斜視
図、第10図bの断面図に示すように、グレーズ
層の焼成溶融によつて表面が滑らかでしかも上記
グレーズ層の稜線9から基板の表面に向かつてな
だらかな勾配を持つている面が形成され、従つ
て、第10図bに示す感熱紙17には、上記グレ
ーズ層6の滑らかで連続した表面となる稜線部周
辺が接する構成である。
上記グレーズ層の端部7の表面が曲面を形成し
ていることが、本発明により得られるサーマルヘ
ツドの最大の特徴であり、第10図bにおいて、
感熱紙17にサーマルヘツド15を接触させ、摺
動させて印字動作をさせたとき、グレーズ層に従
来のような鋭利な部分が感熱紙との摺動面にない
ため、感熱紙17が削られてしまうことがなく、
安定した摺動を行うことができる。
ていることが、本発明により得られるサーマルヘ
ツドの最大の特徴であり、第10図bにおいて、
感熱紙17にサーマルヘツド15を接触させ、摺
動させて印字動作をさせたとき、グレーズ層に従
来のような鋭利な部分が感熱紙との摺動面にない
ため、感熱紙17が削られてしまうことがなく、
安定した摺動を行うことができる。
上記実施例では、グレーズ層から僅かに離れた
箇所Cでウエハーの分割を行つているが、グレー
ズ層の稜線9から基板に向かつてなだらかな勾配
を持つている面でウエハーを分割しても上記実施
例と同様な効果が得られる。
箇所Cでウエハーの分割を行つているが、グレー
ズ層の稜線9から基板に向かつてなだらかな勾配
を持つている面でウエハーを分割しても上記実施
例と同様な効果が得られる。
第11図a,b、第12図は、さらに別の実施
例を示す。23は、ウエハー1の主面に設けられ
た適度な傾斜面を持つV字型の溝であつて、グレ
ーズ層6はこの溝23をまたいで互いに対向した
2つのサーマルヘツドチツプ2の間で連なつて形
成されており、以下に説明する工程を経て形成さ
れる。
例を示す。23は、ウエハー1の主面に設けられ
た適度な傾斜面を持つV字型の溝であつて、グレ
ーズ層6はこの溝23をまたいで互いに対向した
2つのサーマルヘツドチツプ2の間で連なつて形
成されており、以下に説明する工程を経て形成さ
れる。
まず、第7図に示す分割部B,Cに対応する部
位に溝23を形成した後、第8図のスクリーンマ
スク19をガラスペイントが印刷されない部分2
2を分割部Cに対応する溝23に合わせて、ガラ
スペイントを印刷し、焼成して、複数のグレーズ
層6を得る。
位に溝23を形成した後、第8図のスクリーンマ
スク19をガラスペイントが印刷されない部分2
2を分割部Cに対応する溝23に合わせて、ガラ
スペイントを印刷し、焼成して、複数のグレーズ
層6を得る。
このような溝23をまたいで印刷、焼成された
グレーズ層6は、第11図bにその断面図を示す
ように、上記溝23において、この溝のくぼみと
グレーズの焼成溶融時の溝への流れ込みによつ
て、グレーズ層表面の上記溝23におけるくぼみ
kをもたらす。
グレーズ層6は、第11図bにその断面図を示す
ように、上記溝23において、この溝のくぼみと
グレーズの焼成溶融時の溝への流れ込みによつ
て、グレーズ層表面の上記溝23におけるくぼみ
kをもたらす。
つぎに、第7図に示す実施例と同様にして、発
熱体5、リード電極4、保護膜を形成する。その
後、溝23に沿つてウエハーを分割してシリアル
サーマルヘツドを得る。
熱体5、リード電極4、保護膜を形成する。その
後、溝23に沿つてウエハーを分割してシリアル
サーマルヘツドを得る。
したがつて、上記第11図aのウエハー1を溝
23において分割して得られたシリアルサーマル
ヘツドは、第12図にその断面図を示すように、
基板端部における分割面Xは、感熱紙17との接
触部分から離れ、少なくともグレーズ層表面の感
熱紙との接触部分近傍は滑らかな曲面となる。
23において分割して得られたシリアルサーマル
ヘツドは、第12図にその断面図を示すように、
基板端部における分割面Xは、感熱紙17との接
触部分から離れ、少なくともグレーズ層表面の感
熱紙との接触部分近傍は滑らかな曲面となる。
以上のように形成された本発明によるシリアル
サーマルヘツドは、細長いグレーズ層の長手方向
の端部表面が、滑なかな曲面となつているため、
サーマルヘツドが感熱紙とさまざまな方向に摺動
しながら印字動作をするシリアルサーマルプリン
タにおいても、感熱紙表面の削り取りが起こら
ず、長時間の印字動作により生じる紙カスの量
は、第13図に示すように従来の鋭利な端部を持
つグレーズ層のサーマルヘツドの場合に比べ、き
わめて少ない。それによつて、第14図、第15
図、第16図に示すように、サーマルヘツドの表
面におけるキズや摩耗量、プリンタの紙粉による
異常発生率も従来のものに比べて大幅に改善でき
る。
サーマルヘツドは、細長いグレーズ層の長手方向
の端部表面が、滑なかな曲面となつているため、
サーマルヘツドが感熱紙とさまざまな方向に摺動
しながら印字動作をするシリアルサーマルプリン
タにおいても、感熱紙表面の削り取りが起こら
ず、長時間の印字動作により生じる紙カスの量
は、第13図に示すように従来の鋭利な端部を持
つグレーズ層のサーマルヘツドの場合に比べ、き
わめて少ない。それによつて、第14図、第15
図、第16図に示すように、サーマルヘツドの表
面におけるキズや摩耗量、プリンタの紙粉による
異常発生率も従来のものに比べて大幅に改善でき
る。
第1図は、ウエハーから多数個のサーマルヘツ
ドを取る場合の従来の例を示す一部平面図、第2
図は、第1図におけるグレーズ印刷に用いるスク
リーンマスクを示す平面図、第3図は、第1図に
おける保護膜形成用マスクを示す一部平面図、第
4図は、第1図の方法により得られたサーマルヘ
ツドの斜視図、第5図は、シリアルサーマルプリ
ンタの一般的構成を一部切り欠いて示した斜視
図、第6図aは、第5図におけるサーマルヘツド
の正面図、第6図bは、第5図における側面図、
第7図は、本発明によるウエハー上のサーマルヘ
ツドチツプの配置を示す平面図、第8図は、第7
図においてグレーズ層印刷に用いるスクリーンマ
スクを示す平面図、第9図は、本発明により得ら
れるサーマルヘツドの斜視図、第10図aは、第
9図のサーマルヘツドの正面図、第10図bは、
第9図のサーマルヘツドと感熱紙との関係を示す
側面図、第11図a,bは、本発明の他の実施例
によるウエハー上のサーマルヘツドチツプの配置
を示す平面図および側面図、第12図は、第11
図の方法により得られたサーマルヘツドチツプと
感熱紙との関係を示す側面図、第13図、第14
図、第15図、第16図は、従来のサーマルヘツ
ドと本発明により得られたサーマルヘツドとの性
能の比較例で、それぞれヘツドの摺動距離に対す
る感熱紙の削りカス量、ヘツド表面のキズ量、ヘ
ツドの摩耗量およびプリンタの異常発生率を示す
図である。 1……ウエハー、2……サーマルヘツドチツ
プ、3……保護膜形成領域、4……リード電極、
5……発熱体、6……グレーズ層、7……長手方
向の端部、8……凹凸部、9……稜線、11……
スクリーンマスク、12……開口部、13……マ
スク、14……開口部、15……サーマルヘツ
ド、16……基板、17……感熱紙、18……プ
ラテン、19……スクリーンマスク、20,21
……開口部、22……印刷できない部分、23…
…V字型の溝。
ドを取る場合の従来の例を示す一部平面図、第2
図は、第1図におけるグレーズ印刷に用いるスク
リーンマスクを示す平面図、第3図は、第1図に
おける保護膜形成用マスクを示す一部平面図、第
4図は、第1図の方法により得られたサーマルヘ
ツドの斜視図、第5図は、シリアルサーマルプリ
ンタの一般的構成を一部切り欠いて示した斜視
図、第6図aは、第5図におけるサーマルヘツド
の正面図、第6図bは、第5図における側面図、
第7図は、本発明によるウエハー上のサーマルヘ
ツドチツプの配置を示す平面図、第8図は、第7
図においてグレーズ層印刷に用いるスクリーンマ
スクを示す平面図、第9図は、本発明により得ら
れるサーマルヘツドの斜視図、第10図aは、第
9図のサーマルヘツドの正面図、第10図bは、
第9図のサーマルヘツドと感熱紙との関係を示す
側面図、第11図a,bは、本発明の他の実施例
によるウエハー上のサーマルヘツドチツプの配置
を示す平面図および側面図、第12図は、第11
図の方法により得られたサーマルヘツドチツプと
感熱紙との関係を示す側面図、第13図、第14
図、第15図、第16図は、従来のサーマルヘツ
ドと本発明により得られたサーマルヘツドとの性
能の比較例で、それぞれヘツドの摺動距離に対す
る感熱紙の削りカス量、ヘツド表面のキズ量、ヘ
ツドの摩耗量およびプリンタの異常発生率を示す
図である。 1……ウエハー、2……サーマルヘツドチツ
プ、3……保護膜形成領域、4……リード電極、
5……発熱体、6……グレーズ層、7……長手方
向の端部、8……凹凸部、9……稜線、11……
スクリーンマスク、12……開口部、13……マ
スク、14……開口部、15……サーマルヘツ
ド、16……基板、17……感熱紙、18……プ
ラテン、19……スクリーンマスク、20,21
……開口部、22……印刷できない部分、23…
…V字型の溝。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 少なくとも、グレーズ層と、発熱体と、該発
熱体に電力を供給する電極を有するシリアルサー
マルヘツドを製造する方法において、一枚のウエ
ハー上に、前記個々のシリアルサーマルヘツドを
構成する細長いグレース層を間〓をもつて相対し
て複数印刷し、前記グレーズ層の稜線(凸部の最
も高い部分)方向の両端部を焼成溶融によつて該
稜線からウエハーの表面に向かつて滑らかな傾斜
面を形成し、前記グレーズ層の稜線の表面に沿つ
て複数個の発熱体を形成し、前記発熱体に電力を
供給する電極を形成し、更に、前記ウエハーをグ
レーズ層の長手方向稜線となるグレーズ層の傾斜
面、もしくは、前記傾斜面の外側で分割するとと
もに隣接するサーマルヘツドとの境界線で分割す
ることによつて、一枚のウエハーから複数のサー
マルヘツドを得ることを特徴とするシリアルサー
マルヘツドの製法。 2 前記ウエハー上に、予めシリアルサーマルヘ
ツドを分割するV字型の溝部を形成し、前記グレ
ーズ層を前記溝部を挟んで間〓をもつて相対して
複数印刷することを特徴とする特許請求の範囲第
1項記載のシリアルサーマルヘツドの製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56022395A JPS57137172A (en) | 1981-02-18 | 1981-02-18 | Serial thermal printing head and manufacture thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP56022395A JPS57137172A (en) | 1981-02-18 | 1981-02-18 | Serial thermal printing head and manufacture thereof |
Related Child Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28062289A Division JPH02160559A (ja) | 1989-10-27 | 1989-10-27 | シリアルサーマルプリントヘッド |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57137172A JPS57137172A (en) | 1982-08-24 |
| JPH0253231B2 true JPH0253231B2 (ja) | 1990-11-16 |
Family
ID=12081462
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP56022395A Granted JPS57137172A (en) | 1981-02-18 | 1981-02-18 | Serial thermal printing head and manufacture thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS57137172A (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2599948B2 (ja) * | 1988-01-06 | 1997-04-16 | ローム株式会社 | サーマルヘッドの製造方法 |
| JPH02160559A (ja) * | 1989-10-27 | 1990-06-20 | Seiko Instr Inc | シリアルサーマルプリントヘッド |
Family Cites Families (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5640571A (en) * | 1979-09-11 | 1981-04-16 | Rohm Co Ltd | Thermal print head |
| JPS56131992A (en) * | 1980-03-19 | 1981-10-15 | Tokyo Shibaura Electric Co | Glazed board |
| JPS5746893A (en) * | 1980-08-18 | 1982-03-17 | Rohm Co Ltd | Manufacture of thermal printing head |
| JPS5749579A (en) * | 1980-09-08 | 1982-03-23 | Rohm Co Ltd | Thermal printer head |
-
1981
- 1981-02-18 JP JP56022395A patent/JPS57137172A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57137172A (en) | 1982-08-24 |
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