JPS6319563U - - Google Patents
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- Publication number
- JPS6319563U JPS6319563U JP10969286U JP10969286U JPS6319563U JP S6319563 U JPS6319563 U JP S6319563U JP 10969286 U JP10969286 U JP 10969286U JP 10969286 U JP10969286 U JP 10969286U JP S6319563 U JPS6319563 U JP S6319563U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- cooling medium
- port
- communicating
- supply
- shaft
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 239000002826 coolant Substances 0.000 claims description 7
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 1
Landscapes
- Physical Vapour Deposition (AREA)
Description
第１図はこの考案の一実施例の断面図、第２図
はそのシヤツタ板の平面図、第３図は同じくその
ロータリアクチユエータの下面図、第４図は従来
の蒸着装置の説明図、第５図はそのシヤツタ装置
の断面図、第６図は同じくそのシヤツタ装置のシ
ヤツタ板の平面図、第７図は同じくそのシヤツタ
装置の回動駆動手段の下面図である。 １…回転軸、２…シヤツタ板、３…ハウジング
、３ａ…軸嵌合孔、４…真空室、７…ロータリア
クチユエータ、１０…冷却媒体路、１１…供給路
部、１２…排出路部、１１ａ，１２ａ…連通口、
１５，１６…被連通口、１７…冷却媒体供給口、
１８…冷却媒体排出口。
はそのシヤツタ板の平面図、第３図は同じくその
ロータリアクチユエータの下面図、第４図は従来
の蒸着装置の説明図、第５図はそのシヤツタ装置
の断面図、第６図は同じくそのシヤツタ装置のシ
ヤツタ板の平面図、第７図は同じくそのシヤツタ
装置の回動駆動手段の下面図である。 １…回転軸、２…シヤツタ板、３…ハウジング
、３ａ…軸嵌合孔、４…真空室、７…ロータリア
クチユエータ、１０…冷却媒体路、１１…供給路
部、１２…排出路部、１１ａ，１２ａ…連通口、
１５，１６…被連通口、１７…冷却媒体供給口、
１８…冷却媒体排出口。
Claims (1)
- ハウジングの軸嵌合孔に回転自在に嵌合した回
転軸の先端にシヤツタ板を取付け、前記回転軸を
回転させる駆動装置を設け、前記シヤツタ板へ冷
却媒体を循環させる冷却媒体路の供給路部と排出
路部とを前記回転軸内に設け、これら供給路部と
排出路部に前記回転軸の外周面に開口した連通口
を設け、前記ハウジングの外面に設けた冷却媒体
供給口および冷却媒体排出口から各々開通して前
記供路部および排出路部の前記連通口と各々連通
する被連通口を前記軸嵌合孔の内周面に設け、前
記連通口および被連通口の少なくとも一方を、前
記回転軸の周方向に延びるものとしたシヤツタ装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10969286U JPS6319563U (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP10969286U JPS6319563U (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6319563U true JPS6319563U (ja) | 1988-02-09 |
Family
ID=30988020
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP10969286U Pending JPS6319563U (ja) | 1986-07-17 | 1986-07-17 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6319563U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6176144U (ja) * | 1984-10-25 | 1986-05-22 |
-
1986
- 1986-07-17 JP JP10969286U patent/JPS6319563U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6176144U (ja) * | 1984-10-25 | 1986-05-22 |