JPH02272308A - 非接触式形状測定装置 - Google Patents
非接触式形状測定装置Info
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- JPH02272308A JPH02272308A JP9548189A JP9548189A JPH02272308A JP H02272308 A JPH02272308 A JP H02272308A JP 9548189 A JP9548189 A JP 9548189A JP 9548189 A JP9548189 A JP 9548189A JP H02272308 A JPH02272308 A JP H02272308A
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- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 69
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims abstract description 12
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 claims description 3
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 8
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 7
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
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- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 1
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、被測定面に接触せずに彼ΔＩＩＩ定物の形状
を測定する装置に関するものである。
を測定する装置に関するものである。
従来、プレス成形品や樹脂金型等の披−ｊＪ定物の形状
測定には、その被測定面に直接計測針を接触さけ、位置
を読取るといった接触式の形状ａｐｌ定装研装置く用い
られているが、この装置では上記計ａＰｊ針が摩耗する
といった不都合があった。そこで、近年、非接触式の形
状ハ１定装置が開発されており、そのうちの一つとして
三角１Ｐｌ−Ｊｌｉｌ法を利用した装置が提案されてい
る。
測定には、その被測定面に直接計測針を接触さけ、位置
を読取るといった接触式の形状ａｐｌ定装研装置く用い
られているが、この装置では上記計ａＰｊ針が摩耗する
といった不都合があった。そこで、近年、非接触式の形
状ハ１定装置が開発されており、そのうちの一つとして
三角１Ｐｌ−Ｊｌｉｌ法を利用した装置が提案されてい
る。
この装置を第８図に基づいて説明する。図において、８
０は発光および受光手段を備えた光センサであり、受光
手段は図のＷ軸方向に広がる受光可能領域を有している
。この光センサ８０は、披ｎ１定面Ｓ上に照射光Ａを照
射するとともに、その反射光Ｂを上記受光手段で受光し
、その受光位置（Ｗ軸方向に関する受光位置）から被Δ
Ｐ１定而Ｓとの距離を求めるようになっている。
０は発光および受光手段を備えた光センサであり、受光
手段は図のＷ軸方向に広がる受光可能領域を有している
。この光センサ８０は、披ｎ１定面Ｓ上に照射光Ａを照
射するとともに、その反射光Ｂを上記受光手段で受光し
、その受光位置（Ｗ軸方向に関する受光位置）から被Δ
Ｐ１定而Ｓとの距離を求めるようになっている。
ところが、同図に示されるように、被測定面Ｓが大きな
曲率で内側に湾曲していると、Ａｌｌ定点Ｐから最短距
離で入射される正規の反射光Ｂだけでなく、他の点で二
次反射された反射光Ｂ′までが受光手段に入射され、正
確なΔＰ１定が妨げられる場合がある。また第９図に示
されるように、照射光Ａの光軸に対する彼？ＩＦｊ定面
Ｓの傾斜角度が大きいと、被測定物自身が障害となって
反射光が弱められ、あるいは完全に遮光されて受光手段
に到達せず、ａＦＩ定不可不可能る場合がある。
曲率で内側に湾曲していると、Ａｌｌ定点Ｐから最短距
離で入射される正規の反射光Ｂだけでなく、他の点で二
次反射された反射光Ｂ′までが受光手段に入射され、正
確なΔＰ１定が妨げられる場合がある。また第９図に示
されるように、照射光Ａの光軸に対する彼？ＩＦｊ定面
Ｓの傾斜角度が大きいと、被測定物自身が障害となって
反射光が弱められ、あるいは完全に遮光されて受光手段
に到達せず、ａＦＩ定不可不可能る場合がある。
そこで本発明は、被Δ−ｊ定面の形状によって生じる問
題を解決し、精度良く測定することができる非接触式形
状測定装置を提供することを目的とする。
題を解決し、精度良く測定することができる非接触式形
状測定装置を提供することを目的とする。
本発明は、発光手段および受光手段を有する光センサを
備え、上記発光手段により披７１１１１定面に光を照射
し、その反射光を上記受光手段が受ける位置から披／Ｉ
ＩＩＩ定面のｆｌｕ定点と光センサとの距離データを順
次水めるようにした非接触式形状／ｉｐ＋定装置におい
て、上記光センサを上記発光手段による照射光の光軸を
中心に旋回可能に構成するとともに、第１図に示される
ように、上記光センサを旋回駆動する駆動手段１０と、
既に求められた距離データから上記光軸に対するｉｌＮ
定点での被測定面の傾きを算出する演算手段１２と、こ
の算出結果に基づき、上記発光手段および受光手段が上
記光軸および被Ａ−１定面の法線ベクトルを含む平面に
対して略直交する方向に並ぶように光センサの旋回駆動
を制御する制御手段１４とを備えたものである。
備え、上記発光手段により披７１１１１定面に光を照射
し、その反射光を上記受光手段が受ける位置から披／Ｉ
ＩＩＩ定面のｆｌｕ定点と光センサとの距離データを順
次水めるようにした非接触式形状／ｉｐ＋定装置におい
て、上記光センサを上記発光手段による照射光の光軸を
中心に旋回可能に構成するとともに、第１図に示される
ように、上記光センサを旋回駆動する駆動手段１０と、
既に求められた距離データから上記光軸に対するｉｌＮ
定点での被測定面の傾きを算出する演算手段１２と、こ
の算出結果に基づき、上記発光手段および受光手段が上
記光軸および被Ａ−１定面の法線ベクトルを含む平面に
対して略直交する方向に並ぶように光センサの旋回駆動
を制御する制御手段１４とを備えたものである。
さらに、ＡＦＪ定点における被Ａ１１ｌ定面の傾きと予
め設定された傾きとを比較する比較手段１６を備え、前
者が後者を上回る場合にのみ光センサを旋回させるよう
にすれば、より効果的である。
め設定された傾きとを比較する比較手段１６を備え、前
者が後者を上回る場合にのみ光センサを旋回させるよう
にすれば、より効果的である。
上記構成によれば、既算出データに基づいて演算された
被測定面の傾きに基づき、光センサの発光手段および受
光手段が照射光の光軸と被測定面の法線ベクトルとを含
む平面に直交する方向に並ぶように光センサが旋回駆動
されるので、上記発光手段から発せられ被ΔＰＩ定面で
反射された光は、短い幅をもって確実に受光手段に入射
される。
被測定面の傾きに基づき、光センサの発光手段および受
光手段が照射光の光軸と被測定面の法線ベクトルとを含
む平面に直交する方向に並ぶように光センサが旋回駆動
されるので、上記発光手段から発せられ被ΔＰＩ定面で
反射された光は、短い幅をもって確実に受光手段に入射
される。
さらに、上記被測定面の傾きと予め設定された傾きとを
比較するものによれば、上記光軸に対する披ＡＰｊ定面
の傾斜が定められた基準を超えた場合にのみ光センサが
旋回駆動される。
比較するものによれば、上記光軸に対する披ＡＰｊ定面
の傾斜が定められた基準を超えた場合にのみ光センサが
旋回駆動される。
第２図は、本発明の一実施例における形状７１ｒ１１定
装置の全体構成を示したものである。
装置の全体構成を示したものである。
図において、２０はアーチであり、このアーチ２０の下
方に被測定物移送装置２２が設置されている。この被測
定物移送装置２２は、ｘ、ｙ、ｚの各軸方向にスライド
可能なＸ輔スライド部材２４１、Ｙ輔スライド部材２４
２、およびＺ軸スライド部材２４３を備え、各スライド
部材２４１〜２４３は、Ｘ軸駆動モータ２６１、Ｙ軸駆
動モタ２６２、Ｚ軸駆動モータ２６３（後記第４図参照
）、および各モータの駆動軸に連結されたボールスクリ
ュー２７によってスライド駆動されるようになっている
。
方に被測定物移送装置２２が設置されている。この被測
定物移送装置２２は、ｘ、ｙ、ｚの各軸方向にスライド
可能なＸ輔スライド部材２４１、Ｙ輔スライド部材２４
２、およびＺ軸スライド部材２４３を備え、各スライド
部材２４１〜２４３は、Ｘ軸駆動モータ２６１、Ｙ軸駆
動モタ２６２、Ｚ軸駆動モータ２６３（後記第４図参照
）、および各モータの駆動軸に連結されたボールスクリ
ュー２７によってスライド駆動されるようになっている
。
Ｚ輔スライド部材２４３の上部には、被ａｌｌｌ定物が
載置されるテーブル２８が固定され、このテーブル２８
の上方に光センサ３０が設けられている。
載置されるテーブル２８が固定され、このテーブル２８
の上方に光センサ３０が設けられている。
この先センサ３０は、アーチ２０の上部に固定されたセ
ンサ旋回駆動モータ３２に図外の減速機および旋回軸３
１を介して連結され、この旋回軸３１回り（Ｚ軸回り）
に旋回可能となっている。
ンサ旋回駆動モータ３２に図外の減速機および旋回軸３
１を介して連結され、この旋回軸３１回り（Ｚ軸回り）
に旋回可能となっている。
第３図に示されるように、上記光センサ３０のハウジン
グ３４内には半導体レーザ（発光手段）３６および位置
読取りセンサ（受光手段）３７が設けられ、ハウジング
３４の下部に形成された傾斜壁３４１には集光レンズ３
８が固定されている。
グ３４内には半導体レーザ（発光手段）３６および位置
読取りセンサ（受光手段）３７が設けられ、ハウジング
３４の下部に形成された傾斜壁３４１には集光レンズ３
８が固定されている。
半導体レーザ３６は、その照射光Ａの光軸が上記旋回軸
３１と合致する位置に配設されており、上記位置読取り
センサ３７は、Ｚ軸に対して所定の角度をもつＷ軸方向
に広がる受光可能領域を有している。この先センサ３０
は、上記半導体レーザ３６により被測定面Ｓ上に照射光
Ａを照射するとともに、その反射光Ｂを集光レンズ３８
を介して位置読取りセンサ３７で受光し、その受光位置
（詳しくはＷ軸方向に関する受光位置）を読取るように
構成されている。
３１と合致する位置に配設されており、上記位置読取り
センサ３７は、Ｚ軸に対して所定の角度をもつＷ軸方向
に広がる受光可能領域を有している。この先センサ３０
は、上記半導体レーザ３６により被測定面Ｓ上に照射光
Ａを照射するとともに、その反射光Ｂを集光レンズ３８
を介して位置読取りセンサ３７で受光し、その受光位置
（詳しくはＷ軸方向に関する受光位置）を読取るように
構成されている。
第４図は、この形状ＩＰ１定装置に備えられた演算制御
装置４０を示したものである。この演算制御装置４０に
は、上記位置読取りセンサ３７、および各軸方向の被測
定物の移送距離をハ１定するΔＰ１長器４２１〜４２３
の検出信号が入力され、同演算制御装置４０からは、表
示装置４４、データ記録装置４６、上記センサ旋回駆動
モータ３２、およびｘ、ｙ、ｚ各軸の駆動モータ２６１
〜２６３に対して制御信号が出力されるようになってお
り、演算制御装置４０自身は、上記第１図に示される演
算手段１２、制御手段１４、および比較手段１６に各々
対応する機能を備えている。なお、上記表示装置４４は
、ＡＩ定された形状データを表示するものであり、デー
タ記録装置４６は算出データを磁気ディスクに記録する
ものである。
装置４０を示したものである。この演算制御装置４０に
は、上記位置読取りセンサ３７、および各軸方向の被測
定物の移送距離をハ１定するΔＰ１長器４２１〜４２３
の検出信号が入力され、同演算制御装置４０からは、表
示装置４４、データ記録装置４６、上記センサ旋回駆動
モータ３２、およびｘ、ｙ、ｚ各軸の駆動モータ２６１
〜２６３に対して制御信号が出力されるようになってお
り、演算制御装置４０自身は、上記第１図に示される演
算手段１２、制御手段１４、および比較手段１６に各々
対応する機能を備えている。なお、上記表示装置４４は
、ＡＩ定された形状データを表示するものであり、デー
タ記録装置４６は算出データを磁気ディスクに記録する
ものである。
次に、この装置の行う形状ＡＦＩ定動作を説明する。
まず、テーブル２８上に被−一１定物が載置された状態
で、この被１１Ｐ１定物のａｌｌ定が可能となる位置ま
でＺ軸スライド部材２４３が昇降駆動される。通常は、
この段階でテーブル２８の高さが固定されるが、被測定
物の被測定面Ｓの起伏が大きい場合には、測定中にも演
算制御装置４０の制御の下でＺ輔スライド部材２８が適
宜駆動され、被測定物が常にａＦ１定可能な高さ位置に
保たれる。
で、この被１１Ｐ１定物のａｌｌ定が可能となる位置ま
でＺ軸スライド部材２４３が昇降駆動される。通常は、
この段階でテーブル２８の高さが固定されるが、被測定
物の被測定面Ｓの起伏が大きい場合には、測定中にも演
算制御装置４０の制御の下でＺ輔スライド部材２８が適
宜駆動され、被測定物が常にａＦ１定可能な高さ位置に
保たれる。
この位置で、第３図に示されるように、光センサ３０内
の半導体レーザ３６から被測定面Ｓ上へ照射光Ａが照射
される。この照射光Ａは、上記彼Δ１定面Ｓで反射され
た後、集光レンズ３８を通って位置読取りセンサ３７で
受光され、その受光位置（Ｗ軸方向に関する受光位置）
に関する信号が演算制御装置４０に人力される。演算制
御装置４０は、この情報信号に基づいて半導体レーザ３
６から７１−１定点Ｐに至るまでの距離を演算し、表示
装置４４およびデータ記録装置４６にデータを出力する
。
の半導体レーザ３６から被測定面Ｓ上へ照射光Ａが照射
される。この照射光Ａは、上記彼Δ１定面Ｓで反射され
た後、集光レンズ３８を通って位置読取りセンサ３７で
受光され、その受光位置（Ｗ軸方向に関する受光位置）
に関する信号が演算制御装置４０に人力される。演算制
御装置４０は、この情報信号に基づいて半導体レーザ３
６から７１−１定点Ｐに至るまでの距離を演算し、表示
装置４４およびデータ記録装置４６にデータを出力する
。
一方、この演算制御装置４０の制御信号によってＸ軸駆
動モータ２６１およびＹ軸駆動モータ２６２が適宜作動
することにより、Ｘ軸スライド部材２４１およびＹ軸ス
ライド部材２４２が各軸方向に駆動され、光センサ３０
に対して被ＡＦＩ定物が相対的に移送される。これによ
って、彼Ａｌ１１定物に対する光センサ３０の主走査お
よび副走査が行われ、このような走査と上記ａＰＩ定動
作とが並行して行われることにより、彼ａｌｌｌ定面Ｓ
上の各点の高さ位置が順次読取られ、結果として全体の
形状が計１定される。
動モータ２６１およびＹ軸駆動モータ２６２が適宜作動
することにより、Ｘ軸スライド部材２４１およびＹ軸ス
ライド部材２４２が各軸方向に駆動され、光センサ３０
に対して被ＡＦＩ定物が相対的に移送される。これによ
って、彼Ａｌ１１定物に対する光センサ３０の主走査お
よび副走査が行われ、このような走査と上記ａＰＩ定動
作とが並行して行われることにより、彼ａｌｌｌ定面Ｓ
上の各点の高さ位置が順次読取られ、結果として全体の
形状が計１定される。
さらに、この装置では、上記演算制御装置４０からセン
サ旋回駆動モータ３２に制御信号が出力されることによ
り、各ＡＰＩ定点で光センサ３０の向きが６凋節される
ようになっている。次に、その具体的な制御内容を説明
する。
サ旋回駆動モータ３２に制御信号が出力されることによ
り、各ＡＰＩ定点で光センサ３０の向きが６凋節される
ようになっている。次に、その具体的な制御内容を説明
する。
第５図において、５１は被測定面上で未だＡＰＩ定され
ていない未−Ｐ１定領域（図の無地領域）、５２は既に
測定された既ΔＩ１１定領域（図の斜線領域）であるが
、演算制御装置４０は、上記数計１定領域５２のうち今
回の１ｌｌｌｌ定点Ｐの近傍の領域（図の網目領域）５
３で算出された距離データを抽出し、これらのデータに
基づいて４ｐ１定点Ｐでの被測定面Ｓの傾きを算出する
。この装置では、測定点Ｐ近傍の９つの既測定点につい
てのデータが抽出され、これらのデータに基づいて最小
二乗法により第６図に示されるような被測定面ＳのΔｐ
１定点Ｐにおける接手面Ｑの傾きが算出されるようにな
っている。
ていない未−Ｐ１定領域（図の無地領域）、５２は既に
測定された既ΔＩ１１定領域（図の斜線領域）であるが
、演算制御装置４０は、上記数計１定領域５２のうち今
回の１ｌｌｌｌ定点Ｐの近傍の領域（図の網目領域）５
３で算出された距離データを抽出し、これらのデータに
基づいて４ｐ１定点Ｐでの被測定面Ｓの傾きを算出する
。この装置では、測定点Ｐ近傍の９つの既測定点につい
てのデータが抽出され、これらのデータに基づいて最小
二乗法により第６図に示されるような被測定面ＳのΔｐ
１定点Ｐにおける接手面Ｑの傾きが算出されるようにな
っている。
この実施例では、上記傾きとして第７図に示されるよう
な接手面Ｑの測定点Ｐにおける法線ベクトル几が算出さ
れる。
な接手面Ｑの測定点Ｐにおける法線ベクトル几が算出さ
れる。
演算制御装置４０は、上記法線ベクトルｎと照射光Ａの
光軸とのなす角度φを算出し、この角度φと予め設定さ
れた設定角度（この実施例では１００）とを比較する。
光軸とのなす角度φを算出し、この角度φと予め設定さ
れた設定角度（この実施例では１００）とを比較する。
角度φが設定角度以下である場合には光センサ３０を旋
回させないが、角度φが設定角度を上回る場合には、上
記接平面ＱとＸＹ平面との交線（すなわち等高線）Ｌを
求めるとともに該交線りとＸ軸とのなす角度θを求め、
この交線りと同方向に半導体レーザ３６と位置読取りセ
ンサ３７が並ぶように光センサ３０を旋回させる。
回させないが、角度φが設定角度を上回る場合には、上
記接平面ＱとＸＹ平面との交線（すなわち等高線）Ｌを
求めるとともに該交線りとＸ軸とのなす角度θを求め、
この交線りと同方向に半導体レーザ３６と位置読取りセ
ンサ３７が並ぶように光センサ３０を旋回させる。
このような装置によれば、照射光Ａの光軸に対して被測
定面Ｓが一定以上傾いている場合、その法線ベクトル几
と照射光Ａの光軸とを含む平面に直交する方向、すなわ
ち披ＡＰｊ定面Ｓの等高線の方向に半導体レーザ３６と
位置読取りセンサ３７が並ぶように光センサ３０が旋回
駆動されるので、上記第８図や第９図に示されるように
披４ｐｊ定而Ｓの起伏が反射光Ｂに影響することがなく
、各ａｌ定点で常に良好な７１ｐ１定を行うことができ
る。
定面Ｓが一定以上傾いている場合、その法線ベクトル几
と照射光Ａの光軸とを含む平面に直交する方向、すなわ
ち披ＡＰｊ定面Ｓの等高線の方向に半導体レーザ３６と
位置読取りセンサ３７が並ぶように光センサ３０が旋回
駆動されるので、上記第８図や第９図に示されるように
披４ｐｊ定而Ｓの起伏が反射光Ｂに影響することがなく
、各ａｌ定点で常に良好な７１ｐ１定を行うことができ
る。
さらに、上記のように、法線ベクトル几と光軸のなす角
度φが一定値以上の場合、すなわち彼Δ−１定而Ｓの形
状がｎｊ定精度に影響を及ぼす場合にのみ光センサ３０
を旋回させるようにすれば、光センサ３０の旋回に要す
る時間を最小限に抑えることができ、ａＦＪ定能率の向
上を図ることができる。
度φが一定値以上の場合、すなわち彼Δ−１定而Ｓの形
状がｎｊ定精度に影響を及ぼす場合にのみ光センサ３０
を旋回させるようにすれば、光センサ３０の旋回に要す
る時間を最小限に抑えることができ、ａＦＪ定能率の向
上を図ることができる。
なお、本発明はこの実施例に限定されず、例として次の
ような態様をとることも可能である。
ような態様をとることも可能である。
（１）本発明では、照射光の光軸と光センサの旋回軸が
合致していればよく、両軸の具体的な方向は問わない。
合致していればよく、両軸の具体的な方向は問わない。
例えば、被測定面に対してＸ軸方向に光が照射される場
合には、同方向に光センサの旋回軸を設定すればよい。
合には、同方向に光センサの旋回軸を設定すればよい。
（２）本発明では、光センサの方向が光軸と法線ベクト
ルとを含む平面に直交する方向に厳密に一致していなく
てもよく、測定精度に影響を与えない範囲で両者に多少
の差があってもよい。また、実際に法線ベクトルを算出
する必要はなく、結果として上記方向に光センサが向く
ように制御すれば本発明の目的は達せられる。
ルとを含む平面に直交する方向に厳密に一致していなく
てもよく、測定精度に影響を与えない範囲で両者に多少
の差があってもよい。また、実際に法線ベクトルを算出
する必要はなく、結果として上記方向に光センサが向く
ように制御すれば本発明の目的は達せられる。
（３）本発明は発光手段および受光手段の種類を間イ〕
ず、彼ハＰ１定物の形状に対しセンサの方向を鹿化させ
た時に４Ｐ１定精度が変わるようなＡＰＩ定装置に適用
することができる。
ず、彼ハＰ１定物の形状に対しセンサの方向を鹿化させ
た時に４Ｐ１定精度が変わるようなＡＰＩ定装置に適用
することができる。
以上のように本発明は、光センサにより既に検出された
データから照射光の光軸に対する披Ａｐ１定面の傾きを
算出し、上記光センサの発光手段および受光手段が上記
光軸および彼ΔＰ１定面の法線ベクトルを含む平面に対
して略直交する方向に並ぶように、光センサを上記光軸
ｔｉｔりに旋回させるようにしたものであるので、簡単
な機構および制御によって、被−１定而の形状に拘らず
常に高精度で反射光の受光位置を読取ることができる効
果がある。
データから照射光の光軸に対する披Ａｐ１定面の傾きを
算出し、上記光センサの発光手段および受光手段が上記
光軸および彼ΔＰ１定面の法線ベクトルを含む平面に対
して略直交する方向に並ぶように、光センサを上記光軸
ｔｉｔりに旋回させるようにしたものであるので、簡単
な機構および制御によって、被−１定而の形状に拘らず
常に高精度で反射光の受光位置を読取ることができる効
果がある。
さらに、披−１定而の法線ベクトルと上記光軸とが形成
する角度と予め設定された角度とを比較し、前者が後者
を上回る場合にのみ光センサを旋回させるようにすれば
、光センサを旋回させるための時間を最小限に抑えるこ
とにより、ＩＩＰｊ定能率の向上を図ることができる効
果がある。
する角度と予め設定された角度とを比較し、前者が後者
を上回る場合にのみ光センサを旋回させるようにすれば
、光センサを旋回させるための時間を最小限に抑えるこ
とにより、ＩＩＰｊ定能率の向上を図ることができる効
果がある。
第１図は本発明の非接触式形状ａｌ定装置の主要部の機
能構成図、第２図は同発明の一実施例における非接触式
形状測定装置の全体構成図、第３図は同装置に備えられ
た光センサの内部構造図、第４図は同装置に備えられた
演算制御装置等のノ＼ド構成図、第５図は彼Ａ？Ｉ定面
における未４Ｐ１定領域お、よび既Ｍｉｌｌ定領域を示
す説明図、第６図は同波測定而の測定点における接平面
を示す斜視図、第７図は同接平面および同接平面の法線
ベクトルを示す斜視図、第８図および第９図は被測定面
の形状と光センサに入射される反射光との関係を示す説
明図である。 １０・・・駆動手段、１２・・・演算手段、１４・・・
制御手段、１６・・・比較手段、３０・・・光センサ、
３２・・・センサ旋回駆動モータ（駆動手段）、３６・
・・半導体レーザ（発光手段）、３７・・・位置読取り
センサ（受光手段）、４０・・・演算制御装置（演算手
段、制御手段、および比較手段）、Ａ・・・照射光、Ｂ
・・・反射光、Ｐ・・・測定点、Ｓ・・・被測定面、Ｕ
・・・法線ベクトル、φ・・・法線ベクトルと光軸との
なす角度。 特許用ｍ１人 ミノルタカメラ株式会１１代 理
人 弁理士 手合 悦司同
弁理士 長１１ 正目 弁理士
伊藤 孝夫第 、図 第 図 第 図 第 図 第 図 入 第 図 第 図 第 図
能構成図、第２図は同発明の一実施例における非接触式
形状測定装置の全体構成図、第３図は同装置に備えられ
た光センサの内部構造図、第４図は同装置に備えられた
演算制御装置等のノ＼ド構成図、第５図は彼Ａ？Ｉ定面
における未４Ｐ１定領域お、よび既Ｍｉｌｌ定領域を示
す説明図、第６図は同波測定而の測定点における接平面
を示す斜視図、第７図は同接平面および同接平面の法線
ベクトルを示す斜視図、第８図および第９図は被測定面
の形状と光センサに入射される反射光との関係を示す説
明図である。 １０・・・駆動手段、１２・・・演算手段、１４・・・
制御手段、１６・・・比較手段、３０・・・光センサ、
３２・・・センサ旋回駆動モータ（駆動手段）、３６・
・・半導体レーザ（発光手段）、３７・・・位置読取り
センサ（受光手段）、４０・・・演算制御装置（演算手
段、制御手段、および比較手段）、Ａ・・・照射光、Ｂ
・・・反射光、Ｐ・・・測定点、Ｓ・・・被測定面、Ｕ
・・・法線ベクトル、φ・・・法線ベクトルと光軸との
なす角度。 特許用ｍ１人 ミノルタカメラ株式会１１代 理
人 弁理士 手合 悦司同
弁理士 長１１ 正目 弁理士
伊藤 孝夫第 、図 第 図 第 図 第 図 第 図 入 第 図 第 図 第 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、発光手段および受光手段を有する光センサを備え、
上記発光手段により被測定面に光を照射し、その反射光
を上記受光手段が受ける位置から被測定面の測定点と光
センサとの距離データを順次求めるようにした非接触式
形状測定装置において、上記光センサを上記発光手段に
よる照射光の光軸を中心に旋回可能に構成するとともに
、この光センサを旋回駆動する駆動手段と、既に求めら
れた距離データから上記光軸に対する測定点での被測定
面の傾きを算出する演算手段と、この算出結果に基づき
、上記発光手段および受光手段が上記光軸および被測定
面の法線ベクトルを含む平面に対して略直交する方向に
並ぶように光センサの旋回駆動を制御する制御手段とを
備えたことを特徴とする非接触式形状測定装置。 ２、請求項１記載の非接触式形状測定装置において、測
定点における被測定面の傾きと予め設定された傾きとを
比較する比較手段を備え、前者が後者を上回る場合にの
み光センサを旋回させるように制御手段を構成したこと
を特徴とする非接触式形状測定装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9548189A JP2679236B2 (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | 非接触式形状測定装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9548189A JP2679236B2 (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | 非接触式形状測定装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02272308A true JPH02272308A (ja) | 1990-11-07 |
| JP2679236B2 JP2679236B2 (ja) | 1997-11-19 |
Family
ID=14138806
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9548189A Expired - Lifetime JP2679236B2 (ja) | 1989-04-14 | 1989-04-14 | 非接触式形状測定装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2679236B2 (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04189452A (ja) * | 1990-11-20 | 1992-07-07 | Fanuc Ltd | デジタイジング制御装置 |
| WO1996010726A1 (en) * | 1994-09-30 | 1996-04-11 | Sintokogio, Ltd. | Method of measuring sizes of mold and mold-associated components by laser measuring instrument |
| WO1997012199A1 (fr) * | 1995-09-27 | 1997-04-03 | Sintokogio, Ltd. | Procede de mesure des dimensions d'un moule et des pieces associees |
-
1989
- 1989-04-14 JP JP9548189A patent/JP2679236B2/ja not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04189452A (ja) * | 1990-11-20 | 1992-07-07 | Fanuc Ltd | デジタイジング制御装置 |
| WO1996010726A1 (en) * | 1994-09-30 | 1996-04-11 | Sintokogio, Ltd. | Method of measuring sizes of mold and mold-associated components by laser measuring instrument |
| US5715062A (en) * | 1994-09-30 | 1998-02-03 | Sintokogio, Ltd. | Method of measuring sizes of mold and mold-associated components by laser measuring instrument |
| WO1997012199A1 (fr) * | 1995-09-27 | 1997-04-03 | Sintokogio, Ltd. | Procede de mesure des dimensions d'un moule et des pieces associees |
| US5771100A (en) * | 1995-09-27 | 1998-06-23 | Sintokogio, Ltd. | Method of measuring dimension of mold or mold-associated component by laser measuring instrument |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2679236B2 (ja) | 1997-11-19 |
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