JPH025393Y2 - - Google Patents
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- JPH025393Y2 JPH025393Y2 JP8842381U JP8842381U JPH025393Y2 JP H025393 Y2 JPH025393 Y2 JP H025393Y2 JP 8842381 U JP8842381 U JP 8842381U JP 8842381 U JP8842381 U JP 8842381U JP H025393 Y2 JPH025393 Y2 JP H025393Y2
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- thin film
- interference filter
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- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 12
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 12
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- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 11
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Landscapes
- Spectrometry And Color Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は受光した任意の色光を３つの基本と
なる色光に分光するとともに、それらを光電変換
する色識別素子に関する。
なる色光に分光するとともに、それらを光電変換
する色識別素子に関する。
物体色あるいは発光色などの色光を識別して、
その色を測定する光電色彩計では、色識別素子が
使用され、直接色の三刺激値Ｘ，Ｙ，Ｚを求めて
おり、この際の色識別の精度は色識別素子の分光
感度に依存していることは周知の通りである。
その色を測定する光電色彩計では、色識別素子が
使用され、直接色の三刺激値Ｘ，Ｙ，Ｚを求めて
おり、この際の色識別の精度は色識別素子の分光
感度に依存していることは周知の通りである。
このような色識別素子は、受光器としての光電
素子と、適当な分光透過特性のフイルタとを組合
わせたものである。本来、フイルタの特性は等色
関数ｘ，ｙ，ｚに合致しているのが好ましいので
あるが、このようなフイルターを製作することは
困難である。そこで、従来は、公知の金属薄膜干
渉フイルター（銀干渉フイルターと称されてい
る）を使用し、その分光透過特性をカラーフイル
ターで補正して、全体としての分光透過特性を等
色関数に合致させる試みがなされている。
素子と、適当な分光透過特性のフイルタとを組合
わせたものである。本来、フイルタの特性は等色
関数ｘ，ｙ，ｚに合致しているのが好ましいので
あるが、このようなフイルターを製作することは
困難である。そこで、従来は、公知の金属薄膜干
渉フイルター（銀干渉フイルターと称されてい
る）を使用し、その分光透過特性をカラーフイル
ターで補正して、全体としての分光透過特性を等
色関数に合致させる試みがなされている。
しかしながら、銀干渉フイルターの分光透過特
性は、長波側の透過波長の半値幅が小さく、短波
長側の透過波長の半値幅が大きい。ところが、等
色関数ｘ，ｚの半値幅は逆の関係になつている。
そのため、銀干渉フイルターにカラーフイルター
を組合わせても、その分光透過特性を等色関数に
合致させることはできていない。さらに、銀薄膜
は基板に対する付着力が弱い上に、反射率特性の
経時変化が大きい。この考案はこのような欠点に
着目してなされたものであり、その目的とすると
ころは、等色関数に合致した分光透過特性を有す
るとともに、経時変化の少ない金属干渉フイルタ
ーを備え、高精度の色識別を可能にする色識別素
子を提供することにある。
性は、長波側の透過波長の半値幅が小さく、短波
長側の透過波長の半値幅が大きい。ところが、等
色関数ｘ，ｚの半値幅は逆の関係になつている。
そのため、銀干渉フイルターにカラーフイルター
を組合わせても、その分光透過特性を等色関数に
合致させることはできていない。さらに、銀薄膜
は基板に対する付着力が弱い上に、反射率特性の
経時変化が大きい。この考案はこのような欠点に
着目してなされたものであり、その目的とすると
ころは、等色関数に合致した分光透過特性を有す
るとともに、経時変化の少ない金属干渉フイルタ
ーを備え、高精度の色識別を可能にする色識別素
子を提供することにある。
この考案は上記目的を達成するため、金属干渉
フイルターをアルミニウム薄膜により形成したこ
とを特徴とするものである。
フイルターをアルミニウム薄膜により形成したこ
とを特徴とするものである。
以下、この考案の一実施例を添付図面に基づい
て詳細に説明する。
て詳細に説明する。
第１図および第２図はこの考案に係る色識別素
子を示す概略図であり、この色識別素子は、ｎ型
シリコン基板１にボロン等を拡散ドープして形成
されたｐ−ｎ接合部を有する受光器としての光電
素子２，３，４，５と、これら光電素子２，３，
４，５に蒸着形成されたMgF2やZnS等の透明誘
導体薄膜からなる中間層６と、この中間層６の表
面に蒸着形成されたアルミニウム薄膜７とからな
つている。
子を示す概略図であり、この色識別素子は、ｎ型
シリコン基板１にボロン等を拡散ドープして形成
されたｐ−ｎ接合部を有する受光器としての光電
素子２，３，４，５と、これら光電素子２，３，
４，５に蒸着形成されたMgF2やZnS等の透明誘
導体薄膜からなる中間層６と、この中間層６の表
面に蒸着形成されたアルミニウム薄膜７とからな
つている。
アルミニウム薄膜７からなる金属干渉フイルタ
ーは次のような観点から形成される。すなわち、
等色関数ｘ（長波長側）の半値幅は約1000Å、等
色関数ｚ（短波長側）の半値幅は約500Åであり、
等色関数に合致した金属干渉フイルターとするに
は、当該金属干渉フイルターの透過波長の半値幅
は短波長側の方が長波長側に比して小さいことが
必要である。一方、透過波長の半値幅は金属薄膜
の反射率に依存し、当該半値幅が小さいとは当該
金属薄膜の反射率が大きいことを意味している。
そして、アルミニウム薄膜の反射率は短波長側に
向つて増大していく特性を有している。ちなみ
に、銀薄膜の反射率特性は逆である。従つて、金
属干渉フイルターをアルミニウム薄膜にて形成さ
せれば、当該色識別素子の分光感度を等色関数に
容易に合致させることができる。なお、中間層１
３の厚みは、透過ピーク波長を決めるもので、等
色関数ｘ，ｙ，ｚのピーク波長に一致するように
してある。
ーは次のような観点から形成される。すなわち、
等色関数ｘ（長波長側）の半値幅は約1000Å、等
色関数ｚ（短波長側）の半値幅は約500Åであり、
等色関数に合致した金属干渉フイルターとするに
は、当該金属干渉フイルターの透過波長の半値幅
は短波長側の方が長波長側に比して小さいことが
必要である。一方、透過波長の半値幅は金属薄膜
の反射率に依存し、当該半値幅が小さいとは当該
金属薄膜の反射率が大きいことを意味している。
そして、アルミニウム薄膜の反射率は短波長側に
向つて増大していく特性を有している。ちなみ
に、銀薄膜の反射率特性は逆である。従つて、金
属干渉フイルターをアルミニウム薄膜にて形成さ
せれば、当該色識別素子の分光感度を等色関数に
容易に合致させることができる。なお、中間層１
３の厚みは、透過ピーク波長を決めるもので、等
色関数ｘ，ｙ，ｚのピーク波長に一致するように
してある。
また、等色関数ｘは短波長側と長波長側とにそ
れぞれピークがあり、他の等色関数ｙ，ｚはそれ
ぞれ１つのピークを有している。そのため、４個
の光電素子２，３，４，５を用意し、光電素子
２，３は等色関数ｘに、光電素子４，５は等色関
数ｙ，ｚにそれぞれ対応させている。そして、こ
れら光電素子２，３，４，５の受光面は、その面
積比を等色関数ｘ，ｙ，ｚに対応するアルミニウ
ム薄膜の最大透過率に比例させ、その配置によつ
て、対象物体からの拡散反射光に対する当該色識
別素子の分光感度特性が補正されている。
れぞれピークがあり、他の等色関数ｙ，ｚはそれ
ぞれ１つのピークを有している。そのため、４個
の光電素子２，３，４，５を用意し、光電素子
２，３は等色関数ｘに、光電素子４，５は等色関
数ｙ，ｚにそれぞれ対応させている。そして、こ
れら光電素子２，３，４，５の受光面は、その面
積比を等色関数ｘ，ｙ，ｚに対応するアルミニウ
ム薄膜の最大透過率に比例させ、その配置によつ
て、対象物体からの拡散反射光に対する当該色識
別素子の分光感度特性が補正されている。
なお、アルミニウム薄膜の膜厚を大きくすれ
ば、反射率が増大し、透過波長の半値幅が小さく
なる。一方、膜厚が大きくなると、最大透過率が
犠牲となり、その絶対値が小さくなる。また、等
色関数ｚの最大透過率は他の等色関数ｘ，ｙの最
大透過率の1.5倍以上必要とする。従つて、アル
ミニウム薄膜の膜厚で反射率を制御することは可
能であるが、この場合には、光電素子２，３，
４，５の受光面の面積比バランス崩さないように
する必要がある。
ば、反射率が増大し、透過波長の半値幅が小さく
なる。一方、膜厚が大きくなると、最大透過率が
犠牲となり、その絶対値が小さくなる。また、等
色関数ｚの最大透過率は他の等色関数ｘ，ｙの最
大透過率の1.5倍以上必要とする。従つて、アル
ミニウム薄膜の膜厚で反射率を制御することは可
能であるが、この場合には、光電素子２，３，
４，５の受光面の面積比バランス崩さないように
する必要がある。
以上説明したように、この考案によれば、アル
ミニウム薄膜によつて金属干渉フイルターを構成
したので、色識別素子の分光感度特性を等色関数
に合致させることができる。また、アルミニウム
薄膜はシリコン基板上に蒸着形成されても、その
密着力は優れており、反射率の経時変化は少な
い。従つて、経済的で安定した色識別素子を提供
できる。
ミニウム薄膜によつて金属干渉フイルターを構成
したので、色識別素子の分光感度特性を等色関数
に合致させることができる。また、アルミニウム
薄膜はシリコン基板上に蒸着形成されても、その
密着力は優れており、反射率の経時変化は少な
い。従つて、経済的で安定した色識別素子を提供
できる。
第１図はこの考案に係る色識別素子の一実施例
を示すその概略平面図、第２図は第１図Ａ−Ａ矢
視断面図である。 ２，３，４，５…光電素子、７…アルミニウム
薄膜。
を示すその概略平面図、第２図は第１図Ａ−Ａ矢
視断面図である。 ２，３，４，５…光電素子、７…アルミニウム
薄膜。
Claims (1)
- 受光器としての光電素子と、金属薄膜からなる
干渉フイルターとを組合わせ、任意のスペクトル
分布を有する色光を３つの基本色光に分光し、こ
れを光電変換する色識別素子にして、上記干渉フ
イルターはアルミニウム薄膜からなり、当該色識
別素子の分光感度特性をXYZ表色系の等色関係
に合致させるようにしたことを特徴とする色識別
素子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8842381U JPH025393Y2 (ja) | 1981-06-16 | 1981-06-16 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8842381U JPH025393Y2 (ja) | 1981-06-16 | 1981-06-16 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS57199829U JPS57199829U (ja) | 1982-12-18 |
| JPH025393Y2 true JPH025393Y2 (ja) | 1990-02-08 |
Family
ID=29883594
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8842381U Expired JPH025393Y2 (ja) | 1981-06-16 | 1981-06-16 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH025393Y2 (ja) |
-
1981
- 1981-06-16 JP JP8842381U patent/JPH025393Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS57199829U (ja) | 1982-12-18 |
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