JPH0255734B2 - - Google Patents
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- JPH0255734B2 JPH0255734B2 JP16582785A JP16582785A JPH0255734B2 JP H0255734 B2 JPH0255734 B2 JP H0255734B2 JP 16582785 A JP16582785 A JP 16582785A JP 16582785 A JP16582785 A JP 16582785A JP H0255734 B2 JPH0255734 B2 JP H0255734B2
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- lens
- mirror
- light
- light source
- optical axis
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 10
- 238000003384 imaging method Methods 0.000 description 11
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 2
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000005286 illumination Methods 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Of Optical Devices Or Fibers (AREA)
- Mounting And Adjusting Of Optical Elements (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
〔概要〕
光を鏡で反射してレンズに入射するタイプのレ
ンズの射影特性測定装置における鏡位置制御装置
を鏡の近傍に鏡と連動して傾斜すると共に、透明
部と不透明部とが形成された2つの遮蔽体を設
け、遮蔽体内に設けた2つの光源を検出すること
により、鏡の位置の適否を判定するようにして、
装置の構造を簡単にし、且つ作動を正確なものと
した。
ンズの射影特性測定装置における鏡位置制御装置
を鏡の近傍に鏡と連動して傾斜すると共に、透明
部と不透明部とが形成された2つの遮蔽体を設
け、遮蔽体内に設けた2つの光源を検出すること
により、鏡の位置の適否を判定するようにして、
装置の構造を簡単にし、且つ作動を正確なものと
した。
この発明はレンズの射光特性を測定するレンズ
の射影特性測定装置、特に投光器の光を鏡で反射
してレンズに入射するタイプのレンズの射影特性
測定装置における鏡位置の制御装置に関する。
の射影特性測定装置、特に投光器の光を鏡で反射
してレンズに入射するタイプのレンズの射影特性
測定装置における鏡位置の制御装置に関する。
近年レンズと撮像素子とからなるカメラ装置を
画像入力手段を用いて環境認識を行なう技術が用
いられる。このように技術分野においてはレンズ
の射影特性を知らなければ正確な環境認識を行な
うことはできない。
画像入力手段を用いて環境認識を行なう技術が用
いられる。このように技術分野においてはレンズ
の射影特性を知らなければ正確な環境認識を行な
うことはできない。
これは、ある方向からレンズに入射した光がレ
ンズにより撮像面のどの位置に結像するかを知
り、この結果に基づいて像の結像個所により光の
入射方向を認識するようにするものである。
ンズにより撮像面のどの位置に結像するかを知
り、この結果に基づいて像の結像個所により光の
入射方向を認識するようにするものである。
このレンズ射影特性を測定するレンズの射影特
性測定装置としては第8図に示すように、レンズ
1を付けたテレビカメラ2を回転台3上に載置し
て光軸Aとを中心として回転できるようにし、平
行光を照射する投光器としてコリメータ4をレン
ズ1の光軸Aに対して斜めに固定し、光軸Aの延
長線上を照射するようにする一方、この平行光の
上方にその照射方向と平行に移動軸6を設けると
共に、その移動軸6には、この移動軸6に沿つて
移動する移動部材7を介して鏡5を平行光中に位
置するように取り付けたもので、またこの鏡5は
移動部材7に対して、光軸に垂直な方向を傾斜軸
として傾斜可能なものとしている。そしてレンズ
1に入射した光がテレビカメラ2の撮像面のどの
位置に結像したかが測定され、光の入射方向と光
の結像する撮像面の位置との対応を知ることがで
きる。
性測定装置としては第8図に示すように、レンズ
1を付けたテレビカメラ2を回転台3上に載置し
て光軸Aとを中心として回転できるようにし、平
行光を照射する投光器としてコリメータ4をレン
ズ1の光軸Aに対して斜めに固定し、光軸Aの延
長線上を照射するようにする一方、この平行光の
上方にその照射方向と平行に移動軸6を設けると
共に、その移動軸6には、この移動軸6に沿つて
移動する移動部材7を介して鏡5を平行光中に位
置するように取り付けたもので、またこの鏡5は
移動部材7に対して、光軸に垂直な方向を傾斜軸
として傾斜可能なものとしている。そしてレンズ
1に入射した光がテレビカメラ2の撮像面のどの
位置に結像したかが測定され、光の入射方向と光
の結像する撮像面の位置との対応を知ることがで
きる。
ここで、このレンズの射像特性の測定を自動的
に行なうようにするため、第10図に示すように
鏡5の傾斜、鏡5の移動、テレビカメラ2の回転
を夫々モータ20,21,22で行なうと共に、
鏡の傾斜角、鏡位置、カメラの回転角を夫々測定
器23,24,25で測定し、この測定値とテレ
ビカメラ2の撮像面における光の結像位置を測定
装置26で測定した値とに基づいて、各モータの
制御を制御装置27で行なうようにするようにし
ている。
に行なうようにするため、第10図に示すように
鏡5の傾斜、鏡5の移動、テレビカメラ2の回転
を夫々モータ20,21,22で行なうと共に、
鏡の傾斜角、鏡位置、カメラの回転角を夫々測定
器23,24,25で測定し、この測定値とテレ
ビカメラ2の撮像面における光の結像位置を測定
装置26で測定した値とに基づいて、各モータの
制御を制御装置27で行なうようにするようにし
ている。
そして、このレンズの射像特性を自動的に測定
する場合にあつては、まず鏡5の傾斜角を測定す
る。鏡5の傾斜角を定めれば、鏡5の移動軸6方
向への移動は平行光に対して平行であるから、レ
ンズ1への入射光の余緯度θは一義に定まるし、
また入射光の方位角は、テレビカメラ2の回転に
より一義に定めることができる。しかしながら、
入射光の余緯度及び方位角が定まつたとしても、
この入射光が正しくレンズ1表面に入射しなけれ
ば(例えば第8図の状態)、入射光は撮像面に結
像しないか或は光量が不足して、正確なレンズ射
影特性を測定することはできない。そこで、鏡5
の移動軸6方向の位置を制御する必要がある。
する場合にあつては、まず鏡5の傾斜角を測定す
る。鏡5の傾斜角を定めれば、鏡5の移動軸6方
向への移動は平行光に対して平行であるから、レ
ンズ1への入射光の余緯度θは一義に定まるし、
また入射光の方位角は、テレビカメラ2の回転に
より一義に定めることができる。しかしながら、
入射光の余緯度及び方位角が定まつたとしても、
この入射光が正しくレンズ1表面に入射しなけれ
ば(例えば第8図の状態)、入射光は撮像面に結
像しないか或は光量が不足して、正確なレンズ射
影特性を測定することはできない。そこで、鏡5
の移動軸6方向の位置を制御する必要がある。
従来、この鏡5の移動軸6方向の制御装置とし
て、例えば鏡5の傾斜角における所定の鏡5の移
動軸6上の位置を予め計算により求めておき、こ
の値を制御装置27に入力しておく一方、第8図
に示すように、移動軸6と平行に計測レール8を
設ける一方、移動部材7に固定され一体となつて
移動すると共に計測レール8に摺接して鏡5の位
置を検出する位置センサ9を設けて鏡5の位置を
制御するものがある。
て、例えば鏡5の傾斜角における所定の鏡5の移
動軸6上の位置を予め計算により求めておき、こ
の値を制御装置27に入力しておく一方、第8図
に示すように、移動軸6と平行に計測レール8を
設ける一方、移動部材7に固定され一体となつて
移動すると共に計測レール8に摺接して鏡5の位
置を検出する位置センサ9を設けて鏡5の位置を
制御するものがある。
また鏡5の位置を制御する他の装置としては、
第9図に示すように、テレビカメラ2の撮像面の
画像により光が撮像面に結像しているかを直接検
出するようにするものがある。
第9図に示すように、テレビカメラ2の撮像面の
画像により光が撮像面に結像しているかを直接検
出するようにするものがある。
第9図において、Ψはレンズ1の視野を示すも
のであり、第5図に示した場合の撮像面の像を模
式的に示している。図において撮像面にはコリメ
ータ4からの光が鏡5を介して不充分に結像して
おり、この光を測定装置で検出して、充分な光を
得るよう鏡4を光軸方向(図中aで示した)に移
動して光が鏡5の中央となるように制御するよう
にする。
のであり、第5図に示した場合の撮像面の像を模
式的に示している。図において撮像面にはコリメ
ータ4からの光が鏡5を介して不充分に結像して
おり、この光を測定装置で検出して、充分な光を
得るよう鏡4を光軸方向(図中aで示した)に移
動して光が鏡5の中央となるように制御するよう
にする。
ところで、上述した第1の鏡の制御装置におい
ては、予め鏡5の角度に対応する位置を計算して
おかなければならず煩雑であるし、また移動する
部材に位置センサを設けなければならず装置が複
雑となる。
ては、予め鏡5の角度に対応する位置を計算して
おかなければならず煩雑であるし、また移動する
部材に位置センサを設けなければならず装置が複
雑となる。
また上述した第2の装置にあつては、測定レン
ズの視野が広いものにあつては、鏡、光等の撮像
面における像の大きさは極めて小さいものとな
り、上述のような制御を正確に行なうことは難し
いものとなる。
ズの視野が広いものにあつては、鏡、光等の撮像
面における像の大きさは極めて小さいものとな
り、上述のような制御を正確に行なうことは難し
いものとなる。
本発明は、上述した問題点を解決して、レンズ
の射影特性測定装置における鏡位置制御装置の構
造を簡単なものとすると共にその制御を正確に行
うことができるようにするため、レンズ光軸に対
して傾斜し、レンズ光軸の上方への延長線の一点
に向け光を照射する投光器と、この光の照射方向
に沿つて移動かつ取り付け角度可変で上記光をレ
ンズに向け反射する鏡と、レンズを回転させる回
転台とからなるレンズの射影特性測定装置におい
て、光源を有し、光源を含む平面との交線を透明
部と不透明部との境界線とする2つの遮蔽体を両
遮蔽体の上記光源を含む2平面が同一平面となり
互いの透明部と不透明部とが隣りあわせ且つ両光
源を結ぶ直線を上記鏡の傾斜軸と平行となるよう
配設すると共に、上記光源と境界線とを含む平面
を常に光の反射方向と一致するよう遮蔽体を上記
光源を結ぶ直線を回動中心として回動する遮蔽体
駆動装置を設け、上記光源のレンズへの入射光に
基づいて鏡位置の適否を判定するようにした。
の射影特性測定装置における鏡位置制御装置の構
造を簡単なものとすると共にその制御を正確に行
うことができるようにするため、レンズ光軸に対
して傾斜し、レンズ光軸の上方への延長線の一点
に向け光を照射する投光器と、この光の照射方向
に沿つて移動かつ取り付け角度可変で上記光をレ
ンズに向け反射する鏡と、レンズを回転させる回
転台とからなるレンズの射影特性測定装置におい
て、光源を有し、光源を含む平面との交線を透明
部と不透明部との境界線とする2つの遮蔽体を両
遮蔽体の上記光源を含む2平面が同一平面となり
互いの透明部と不透明部とが隣りあわせ且つ両光
源を結ぶ直線を上記鏡の傾斜軸と平行となるよう
配設すると共に、上記光源と境界線とを含む平面
を常に光の反射方向と一致するよう遮蔽体を上記
光源を結ぶ直線を回動中心として回動する遮蔽体
駆動装置を設け、上記光源のレンズへの入射光に
基づいて鏡位置の適否を判定するようにした。
第1図及び第3図に示すように、レンズ1に余
緯度θで投光器であるコリメータ4から光を照射
する場合、遮蔽体10,11の透明部及び不透明
部の境界線と光源とを含む平面は常に鏡の光反射
方向と一致しているから、鏡5が適正位置である
場合(第1図位置)には、レンズ1の方向から
観察すると光源13,14は遮蔽体10,11の
透明部10a,11aと不透明部10b,11b
との境界線上に位置し(第3図2)光源を2つ観
察できる。しかし、鏡位置が不適正な場合(第1
図位置)には、2つ光源13,14のうち一
方の光源は遮蔽体10又は11の不透明部10
b,11bに覆われ、他の光源しか観察すること
ができない。これをテレビカメラ2で検出して鏡
の位置の適否を判断することができ、鏡の位置の
制御を行なう。
緯度θで投光器であるコリメータ4から光を照射
する場合、遮蔽体10,11の透明部及び不透明
部の境界線と光源とを含む平面は常に鏡の光反射
方向と一致しているから、鏡5が適正位置である
場合(第1図位置)には、レンズ1の方向から
観察すると光源13,14は遮蔽体10,11の
透明部10a,11aと不透明部10b,11b
との境界線上に位置し(第3図2)光源を2つ観
察できる。しかし、鏡位置が不適正な場合(第1
図位置)には、2つ光源13,14のうち一
方の光源は遮蔽体10又は11の不透明部10
b,11bに覆われ、他の光源しか観察すること
ができない。これをテレビカメラ2で検出して鏡
の位置の適否を判断することができ、鏡の位置の
制御を行なう。
以下、本発明に係るレンズ射影特性測定装置に
おける鏡位置制御装置の実施例を説明する。
おける鏡位置制御装置の実施例を説明する。
第1図乃至第6図は本発明に係るレンズ射影特
性測定装置における鏡位置制御装置の実施例を示
すものである。
性測定装置における鏡位置制御装置の実施例を示
すものである。
本実施例において投光器であるコリメータ4
は、例えば基準となる十字線を平行光として、レ
ンズ光軸の延長上に向け照射するように、またレ
ンズ1を取り付けたテレビカメラ2は、回転台3
を介して基板(図示していない)に取り付けられ
ている。そして鏡5が従来と同様の移動部材(図
示していない)を介して移動軸6に取り付けられ
ている。尚、これらの部材は、レンズ1、テレビ
カメラ2等の大きさ等によつて位置関係を変える
ことができるものとしている。
は、例えば基準となる十字線を平行光として、レ
ンズ光軸の延長上に向け照射するように、またレ
ンズ1を取り付けたテレビカメラ2は、回転台3
を介して基板(図示していない)に取り付けられ
ている。そして鏡5が従来と同様の移動部材(図
示していない)を介して移動軸6に取り付けられ
ている。尚、これらの部材は、レンズ1、テレビ
カメラ2等の大きさ等によつて位置関係を変える
ことができるものとしている。
そして、鏡5には、第4図に示すように、例え
ば遊星歯車装置で構成される遮蔽体駆動装置12
と円筒形の遮蔽体10,11が鏡5の傾斜軸に連
結されており、鏡5を鏡傾斜モータ20で傾斜さ
せると、遮蔽体10,11は円筒の軸を中心とし
て鏡5の2倍の角度回転する。そして、この遮蔽
体10,11は、第2図に示すように、円筒形状
の部材で、この円筒の軸を含む平面及び軸に垂直
な平面によつて透明部10a,11a及び不透明
部10b,11bが互いに隣り合うよう分割され
2つの遮蔽体10,11として形成され、鏡5が
コリメータ4に対して垂直の状態で、透明部10
a,11aと不透明部10b,11bとの境界線
10c,11cと軸を含む平面が鏡5の反射面に
対して垂直となるように遮蔽体駆動装置12に取
り付けられている。また、この遮蔽体内には円筒
の軸の位置に2つの光源13,14が配置されて
いる。
ば遊星歯車装置で構成される遮蔽体駆動装置12
と円筒形の遮蔽体10,11が鏡5の傾斜軸に連
結されており、鏡5を鏡傾斜モータ20で傾斜さ
せると、遮蔽体10,11は円筒の軸を中心とし
て鏡5の2倍の角度回転する。そして、この遮蔽
体10,11は、第2図に示すように、円筒形状
の部材で、この円筒の軸を含む平面及び軸に垂直
な平面によつて透明部10a,11a及び不透明
部10b,11bが互いに隣り合うよう分割され
2つの遮蔽体10,11として形成され、鏡5が
コリメータ4に対して垂直の状態で、透明部10
a,11aと不透明部10b,11bとの境界線
10c,11cと軸を含む平面が鏡5の反射面に
対して垂直となるように遮蔽体駆動装置12に取
り付けられている。また、この遮蔽体内には円筒
の軸の位置に2つの光源13,14が配置されて
いる。
従つて、本実施例では第5図に示すように遮蔽
体10,11の透明部10a,11a及び不透明
部10b,11b境界線10c,11cと光源1
3,14を含む面は鏡5の傾斜角φの2倍の回転
角2φを有するから常に反射光と同一の方向とな
る。それ故、本実施例において2つの透明部10
a,11aと不透明部10b,11bとの位置関
係を第4図に示すようにすれば、鏡5が適正位置
よりコリメータ4側(第1図)の場合は、第3
図1に示すように遮蔽体11の透明部11aを通
過した光源14のみが観察される。また鏡5の位
置が適正で反射光が適正にレンズ1に入射してい
る場合(第1図)は第3図2に示すように2つ
の遮蔽体10,11の境界線10c,11c上に
2つの光源13,14を観察することができる。
更には、鏡5の位置が遠方の場合(第1図)は
第3図3に示すように第1の場合と逆となる。
体10,11の透明部10a,11a及び不透明
部10b,11b境界線10c,11cと光源1
3,14を含む面は鏡5の傾斜角φの2倍の回転
角2φを有するから常に反射光と同一の方向とな
る。それ故、本実施例において2つの透明部10
a,11aと不透明部10b,11bとの位置関
係を第4図に示すようにすれば、鏡5が適正位置
よりコリメータ4側(第1図)の場合は、第3
図1に示すように遮蔽体11の透明部11aを通
過した光源14のみが観察される。また鏡5の位
置が適正で反射光が適正にレンズ1に入射してい
る場合(第1図)は第3図2に示すように2つ
の遮蔽体10,11の境界線10c,11c上に
2つの光源13,14を観察することができる。
更には、鏡5の位置が遠方の場合(第1図)は
第3図3に示すように第1の場合と逆となる。
従つて、これらの像をテレビカメラ2で検知し
て鏡位置を自動的に制御することができる。即ち
テレビカメラからの情報を制御装置27に入力し
て第6図に示すフローチヤートに従つて鏡移動モ
ータ21を制御する。
て鏡位置を自動的に制御することができる。即ち
テレビカメラからの情報を制御装置27に入力し
て第6図に示すフローチヤートに従つて鏡移動モ
ータ21を制御する。
それ故、本実施例によれば、移動する可動部材
に設ける装置は簡易なものであるし、また鏡位置
の適否の検出をテレビカメラで光学的に行なうか
ら構成を単純に、且つ制御を正確なものとするこ
とができる。
に設ける装置は簡易なものであるし、また鏡位置
の適否の検出をテレビカメラで光学的に行なうか
ら構成を単純に、且つ制御を正確なものとするこ
とができる。
尚、本実施例においては遮蔽体は鏡の傾斜軸と
同軸として設けたがこれは第7図に示したように
傾斜軸と平行であつてもよい。この実施例では遮
蔽体の取付位置が異なり遮蔽体駆動装置が通常の
歯車装置となつている他は、第1の実施例と同一
であるので、同一の部材には同一の符号を付して
その詳細な説明は省略する。
同軸として設けたがこれは第7図に示したように
傾斜軸と平行であつてもよい。この実施例では遮
蔽体の取付位置が異なり遮蔽体駆動装置が通常の
歯車装置となつている他は、第1の実施例と同一
であるので、同一の部材には同一の符号を付して
その詳細な説明は省略する。
また上記実施例では、遮蔽体は円筒形状のもの
としたがこれは他の形状としてもよいのは勿論で
ある。
としたがこれは他の形状としてもよいのは勿論で
ある。
以上説明したように、本発明によれば、レンズ
の射影特性測定装置における鏡位置制御装置を以
上のよう構成したから、可動部材に測定器等を設
ける必要がなく、また検出を光学的に行なうよう
にしたため、制御装置の構造を簡単なものとする
ことができる他、鏡の制御の精度を高いものとす
ることができるという効果を奏する。
の射影特性測定装置における鏡位置制御装置を以
上のよう構成したから、可動部材に測定器等を設
ける必要がなく、また検出を光学的に行なうよう
にしたため、制御装置の構造を簡単なものとする
ことができる他、鏡の制御の精度を高いものとす
ることができるという効果を奏する。
第1図は本発明に係るレンズ射影特性装置にお
ける鏡位置制御装置を示す側面図、第2図は本発
明に用いられる遮蔽体を示す斜視図、第3図1,
2,3は本発明に係る装置を使用した場合におけ
るレンズによる結像状態を示す図、第4図は本発
明の実施例に使用する遮蔽体を示す斜視図、第5
図は使用時における鏡と遮蔽体の状態を示す側面
図、第6図は鏡移動モータの制御方式を示すフロ
ーチヤート、第7図は遮蔽体の他の例を示す斜視
図、第8図は従来の制御装置の例を示す側面図、
第9図は従来の他の例を示す図、第10図は従来
及び本発明における制御装置の制御系を示すブロ
ツク図である。 1……レンズ、2……テレビカメラ、3……回
転台、4……コリメータ(投光器)、5……鏡、
6……移動軸、10,11……遮蔽体、10a,
11a……透明部、13,14……光源。
ける鏡位置制御装置を示す側面図、第2図は本発
明に用いられる遮蔽体を示す斜視図、第3図1,
2,3は本発明に係る装置を使用した場合におけ
るレンズによる結像状態を示す図、第4図は本発
明の実施例に使用する遮蔽体を示す斜視図、第5
図は使用時における鏡と遮蔽体の状態を示す側面
図、第6図は鏡移動モータの制御方式を示すフロ
ーチヤート、第7図は遮蔽体の他の例を示す斜視
図、第8図は従来の制御装置の例を示す側面図、
第9図は従来の他の例を示す図、第10図は従来
及び本発明における制御装置の制御系を示すブロ
ツク図である。 1……レンズ、2……テレビカメラ、3……回
転台、4……コリメータ(投光器)、5……鏡、
6……移動軸、10,11……遮蔽体、10a,
11a……透明部、13,14……光源。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 1 レンズ光軸に対して傾斜し、レンズ光軸の前
方への延長の一点に向け光を照射する投光器と、 この光の照射方向に沿つて移動可能かつ傾斜角
度可変で上記光をレンズに受け反射する鏡と、 レンズを光軸を中心として回転させる回転台と
からなるレンズの射影特性測定装置において、 光源を有し、光源を含む平面との交線を透明部
と不透明部との境界線とする2つの遮蔽体を両遮
蔽体の上記光源を含む2平面が同一平面となり互
いの透明部と不透明部とが隣りあわせ且つ両光源
を結ぶ直線を上記鏡の傾斜軸と平行となるよう配
設すると共に、上記光源と境界線とを含む平面を
常に光の反射方向と一致するよう遮蔽体を上記光
源を結ぶ直線を回動中心として回動する遮蔽体駆
動装置を設け、 上記光源のレンズの入射光に基づいて鏡位置の
適否を判定するようにしたことを特徴とするレン
ズの射影特性測定装置における鏡位置制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16582785A JPS6227640A (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | レンズの射影特性測定装置における鏡位置制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP16582785A JPS6227640A (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | レンズの射影特性測定装置における鏡位置制御装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS6227640A JPS6227640A (ja) | 1987-02-05 |
| JPH0255734B2 true JPH0255734B2 (ja) | 1990-11-28 |
Family
ID=15819753
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP16582785A Granted JPS6227640A (ja) | 1985-07-29 | 1985-07-29 | レンズの射影特性測定装置における鏡位置制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6227640A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP6561327B2 (ja) * | 2016-03-10 | 2019-08-21 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 光学検査装置、鏡筒の製造方法、および光学検査方法 |
-
1985
- 1985-07-29 JP JP16582785A patent/JPS6227640A/ja active Granted
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6227640A (ja) | 1987-02-05 |
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Legal Events
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