JPH0253964U - - Google Patents

Description

【図面の簡単な説明】

第１図は本考案に係るデイスク連続蒸着装置の
斜視図（部分破断図）を、第２図はそのデイスク
出入れ室部分を主とした断面図を、第３図はその
蒸着室を主とした断面図を、第４図はその平面図
を示す。第５図は、従来のデイスク連続蒸着装置
の斜視図（部分破断図）を示す。 １…真空チヤンバー、３…回転テーブル、４…
デイスク受台、７…デイスク受台保持具、１０…
エアーシリンダー、１３…真空排気口、１６…デ
イスク出入室、１６′…デイスク出入室取付位置
、１７…弁体、１７′…中心筒、１８…シリンダ
ー連結板、１９…エアーシリンダー、２１…ベア
リング、２４…リーク弁体、２５…カラー、２７
…回転軸、３０…デイスク、３１…テフロン製ス
リーブ、３２…絶縁材、３３…絶縁材、３４…ピ
ン、３５…蒸着室、３５′…蒸着室取付位置、３
６…外周マスク、３７…陰極、３８…中心マスク
、３９…ターゲツト、４０…２重シール機構、４
１…エアーシリンダー、１０４…シール材、１０
５…シール材、１０６…シール材、２０１…イン
デツクスモーター、２０２…油拡散ポンプ、２０
３…スペース、２０４，２０５…水冷管、３０１
…ドーナツ形回転テーブル、３０２…ギア、３０
３…ギア、３０４…モーター、３０５…仕切板、
３０６…真空ポンプ、３１１…真空チヤンバー、
３１６…デイスク出入室、３３５…蒸着室。

Claims (1)

1. 【実用新案登録請求の範囲】 １ 真空チヤンバー、蒸着室、デイスク出入室、
   前記真空チヤンバー内に設けられた回転テーブル
   、該回転テーブル中心を通り、該回転テーブルに
   固定された回転軸及び該回転軸を回転させるモー
   ターよりなり、該モーターを上記真空室の外に設
   けたデイスク連続蒸着装置。 ２ 真空チヤンバーと回転テーブルの中央部分と
   の間にスペースをほとんど設けず、真空チヤンバ
   ーと回転テーブルのデイスク載置部周囲との間に
   スペースを設け、蒸着室前後で前記スペースを塞
   ぐカラーを設けた請求項１記載のデイスク連続蒸
   着装置。 ３ 蒸着室内に蒸着時にデイスクの一部を覆うマ
   スクを設け、該マスクに水冷機構を付加した請求
   項１又は２記載のデイスク連続蒸着装置。 ４ デイスク出入室にデイスク表面のクリーニン
   グ用放電機構を設けた請求項１、２又は３記載の
   デイスク連続蒸着装置。 ５ デイスク出入室の真空チヤンバーとの接続口
   を塞ぐ大きさのデイスク受台、該デイスク受台を
   載置するデイスク受台保持具、該デイスク受台保
   持具の上下運動機構、デイスク出入室上下運動機
   構を設け、回転テーブルのデイスク載置位置にそ
   の径が前記デイスク受台より小さく前記デイスク
   受台保持具より大きい穴を設けて前記デイスク受
   台を回転テーブルの上側に位置させ、前記デイス
   ク受台保持具を前記回転テーブルの穴に通して設
   けた請求項１、２、３又は４記載のデイスク連続
   蒸着装置。