JPH0433147B2 - - Google Patents

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JPH0433147B2
JPH0433147B2 JP58101001A JP10100183A JPH0433147B2 JP H0433147 B2 JPH0433147 B2 JP H0433147B2 JP 58101001 A JP58101001 A JP 58101001A JP 10100183 A JP10100183 A JP 10100183A JP H0433147 B2 JPH0433147 B2 JP H0433147B2
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JP
Japan
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blue
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red
thin film
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JP58101001A
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English (en)
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JPS59227171A (ja
Inventor
Kazutami Kawamura
Seigo Oono
Masakazu Kato
Yoichi Nishioka
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Oki Electric Industry Co Ltd
Original Assignee
Oki Electric Industry Co Ltd
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    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F77/00Constructional details of devices covered by this subclass
    • H10F77/30Coatings
    • H10F77/306Coatings for devices having potential barriers
    • H10F77/331Coatings for devices having potential barriers for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
    • HELECTRICITY
    • H10SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H10FINORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
    • H10F30/00Individual radiation-sensitive semiconductor devices in which radiation controls the flow of current through the devices, e.g. photodetectors
    • H10F30/20Individual radiation-sensitive semiconductor devices in which radiation controls the flow of current through the devices, e.g. photodetectors the devices having potential barriers, e.g. phototransistors
    • H10F30/21Individual radiation-sensitive semiconductor devices in which radiation controls the flow of current through the devices, e.g. photodetectors the devices having potential barriers, e.g. phototransistors the devices being sensitive to infrared, visible or ultraviolet radiation

Landscapes

  • Optical Filters (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Light Receiving Elements (AREA)

Description

【発明の詳細な説明】 (技術分野) 本発明は青色、緑色及び赤色の3色識別用のカ
ラーセンサに関するものである。
(従来技術) 従来のカラーセンサは一般に認識すべき対象物
体からの光をプリズムや光学フイルタを用いて青
色、緑色、赤色の3色帯に分光し、これらの3色
帯に3ケの受光センサを対応させる構成として識
別するものであつた。
そして近年、所謂CCDセンサのような2次元
受光センサが実用化され、これらに青色、緑色、
及び赤色の色素を集積化したカラーフイルタアレ
イを結合し2次元カラーセンサを構成する方法が
試みられている。
かかるカラーセンサは、対象物体光を分光する
カラーフイルタと受光センサとを結合したもので
あるが、特に前記カラーフイルタの作成工程が非
常に複雑であり、又該受光センサとカラーフイル
タとの光学的結合には著しく高精度が要求される
等量産性を妨げ更にコスト高を招く等の欠点があ
つた。
(発明の目的) ここに本発明者等はかかる欠点を解消すべく多
数の試験研究を重ねた結果、上記青色、緑色及び
赤色の三原色フイルタ機能が、受光ダイオードを
構成する特定の色素による有機半導体薄膜の積層
組合わせによつて実現され得ること、そしてかか
る受光ダイオードによりカラーフイルタとの結合
を不用とする等上記コスト上の問題を解決し安価
で且つ集積化の容易なカラーセンサを提供し得る
ことを見出しこの発明に到達したものである。
(発明の構成) 即ち本発明は、可視領域で異なる吸収スペクト
ルを有する有機半導体薄膜と、該有機半導体とは
電気伝導形の異なる半導体薄膜又は金属薄膜とに
よつて形成されるヘテロpnダイオード又はシヨ
ツトキダイオードを同一基板上に構成した青色、
緑色及び赤色の三色検出用カラーセンサであつ
て、前記有機半導体薄膜として、青色:メロシア
ニン系色素、緑色:メロシアニン系色素及び
の積層、更に赤色:フタロシアニン系顔料及び
上記色素、の積層により構成してなるカラー
センサである。
先ずここで後記詳述する色素(又は顔料)によ
る半導体薄膜の選択並びにこれらの積層構造化に
よつて三原色即ち青色、緑色及び赤色のフイルタ
機能を付与し得ることに関して説明する。
第1図には本発明で用いられる下記式(1)〜(3)で
示されるメロシアニン色素及び、及びフタロ
シアニン顔料による有機半導体薄膜の可視領域で
の光吸収スペクトルを表わしたもので、図中1は
前述のメロシアニン色素、2は同色素、3は
具体的にマグネシウムフタロシアニンのそれであ
る。
(式中MはMg、Al、Ga、In、XはCl、Br、I
を表わす) そしてこれらの有機半導体は金属とのシヨツト
キバリヤダイオードを形成した場合、その光感度
スペクトルは光吸収スペクトルと一致することが
知られている。
第1図からメロシアニン色素は青色の光吸収
特性を持つていることが明らかであり、該色素
膜単独にて青色のフイルタ機能を奏する。
次にメロシアニン色素は、青色と緑色の両色
帯に光吸収特性を示すが、第2図aに示すように
該色素21と色素22とを積層させ、白色光
20を照射すると色素21のフイルタ作用によ
り該色素22による光吸収スペクトルは第2図
bに示す如く緑色帯のみの光吸収スペクトルに整
形される。
更に一般にフタロシアニン系有機半導体は、緑
色、赤色及び近赤外帯にわたり巾広い光吸収スペ
クトルを示すことが知られているがその一例の上
記マグネシウムフタロシアニンの光吸収スペクト
ルは、第1図3に示されている。そこで同様に第
3図bの如く上記メロシアニン色素21、色素
22、マグネシウムフタロシアニン33を積層
させ、白色光30を照射させたところ同図bのよ
うに緑色帯成分は除去され赤色帯と近赤外帯とに
整形される。この近赤外帯吸収特性は可視領域で
透明で近赤外にて吸収性を有するフイルタを使用
して除去すれば良い。
以上詳述したようにメロシアニン色素により
青色帯光を、同メロシアニン色素と色素との
積層で緑色帯光を、更にこれら色素と及びマ
グネシウムフタロシアニンの積層により赤色帯光
を夫々吸収させるように、これら色素等による有
機半導体の層構造を作り、色識別が可能であるこ
とが明らかである。
(実施態様) 次に本発明を具体的に実施態様により説明す
る。
第4図は本発明によるカラーセンサの構造を示
す断面図であり、透明電極46が形成された透明
基板47上に、後記する青色感光素子401、緑
色感光素子402、及び赤色感光素子403が
夫々公知の蒸着法による薄膜形成法、及び写真食
刻法更に選択エツチング法等を用いて形成されて
いる。図中21は色素、22は色素、更に3
3はフタロシアニン、44はZnO n型半導体
(又はAl)、45は電極、40は認識すべき物体
光の入射方向を示し、更に48は可視領域で透明
で近赤外線を吸収するフイルタであり、かかるフ
イルタの一例として、第5図に示すような光透過
特性を有する市販の色ガラスフイルタが利用可能
である。
本発明の受光機構について上記の赤色感光素子
403を例にとり説明する。メロシアニン色素
21、色素22及びフタロシアニン層33はす
べてp型半導体であり、44はZnOによるn型の
半導体である。該ZnO半導体はAl等の金属であ
つても良いが公知の如く、光電流に寄与するのは
pn接合近傍又はシヨツトバリヤ近傍での光吸収
によつて発生したホールおよび電子のキヤリヤで
ある。
従つて該44がZnO半導体の場合、ZnOは可視
領域で透明であることから、光電流に寄与するの
はフタロシアニン層33側で発生したキヤリヤで
あり、該フタロシアニン43の膜厚をpn接合の
p領域の空乏層巾と同程度に選んでおけば、前記
色素22および同色素42内で発生したキヤ
リヤは光電流にほとんど寄与せず光電流波長特性
はフタロシアニン内の光吸収量特性と一致する。
従つて色素21および色素22はフイルタと
してのみ作用することになる。
又、上記44にて示す層をAl等としたシヨツ
トキバリヤを形成する場合も、光電流に寄与する
のは有機半導体33の空乏層内で発生したキヤリ
ヤであることは公知であるから、この場合も交電
流波長特性はフタロシアニン層33内の光吸収
(光学密度)特性と一致する。
上記青色感光素子401および緑色感光素子4
02に関しても、それぞれの光電流波長特性は同
色素21及び色素22内での光吸収(光学密
度)と一致することが同様にして明らかである。
以上のことからこの実施態様によるカラーセン
サの吸収特性は第6図に示す通りであり、図中6
1は青色感光素子、62は緑色感光素子及び63
は赤色感光素子の夫々感度特性を表わしている。
このようにかかる実施態様の如く構成すること
により青色、緑色及び赤色の3原色を分光するた
めの光学フイルタを用いることなく、同一基板上
において上記三原色を識別する各感光素子を構成
することができる。
第7図は他の実施態様を示すものであり、上記
の各青色、緑色及び赤色の受光素子を一組とし
て、これらを同一基板707に2次元的に配列し
たものである。
かかるカラーセンサは蒸着膜にて構成されるこ
とから大面積カラーセンサが安価に得られるとい
う利点がある。
(発明の効果) 本発明は以上の如くpn接合又はシヨツトキバ
リヤダイオードを構成する上記特性の有機半導体
薄膜を選択して用い又これらを組合わせた積層構
造としたことによつて3原色に対する光学的フイ
ルタ機能を具備させることができ、従来の如くカ
ラーフイルタを併用することなく物体光のカラー
検出を可能ならしめたものであり、しかも本発明
構成によれば特に蒸着膜にて形成されるので製作
上の問題が解消され特に大面積、高集積のライン
又は面センサが安価に得られる等その工業的効果
は極めて高い。
【図面の簡単な説明】
第1図はメロシアニン色素、及び同色素更
にマグネシウムフタロシアニンの光吸収特性図、
第2図aは同色素と色素との積層構造断面
図、第2図bは同組合せの光吸収特性図、第3図
aは同色素、及びマグネシウムフタロシアニ
ン薄膜積層構造断面図、第3図bは同光吸収特性
図、第4図は本発明の一実施態様品の構造断面
図、第5図は市販近赤外線カツトフイルタの透過
率特性図、第6図は本発明のカラーフイルタの光
感度特性図、第7図は本発明におけるカラーセン
サを2次元配列した他の態様を表わす平面図であ
る。 21……メロシアニン色素、22……同色素
、33……フタロシアニン顔料、20,30,
40……光、44……ZnO n型半導体、45…
…電極、47,707……透明基板、401,4
02,403……青色、緑色及び赤色各感光素
子。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 1 可視領域で異なる吸収スペクトルを有する有
    機半導体薄膜と、該有機半導体とは電気伝導形の
    異なる半導体薄膜又は金属薄膜とによつて形成さ
    れるヘテロpnダイオード又はシヨツトキダイオ
    ードを同一基板上に構成した青色、緑色及び赤色
    の三色検出用カラーセンサであつて、前記有機半
    導体薄膜として、青色:メロシアニン系色素、
    緑色:メロシアニン系色素及びの積層、更に
    赤色:フタロシアニン系顔料及び上記色素、
    の積層により構成してなるカラーセンサ。
JP58101001A 1983-06-08 1983-06-08 カラ−センサ Granted JPS59227171A (ja)

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